TWI669287B - Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition and use thereof - Google Patents

Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition and use thereof Download PDF

Info

Publication number
TWI669287B
TWI669287B TW104131352A TW104131352A TWI669287B TW I669287 B TWI669287 B TW I669287B TW 104131352 A TW104131352 A TW 104131352A TW 104131352 A TW104131352 A TW 104131352A TW I669287 B TWI669287 B TW I669287B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
group
meth
acrylate
photosensitive resin
polymerization unit
Prior art date
Application number
TW104131352A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201612141A (en
Inventor
九澤昌祥
深津優太
飯田啓雄
Original Assignee
日商耐涂可股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商耐涂可股份有限公司 filed Critical 日商耐涂可股份有限公司
Publication of TW201612141A publication Critical patent/TW201612141A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI669287B publication Critical patent/TWI669287B/zh

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00—Use of organic ingredients
    • C08K5/04—Oxygen-containing compounds
    • C08K5/05—Alcohols; Metal alcoholates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F2/00—Processes of polymerisation
    • C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
    • C08F2/48—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L101/00—Compositions of unspecified macromolecular compounds
    • C08L101/02—Compositions of unspecified macromolecular compounds characterised by the presence of specified groups, e.g. terminal or pendant functional groups
    • C08L101/10—Compositions of unspecified macromolecular compounds characterised by the presence of specified groups, e.g. terminal or pendant functional groups containing hydrolysable silane groups
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/075—Silicon-containing compounds

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

一種鹼溶性樹脂，在溶劑中溶解有共聚合體而形成，共聚合體含有從不飽和羧酸等衍生的含羧基之聚合單位、及從下述式（1）的單量體衍生的含烷氧基甲矽烷基之聚合單位。溶劑為擁有烷基碳原子數為4或5個的直鏈或分岐鏈之特定的醇。作為特定的醇，較佳的為烷基碳原子數為4個的第1級醇，特別是1-丁醇。 Ｘ－（ＣＨ２ ）ａ －Ｓｉ（ＯＲ）ｂ （ＣＨ３ ）３－ｂ ・・・（１） 其中，式（1）中的X為乙烯基、苯乙烯基或（甲基）丙烯醯基，R為甲基或乙基，a為0~3的整數，b為1~3的整數。

Description

鹼溶性樹脂、感光性樹脂組合物及其用途
本發明為關於鹼溶性樹脂、感光性樹脂組合物及其用途，其電氣絕緣性、耐熱性、耐水性、耐化學性、機械強度等的特性非常優秀，適合作為半導體元件的表面保護膜、層間絕緣膜等材料被利用。
近年，在電子材料領域，如電腦、智慧手機、平板電腦等的電子回路元件，隨著高精細化急速發展，為了維持畫素的開口率，而推行配線的細線化。隨此，保護配線的電氣絕緣膜也更加要求細線化。比方說：在TFT液晶顯示元件、有機EL顯示元件、積體電路顯示元件等中，為了將在層間配置的配線和配線之間電氣上絕緣而形成層間絕緣膜。
此種層間絕緣膜的材料所使用的感光性樹脂組合物已在專利文獻1中有所公開。該感光性樹脂組合物具有鹼溶性，含有：不飽和羧酸、使含環氧基之不飽和化合物及矽烷單量體共聚合所得之丙烯酸系共聚合體、1,2-醌重氮化合物、以及溶劑。 ［現有技術文獻］ ［專利文獻］ ［專利文獻1］日本專利特開2006-209112號公報
在前述專利文獻1中記載的以往的感光性樹脂組合物的情況下，在矽烷單量體中含有加水分解性的甲矽烷基，該甲矽烷基包含甲氧基或乙氧基，隨著時間推移，此甲矽烷基進行加水分解，從而產生架橋反應，丙烯酸系共聚合體的分子量增大。如使用含有像這樣分子量增大了的丙烯酸系共聚合體的感光性樹脂的情形下，感光時的顯影性會變得非常差，會有難以形成適合圖形的問題。
因此，本發明的目的在於，提供一種能夠抑制加水分解性甲矽烷基的架橋反應而得到經時安定性之鹼溶性樹脂、感光性樹脂組合物及其用途。
［為解決問題的方法］為達成上述目的，本發明的鹼溶性樹脂，在溶劑中溶解有共聚合體而形成，前述共聚合體含有含羧基聚合單位與含烷氧基甲矽烷基聚合單位，其特徵在於，前述溶劑包含擁有烷基碳原子數為4或5個的直鏈或分岐鏈之醇。
在上述的鹼溶性樹脂中，前述含羧基聚合單位較佳的為從選自不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或是這些的混合物的第1共聚合性單量體所衍生出來的聚合單位，前述含烷氧基甲矽烷基聚合單位較佳的為從下述式（1）所示的第2共聚合性單量體所衍生出的聚合單位，前述共聚合體較佳的還含有從和前述第1以及第2共聚合性單量體不同的第3共聚合性單量體所衍生之聚合單位。 ［式1］ X－（CH2 ）a －Si（OR）b （CH3 ）3-b
其中，式（1）中的X為乙烯基、苯乙烯基或（甲基）丙烯醯基，R為甲基或乙基，a為0~3的整數，b為1~3的整數。
在上述的鹼溶性樹脂中，較佳的前述聚合單位含有從含羥基不飽和單量體所衍生之含羥基聚合單位。
在上述的鹼溶性樹脂中，較佳的為前述醇係烷基碳原子數為4或5個的第1級醇或第2級醇。
在上述的鹼溶性樹脂中，較佳的為前述醇係烷基碳原子數為4或5個的第1級醇。
在上述的鹼溶性樹脂中，較佳的為前述烷基碳原子數為4個的第1級醇為1-丁醇。
本發明的感光性樹脂組合物，含有上述之鹼溶性樹脂、架橋劑與感光劑。
本發明的硬化物，為藉由活性能量射線將上述的感光性樹脂組合物硬化所形成。
本發明的層間絕緣膜，由上述的硬化物所形成，將配置在層間的配線與配線之間電氣絕緣。
［發明效果］如是本發明之鹼溶性樹脂，抑制加水分解性甲矽烷基的架橋反應，進而可得到經時安定性的效果。
下述，針對將本發明具體化之實施形態做詳細說明。
首先，對鹼溶性樹脂做說明。本實施形態的鹼溶性樹脂藉由共聚合體被溶劑所溶解而形成，共聚合體含有包含羧基（-COOH）之聚合單位與包含烷氧基甲矽烷基［後述式（1）之-Si（OR）b （CH3 ）3-b ］之聚合單位，前述鹼溶性樹脂含有溶劑和溶解在溶劑中的前述共聚合體。前述溶劑包含擁有烷基碳原子數為4或5個的直鏈或是分岐鏈的特定之醇。此鹼溶性樹脂係依照常規方法在溶劑中藉由聚合引發劑使擁有羧基之單量體及擁有烷氧基甲矽烷基之單量體等單量體聚合引發劑聚合而形成的，以無規共聚合體溶解於溶劑中的狀態形成。
前述含羧基之聚合單位，只要係側鏈含有羧基之聚合單位即可，但較佳的為從不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或是這些之混合物衍生之聚合單位。
前述含烷氧基甲矽烷基的聚合單位，只要係側鏈含有烷氧基甲矽烷基的聚合單位即可，較佳的為從下列式（1）所示的單量體衍生之聚合單位。 ［式1］ X－（CH2 ）a －Si（OR）b （CH3 ）3-b ・・・（１）
其中，式（1）中的X為乙烯基、苯乙烯基或是（甲基）丙烯醯基，R為甲基或是乙基，a為0~3的整數，b為1~3的整數。
還有，前述共聚合體較佳的為含有從含羥基不飽和單量體所衍生出來的含羥基之聚合單位。
而且，前述共聚合體較佳的為含有從前述單量體以外的其他共聚合性單量體衍生之其他聚合單位。 接下來，依序說明關於鹼溶性樹脂的各構成要素。
［共聚合體］
（含羧基的聚合單位）前述含羧基的聚合單位具有藉由鹼性顯影液將共聚合體溶解的功用。作為形成含羧基的聚合單位之不飽和羧酸，可以舉出例如：（甲基）丙烯酸、馬來酸、反丁烯二酸、巴豆酸、衣康酸、檸康酸、中康酸以及肉桂酸等。作為不飽和羧酸酐，可以舉出例如：馬來酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐、鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐以及均苯四甲酸二酐等。還有，也可使用這些不飽和羧酸與不飽和羧酸酐之混合物。
這些物質之中，（甲基）丙烯酸在形成層間絕緣膜時可得到漂亮的圖形，因而較佳。含羧基之聚合單位在共聚合體中之含有量，為了將鹼溶性樹脂中的想藉由鹼性顯影液溶解之部分完全溶解，較佳的為3質量%以上，另一方面，為了確實留下不想溶解的部分，較佳的為50質量%以下。此含羧酸聚合單位之含有量特別較佳的為5~30%質量。
（含烷氧基甲矽烷基的聚合單位）
此含烷氧基甲矽烷基的聚合單位具有顯現出共聚合體之耐熱性、耐化學性等特性的功能。作為形成含烷氧基甲矽烷基的聚合單位之由前述式（1）所示的單量體，只要係滿足式（1）條件的單量體，無特別限制，但b較佳的為2或3。在b為2或3的情形下，共聚合體的架橋密度變高，較容易得到充分的耐熱性及耐化學性。
作為像這樣的單量體，可以舉出例如：3-（甲基）丙烯醯氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-（甲基）丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-（甲基）丙烯醯氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、3-（甲基）丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、對-苯乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三乙醯氧基矽烷、烯丙基三甲氧基矽烷等，或是將這些單量體低聚物化或聚合化的化合物。
在共聚合體中，含烷氧基甲矽烷基之聚合單位的含有量，為了得到共聚合體的耐熱性以及耐化學性，較佳的為1質量%以上，為了提升儲藏安定性，較佳的為50%質量以下。此含烷氧基甲矽烷基的聚合單位之含有量，特別較佳的為5~30質量%。
（含羥基之聚合單位）
此含羥基之聚合單位具有在共聚合體形成架橋構造而賦予機械強度等特性之功能。作為形成含羥基之聚合單位的含羥基不飽和單量體，只要係含有羥基之單量體的話，則無特別限制。作為此含羥基不飽和單量體，可以舉出例如：2-羥基乙基（甲基）丙烯酸酯、4-羥基丁基（甲基）丙烯酸酯、5-羥基戊基（甲基）丙烯酸酯、6-羥基己基（甲基）丙烯酸酯、8-羥基辛基（甲基）丙烯酸酯等烷基碳原子數為1~16個的（甲基）丙烯酸羥基烷基酯；己內酯改性2-羥基乙基（甲基）丙烯酸酯等己內酯改性單量體；二乙二醇（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇（甲基）丙烯酸酯等氧化烯改性單量體；其他2-丙烯醯氧基乙基-2-羥基乙基鄰苯二甲酸酯；N-羥甲基（甲基）丙烯醯胺、N-羥基乙基（甲基）丙烯醯胺、1,4-環己二甲醇單丙烯酸酯等含第一級羥基之單量體；2-羥基丙基（甲基）丙烯酸酯、2-羥基丁基（甲基）丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基（甲基）丙烯酸酯、3-氯-2-羥丙基（甲基）丙烯酸酯等含第二級羥基之單量體；2,2-二甲基-2-羥乙基（甲基）丙烯酸酯等含第3級羥基之單量體。
還有，作為含羥基不飽和單量體，也可以使用：二乙二醇（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇單（甲基）丙烯酸酯等聚乙二醇衍生物、聚丙二醇單（甲基）丙烯酸酯等聚丙二醇衍生物、聚（乙二醇-丙二醇）單（甲基）丙烯酸酯、聚（乙二醇-四亞甲基二醇）單（甲基）丙烯酸酯、聚（丙二醇-四亞甲基二醇）單（甲基）丙烯酸酯等氧化烯改性單量體、丙三醇（甲基）丙烯酸酯。
在共聚合體中，含羥基之聚合單位的含有量，為了得到共聚合體的機械強度等特性，較佳的為3質量%以上，為了提昇儲藏安定性，較佳的為40質量%以下。此含羥基之聚合單位的含有量，特別較佳的為5~35質量%。
（其他聚合單位）
其他聚合單位用於形成共聚合體的主要骨幹，得到共聚合體的機械強度等特性。形成其他聚合單位的其他共聚合性單量體，則無特別限制。作為其他共聚合性單量體，具體可以舉出：苯乙烯、α-甲基苯乙烯、叔-丁基苯乙烯、鄰乙烯基甲苯、間乙烯基甲苯、對乙烯基甲苯、對氯苯乙烯、鄰甲氧基苯乙烯、間甲氧基苯乙烯、對甲氧基苯乙烯、鄰乙烯基芐基甲基醚、間乙烯基芐基甲基醚、對乙烯基芐基甲基醚、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚以及對乙烯基芐基縮水甘油基醚等芳香族乙烯基化合物、（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸正丙酯、（甲基）丙烯酸異丙酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲基）丙烯酸異丁酯、（甲基）丙烯酸仲丁酯、（甲基）丙烯酸叔丁酯、2-乙基己基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸辛酯、（甲基）丙烯酸正壬酯、（甲基）丙烯酸異壬酯、（甲基）丙烯酸正癸酯、（甲基）丙烯酸異癸酯、（甲基）丙烯酸月桂酯、（甲基）丙烯酸十三烷基酯、（甲基）丙烯酸十六烷基酯、（甲基）丙烯酸正十八烷基酯、（甲基）丙烯酸異十八烷基酯、（甲基）丙烯酸二十二烷基酯、（甲基）丙烯酸環己酯、（甲基）丙烯酸苯酯、（甲基）丙烯酸四氫糠基酯、（甲基）丙烯酸異冰片酯、2-甲基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、2-乙基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯及2-異丙基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、2-甲氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、二乙二醇單甲醚（甲基）丙烯酸酯、三乙二醇單甲醚（甲基）丙烯酸酯、丙二醇單甲基醚（甲基）丙烯酸酯、二丙二醇單甲醚（甲基）丙烯酸酯、異冰片基（甲基）丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基（甲基）丙烯酸酯、2-氨基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-二甲基氨基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-氨基丙基（甲基）丙烯酸酯、2-二甲基氨基丙基丙烯酸酯、3-氨基丙基（甲基）丙烯酸酯、3-二甲基氨基丙基（甲基）丙烯酸酯、縮水甘油基（甲基）丙烯酸酯、2,2,2-三氟乙基（甲基）丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基（甲基）丙烯酸酯、2,2,2,3,3-五氟丙基（甲基）丙烯酸酯、2,2,3,4,4,4-六氟丁基（甲基）丙烯酸酯、2-（全氟丁基）乙基（甲基）丙烯酸酯、3-全氟丁基-2-羥丙基（甲基）丙烯酸酯、2-（全氟己基）乙基（甲基）丙烯酸酯、3-全氟己基-2-羥丙基（甲基）丙烯酸酯、1H,1H,3H-四氟丙基（甲基）丙烯酸酯、1H,1H,5H-八氟戊基（甲基）丙烯酸酯、1H,1H,7H-十二氟庚基（甲基）丙烯酸酯、全氟辛基乙基（甲基）丙烯酸酯等不飽和羧酸酯等。
在共聚合體中，其他聚合單位的含有量，為了得到共聚合體的機械強度等特性，較佳的為40質量%以上，為了確保共聚合體中的含羧基聚合單位與含烷氧基甲矽烷基之聚合單位的量，較佳的為90質量%以下。其他聚合單位的含有量，特別較佳的為60~80質量%。
［溶劑］
（特定的醇）
作為溶劑中的醇，從可抑制加水分解性甲矽烷基之加水分解，且抑制架橋反應的觀點來看，使用擁有烷基碳原子數為4或5個的直鏈或分岐鏈之特定的醇。作為此特定的醇，可以舉出例如：1-丁醇、2-丁醇、異丁醇、1-戊醇、2-戊醇、2-甲基-1-丁醇、3-甲基-1-丁醇、3-甲基-2-丁醇、2,2-二甲基-1-丙醇等。
這些特定的醇之中，從可高度抑制加水分解性甲矽烷基的架橋反應的觀點來看，較佳的為烷基碳原子數為4或5個的第一級醇或第二級醇，且更較佳的為烷基碳原子數為4或5個的第一級醇。作為烷基碳原子數為4個的第一級醇，可列舉出1-丁醇（正丁醇）以及異丁醇。前述烷基碳原子數為4個的第一級醇之中，從最強抑制加水分解性甲矽烷基的架橋反應的這一觀點來看，較佳的為1-丁醇。
在前述溶劑中，還可以含有除上述特定的醇以外的醇等。
在溶劑中特定的醇之含有量，從鹼溶性樹脂的儲藏安定性的觀點來看，較佳的為20~100質量%，且更較佳的為40~100質量%，特別較佳的為60~100質量%。
溶劑的含有量與前述共聚合體的含有量之比例，從共聚合性單量體順利進行共聚合、以及調製或使用感光性樹脂組合物的容易性等觀點來看，對於共聚合體100質量份，較佳的溶劑為50~300質量份，更較佳的為100~200質量份。
（其他溶劑）
作為其他溶劑，可以舉出例如：甲醇、乙醇、丙醇、已醇等特定的醇以外的醇；乙二醇單甲基醚醋酸酯、乙二醇單乙基醚醋酸酯等乙二醇單烷基醚醋酸酯類；丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚等丙二醇單烷基醚類；丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚等丙二醇二烷基醚類；丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯等丙二醇單烷基醚乙酸酯類；乙基溶纖劑、丁基溶纖劑等溶纖劑類；丁基卡必醇等卡必醇類；乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸正丙酯、乳酸異丙酯等乳酸酯類；乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸異丙酯、丙酸正丁酯、丙酸異丁酯等脂肪族羧酸酯類；3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯等其他酯類；甲苯、二甲苯等芳香族烴類；2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、環己酮等酮類；N-二甲基甲醯胺、N-甲基乙醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯烷酮等醯胺類；γ-丁內酯等內酯類等。
接下來，針對感光性樹脂組合物做說明。
本實施形態的感光性樹脂組合物，含有前述的鹼溶性樹脂、架橋劑和感光劑，亦可進一步包含其他增感劑、著色劑。以下，針對鹼溶性樹脂以外的成分做說明。
［架橋劑］
架橋劑係指擁有光反應性的多官能單量體或是低聚物，由照射活性能量射線而產生架橋進而硬化。前述光反應性分類為自由基硬化型和陽離子硬化型。
作為自由基硬化型的架橋劑，可以舉出：乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、二環戊基二（甲基）丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、三環癸二基二亞甲基二(甲基)丙烯酸酯、三（2-羥乙基）異氰脲酸二（甲基）丙烯酸酯、三（2-羥乙基）異氰脲酸三（甲基）丙烯酸酯、己內酯改性三（2-羥乙基）異氰脲酸三（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、環氧乙烷（以下稱為EO）改性三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、環氧丙烷（以下稱為PO）改性三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、三丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、新戊二醇二（甲基）丙烯酸酯、雙酚A二縮水甘油醚的兩端（甲基）丙烯酸加成物、1,4-丁二醇二（甲基）丙烯酸酯、1,6-己二醇二（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇三（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、聚酯二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、雙三羥甲基丙烷四（甲基）丙烯酸酯、EO改性雙酚A二（甲基）丙烯酸酯、PO改性雙酚A二（甲基）丙烯酸酯、EO改性氫化雙酚A二（甲基）丙烯酸酯、PO改性氫化雙酚A二（甲基）丙烯酸酯、EO改性雙酚F二（甲基）丙烯酸酯、苯酚甲醛聚縮水甘油醚的（甲基）丙烯酸酯、擁有（甲基）丙烯醯基之倍半矽氧烷衍生物等。
作為陽離子硬化型的架橋劑，可以舉出多官能環氧樹脂混合物、雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、氫化雙酚A型環氧樹脂、氫化雙酚F型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、溴化雙酚A型環氧樹脂、聯苯型環氧樹脂、萘型環氧樹脂、芴型環氧樹脂、螺環型環氧樹脂、雙酚烷烴類環氧樹脂、苯酚酚醛型環氧樹脂（phenol novolac epoxy resin）、鄰甲酚酚醛型環氧樹脂（0-cresol novolac epoxy resin）、溴化甲酚酚醛型環氧樹脂、三（羥甲基）甲烷型環氧樹脂、四苯基乙烷型環氧樹脂、醇型環氧樹脂、脂環型環氧樹脂、氧雜環丁烷樹脂等。
進一步，作為架橋劑，可以舉出在雙酚A型環氧樹脂中含有二氧化矽成分的混合樹脂，具體可以舉出荒川化學工業（股）所製造的Compoceran E102B、E202C。除此之外，可以舉出羥甲基三聚氰胺樹脂、烷氧基甲基三聚氰胺樹脂、烷氧基甲基苯代三聚氰胺樹脂以及烷氧基甲基尿素樹脂等，具體可以舉出三和化學（股）所製造的NIKALAC MW-30HM、MW-750LM、MW-270、MW-280、MW-290等。
還有，作為架橋劑，可以舉出含有乙烯基以及環氧基之倍半矽氧烷衍生物，具體可以舉出 荒川化學工業（股）所製造的Compoceran SQ506。
關於此架橋劑的含有量，在將鹼溶性樹脂設為100質量份之情形下，為了讓感光性樹脂組合物的硬化物擁有充分強度，較佳的為10質量份以上，為了由感光性樹脂組合物得到充分的圖案化性，較佳的為100質量份以下。關於架橋劑的含有量，相對於鹼溶性樹脂100質量份，特別較佳的為20~50質量份。
［感光劑］
（光陽離子聚合引發劑）
作為光陽離子聚合引發劑之中的光酸發生劑，只要係由光照射產生酸，能誘發陽離子聚合的化合物即可，無特別限制。
作為代表性的光酸發生劑，可以舉出碘鎓鹽、4-甲基苯基［4-（2-甲基丙基）苯］-六氟磷酸酯（1-）、三苯基鋶、三氟甲磺酸、二苯基4-甲基苯基鋶、三氟甲磺酸、二苯基-2,4,6-三甲基苯基鋶、對甲苯磺酸、4-（4-苯甲醯基-苯硫基）-苯基-2-4-（4-氟代苯基）鋶六氟磷酸酯、4-（4-苯甲醯基苯基硫）苯基-二-（4-（β-羥乙基）苯基）鋶六氟磷酸酯、（甲苯基枯基）碘鎓四（五氟苯基）硼酸鹽等。
關於光酸發生劑的含有量，在將鹼溶性樹脂設為100質量份之情形下，為了得到充分的反應性，較佳的為1質量份以上，為了提升感光性樹脂組合物的儲藏安定性，較佳的為10質量份以下。
（光自由基聚合引發劑）
光自由基聚合引發劑只要係能夠由光照射產生自由基而誘發自由基聚合的化合物即可，無特別限制。作為光自由基聚合引發劑的代表性化合物，可以舉出雙（2,4,6-三甲基苯甲醯基）-苯基氧化膦、2-甲基-1-［4-（甲硫基）苯基］-2-嗎啉基-1-丙酮、2-二甲基氨基-2-（4-甲基芐基）-1-（4-嗎啉基-4-基-苯基）-1-丁酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-（4-嗎啉基苯基）-1-丁酮、雙（2,4,6-三甲基苯甲醯基）-苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲醯基苯基氧化膦、1,2辛二酮、1-［4-（苯硫基）-,2-（鄰苯甲醯基肟）］、乙酮、1-［9-乙基-6-（2-甲基苯甲醯基）-9H-哢唑-3-基］-,1-（鄰乙醯肟）、雙（η5-2，4-環戊二烯-1-基）-雙（2,6-二氟-3-（1H-吡咯-1-基）-苯基）鈦等。
關於光自由基聚合引發劑的含有量，對於鹼溶性樹脂100質量份，為了得到充分反應性，較佳的為1質量份以上，為了提升感光性樹脂組合物的儲藏安定性，較佳的為20質量份以下。
［增感劑］
作為增感劑，可以舉出2,4-二乙基噻噸-9-酮、1-甲氧基萘、1,4-雙（2-羥基丁氧基）萘等的萘衍生物；9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽等的蒽衍生物；1,4-二甲氧基䓛、1,4-二乙氧基䓛等的䓛衍生物；9-羥基菲、9-甲氧基菲等的菲衍生物；呫噸酮、噻噸酮、2,4-二乙基噻噸-9-酮等的（硫代）呫噸酮衍生物；哢唑、N-乙烯基哢唑等的哢唑衍生物。
關於此增感劑的含有量，在鹼溶性樹脂為100質量份的情況下，為了得到充分的反應性，較佳的增感劑的含有量為1質量份以上，為了提升感光性樹脂組合物的儲藏安定性，較佳的增感劑的含有量為20質量份以下。
［著色劑］
作為著色劑，可以使用顏料、染料等。作為此著色劑，包括有機系著色劑和無機系著色劑。作為有機系著色劑，可以舉出例如染料、有機顏料、天然色素等。並且，作為無機系著色劑，可以舉出例如：無機顏料、體質顏料等。
作為有機顏料的具體例，可以舉出：在Color Index（C.I.；THE SOCIETY OF DYERS AND COLOURISTS公司出版）中分類在顏料（PIGMENT）的化合物，比如說：C.I.Pigment Yellow-1、C.I.Pigment Yellow-3、C.I.Pigment Yellow-12、C.I.Pigment Yellow-13、C.I.Pigment Yellow-138、C.I.Pigment Yellow-150、C.I.Pigment Yellow-180、C.I.Pigment Yellow-185等的黃色系顏料；C.I.Pigment Red1、C.I.Pigment Red2、C.I.Pigment Red3、C.I.Pigment Red254、C.I.Pigment Red117等紅色系顏料；以及C.I.Pigment Blue-15、C.I.Pigment Blue-15：3、C.I.Pigment Blue-15：4、C.I.Pigment Blue-15：6等藍色系顏料；C.I.Pigment Violet23：19； CI Pigment Green36。
還有，作為前述無機顏料或是體質顏料的具體例，可以舉出氧化鈦、礬土白、硫酸鋇、碳酸鈣、氧化鋅、硫酸鉛、黃鉛、鋅黃、氧化鐵紅（紅色氧化鐵（III））、鎘紅、群青、普魯士藍、氧化鉻綠、鈷綠、琥珀、炭黑（CB）、鈦黑、氧化鉻、氧化鐵、苯胺黑、苝系顏料、以及C.I.溶劑黑 123等炭黑等。著色劑可單獨或混合2種以上使用。 關於著色劑的含有量，對於鹼溶性樹脂100質量份，為了得到著色能力，較佳的為10質量份以上，為了提升感光性樹脂組合物的圖案化性，較佳的為70質量份以下。
接下來，進行關於感光性樹脂組合物的硬化物說明。
感光性樹脂組合物的硬化物（硬化膜），比方說可用以下方式來形成。
將上述的感光性樹脂組合物塗佈在例如附有電極的玻璃基板或矽晶圓等基材上，藉由乾燥讓溶劑等揮發。之後，透過預定的光罩圖形進行曝光，再由鹼性顯影液顯影，將未曝光部分溶解、去除之後，就可以得到預定的圖形。進一步，經由高溫進行加熱處理後，可形成強韌的硬化物。
作為將感光性樹脂組合物塗佈在基材上的方法，可以採用例如浸漬法、噴塗法、棒塗法、輥塗法、旋塗法等方法。還有，塗佈的厚度能夠藉由塗佈方法、調節感光性樹脂組合物的固體成分濃度或黏度來進行適當的控制。塗佈後的加熱處理條件雖然並無特別限制，但較佳的為於含有感光性樹脂組合物的溶劑的沸點附近。作為加熱設備可使用熱板、烘烤爐、紅外線爐等。
作為在曝光中使用的活性能量射線，可以舉出例如低壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、金屬鹵素燈、ｇ射線步進曝光機、i射線步進曝光機等的紫外線及電子射線、雷射光線等。曝光量可基於所使用的光源、塗佈膜厚等進行適當設定，比方說：在使用超高壓水銀燈進行紫外線照射的情形下，塗佈膜厚為1~10μm時，曝光量為10~500mJ/cm２ 左右即可。
作為由鹼性顯影液顯影的方法，可以舉出噴灑顯影法、噴塗顯影法、浸漬顯影法、劃槳式顯影法等，顯影條件通常為20~40℃、1~10分鐘左右。作為上述鹼性顯影液，可以使用這樣的鹼性水溶液：將氫氧化鈉、氫氧化鉀、氨水、四甲基氫氧化銨（TMAH）等鹼性混合物溶解於水，使濃度達到0.1~10質量%。前述鹼性水溶液中也可以適量添加比方說：甲醇、乙醇等水溶性有機溶劑或介面活性劑等。此外，使用鹼性顯影液顯影後，用水清洗圖案化的塗佈膜，進行乾燥。
曝光後的加熱處理條件無特別限制，依照感光性樹脂組合物的調配量或塗佈膜厚度等，雖有不同，但通常為150~300℃，較佳的為200~250℃，加熱1~120分鐘左右。加熱設備則可使用熱板、烘烤爐、紅外線爐等。
得到的感光性樹脂組合物的硬化物在電氣絕緣性、耐熱性、耐水性、耐化學性、機械強度等的特性都很優秀。因此，感光性樹脂組合物特別適合作為半導體元件的表面保護膜或層間絕緣膜等的材料使用。在這些表面保護膜或層間絕緣膜等上形成孔圖案、浮雕圖形等圖案。
接下來，對本實施形態的鹼溶性樹脂以及感光性樹脂組合物的作用進行說明。
首先，在調製鹼溶性樹脂時，在前述特定的醇的下將擁有羧基之單量體、擁有烷氧基甲矽烷基之矽烷單量體等共聚合而得到鹼溶性樹脂。此時，在矽烷單量體中含有加水分解性甲矽烷基，也就是：含有容易加水分解的烷氧基（-OR），烷氧基進行加水分解而進行架橋反應。在矽烷單量體的烷氧基為甲氧基或乙氧基時，很容易發生由此加水分解之架橋反應。
但是，在本實施形態中使用的溶劑，包含烷基碳原子數為4或5個的特定之醇。因此，推測為，特定醇的碳原子數為4或5個的烷基與矽烷單量體的烷氧基發生某種反應，烷氧基變得難以被置換掉，加水分解被抑制。其結果，加水分解性甲矽烷基的加水分解被抑制，鹼溶性樹脂的分子量之增加也被抑制。
在像這樣得到的鹼溶性樹脂中添加架橋劑、感光劑等而調製成感光性樹脂組合物。對此感光性樹脂組合物照射例如紫外線，從而感光性樹脂組合物進行光聚合而形成硬化物，此硬化物作為層間絕緣膜等使用。之後，藉由浸漬在鹼性顯影液之中，進而形成孔圖形等的圖案。
關於由以上實施形態所發揮的效果，整理於下列記載中。
（1）本實施形態的鹼溶性樹脂係在溶劑中溶解含有含羧基之聚合單位與含烷氧基甲矽烷基之聚合單位的共聚合體而形成，此溶劑包含擁有烷基碳原子數為4或5個的直鏈或分岐鏈之特定的醇。因此，特別是形成共聚合體之際，特定的醇對烷氧基甲矽烷基產生作用，烷氧基甲矽烷基的加水分解被抑制。因此，由烷氧基甲矽烷基的加水分解引起之架橋反應被限制，可防止鹼溶性樹脂的分子量增大。
因此，根據本實施形態的鹼溶性樹脂，可獲得抑制加水分解性甲矽烷基的架橋反應而得到經時安定性的效果。
（2）前述含羧基之聚合單位為從選自不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或是這些的混合物的第1共聚合性單量體所衍生出來的聚合單位，含烷氧基甲矽烷基的聚合單位為從如前述的式（1）所示的第2共聚合性單量體所衍生出的聚合單位，進一步共聚合體還含有從和第1與第2的共聚合性單量體不同的第3共聚合性單量體所衍生出來的聚合單位。
所以，在共聚合體構成為含有在側鏈上擁有羧基之聚合單位、在側鏈上擁有烷氧基甲矽烷基之聚合單位以及在側鏈上擁有烷基等的聚合單位。因此，鹼溶性樹脂顯示出鹼可溶性，可發揮出耐熱性、耐化學性等優良的特性。
（3）前述共聚合體含有從含羥基不飽和單量體衍生之含羥基的聚合單位。因此，能夠在共聚合體上形成架橋構造，可提升共聚合體的機械強度等的特性。
（4）前述醇較佳的為烷基碳原子數為4或5個的第1級醇或第2級醇，而且，更較佳的為烷基碳原子數為4或5個之第1級醇，作為烷基碳原子數為4個的第1級醇，較佳的為1-丁醇。此時，可有效抑制前述共聚合體中的烷氧基甲矽烷基的加水分解。
（5）感光性樹脂組合物含有前述鹼溶性樹脂、架橋劑以及感光劑，藉由活性能量射線硬化，而形成硬化物。所以，感光性樹脂組合物能夠藉由活性能量射線快速硬化而形成硬化物，可容易在半導體元件上形成圖形。
（6）層間絕緣膜由前述硬化物所形成，將配置在層間的配線之間電氣上絕緣。因此，由感光性樹脂組合物之硬化物可更簡單地形成層間絕緣膜，可確保TFT液晶顯示元件、有機EL顯示元件、積體電路顯示元件等的配置在層間之配線相互之間的絕緣性。
［實施例］
以下，將列舉實施例及比較例，以更加具體說明前述實施形態。
（實施例1~15及比較例1~3，鹼溶性樹脂之調製）
在具備有攪拌機、溫度計、冷凝器以及氮氣導入管之試瓶內加入表1所示之溶劑，在氮氣環境下升溫至適當溫度。此外，將表1所示的單量體以及聚合引發劑混合而調製混合液，將此混合液經4小時滴入到前述溶劑中。之後，反應3小時，調製成鹼溶性樹脂。另外，表1中的調合量表示質量份。
【表1】 表1中的簡化符號，表示如下。 　AA：丙烯酸 　MAA：甲基丙烯酸 　KBM503：γ-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷 　KBM502：γ-甲基丙烯醯氧基丙基甲基二甲氧基矽烷 　KBE503：γ-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷 　KBM1403：對-苯乙烯基三甲氧基矽烷 　KBE502：γ-甲基丙烯醯氧基丙基甲基二乙氧基矽烷 　KBM1003：乙烯基三甲氧基矽烷 　HEMA：2-羥基乙基甲基丙烯酸酯 　HPMA：2-羥基丙基甲基丙烯酸酯 　CHDMMA：1,4-環己烷二甲醇單丙烯酸酯 　Sty：苯乙烯 　MMA：甲基丙烯酸甲酯 　BMA：甲基丙烯酸丁酯 　CHMA：甲基丙烯酸環己酯 　IBX-A：丙烯酸異冰片酯 　PBO：叔丁基過氧-2-乙基己酸酯
［鹼溶性樹脂經時安定性評價］
（製作初始樣品）
將實施例1~15及比較例1~3的鹼溶性樹脂溶解在四氫呋喃（THF），使固體成分為2質量%，藉由凝膠滲透色譜法（GPC）量測質量平均分子量（MW）。將其結果作為初期分子量表示在表2上。 （製作經時安定性評價用樣品） 將實施例1~15及比較例1~3的鹼溶性樹脂放入到40℃的烘烤爐內，靜置2週之後，溶解在THF，使固體成分為2質量%，藉由GPC量測質量平均分子量（MW）。其結果作為經時分子量表示在表2上。 還有，將經時分子量相對於初期分子量的分子量增加率（%）顯示於表2上。
【表2】 如表2所示，實施例1~15的鹼溶性樹脂，可抑制經時分子量相對於初期分子量增加，可將分子量增加率抑制至144%以下。另一方面，比較例1~3的鹼溶性樹脂，分子量增加率則大幅增加至243~1291%。 　（實施例16~33及比較例4~6，感光性樹脂組合物的調製以及評價） 將實施例1~15及比較例1~3的鹼溶性樹脂（使用初期調製的鹼溶性樹脂，在40℃下靜置2週之後的鹼溶性樹脂）與表3中表示的架橋劑及感光劑混合，而調製了感光性樹脂組合物。此外，表3中的配合量表示質量份。
【表3】表3中的簡化符號表示如下。 架橋劑A：3',4'-環氧環己基甲基 3,4-環氧環己基甲酸酯 架橋劑B：醚化羥甲基三聚氰胺［三和化學（股）製造之NIKALAC MW30M］ 架橋劑C：二氧化矽摻雜環氧樹脂［荒川化學工業（股）製造之Compoceran E102B］ 架橋劑D：三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯 感光劑E：碘鎓,4-甲酯苯基［4-2-甲基丙基苯］-六氟磷酸鹽 感光劑F：（2,4,6-三甲基苯甲醯基）-苯基氧化膦
接下來，藉由旋塗法將感光性樹脂組合物塗佈在玻璃基板上，使膜厚為約3μm，在105℃的熱板上，進行130秒的預烘烤。接下來，使用描繪有線寬20μm的孔線圖形的光罩，藉由紫外線曝光裝置［三永電氣製作所（股）所製造之UVE-251S］進行紫外線照射。此時，紫外線的累積照射量為200mJ/cm２ 。 接下來，作為鹼性顯影液，使用0.4質量%之TMAH水溶液（溫度：25℃），浸漬30秒後，再以清水沖洗，從而形成規定的圖形。然後，基於下述判定基準，判定感光性樹脂組合物圖案形成之良否。將這些實驗結果表示在表4。 判定基準： ○：已描繪出線寬20μm的孔線圖形。 ╳：無描繪出線寬20μm的孔線圖形。 將關於前述初始調製的鹼溶性樹脂的圖形作為初始圖形，將關於靜置2星期後的鹼溶性樹脂之圖形，作為經時圖形表示於表4。
【表4】 根據表4的結果，實施例16~33的感光性樹脂組合物，無論是初始圖形以及經時圖形，雙方都有形成線寬20μm的孔線圖形。另一方面，比較例4~6的感光性樹脂組合物，初始圖形雖然可以形成線寬20μm的孔線圖形，但其經時圖形卻無法形成線寬20μm的孔線圖形。 還有，關於實施例16~26及30~33的感光性樹脂組合物，使用觸針式的表面形狀測量裝置［ULVAC（股）製造的DekTak］，測量顯影前後的膜厚（μm），從其差值可由下述式計算出殘膜率。 殘膜率（%） =（顯影後的膜厚/初始的膜厚） × 100 將此試驗結果，表示在表5上。
【表5】 前述殘膜率，為了維持圖形的精度或塗佈膜的平面度，較佳的為80%以上。根據表5所示的結果，在實施例16~26及30~33的感光性樹脂組合物上可得到90%以上的殘膜率，可維持圖形的精度、塗佈膜表面的平面度。 接下來，關於實施例16~33的感光性樹脂組合物，則用下述所示方法來評價電氣絕緣性，將其結果表示在表6上。 （電氣絕緣性的評價方法） 藉由旋塗法在蒸鍍有ITO的玻璃基板上塗佈感光性樹脂組合物，塗佈厚度為約3μm，在105℃的熱板上進行130秒的預烘烤。接下來，由前述相同的紫外線曝光裝置進行紫外線照射。此時，紫外線的累積照射量為200mJ/cm2 。接下來，置入已加熱至230℃的烘烤爐內，加熱1個小時。然後，基於下述之判定基準，來判定電氣絕緣性。 （判定基準） 使用測試儀，進行導電性檢查。 〇：無導電性、 ╳：有導電性
【表6】 根據表6的結果，實施例16~33全部都沒有導電性，可保持電氣絕緣性。 還有，也可將前述實施形態，變更成下述方式實施。 ·　作為前述溶劑，亦可選擇多種擁有烷基碳原子數為4或5個的直鏈或分岐鏈之特定的醇。 ·　也可使用兩種以上的不飽和羧酸或2種以上不飽和羧酸酐來形成前述共聚合體之含羧基聚合單位。 ·　前述共聚合體之含烷氧基甲矽烷基聚合單位，也可由前述式（1）所示之複數種類的單量體來加以形成。

Claims (8)

  1. 一種感光性樹脂組合物，其藉由活性能量線的照射進行光聚合而硬化，其特徵在於：該感光性樹脂組合物含有在溶劑中溶解有共聚合體而形成的鹼溶性樹脂、架橋劑、以及感光劑，前述共聚合體含有含羧基聚合單位及含烷氧基甲矽烷基聚合單位，前述溶劑包含擁有烷基碳原子數為4或5個的直鏈或分岐鏈之醇。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其特徵在於，前述含羧基聚合單位為從選自不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或是這些的混合物的第1共聚合性單量體所衍生出來的聚合單位，前述含烷氧基甲矽烷基聚合單位為從下述式(1)所示的第2共聚合性單量體所衍生出的聚合單位，前述共聚合體還含有從和前述第1以及第2共聚合性單量體不同的第3共聚合性單量體所衍生之聚合單位，〔式1〕X-(CH2)a-Si(OR)b(CH3)3-b其中，式(1)中的X為乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯醯基，R為甲基或乙基，a為0~3的整數，b為1~3的整數。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的感光性樹脂組成物，其特徵在於，前述聚合單位含有從含羥基不飽和單量體所衍生之含羥基聚合單位。
  4. 如申請專利範圍第1項~第3項之任何一項所述的感光性樹脂組成物，其特徵在於，前述醇係烷基碳原子數為4或5個的第1級醇或第2級醇。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的感光性樹脂組成物，其特徵在於，前述醇係烷基碳原子數為4或5個的第1級醇。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的感光性樹脂組成物，其特徵在於，前述烷基碳原子數為4個的第1級醇為1-丁醇。
  7. 一種硬化物，藉由活性能量射線將申請專利範圍第1項~第6項之任何一項所述的感光性樹脂組合物硬化而形成。
  8. 一種層間絕緣膜，由如申請專利範圍第7項所述的硬化物所形成，將配置在層間的配線與配線之間電氣絕緣。
TW104131352A 2014-09-26 2015-09-23 Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition and use thereof TWI669287B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP??2014-196958 2014-09-26
JP2014196958A JP6458236B2 (ja) 2014-09-26 2014-09-26 アルカリ可溶性樹脂、感光性樹脂組成物及びその用途

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201612141A TW201612141A (en) 2016-04-01
TWI669287B true TWI669287B (zh) 2019-08-21

Family

ID=55581224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104131352A TWI669287B (zh) 2014-09-26 2015-09-23 Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition and use thereof

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6458236B2 (zh)
KR (1) KR20170063762A (zh)
CN (1) CN106715598B (zh)
TW (1) TWI669287B (zh)
WO (1) WO2016047703A1 (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102139060B1 (ko) * 2015-09-30 2020-07-29 후지필름 가부시키가이샤 레지스트 조성물과, 이를 이용한 레지스트막, 패턴 형성 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법
JP7035889B2 (ja) * 2017-09-28 2022-03-15 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物およびその用途
KR102658153B1 (ko) * 2017-09-28 2024-04-16 제이에스알 가부시끼가이샤 감방사선성 수지 조성물 및 그의 용도
JP7047652B2 (ja) * 2017-09-28 2022-04-05 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物およびその用途
WO2020261905A1 (ja) 2019-06-25 2020-12-30 昭和電工株式会社 感光性樹脂組成物、樹脂硬化膜及び画像表示素子
TW202204475A (zh) * 2020-06-03 2022-02-01 日商富士軟片股份有限公司 硬化性樹脂組成物、硬化膜、積層體、硬化膜之製造方法及半導體器件
WO2024042107A1 (en) 2022-08-26 2024-02-29 Merck Patent Gmbh Composition
WO2024042106A1 (en) 2022-08-26 2024-02-29 Merck Patent Gmbh Composition

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60206802A (ja) * 1984-03-30 1985-10-18 Dainippon Ink & Chem Inc 改良された加水分解性シリル基含有ビニル系重合体の製造法
TW201433881A (zh) * 2013-02-28 2014-09-01 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 層間絕緣膜用感光性樹脂組成物

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4526856A (en) * 1983-05-23 1985-07-02 Allied Corporation Low striation positive diazoketone resist composition with cyclic ketone(s) and aliphatic alcohol as solvents
JPS60206812A (ja) * 1984-03-31 1985-10-18 Dainippon Ink & Chem Inc 改良された加水分解性シリル基含有ビニル系重合体を含む常温硬化性樹脂組成物
JPH02233709A (ja) * 1989-03-08 1990-09-17 Kansai Paint Co Ltd 樹脂、有機液体、非水分散液、水性液体、硬化性組成物及び塗料組成物
KR101068111B1 (ko) * 2005-01-27 2011-09-27 주식회사 동진쎄미켐 감광성 수지 조성물
JP2006337567A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Sekisui Chem Co Ltd フォトレジスト用光硬化性樹脂組成物、カラムスペーサ及び液晶表示素子
JP5135820B2 (ja) * 2007-02-20 2013-02-06 Ｊｓｒ株式会社 アルカリ可溶性重合体、着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよび液晶表示素子
JP5108480B2 (ja) * 2007-11-28 2012-12-26 東京応化工業株式会社 層間絶縁膜用感光性樹脂組成物
JP5375412B2 (ja) * 2009-07-30 2013-12-25 Ｊｓｒ株式会社 微細パターン形成用樹脂組成物および微細パターン形成方法
JP5413666B2 (ja) * 2009-11-20 2014-02-12 Ｄｉｃ株式会社 複合樹脂組成物、それを含むプライマーコート剤、及び積層体
TW201310166A (zh) * 2011-08-31 2013-03-01 Everlight Chem Ind Corp 層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂及感光樹脂組成物
JP5935297B2 (ja) * 2011-11-09 2016-06-15 Jnc株式会社 ポジ型感光性組成物

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60206802A (ja) * 1984-03-30 1985-10-18 Dainippon Ink & Chem Inc 改良された加水分解性シリル基含有ビニル系重合体の製造法
TW201433881A (zh) * 2013-02-28 2014-09-01 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 層間絕緣膜用感光性樹脂組成物

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170063762A (ko) 2017-06-08
WO2016047703A1 (ja) 2016-03-31
TW201612141A (en) 2016-04-01
CN106715598A (zh) 2017-05-24
CN106715598B (zh) 2019-07-19
JP6458236B2 (ja) 2019-01-30
JP2016069400A (ja) 2016-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI669287B (zh) Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition and use thereof
JP6437955B2 (ja) 感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜および液晶表示装置
JP6903705B2 (ja) 感光性シロキサン組成物
JP5616871B2 (ja) ポジ型感光性樹脂組成物、硬化物の製造方法、樹脂パターン製造方法、硬化物及び光学部材
JP5507208B2 (ja) ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、層間絶縁膜、有機ｅｌ表示装置、及び液晶表示装置
KR102373040B1 (ko) 감광성 수지 조성물, 유기 el 소자 격벽, 및 유기 el 소자
TWI675254B (zh) 藍色感光性樹脂組合物、藍色濾光片和具有其的顯示裝置
JP2013534326A (ja) ネガティブ感光性樹脂組成物
JP2011209443A (ja) アルカリ現像性感光性樹脂組成物、及びこれを用いて形成した表示素子向け隔壁、並びに表示素子
JP2019511737A (ja) 低温硬化可能なネガ型感光性組成物
JP5180765B2 (ja) アルカリ現像感光性樹脂組成物及びこれを用いて形成した表示素子隔壁並びに表示素子
TWI665524B (zh) 負型感光性樹脂組合物、使用其形成的光固化圖案和圖像顯示裝置
TWI697736B (zh) 黑色感光性樹脂組合物及含彼之柱狀間隔物
TW201627764A (zh) 光敏樹脂組成物、以此形成之光硬化圖案及具此之圖像顯示裝置
KR20210128464A (ko) 감광성 수지 조성물 및 유기 el 소자 격벽
JP2014153411A (ja) 感光性樹脂組成物及びその硬化物
JP2014174374A (ja) 感光性樹脂組成物及びその硬化物
KR20110001879A (ko) 층간절연막용 포지티브형 감광성 수지 조성물, 층간절연막, 유기ｅｌ 표시 장치, 및 액정 표시 장치
JP2010181866A (ja) ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、層間絶縁膜、有機ｅｌ表示装置、および液晶表示装置
KR102353011B1 (ko) 감광성 수지 조성물, 유기 el 소자 격벽, 및 유기 el 소자
KR102246858B1 (ko) 착색 감광성 수지 조성물, 이를 사용하여 제조된 컬러필터, 및 상기 컬러필터를 포함하는 표시장치
KR102024868B1 (ko) 착색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 컬러필터 및 표시 장치
KR101861067B1 (ko) 흑색 감광성 수지 조성물
TWI802156B (zh) 感光性樹脂組成物及有機ｅｌ元件隔壁
WO2021039020A1 (ja) 感光性樹脂組成物、及び有機ｅｌ素子隔壁