TW201310166A - 層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂及感光樹脂組成物 - Google Patents

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TW201310166A
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Chun-Chin Chou
Chih-Han Chao
Chih-Yi Chang
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Abstract

本發明係提供一種層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其係由包括含環氧結構之丙烯酸系單體、含矽烷之丙烯酸系單體、含芳香環之丙烯酸系單體及選自不同於前述之丙烯酸系單體的不飽和羧酸及/或其酸酐反應的共聚物。本發明復提供一種感光樹脂組成物，其係包括本發明之樹脂、具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑。本發明之樹脂可提供優異的表面硬度、附著力及穿透率，俾符合產業利用的需求。

Description

層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂及感光樹脂組成物
本發明係關於一種樹脂組成物，尤其是一種鹼可溶性丙烯酸系樹脂及其感光樹脂組成物，係用於製造層間絕緣膜暨保護膜。
目前，感光樹脂材料已廣泛應用於印刷電路板(PCB)、積體電路(IC)、液晶顯示面板(LCD)與微機電系統(MEMS)等領域，用於製作，例如光阻劑以及電子元件中的保護層或絕緣層。第2007-156139號日本專利便揭示了一種感光樹脂組成物，其可用於製作液晶顯示面板中之光間隔體，並提供極佳彈性。感光材料是指對光產生反應的材料，其係於吸收光能量後發生分子內部(Intra-reaction)或分子間(Inter-reaction)的變化(例如極性變化、鏈斷裂或鏈交聯)，而導致曝光區與未曝光區對顯影液產生溶解速率上的差異。例如，負型感光材料，係於曝光後產生交聯反應而變成難溶於顯影液；反之，正型感光材料，則於曝光後變成易溶於顯影液，使得曝光區能使用顯影液而除去。光微影技術(photolithography)，即是利用感光材料的特性，透過曝光、顯影等步驟來製作電子元件中的精細圖案。光微影製程中，係利用如紫外光、電子束或X-射線等輻射，透過光罩，對覆蓋於基材上之感光材料進行選擇性的曝光，再利用曝光區與未曝光區之溶解速率上的差異進行顯影，以使光罩上的圖案(例如：線路圖案)轉移至感光材料上。
由於微型化與高積集度(Integration)的發展趨勢，樹脂材料的諸多特性亦需隨之提升。因此，為符合高解析度等要求並滿足樹脂材料之多元化應用，感光樹脂材料必須具有高感光性、高穿透率、高表面硬度、高耐熱性、高平坦度、高抗蝕刻性、低熱膨脹性，以及對基材等之高附著力等特性，以提供產品優異的性能，並提升產品的可靠性及良率。第3994429號日本專利(特開2000-162769)揭露一種可用於形成液晶顯示面板、積體電路裝置或固態影像攝取裝置(solid state image pickup device)中之薄膜的樹脂組成物，其可提供良好的表面平滑度(surface smoothness)、耐熱性(heat resistance)、透明度(transparency)及耐化學性(chemical resistance)。第180311號本國專利則揭示一短波長成像(short wavelength imaging)用之光阻劑，其可提供良好的解析度及對銅基材的附著力。另，第I336711號本國專利揭露一種正型光阻材料，係將多環結構及高極性單元導入樹脂中，以提高乾蝕刻耐性及顯影液親和性。第I342467號本國專利則揭示一種負型光阻劑，其係於樹脂、感光起始劑等成分外，於組成物中添加非水溶性及水溶性單體之混合物，以增加顯影對比。
惟，為符合產業的需求，仍亟需具有高附著力而能耐水洗、耐蝕刻等，並同時提供高表面硬度及高穿透率等特性的樹脂材料。
本發明提供一種樹脂，其可用於感光樹脂組成物，以符合產業利用的需求。本發明之樹脂係由包括含環氧結構之丙烯酸系單體、含矽烷之丙烯酸系單體、含芳香環之丙烯酸系單體及選自不同於該含環氧結構、含矽烷及含芳香環之丙烯酸系單體的不飽和羧酸及/或其酸酐反應的共聚物。根據本發明，該樹脂係鹼可溶性樹脂，其重量平均分子量為5000至30000。
根據本發明一具體實施例，不飽和羧酸係選自丙烯酸及甲基丙烯酸之一者，且該酸酐係選自丙烯酸酐及甲基丙烯酸酐之一者。
根據本發明一具體實施例，含環氧結構之丙烯酸系單體係選自含環氧環己烷環(epoxycyclohexane ring)的丙烯酸系單體。
於本發明之部分態樣中，樹脂係不飽和羧酸及/或其酸酐與丙烯酸系單體之共聚物，該丙烯酸系單體包括甲基丙烯酸系單體及甲基丙烯酸酯系單體。根據本發明一具體實施例，該含環氧結構之丙烯酸系單體為甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯。根據本發明一具體實施例，含矽烷之丙烯酸系單體為甲基丙烯酸3-(三甲氧基矽烷基)丙基酯。根據本發明一具體實施例，含苯環之丙烯酸系單體為甲基丙烯酸苄酯。是以，該環氧結構基團、矽基團及芳香環基團係鍵結於酯基部份。
本發明復提供一種感光樹脂組成物，其包括本發明之樹脂、具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑。
根據本發明一具體實施例，該樹脂的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為10至30 wt%。
根據本發明一具體實施例，該具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物，係具乙烯性不飽和鍵之多官能基化合物，以及該多官能基化合物係能與該樹脂進行聚合或交聯。該具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為5至20 wt%。
根據本發明一具體實施例，該光聚合起始劑的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為0.5至5 wt%。
於本發明之部分態樣中，感光樹脂組成物包括溶劑。溶劑的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為50至80 wt%。
本發明提供之樹脂及其感光樹脂組成物，能在提供高表面硬度及高穿透率的同時，提昇其附著力，以展現優異的耐水洗、耐蝕刻等特性，極符合產業之需求。
以下係藉由特定的具體實施例說明本發明之實施方式，熟習此技藝之人士可由本說明書所揭示之內容瞭解本發明之其他優點與功效。本發明也可藉由其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本創作之精神下進行各種修飾與變更。
除非文中另有說明，否則說明書及所附申請專利範圍中所使用之單數形式「一」及「該」包括複數個體。
除非文中另有說明，否則說明書及所附申請專利範圍中所使用之術語「或」通常包括「及/或」之含義。
本文所使用之術語「重量平均分子量」，係利用凝膠滲透層析(GPC)溶劑：四氫呋喃(THF)，所測定之換算成聚苯乙烯之重量平均分子量(Mw)的值。
本文所使用之術語「丙烯酸系」包含丙烯酸系及甲基丙烯酸系。本文所使用之術語「(甲基)丙烯酸…..」表示包含或不包含括弧內的文字。例如，「(甲基)丙烯酸」包含丙烯酸及甲基丙烯酸，「(甲基)丙烯酸酐」包含丙烯酸酐及甲基丙烯酸酐，以此類推。
本發明提供一種樹脂，由包括含環氧結構之丙烯酸系單體、含矽烷之丙烯酸系單體、含芳香環之丙烯酸系單體及選自不同於該含環氧結構之丙烯酸系單體、含矽烷之丙烯酸系單體及含芳香環之丙烯酸系單體的不飽和羧酸及/或其酸酐反應的共聚物。
根據本發明，該樹脂係鹼可溶性樹脂，其可用於感光樹脂組成物。根據本發明一具體實施例，樹脂之重量平均分子量為5000至30000。
用於本發明之樹脂的不飽和羧酸，並無特別限制。不飽和羧酸的實例包括，但不限於：(甲基)丙烯酸、丁烯酸(crotonic acid)、順丁烯二酸、反丁烯二酸、甲基順丁烯二酸(citroconic acid)、甲基反丁烯二酸、伊康酸(itaconic acid)、己二烯酸及其組合等。用於本發明之樹脂的不飽和羧酸酐，並無特別限制。不飽和羧酸酐的實例包括，但不限於，上述不飽和羧酸之酸酐及其組合等。
根據本發明一具體實施例，樹脂中係含有至少一種不飽和羧酸或其酸酐。根據本發明一具體實施例，不飽和羧酸，較佳為(甲基)丙烯酸。根據本發明一具體實施例，不飽和酸酐，較佳為(甲基)丙烯酸酐。在此等具體實施例的部分態樣中，本發明之樹脂係不飽和羧酸與該含環氧結構、含矽及含芳香環之丙烯酸系單體之共聚物。
根據本發明，不飽和羧酸及/或其酸酐係與該含環氧結構、含矽烷及含芳香環之丙烯酸系單體(下稱丙烯酸系單體)形成共聚物。於一具體實施例中，形成共聚物時，該不飽和羧酸及/或其酸酐的用量，以該不飽和羧酸及/或其酸酐與該丙烯酸系單體之總量為基準計，為10至40莫耳%。
根據本發明一具體實施例，樹脂係不飽和羧酸與丙烯酸系單體之共聚物，該丙烯酸系單體包括含環氧結構之丙烯酸系單體、含矽烷之丙烯酸系單體及含芳香環之丙烯酸系單體。
用於本發明之樹脂的含環氧結構之丙烯酸系單體並無特別限定，只要是含有環氧基團並且能與不飽和羧酸及/或其酸酐共聚合者。含環氧結構之丙烯酸系單體可選自，但不限於，例如，含環氧結構之聚合性不飽和羧酸酯(polymerizable unsaturated carboxylic acid ester)，諸如，含環氧基團之(甲基)丙烯酸酯、其衍生物、其類似物等，及其組合。
含環氧基團之(甲基)丙烯酸酯及其衍生物等的實例包括，但不限於：含有環氧乙烷環(oxirane ring)的(甲基)丙烯酸酯及其衍生物，例如，(甲基)丙烯酸環氧乙酯(oxiranyl(meth)acrylates)、(甲基)丙烯酸環氧丙酯((甲基)丙烯酸縮水甘油酯)、(甲基)丙烯酸2-甲基環氧丙基酯、(甲基)丙烯酸2-乙基環氧丙基酯、(甲基)丙烯酸2-環氧乙基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-環氧丙基氧基乙基酯(2-glycidyloxyethyl(meth)acrylates)、(甲基)丙烯酸3-環氧丙基氧基丙基酯、(甲基)丙烯酸環氧丙基氧基苯基酯(glycidyloxyphenyl(meth)acrylates)等，及其組合；含有環氧環己烷環(epoxycyclohexane ring)的(甲基)丙烯酸酯及其衍生物，例如，(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯、(甲基)丙烯酸2-(3,4-環氧環己基)乙基酯、(甲基)丙烯酸2-(3,4-環氧環己基甲氧基)乙基酯、(甲基)丙烯酸3-(3,4-環氧環己基甲氧基)丙基酯等，及其組合；含有5,6-環氧-2-雙環[2.2.1]庚烷環(5,6-epoxy-2-bicyclo[2.2.1]heptane ring)的(甲基)丙烯酸酯及其衍生物，例如，(甲基)丙烯酸5,6-環氧-2-雙環[2.2.1]庚基酯等；含有3,4-環氧三環[5.2.1.02,6]癸烷的(甲基)丙烯酸酯及其衍生物；含有環氧基團的乙烯基醚及其衍生物；含有環氧基團的烯丙基醚及其衍生物；其類似物等；及其組合。
根據本發明一具體實施例，樹脂中具有至少一種含環氧結構之丙烯酸系單體。根據本發明一具體實施例，含環氧結構之丙烯酸系單體係選自含有環氧環己烷環的(甲基)丙烯酸酯、其衍生物、其類似物等，及其組合，較佳係選自甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯、丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯及其組合，更佳為甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯。
根據本發明一具體實施例，形成共聚物時，該含環氧結構之丙烯酸系單體的用量，以不飽和羧酸及/或其酸酐與所有丙烯酸系單體之總量為基準計，為10至50莫耳%。
用於本發明之樹脂的含矽烷之丙烯酸系單體並無特別限定，只要是含有矽烷並且能與不飽和羧酸及/或其酸酐共聚合者。含矽烷之丙烯酸系單體可選自，但不限於，例如，含矽烷之聚合性不飽和羧酸酯，諸如，含矽烷之(甲基)丙烯酸酯、其衍生物、其類似物等，及其組合。
含矽烷之(甲基)丙烯酸酯及其衍生物等的實例包括，但不限於：3-(三甲氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯(3-(trimethoxysilyl)propyl methacrylate)、3-(三甲氧基矽烷基)丙基丙烯酸酯、2-(三甲氧基矽烷基)乙基甲基丙烯酸酯、三甲氧基矽烷基甲基甲基丙烯酸酯、3-(三乙氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯、3-(三乙氧基矽烷基)丙基丙烯酸酯、2-(三乙氧基矽烷基)乙基甲基丙烯酸酯、三乙氧基矽烷基甲基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯醯氧基丙基三(甲氧基乙氧基)矽烷(methacryloxypropyltri(methoxyethoxy)silane)、3-(甲基丙烯醯氧基)丙基甲基二甲氧基矽烷、3-(丙烯醯氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷、3-(甲基丙烯醯氧基)丙基二甲基乙氧基矽烷、3-(丙烯醯氧基)丙基二甲基乙氧基矽烷、3-[三(三甲基矽烷氧基)矽烷基]丙基甲基丙烯酸酯、3-[三(二甲基乙烯基矽烷氧基)]丙基甲基丙烯酸酯、3-(三氯矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯、N-3-(甲基丙烯醯氧基-2-羥基丙基)-3-胺基丙基三乙氧基矽烷、其衍生物、其類似物等，及其組合。較佳為3-(三甲氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯、3-(三甲氧基矽烷基)丙基丙烯酸酯、2-(三甲氧基矽烷基)乙基甲基丙烯酸酯、三甲氧基矽烷基甲基甲基丙烯酸酯、3-(三乙氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯、3-(三乙氧基矽烷基)丙基丙烯酸酯、2-(三乙氧基矽烷基)乙基甲基丙烯酸酯、其衍生物、其類似物等，及其組合。
根據本發明一具體實施例，樹脂中具有至少一種含矽烷之丙烯酸系單體。根據本發明一具體實施例，含矽烷之丙烯酸系單體係選自3-(三甲氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯、3-(三甲氧基矽烷基)丙基丙烯酸酯、3-(三乙氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯、3-(三乙氧基矽烷基)丙基丙烯酸酯及其組合。較佳係選自3-(三甲氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯、3-(三甲氧基矽烷基)丙基丙烯酸酯及其組合，更佳為3-(三甲氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯。
根據本發明一具體實施例，形成共聚物時，該含矽烷之丙烯酸系單體的用量，以不飽和羧酸及/或其酸酐與所有丙烯酸系單體之總量為基準計，為10至30莫耳%。
用於本發明之樹脂的含芳香環之丙烯酸系單體並無特別限定，只要是含有芳香環並且能與不飽和羧酸及/或其酸酐共聚合者。含芳香環之丙烯酸系單體可選自，但不限於，例如，含芳香環之聚合性不飽和羧酸酯，諸如，含芳香環之(甲基)丙烯酸酯、其衍生物、其類似物等，及其組合，其中該芳香環的碳數為6至10個碳原子。
含芳香環之(甲基)丙烯酸酯及其衍生物等的實例包括，但不限於：丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸甲苯酯、甲基丙烯酸甲苯酯、2-硝基丙烯酸苯酯(2-nitro phenyl acrylate)、2-硝基甲基丙烯酸苯酯、4-硝基丙烯酸苯酯、4-硝基甲基丙烯酸苯酯、2-硝基甲基丙烯酸苄酯(2-Nitro benzyl methacrylate)、4-硝基甲基丙烯酸苄酯、2-氯丙烯酸苯酯(2-Chloro phenyl acrylate)、2-氯甲基丙烯酸苯酯、4-氯丙烯酸苯酯、4-氯甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸2,4,6-三氯苯酯、甲基丙烯酸2,4,6-三氯苯酯、丙烯酸五氯苯酯、甲基丙烯酸五氯苯酯、丙烯酸2,4,6-三溴苯酯、甲基丙烯酸2,4,6-三溴苯酯、丙烯酸五溴苯酯、甲基丙烯酸五溴苯酯、丙烯酸氯苄酯、甲基丙烯酸氯苄酯、丙烯酸1-苯基乙酯、甲基丙烯酸1-苯基乙酯、丙烯酸2-苯基乙酯、甲基丙烯酸2-苯基乙酯、丙烯酸3-苯基丙酯、甲基丙烯酸3-苯基丙酯、丙烯酸四氫苯二甲酯、甲基丙烯酸四氫苯二甲酯、甲基丙烯酸二苯基甲酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、甲基丙烯酸2-苯氧基乙酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、甲基丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、丙烯酸苯氧基二乙二醇酯、甲基丙烯酸苯氧基二乙二醇酯、丙烯酸苯氧基四乙二醇酯、甲基丙烯酸苯氧基四乙二醇酯、丙烯酸苯氧基六乙二醇酯、甲基丙烯酸苯氧基六乙二醇酯、其衍生物、其類似物等，及其組合。
根據本發明一具體實施例，樹脂中具有至少一種含芳香環之丙烯酸系單體。根據本發明一具體實施例，含芳香環之丙烯酸系單體係選自丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸甲苯酯、甲基丙烯酸甲苯酯、其衍生物、其類似物等，及其組合。較佳係選自丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸甲苯酯、甲基丙烯酸甲苯酯及其組合，更佳為甲基丙烯酸苄酯。
根據本發明一具體實施例，形成共聚物時，該含芳香環之丙烯酸系單體的用量，以不飽和羧酸及/或其酸酐與所有丙烯酸系單體之總量為基準計，為10至20莫耳%。
此外，根據本發明一態樣，亦可視需要地添加活性單體以調整樹脂的特性，例如，但不限於，表面硬度、可撓性、附著力、黏度等。根據本發明一具體實施例，可視需要地添加活性單體與不飽和羧酸及/或其酸酐進行共聚合，以製備樹脂。在此等具體實施例的部分態樣中，活性單體係選自乙烯性不飽和單體。於一具體實施例中，活性單體係視需要地選自單官能基單體及多官能基單體。在此等具體實施例的部分態樣中，活性單體係多官能基之乙烯性不飽和單體。
乙烯性不飽和單體可為，例如，但不限於：不飽和羧酸酯；芳香族不飽和單體；含醯胺基的單體；丙酸乙烯酯、乙酸乙烯酯等；及其組合。
乙烯性不飽和單體的實例包括，但不限於：(甲基)丙烯酸酯及其衍生物，例如，(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸三環癸基酯(tricyclodecanyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸氧雜環丁酯(oxetanyl(meth)acrylates)、(甲基)丙烯酸3-甲基-3-氧雜環丁酯、(甲基)丙烯酸3-乙基-3-氧雜環丁酯、(甲基)丙烯酸(3-甲基-3-氧雜環丁基)甲酯((3-methyl-3-oxetanyl)methyl(meth)acrylates)、(甲基)丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環丁基)甲酯、(甲基)丙烯酸2-(3-甲基-3-氧雜環丁基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(3-乙基-3-氧雜環丁基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-[(3-甲基-3-氧雜環丁基)甲氧基]乙酯(2-[(3-methyl-3-oxetanyl)methyloxy]ethyl(meth)acrylates)、(甲基)丙烯酸2-[(3-乙基-3-氧雜環丁基)甲氧基]乙酯、(甲基)丙烯酸3-[(3-甲基-3-氧雜環丁基)甲氧基]丙酯、(甲基)丙烯酸3-[(3-乙基-3-氧雜環丁基)甲氧基]丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃甲酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-(三環[5.2.1.02,6]癸氧基)乙酯(2-(tricyclo[5.2.1.02,6]decyloxy)ethyl(meth)acrylates)等，及其組合。
其他實例如苯乙烯、乙烯基甲苯(例如：鄰乙烯苯、間乙烯苯、對乙烯苯)、α-甲苯乙烯、氯苯乙烯等，及其組合；丙烯醯胺衍生物，例如，(甲基)丙烯醯胺、N-甲基丙烯醯胺、N-乙基甲基丙烯醯胺、N-羥甲基丙烯醯胺、N-羥甲基甲基丙烯醯胺、N-甲氧基甲基丙烯醯胺、N-乙氧基甲基丙烯醯胺、N-丁氧基甲基丙烯醯胺、丙烯腈等及其組合；馬來醯亞胺衍生物；丙酸乙烯酯、乙酸乙烯酯、乙酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等及其組合；異丁烯；及其組合。
樹脂中添加之活性單體，可使用市售之多官能基化合物，例如，但不限於Nikalac MX-302(由Sanwa Chemical Co.,Ltd.製造)；Aronix M-400、M-402、M-403、M-404、M-408、M-450、M-305、M-309、M-310、M-313、M-315、M-320、M-325、M-326、M-327、M-350、M-360、M-208、M-210、M-215、M-220、M-225、M-233、M-240、M-245、M-260、M-270、M-1100、M-1200、M-1210、M-1310、M-1600、M-221、M-203、TO-924、TO-1270、TO-1231、TO-595、TO-756、TO-1343、TO-1382、TO-902、TO-904、TO-905、TO-1330(由Toagosei Co.,Ltd.製造)；Kayarad D-310、D-330、DPHA、DPCA-20、DPCA-30、DPCA-60、DPCA-120、DN-0075、DN-2475、SR-295、SR-355、SR-399E、SR-494、SR-9041、SR-368、R-415、SR-444、SR-454、SR-492、SR-499、SR-502、SR-9020、SR-9035、SR-111、SR-212、SR-213、SR-230、SR-259、SR-268、SR-272、SR-344、SR-349、SR-368、SR-601、SR-602、SR-610、SR-9003、PET-30、T-1420、GPO-303、TC-120S、HDDA、NPGDA、TPGDA、PEG400DA、MANDA、HX-220、HX-620、R-551、R-712、R-167、R-526、R-551、R-712、R-604、R-684、TMPTA、THE-330、TPA-320、TPA-330、KS-HDDA、KS-TPGDA、KS-TMPTA(由Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)；Light Acrylate PE-4A、DPE-6A、DTMP-4A(由Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.製造)等，及其組合。
根據本發明一具體實施例，活性單體較佳為(甲基)丙烯酸酯及其衍生物。於此實施例的部分態樣中，樹脂為不飽和羧酸及/或其酸酐與丙烯酸系單體之共聚物，該丙烯酸系單體包括含環氧結構之丙烯酸系單體、含矽烷之丙烯酸系單體、含芳香環之丙烯酸系單體及活性單體。
形成共聚物時，該活性單體的用量，以不飽和羧酸及/或其酸酐、所有丙烯酸系單體之總量為基準計，為40至90莫耳%。
樹脂的製備可利用聚合反應來進行，聚合反應通常於自由基起始劑的存在下進行。自由基起始劑並無特別限制，可使用此技術領域中一般所使用之自由基起始劑。可使用一種或一種以上的自由基起始劑。當使用二種或更多種的自由基起始劑之混合物時，混合比例並無特別限定。自由基起始劑的用量，以不飽和羧酸及/或其酸酐、所有丙烯酸系單體之總量為基準計，較佳為1至10 wt%。聚合的溫度通常為50至80℃，以60至70℃為佳。
聚合反應通常於溶劑的存在下進行，較佳為使用足以溶解樹脂中各成分、自由基起始劑及所製得之樹脂的溶劑。溶劑並無特別限制，可使用此技術領域中一般所使用之溶劑。可使用一種或一種以上的溶劑。當使用二種或更多種的溶劑之混合物時，混合比例並無特別限定。溶劑的量並無限制，以以不飽和羧酸及/或其酸酐、所有丙烯酸系單體之總量為基準計，較佳為50至80 wt%。
本發明之樹脂係鹼可溶性樹脂，其可用於感光樹脂組成物。
本發明復提供感光樹脂組成物。根據本發明一具體實施例，感光樹脂組成物係包括本發明之樹脂、具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物及光聚合起始劑。
該樹脂的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為10至30 wt%，較佳為15至25 wt%，根據本發明一具體實施例，係將製備完成之樹脂，與具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物及光聚合起始劑混合，以獲得感光樹脂組成物。
用於本發明之感光樹脂組成物的具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物，係於吸收光能量後能與樹脂進行聚合/交聯。用於本發明之具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物並無特別限制，只要能於吸收光能量後與樹脂進行聚合/交聯。根據本發明一具體實施例，具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物係選自具乙烯性不飽和鍵之單體及/或寡聚體。根據本發明一具體實施例，具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物係視需要地選自具單官能基者及/或具多官能基者(本文中所用「多官能基」具有慣用意義，係指含有大於1個之官能基者)。在此等具體實施例的部分態樣中，具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物係選自多官能基之聚合性化合物。
具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物的實例包括，但不限於：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸三環癸基酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸氧雜環丁酯、(甲基)丙烯酸3-甲基-3-氧雜環丁酯、(甲基)丙烯酸3-乙基-3-氧雜環丁酯、(甲基)丙烯酸(3-甲基-3-氧雜環丁基)甲酯、(甲基)丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環丁基)甲酯、(甲基)丙烯酸2-(3-甲基-3-氧雜環丁基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(3-乙基-3-氧雜環丁基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-[(3-甲基-3-氧雜環丁基)甲氧基]乙酯、(甲基)丙烯酸2-[(3-乙基-3-氧雜環丁基)甲氧基]乙酯、(甲基)丙烯酸3-[(3-甲基-3-氧雜環丁基)甲氧基]丙酯、(甲基)丙烯酸3-[(3-乙基-3-氧雜環丁基)甲氧基]丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃甲酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-(三環[5.2.1.02,6]癸氧基)乙酯等，及其組合；苯乙烯、乙烯基甲苯(例如：鄰乙烯苯、間乙烯苯、對乙烯苯)、α-甲苯乙烯、氯苯乙烯等，及其組合；丙烯醯胺衍生物，例如，(甲基)丙烯醯胺、N-甲基丙烯醯胺、N-乙基甲基丙烯醯胺、N-羥甲基丙烯醯胺、N-羥甲基甲基丙烯醯胺、N-甲氧基甲基丙烯醯胺、N-乙氧基甲基丙烯醯胺、N-丁氧基甲基丙烯醯胺、丙烯腈等及其組合；馬來醯亞胺衍生物；丙酸乙烯酯、乙酸乙烯酯、乙酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等及其組合；異丁烯；及其組合。
具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物，可使用市售之多官能基化合物，例如，但不限於Nikalac MX-302(由Sanwa Chemical Co.,Ltd.製造)；Aronix M-400、M-402、M-403、M-404、M-408、M-450、M-305、M-309、M-310、M-313、M-315、M-320、M-325、M-326、M-327、M-350、M-360、M-208、M-210、M-215、M-220、M-225、M-233、M-240、M-245、M-260、M-270、M-1100、M-1200、M-1210、M-1310、M-1600、M-221、M-203、TO-924、TO-1270、TO-1231、TO-595、TO-756、TO-1343、TO-1382、TO-902、TO-904、TO-905、TO-1330(由Toagosei Co.,Ltd.製造)；Kayarad D-310、D-330、DPHA、DPCA-20、DPCA-30、DPCA-60、DPCA-120、DN-0075、DN-2475、SR-295、SR-355、SR-399E、SR-494、SR-9041、SR-368、R-415、SR-444、SR-454、SR-492、SR-499、SR-502、SR-9020、SR-9035、SR-111、SR-212、SR-213、SR-230、SR-259、SR-268、SR-272、SR-344、SR-349、SR-368、SR-601、SR-602、SR-610、SR-9003、PET-30、T-1420、GPO-303、TC-120S、HDDA、NPGDA、TPGDA、PEG400DA、MANDA、HX-220、HX-620、R-551、R-712、R-167、R-526、R-551、R-712、R-604、R-684、TMPTA、THE-330、TPA-320、TPA-330、KS-HDDA、KS-TPGDA、KS-TMPTA(由Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)；Light Acrylate PE-4A、DPE-6A、DTMP-4A(由Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.製造)等，及其組合。
根據本發明一具體實施例，具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為5至20 wt%，較佳為10至15 wt%。
用於本發明之感光樹脂組成物的光聚合起始劑並無特別限制，可使用吸收光能量後能引發自由基聚合反應的光聚合起始劑。
光聚合起始劑的實例包括，但不限於：苯偶姻及其烷醚，例如，苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻苯基醚(benzoin phenyl ether)、乙醯苯偶姻；苯乙酮，例如，苯乙酮、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2，2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1，1-二氯苯乙酮；胺基苯乙酮，例如，2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙-1-酮、2-苯甲基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁-1-酮；蒽醌，例如，2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-第三丁基蒽醌、1-氯蒽醌、2-戊基蒽醌(2-amylanthraquinone)；噻噸酮(thioxanthone)及氧葱酮(xanthone)，例如，2，4-二甲基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2，4-二異丙基噻噸酮；縮酮，例如，苯乙酮二甲基縮酮、苯甲基二甲基酮；二苯酮，例如，二苯酮、4,4'-雙(N,N'-二-甲基-胺基)二苯酮(4,4'-bis(N,N'-di-methyl-amino)benzophenone)、4,4'-雙(N,N'-二-乙基-胺基)二苯酮；吖啶衍生物(acridine derivative)；啡啉衍生物(phenazine derivative)；喹噁啉衍生物(quinoxaline derivative)；三苯基膦；膦氧化物，例如，(2，6-二甲氧基苯甲醯基)-2，4，4-戊基膦氧化物((2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-pentyl phosphihe oxide)、雙(2，4，6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenyl phosphine oxide)、2，4，6-三甲基苯甲醯基-二苯基膦氧化物(2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl phosphine oxide)、乙基-2，4，6-三甲基苯甲醯基-苯基膦氧化物(ethyl-2,4,6-trimethylbenzoyl-phenyl phosphinate)；1-苯基-1,2-丙二酮-2-O-苯甲醯基肟(1-phenyl-1,2-propanedione 2-O-benzoyl oxime)；4-(2-羥基乙氧基)苯基-(2-丙基)-酮(4-(2-hydroxyethoxy)Phenyl-(2-propyl)ketone)；1-胺基苯基酮(1-aminophenyl ketone)及1-羥基苯基酮(1-hydroxy phenyl ketone)，例如，1-羥基環己基苯基酮、2-羥基異丙基苯基酮、苯基1-羥基異丙基酮(phenyl 1-hydroxyiSopropyl ketone)、4-異丙基苯基1-羥基異丙基酮(4-isopropylphenyl 1-hydroxyisopropyl ketone)；各種過氧化物(peroxide)；及其組合。
根據本發明一具體實施例，光聚合起始劑的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為0.5至5 wt%，較佳為1至3 wt%。
根據本發明一具體實施例，感光樹脂組成物可視需要的包括溶劑。感光樹脂組成物所使用之溶劑並無特別限定，只要可將感光樹脂組成物的成分分散或溶解，而不與這些成分起反應，並且，具有適度之揮發性及適當的乾燥速率，且於揮發後能提供均勻且平滑的塗膜。可使用此技術領域中一般所使用之溶劑。
溶劑的實例包括，但不限於：溶劑的實例包括，但不限於：醚類，例如，乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單正丙醚、乙二醇單正丁醚、二甘醇單甲醚、二甘醇單乙醚、二甘醇單正丙醚、二甘醇單正丁醚、三甘醇單甲醚、三甘醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單正丙醚、丙二醇單正丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單正丙醚、二丙二醇單正丁醚、二丙二醇單甲醚、三丙二醇單乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙醚、二甘醇二乙醚及四氫呋喃等；酮類，例如，甲基乙基酮、環己酮、2-庚酮及3-庚酮等；酯類，例如，乳酸乙酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、二甘醇單甲醚乙酸酯、二甘醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)、2-羥基丙酸甲酸、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧乙基丙酸酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酸、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸正戌酸、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯及2-羥基丁酸乙酯等；芳香族類，例如，甲苯及二甲苯等；醯胺族類，例如，N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲醯胺及N,N-二甲基乙醯胺等。較佳為環己酮、乳酸乙酯、乙二醇單甲醚、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯以及3-乙氧乙基丙酸酯。可使用一種或一種以上的溶劑。當使用二種或更多種的溶劑之混合物時，混合比例並無特別限定。
此外，上述溶劑亦可與苄基乙醚、二-正己醚、乙睛丙酮、異佛爾酮、己酸、庚酸、1-辛醇、1-萘醇、芐醇、醋酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、γ-丁內酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、乙二醇單苯醚醋酸酯等高沸點溶劑併用。
於一具體實施例中，溶劑的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為50至80 wt%，較佳為55至75 wt%。
根據本發明一具體實施例，感光樹脂組成物可視需要的包括添加劑。添加劑的實例包括，但不限於：改質劑(modifier)、韌化劑(toughener)、安定劑(stabilizer)、消泡劑、分散劑(dispersant)、調平劑(leveling agent)、增厚劑(thickening agent)、增強劑(reinforcing agent)、偶合劑(coupling agent)、增撓劑(flexibility-imparting agent)、塑化劑(plasticizer)、增感劑(sensitizers)、水、阻燃劑、抗氧化劑、抗靜電劑、熱固劑、界面活性劑、顏料、染料、填料、抗沉降劑及其類似物等，及其組合。
於一具體實施例中，添加劑的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，通常不超過5 wt%。
根據本發明一具體實施例，感光樹脂組成物可用於製作光阻劑，尤其是負型光阻劑。在此等具體實施例的部分態樣中，感光樹脂組成物係施用至基材後，經乾燥、曝光、顯影以圖案化。在此等具體實施例的部分態樣中，將施用於基材之感光樹脂組成物圖案化後，可進一步對基材進行蝕刻或鍍覆。
感光樹脂組成物可施用於各種基材(包含無機材料、有機材料或其混合物等)，例如，但不限於：玻璃基板、矽基板(如：矽、二氧化矽、經摻雜之二氧化矽、氮化矽、多晶矽等)、Al基板、GaAs基板、鉭基板、銅基板、陶瓷基板、鋁/銅混合物基板、聚碳酸酯基板、聚酯基板、聚醯胺基板、聚醯胺醯亞胺基板、聚醯亞胺基板、醋酸纖維素基板、聚苯乙烯、苯乙烯-丙烯腈共聚物、酚系樹脂、環氧樹脂等及其類似物。該等基板亦可進行藥品(如，有機矽烷偶合劑等)處理、電漿處理、濺鍍處理、離子鍍處理、氣相反應處理、真空蒸鍍處理等前處理。基材為矽基板時，其表面亦可形成有電位偶合元件(Charge Couple Device，CCD)、薄膜電晶體(Thin Film Transistor，TFT)等。
感光樹脂組成物係施用至基材後，可加熱以進行軟烤。接著，利用適當之光罩以適當光源對塗覆感光樹脂組成物之基材進行選擇性曝光，以獲得所需之圖案。曝光完成後，將基材浸漬於鹼性顯影劑中，直至未曝光區之光阻層完全或幾乎被溶解。之後將基材取出進行熱處理(硬烤)。
根據本發明一具體實施例，感光樹脂組成物可用於製作電子元件中的保護層或絕緣層。
本發明之感光樹脂組成物可提供適當的顯影能力及高穿透率，並同時提昇其表面硬度及附著力，展現優異的耐水洗、耐蝕刻等特性，提升產品的可靠性及良率。
本發明將藉由實施例更具體地說明，但該等實施例並非用於限制本發明之範疇。除非特別指明，於下列實施例與比較實施例中用於表示任何成份的含量以及任何物質的量的“%”及“重量份”係以重量為基準。
實施例 樹脂的製備
樹脂1：在備有攪拌機、溫度計、回流冷卻管、滴下漏斗及氮導入管之內容積6L的燒瓶中，裝入MEDG(二乙二醇單甲基乙基醚(Methyl Ethyl Di Glycol)) 270克，攪拌後昇溫至65℃恆溫。另將2,2’-偶氮雙異丁腈(聚合起始劑)14.2克、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯(鏈轉移劑)4克、3-(三甲氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯33.5克(A-174，莫耳比=18%)、丙烯酸2-(三環[5.2.1.02,6]癸氧基)乙酯31.7克(TCDMA，莫耳比=19%)、甲基丙烯酸12.3克(MAA，莫耳比=19%)、甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯40.0克(M-100，莫耳比=26%)、甲基丙烯酸苄酯25.3克(BzMA，莫耳比=18%)加入燒瓶中攪拌使其溶解，溶解後升溫至75℃並恆溫2.5小時，獲得樹脂共聚物溶液，固含率31.8重量%，平均分子量(Mw)為8000。
樹脂2至樹脂6依照上述樹脂1方式配製，其中樹脂4至樹脂6應用於比較例，組成如表一：
A-174：3-(三甲氧基矽烷基)丙基甲基丙烯酸酯
STYRENE：苯乙烯
TCDMA：甲基丙烯酸三環癸基酯
MAA：甲基丙烯酸
M-100：甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯
THFMA：甲基丙烯酸四氫呋喃甲酯
BzMA：甲基丙烯酸苄酯
HEMA：甲基丙烯酸-2-羥基乙酯
固含率：在已恆重的稱量瓶中，稱取1克樣品(樹脂共聚物溶液)，於105℃恆溫乾燥箱中乾燥12小時，冷卻後稱重，計算固含率，一般由此推定聚合的達成率，未聚合的單體會以液體的形式存在，聚合物以固體存在。
層間絕緣膜暨保護膜用樹脂組成物的製備 實施例1
均勻混合樹脂1(換算成樹脂的固含量為15.60克)之溶液50克、CGI 242(光聚合起始劑，由巴斯夫(BASF)公司製造)2克、丙烯酸二新戊四醇酯(Aronix M 400，具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物)15克及丙二醇單甲基醚乙酸酯(溶劑)33克，配置成100克的樹脂組成物，然後以0.2 μm(微米)的過濾器過濾此溶液，以獲得樹脂組成物。
實施例2至3
分別以樹脂2及樹脂3取代實施例1中的樹脂1，根據實施例1的步驟，分別製備樹脂組成物。
比較例1至3
分別以樹脂4、樹脂5、樹脂6取代實施例1中的樹脂1，根據實施例1的步驟，分別製備樹脂組成物。
測試
接著，以如下方法對上述所得之組成物進行附著力(adhesion)、表面硬度(surface hardness)、穿透率(transmittance)及顯影能力等之測試。
分別將上述所得之樹脂組成物，以旋轉塗佈(轉速1000 rpm，7秒)的方式均勻塗佈在鍍有ITO(銦錫氧化物)的導電玻璃基材上。於烘箱中以100℃進行軟烤(Pre-bake)10分鐘。透過光罩，並以150 mJ/cm2的曝光能量對樹脂組成物進行曝光(Exposure)。以流動的去離子水清洗(Rinse)30秒後，於烘箱中以230℃進行硬烤(Post-bake)30分鐘。依照下述的方法，對樹脂組成物形成於基材上的薄膜進行測試，以評估樹脂組成物的特性。
(1)水洗後之附著力
將形成有樹脂組成物薄膜之基材浸泡在去離子水，在80℃下維持1小時。接著，以百格刮刀及3M膠帶測試樹脂組成物對基材之附著力(ASTM D3359測試法)，以評估蝕刻後薄膜對基材之附著力，在評價分數中，5B的附著力最佳，4B次之，而0B最差。
(2)蝕刻後之附著力
將形成有樹脂組成物薄膜之基材浸泡在氯化鐵之酸蝕刻液中(HCl：215ml，37wt%；H2O：69.2ml；FeCl3：16.8ml，15 wt%)，在40℃下維持3分鐘。接著，以百格刮刀及3M膠帶測試對基材之附著力(ASTM D3359測試法)，以評估蝕刻後薄膜對基材之附著力，在評價分數中，5B的附著力最佳，4B次之，而0B最差。
結果示於下表二中，由表二可知，以本發明實施例之樹脂所製備的感光樹脂組成物，對蝕刻液具有良好的抗性，並在蝕刻後對基材表現優異的附著力。
(3)表面硬度
對由樹脂組成物形成之薄膜，進行鉛筆劃痕試驗(Pencil Scratch Hardness Test)，以評估薄膜的表面硬度。結果示於下表中，其中，6B表示硬度最差，6H表示硬度最佳，例如：若使用H鉛筆表面無刮痕，使用2H鉛筆表面也無刮痕，但使用3H鉛筆表面有刮痕，則判定試驗片之硬度為2H。
由表二可知，以本發明實施例之樹脂所製備的感光樹脂組成物，提供了良好的表面硬度。
(4)230℃穿透率
利用顯微分光光度計(MX-50，OLYMPUS公司製)，以400nm的波長，測定由樹脂組成物形成之薄膜的光穿透率。
結果示於下表二中，由表二可知，以本發明實施例之樹脂所製備的感光樹脂組成物，在提供良好之附著力及表面硬度的同時，也能維持高的穿透率。
(5)顯影能力
分別將樹脂組成物，以前述之方式進行塗佈、軟烤之後以包含30um開孔之圖形的光罩曝光。並以KOH 0.04%在25℃顯影60sec後以流動的去離子水清洗(Rinse)30秒後，硬烤後於顯微鏡下量測開孔值。其結果如表二：
本發明實施例之樹脂所製備的感光樹脂組成物，可提供適當的顯影能力及穿透率，並同時提昇其表面硬度及附著力，展現優異的耐水洗、耐蝕刻等特性，提升產品的可靠性及良率，實符產業利用的需求。
上述實施例僅例示性說明本發明之組成物與製備方法，而非用於限制本發明。任何熟習此項技藝之人士均可在不違背本發明之精神及範疇下，對上述實施例進行修飾與改變。因此，本發明之權利保護範圍，應如後述之申請專利範圍所載。

Claims (15)

  1. 一種層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其係由包括含環氧結構之丙烯酸系單體、含矽烷之丙烯酸系單體、含芳香環之丙烯酸系單體及選自不同於該含環氧結構、含矽烷及含芳香環之丙烯酸系單體的不飽和羧酸及/或其酸酐反應的共聚物。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其中，該不飽和羧酸係選自丙烯酸及甲基丙烯酸之一者，且該酸酐係選自丙烯酸酐及甲基丙烯酸酐之一者。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其中，該不飽和羧酸係甲基丙烯酸。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其中，含環氧結構之丙烯酸系單體係選自含環氧環己烷環的丙烯酸系單體。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其中，該含環氧結構之丙烯酸系單體為甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯或丙烯酸3,4-環氧環己基甲基酯。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其中，該含矽烷之丙烯酸系單體為甲基丙烯酸3-(三甲氧基矽烷基)丙基酯。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其中，該含芳香環之丙烯酸系單體為甲基丙烯酸苄酯。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其中，該含芳香環之丙烯酸系單體為甲基丙烯酸三環癸基酯。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之樹脂，其重量平均分子量為5000至30000。
  10. 一種層間絕緣膜暨保護膜用之感光樹脂組成物，包括如申請專利範圍第1至9項中任一項所述之樹脂、具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑。
  11. 如申請專利範圍第9項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之感光樹脂組成物，其中，該樹脂的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為10至30 wt%。
  12. 如申請專利範圍第9項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之感光樹脂組成物，其中，該具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為5至20 wt%。
  13. 如申請專利範圍第9項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之感光樹脂組成物，其中，該光聚合起始劑的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為0.5至5 wt%。
  14. 如申請專利範圍第9項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之感光樹脂組成物，其中，該具乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物，係具乙烯性不飽和鍵之多官能基化合物，且該多官能基化合物係能與該樹脂進行聚合或交聯者。
  15. 如申請專利範圍第9項所述之層間絕緣膜暨保護膜用之感光樹脂組成物，其中，該溶劑的含量，以該感光樹脂組成物的總重為基準計，為50至80 wt%。
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