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薄膜形成装置
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다증발원을 이용한 동시증착에서 균일하게 혼합된 박막의증착을 위한 증발 영역조절장치
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マスク蒸着方法及び装置、マスク及びマスクの製造方法、表示パネル製造装置、表示パネル並びに電子機器
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순차측면결정화를 위한 마스크 및 이를 이용한 실리콘결정화 방법
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パターンの形成方法及びパターン形成装置、デバイスの製造方法、導電膜配線、電気光学装置、並びに電子機器
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蒸着マスクおよびこれを用いた表示装置の製造方法、ならびに表示装置
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2003-07-28 |
2005-02-17 |
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蒸着用マスク、この蒸着用マスクを用いた成膜方法及びこの蒸着用マスクを用いた成膜装置
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2003-08-14 |
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유기 전계 발광층 증착용 증착원
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Evaporation source for evaporating an organic electroluminescent layer
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삼성전자주식회사 |
저압 화학기상증착 장치의 압력조절 시스템
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(ko)
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2003-10-24 |
2005-04-29 |
삼성전자주식회사 |
바라트론 센서
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(ko)
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2003-11-12 |
2005-10-10 |
삼성전자주식회사 |
다중 안테나를 사용하는 직교주파수분할다중 시스템에서간섭신호 제거 장치 및 방법
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(ja)
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2004-02-02 |
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蒸着マスク及び有機el表示デバイスの製造方法
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2005-09-02 |
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蒸着装置及び有機el装置の製造方法
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2004-03-31 |
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Sanyo Electric Co Ltd |
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
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2004-04-07 |
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Mikuni Corp |
ビートプレート
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2004-07-15 |
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膜形成方法、発光装置の作製方法
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2004-07-21 |
2006-01-27 |
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유기 전계 발광층 증착 방법
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2004-08-24 |
2006-03-02 |
Tohoku Pioneer Corp |
成膜源、真空成膜装置、有機elパネルの製造方法
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2004-08-25 |
2006-05-12 |
삼성에스디아이 주식회사 |
수직 이동형 유기물 증착 장치
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有機電界発光装置およびその製造方法
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KR101070539B1
(ko)
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2004-09-08 |
2011-10-05 |
도레이 카부시키가이샤 |
증착 마스크 및 이를 사용한 유기 전계 발광 장치의 제조 방법
|
KR100700641B1
(ko)
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2004-12-03 |
2007-03-27 |
삼성에스디아이 주식회사 |
레이저 조사 장치, 패터닝 방법 및 그를 이용한 레이저열전사 패터닝 방법과 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법
|
KR20060073367A
(ko)
|
2004-12-24 |
2006-06-28 |
엘지전자 주식회사 |
클리닝룸의 유기물 처리장치
|
KR100600357B1
(ko)
|
2005-01-05 |
2006-07-18 |
삼성에스디아이 주식회사 |
증착시스템용 증착원의 구동축 밀폐장치 및 이를 구비한증착시스템
|
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(ko)
|
2005-01-05 |
2008-01-21 |
삼성에스디아이 주식회사 |
수직이동형 증착시스템
|
KR100645719B1
(ko)
|
2005-01-05 |
2006-11-14 |
삼성에스디아이 주식회사 |
물질증착용 증착원 및 이를 구비한 증착장치
|
JP4384109B2
(ja)
|
2005-01-05 |
2009-12-16 |
三星モバイルディスプレイ株式會社 |
蒸着システム用蒸着源の駆動軸及びこれを具備した蒸着システム
|
KR101200693B1
(ko)
|
2005-01-11 |
2012-11-12 |
김명희 |
대면적 유기박막 제작용 선형 다점 도가니 장치
|
KR20060083510A
(ko)
|
2005-01-17 |
2006-07-21 |
삼성전자주식회사 |
결함성 부산물들을 제거하는 포토마스크 장비
|
JP4440837B2
(ja)
|
2005-01-31 |
2010-03-24 |
三星モバイルディスプレイ株式會社 |
蒸発源及びこれを採用した蒸着装置
|
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(ko)
|
2005-04-15 |
2007-04-03 |
삼성에스디아이 주식회사 |
증발원 및 이를 채용한 증착장치
|
US7918940B2
(en)
|
2005-02-07 |
2011-04-05 |
Semes Co., Ltd. |
Apparatus for processing substrate
|
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(ko)
|
2005-03-31 |
2007-05-17 |
세메스 주식회사 |
기판 이송 장치 및 기판 상에 유기 박막을 증착하는 장치
|
KR100687007B1
(ko)
|
2005-03-22 |
2007-02-26 |
세메스 주식회사 |
유기전계 발광 소자 제조에 사용되는 유기 박박 증착 장치
|
JP2006275433A
(ja)
|
2005-03-29 |
2006-10-12 |
National Institute Of Advanced Industrial & Technology |
吸収式小型冷却及び冷凍装置
|
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(ko)
|
2005-03-31 |
2006-10-25 |
세메스 주식회사 |
기판 처리 장치
|
KR100773249B1
(ko)
|
2005-04-18 |
2007-11-05 |
엘지전자 주식회사 |
유기 전계 발광층 형성용 마스크
|
KR100797787B1
(ko)
|
2005-06-03 |
2008-01-24 |
주식회사 아이엠티 |
레이저를 이용한 건식세정시스템
|
JP4655812B2
(ja)
|
2005-08-08 |
2011-03-23 |
カシオ計算機株式会社 |
楽音発生装置、及びプログラム
|
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(ko)
|
2005-08-31 |
2007-04-25 |
삼성에스디아이 주식회사 |
유기 증착원 및 이의 가열원 제어방법
|
KR20070035796A
(ko)
|
2005-09-28 |
2007-04-02 |
엘지전자 주식회사 |
유기 전계발광 표시소자의 제조장치
|
KR100696547B1
(ko)
|
2005-12-09 |
2007-03-19 |
삼성에스디아이 주식회사 |
증착 방법
|
JP5064810B2
(ja)
|
2006-01-27 |
2012-10-31 |
キヤノン株式会社 |
蒸着装置および蒸着方法
|
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(ko)
|
2006-02-08 |
2007-08-13 |
주식회사 아바코 |
유기물증발 보트
|
KR20070084973A
(ko)
|
2006-02-22 |
2007-08-27 |
삼성전기주식회사 |
고출력 반도체 레이저소자
|
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(ko)
|
2006-03-31 |
2007-10-05 |
삼성전자주식회사 |
반도체 제조설비
|
KR20070105595A
(ko)
|
2006-04-27 |
2007-10-31 |
두산메카텍 주식회사 |
유기박막 증착장치
|
KR100770653B1
(ko)
|
2006-05-25 |
2007-10-29 |
에이엔 에스 주식회사 |
박막형성용 증착장치
|
KR101248004B1
(ko)
|
2006-06-29 |
2013-03-27 |
엘지디스플레이 주식회사 |
유기전계 발광소자의 증착 스템과, 이를 이용한 유기전계발광소자의 제조방법
|
KR100800125B1
(ko)
|
2006-06-30 |
2008-01-31 |
세메스 주식회사 |
유기발광소자 증착장비의 소스셔터 및 기판 제어방법
|
KR100980729B1
(ko)
|
2006-07-03 |
2010-09-07 |
주식회사 야스 |
증착 공정용 다중 노즐 증발원
|
KR100723627B1
(ko)
|
2006-08-01 |
2007-06-04 |
세메스 주식회사 |
유기 박막 증착 장치의 증발원
|
KR100815265B1
(ko)
|
2006-08-28 |
2008-03-19 |
주식회사 대우일렉트로닉스 |
마이크로 히터 및 도가니 제조 방법, 그리고 이들을 구비한유기물 진공 증착 장치
|
US7322248B1
(en)
|
2006-08-29 |
2008-01-29 |
Eastman Kodak Company |
Pressure gauge for organic materials
|
JP4971723B2
(ja)
|
2006-08-29 |
2012-07-11 |
キヤノン株式会社 |
有機発光表示装置の製造方法
|
KR100823508B1
(ko)
|
2006-10-19 |
2008-04-21 |
삼성에스디아이 주식회사 |
증발원 및 이를 구비한 증착 장치
|
KR100839380B1
(ko)
|
2006-10-30 |
2008-06-19 |
삼성에스디아이 주식회사 |
유기 발광 표시 장치의 진공 증착 장치
|
JP4768584B2
(ja)
|
2006-11-16 |
2011-09-07 |
財団法人山形県産業技術振興機構 |
蒸発源およびこれを用いた真空蒸着装置
|
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Boroson Michael L |
Depositing organic material onto an oled substrate
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KR20080060400A
(ko)
|
2006-12-27 |
2008-07-02 |
엘지디스플레이 주식회사 |
어레이 기판의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 광 발생장치의 제조 방법
|
KR20080061132A
(ko)
|
2006-12-28 |
2008-07-02 |
엘지디스플레이 주식회사 |
유기막 증착 장치
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2006-12-29 |
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유기 박막 증착 장치
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2007-03-02 |
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비데의 가스 리크와 과압 밸브 일체형 구조
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2007-03-30 |
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤 |
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蒸着方法および蒸着装置
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蒸着源、蒸着装置
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Soi 웨이퍼의 표면 거칠기 개선을 위한 열처리 방법 및이를 위한 열처리 장치
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삼성모바일디스플레이주식회사 |
유기물 선형 증착 장치
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삼성모바일디스플레이주식회사 |
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薄膜沉積設備
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KR101084184B1
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삼성모바일디스플레이주식회사 |
박막 증착 장치
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