TWI479281B - 遮罩支撐件、遮罩組件、包含遮罩支撐件與遮罩之組件以及連接遮罩組件與遮罩支撐件之方法 - Google Patents

遮罩支撐件、遮罩組件、包含遮罩支撐件與遮罩之組件以及連接遮罩組件與遮罩支撐件之方法 Download PDF

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Description

遮罩支撐件、遮罩組件、包含遮罩支撐件與遮罩之組件以及連接遮罩組件與遮罩支撐件之方法
本發明係涉及用於支撐遮罩的遮罩支撐件，特別是支撐用於有機發光二極體(organic light emitting diode，OLED)塗覆裝置的層狀遮罩(laminar mask)，該遮罩支撐件包括一框架元件以及一彈性元件。再者，本發明係涉及用於支撐遮罩的遮罩支撐件，特別是支撐用於OLED塗覆裝置的層狀遮罩，該遮罩支撐件包括複數個彈性元件，其中複數個彈性元件中的第一彈性元件與第二彈性元件包括分別配置在第一彈性元件與第二彈性元件上的一桿或臂部分以及一第一接合裝置，用於與遮罩組件所提供的相應第二接合裝置接合，藉以支撐遮罩，其中該些彈性元件係配置以將遮罩固定至框架元件，且拉伸(stretching)該支撐在框架元件中的遮罩。再者，本發明涉及遮罩組件，該遮罩組件係提供而將遮罩附接至遮罩支撐件，該遮罩組件包括至少一遮罩以及一連接裝置，該連接裝置係用以將遮罩附接至遮罩支撐件的裝置。再者，本發明係涉及一組件，其包括該遮罩支撐件與該遮罩組件。
在OLED裝置(例如OLED顯示器)的生產中，係使用陰影遮罩(shadow mask)以在基板上產生一具有圖案化結構的塗層。通常遮罩是由薄金屬板所製成的遮罩金屬薄片(foil)。為了提供遮罩金屬薄片一可靠的支撐及調整，係例如藉由焊接而將遮罩金屬薄片固定連接至框架元件。可選擇地，遮罩可例如藉由螺栓配接而可移動地固定至框架元件。
已知在OLED製程中生產及使用陰影遮罩係需要相當多的花費。當遮罩金屬薄片與遮罩框架固定連接，則針對每一個圖案以及針對連續生產製程所需的遮罩數量係相當高。再者，由於更換遮罩金屬薄片係需要將材料自遮罩框架移除，故具有遮罩金屬薄片與其焊接之遮罩框架的重複利用係受到限制。而遮罩金屬薄片的重複利用是完全不可能的。
另一方面，將藉由螺栓配接而固定連接至框架的遮罩金屬薄片進行更換係相當複雜且耗費時間的。
文獻EP 1437926A1揭露了金屬遮罩，其係藉由固定的遮罩夾鉗以及可移動的遮罩夾鉗而緊固之。固定的遮罩夾鉗係固定至基底板，可移動的遮罩夾鉗係藉由螺栓而固定至滑件。為了要拉伸遮罩，在基底板與滑件之間設置有螺旋彈簧。
文獻US 5,534,969揭露一種遮罩支撐件，其具有一框架以及拉桿，而拉桿係藉由彈性彈簧裝置而拉動遮罩以拉伸之。拉桿具有與其附接之鉤狀構件，而該些鉤狀構件係與遮罩中的各個狹縫接合。
本發明的目的在於提供一種改良的遮罩組件，其允許對於用於生產OLED裝置所使用的遮罩進行簡易的操作及替換，且特別是用於生產光學裝置及顯示器的遮罩，其中遮罩組件係適於提供特定遮罩所需的拉伸力。
上述目的之達成係透過：提供如申請專利範圍第1或5項所述之遮罩支撐件、提供如申請專利範圍第12或26項所述之遮罩組件、提供如申請專利範圍第29項所述之組件以及提供如申請專利範圍第31項所述之方法。
一種用於支撐一遮罩的遮罩支撐件，且特別是支撐用於一OLED塗覆裝置中的一層狀遮罩(laminar mask)，該遮罩支撐件包括一框架元件以及一彈性元件，其中該彈性元件包括一用於將該遮罩附接至該框架元件並且拉伸支撐在該框架元件中的該遮罩之裝置。
根據本發明之實施態樣，該彈性元件包括：一可旋轉地安裝至該框架元件的桿或臂部分；一用於將該彈性元件安裝至該框架元件的安裝邊緣部分；以及一配置在該桿部分及該安裝邊緣部分之間的彎曲部分。
用於附接該遮罩的該裝置包括配置在該彈性元件的一第一接合裝置，該第一接合裝置係用於與承載該遮罩之一遮罩組件所提供的相應之一第二接合裝置接合。
特別的是，該第一接合裝置包括一突出部，該突出部係自該桿或臂部分而呈一角度延伸。
特別的是，該接合裝置係可旋轉地配置在該框架元件。接合裝置係可旋轉地配置在該框架元件，以繞著至 少一個旋轉軸而旋轉或轉動。特別的是，接合裝置係配置而能夠繞著一個以上的軸旋轉及/或能夠產生平移運動。此係源自於彈性元件的結構。
根據本發明之另一實施態樣，用於附接該遮罩的該裝置包括配置在該彈性元件的一第一接合裝置，該第一接合裝置係用於與承載該遮罩之一遮罩組件所提供的相應之一第二接合裝置接合。其中，該第一接合裝置係配置而能夠相對於框架元件繞著一個以上的旋轉軸旋轉及/或能夠相對於框架元件產生平移運動。
一種用於支撐一遮罩的遮罩支撐件，且特別是支撐用於一OLED塗覆裝置中的一層狀遮罩，該遮罩支撐件包括一框架元件以及複數個彈性元件。該些彈性元件的一第一彈性元件及一第二彈性元件包括分別配置在該第一彈性元件及該第二彈性元件的一第一接合裝置，該第一接合裝置係用於與承載該遮罩之一遮罩組件所提供的相應之一第二接合裝置接合，其中該些彈性元件係配置以藉由將該遮罩的一邊緣部分推離該框架元件，以將該遮罩固定至該框架元件，並且拉伸支撐在該框架元件中的該遮罩。該第一彈性元件及該第二彈性元件係沿著該框架元件的一實質平直邊緣而彼此鄰近配置。
將遮罩附接至框架元件係透過彈性元件(例如舌片或彈簧)來達成，而該彈性元件係與遮罩金屬薄片所提供的相應連接裝置(例如彎折部；crimp)接合。彈性元件亦為一拉伸裝置，其當受到拉力時會與遮罩的接合裝置 接合，並在壓縮彈性元件時會自遮罩釋放。
用於將遮罩附接(固定)至框架元件的裝置在將遮罩支撐在框架元件上時，會同時拉伸該遮罩。因此，一旦遮罩固定在用於附接該遮罩的裝置時，該遮罩係同時受到拉伸。再者，由於固定及拉伸係在一步驟中執行，且釋放拉力及使遮罩與遮罩支撐件分離亦在一步驟執行，故相當容易將遮罩附接至遮罩支撐件或自遮罩支撐件分離。
本發明對於OLED顯示器的生產特別有用。藉由本發明之裝置，透過在矩形框架元件的各側提供彈性元件，則遮罩可配置在一穩定位置且被拉伸。本發明提供對於結構遮罩金屬薄片的簡易操作及替換，因而降低了生產製程中所需的遮罩及遮罩框架的數量。再者，由於拆卸遮罩為一和緩的步驟，且可允許再次使用遮罩及遮罩框架，故遮罩框架的壽命週期延長。
當在習知製程中生產遮罩時，金屬薄片係位於夾鉗固定裝置中以供進行製程(即，在遮罩上產生一特定結構)。夾鉗固定裝置係針對處理該遮罩而特別提供的，反之，在本發明中，遮罩支撐件可以用於生產遮罩，並且亦可用於在塗覆製程中使用遮罩。因此，可減少製程步驟數量，特別是在生產遮罩之後將遮罩自夾鉗固定裝置折卸下來，以及針對塗覆製程而將遮罩附接至另一框架。
根據本發明，在(通常為矩形)的框架元件之各側可使用複數個彈性元件。在框架元件的一側係提供有至少一第一及第二彈性元件。因此，可藉由改變沿著框架元件一側的彈性元件之特性，而可輕易地改變沿著框架元件之一側的彈性元件之特性。藉由改變彈性元件的特性，則可改變拉伸力，因此可最佳化與遮罩之平面及無縐折配置相關的多個遮罩佈局(layout)之形狀以及位置。
將遮罩附接至框架元件係透過複數個彈性元件(例如舌片或彈簧)來達成，其係與遮罩金屬薄片所提供的相應連接裝置(例如：彎折部；crimp)接合。可以藉由彎折遮罩組件的邊緣部分以在遮罩平面與彎折側之間形成一銳角而提供該彎折部。彈性元件亦為拉伸裝置，其在受到拉力時，會與遮罩的連接裝置接合，且在壓縮彈性元件時會自遮罩釋放開。
彈性元件的特性可以藉由下述之不同方式而改變。
較佳的是，彈性元件係配置以使遮罩可分離地附接至框架元件。
特別是的，第一彈性元件及第二彈性元件皆包括一桿或臂部分，且該第一彈性元件的第一接合裝置以及第二彈性元件的第一接合裝置包括一突出部，該突出部係由該桿或臂部分而呈一角度延伸。
較佳的是，第一彈性元件及第二彈性元件皆包括一彎曲部分，該彎曲部分係配置在該桿部分及一安裝部分之間，用以分別將第一彈性元件及第二彈性元件安裝至該框架元件。藉由提供彎曲部分，彈簧勁度(spring stiffness)及/或彈簧撓曲(spring deflection)/彈簧動程(spring travel)可增加，而不需較大的構造空間。因此，遮罩支撐件的高度及/或橫向延伸係獨立於所需的彈簧勁度及/或彈簧撓曲。
特別的是，第一彈性元件及第二彈性元件具有不同結構。可改變結構與幾何形狀以沿著遮罩組件的一側產生不同的特性，特別是不同的拉力。
在本發明的較佳實施例中，第一彈性元件的彎曲部分及第二彈性元件的彎曲部分包括不同數量的彎曲。改變彎曲的數量(例如改變沿著彈性元件在安裝邊緣及第一接合裝置之間的長度而改變曲折的數量)係允許彈簧勁度及/或彈簧撓曲/彈簧動程之界定的調整。
彈性元件係由一可撓式材料而一體形成。至少可撓式元件具有一可撓部分。
較佳的是，彈性元件係沿著框架元件的至少一邊緣配置。特別的是，框架元件的二相對側具有與其附接之彈性元件。彈性元件施加一力量以在相對方向拉伸該遮罩。
較佳的是，第一彈性元件的第一接合裝置以及第二彈性元件的第一接合裝置係可相對於該框架元件而至少由一第一位置移動至一第二位置，在第一位置時，彈性元件係處於一釋放狀態，在第二位置時，彈性元件係處於一壓縮狀態而用於將遮罩鎖固至框架元件並拉伸遮罩。
第一彈性元件的第一接合裝置以及第二彈性元件的第一接合裝置係可旋轉地配置在框架元件。接合裝置係可旋轉地配置在框架元件，以繞著至少一個旋轉軸而旋轉或轉動。特別的是，接合裝置係配置以能夠繞著一個以上的軸旋轉及/或能夠產生平移運動。此乃源自於彈性元件的結構。
彈性元件係由一可撓式材料而一體形成。至少可撓式元件具有一可撓部分。
較佳的是，第一及第二彈性元件皆係沿著框架元件的至少一邊緣配置。特別的是，框架元件的二相對側係各自具有與其附接之至少二彈性元件。彈性元件施加一力量以在相對方向拉伸該遮罩。
第一彈性元件與第二彈性元件係配置以施加不同的拉伸力量至遮罩組件。
在本發明的較佳實施例中，第一彈性元件的至少一部分及第二彈性元件的一部分係由不同材料製成。因為不同的材料具有不同的彈簧勁度，則可改變沿著遮罩組件邊緣的拉力。
在本發明的另一較佳實施例中，第一彈性元件的至少一部分及第二彈性元件的一部分的厚度不同。
根據本發明，係提供將遮罩附接至如上述之遮罩支撐件的遮罩組件，該遮罩組件包括至少一遮罩以及一連接裝置，該連接裝置係用以將該遮罩連接至用於將該遮罩附接至該框架元件並且拉伸支撐在該框架元件中的遮罩之裝置。該連接裝置包括至少一第二接合裝置，用於與該遮罩支撐件的該第一接合裝置彼此接合。
該遮罩為一層狀陰影遮罩(laminar shadow mask)，且特別是由一金屬薄板所製成的一陰影遮罩。層狀遮罩為一陰影遮罩，其係由薄金屬遮罩板構成，並具有數個孔洞以允許塗覆微粒通過遮罩，並在基板上形成一材料圖案。當使用遮罩時，在數個塗覆循環之後，孔洞會被污染。本發明提供可將遮罩自遮罩支撐件簡易操作及替換，並將遮罩快速附接至遮罩支撐件。
在本發明之一較佳實施例中，第二接合裝置包括一彎折部，其係例如相對於遮罩的表面而彎折遮罩組件或遮罩的至少一邊緣部分，因此形成一銳角，以接合第一及/或第二彈性元件的第一接合裝置。
本發明之目的亦可藉由包括如上所述的遮罩支撐件，以及如上所述的遮罩組件之組件所達成。
特別的是，該遮罩係藉由一彈性力(flexible force)而附接至該遮罩支撐件，該彈性力係藉由壓縮該遮罩支撐件的該些彈性元件而施加，該些彈性元件的該第一接合裝置係與該遮罩組件的該第二接合裝置接合，用以支撐及拉伸附接至該遮罩支撐件的該遮罩。
一種連接根據本發明的一遮罩組件以及根據本發明的的一遮罩支撐件之方法，該方法包括如下步驟之二或多者的組合：a)將包括該框架元件及該彈性元件之該遮罩支撐件置入一拉力(tensioning)裝置；b)將包括該遮罩及該連接裝置之該遮罩組件配置在該遮罩支撐件的頂部上；以及c)藉由致動該拉力裝置而壓縮該彈性元件。之後，根據步驟d)一經藉由致動該拉力裝置而釋放該彈性元件，該遮罩組件的連接裝置就與遮罩支撐件的彈性元件接合。當釋放彈性元件，其會移動而與遮罩組件的連接裝置接合，因此，將遮罩金屬薄片與框架元件連接。同時，彈性元件的彈性力係保持遮罩金屬薄片為受到拉力。
該方法可更包括一步驟e)將包括該遮罩組件及該遮罩支撐件的該組件自該拉力裝置移除。
「第1圖」係繪示遮罩支撐件10的一部分，該遮罩支撐件10包括一框架元件20以及一彈性元件30。彈性元件30係固定至框架元件20。
框架元件20包括第一框架部分21以及第二框架部分22，且具有矩形或方形結構。
彈性元件30為由可撓式(flexible)材料而一體形成的部件。該彈性元件30包括一安裝邊緣部分31，而安裝邊緣部分31係延伸進入一凹部23中，該凹部23係沿著框架元件20的邊緣側而提供在框架元件20的第一框架部分21以及第二框架部分22之間。安裝邊緣部分31係夾設在第一框架部分21以及第二框架部分22之間。可以沿著框架元件20的邊緣而設置一或複數個彈性元件30，以使得可以在每個方向將附接至遮罩支撐件10的遮罩固定並拉伸之。
再者，彈性元件30包括一彎曲部分32，而彎曲部分32係與安裝邊緣部分31連接。彎曲部分32包括約90度的第一彎曲33、約180度的第二彎曲34、約180度的第三彎曲35，以及角度介於90度與180度之間的第四彎曲36。
桿(lever)或臂部分37係與彎曲部分32連接。桿或臂部分37係往外延伸而遠離框架元件20。桿或臂部分37包括第一接合突出部38，該第一接合突出部38係由臂部分37的懸空端(free end)延伸約90度，以在臂部分37與第一接合突出部38之間形成一接合凹部39。凹部39係相對於臂部分37而配置在框架元件20的相對側。
彈性元件30的至少一部分(特別是彎曲部分32)係由可撓式及/或彈性材料製成，藉此，臂部分37與第一接合部分38可相對於框架元件20及安裝邊緣部分31而轉動。臂部分37可以沿著至少一個且特別是複數個轉動軸而轉動。由於彎曲部分32包括數個彎曲33、34、35、36，則臂部分37可例如沿著該些彎曲的頂點軸而轉動。再者，臂部分37亦可進行平移運動，例如藉由朝箭頭X所示的方向而壓縮或延伸彎曲部分32。
在「第1圖」所示之實施例中，彈性元件30係處於未負載狀態。在此狀態下，臂部分37係相對於框架元件20而延伸一預定角度。當彈性元件30如箭頭C所示而被壓縮時，彈性元件30可如同彈簧或舌片般作用，並施加如箭頭F所示之反作用力。
如「第1圖」所示，遮罩組件40包括一層狀遮罩41(例如由金屬薄片製成)以及一連接元件42。連接元件42包括用於與彈性元件30之接合突出部38相接合的接合部分43。在「第1圖」中，遮罩41並未與遮罩支撐件10及彈性元件30接合。遮罩41係由遮罩支撐件10而釋放開。因此，遮罩41與彈性元件30為彼此分離。
可以藉由使遮罩41的邊緣部分彎折(crimp)，以在彎折的凸出部與遮罩41的表面之間形成一銳角，以取代連接元件42。在彎折的凸出部與遮罩41表面之間的凹部係相應於連接元件42的接合部分43。彎折遮罩41的邊緣之凸出部的優點在於，接合部分43可以完美地對準。首先，可相對於遮罩41的邊緣而相當容易平行地或成直角地彎折凸出部，再者，可以藉由例如使用雷射而在彎折的凸出部部分之間形成間隙，以調整各個彎折的凸出部部分沿著遮罩41邊緣的長度。
在「第1圖」所示之實施例中，彈性元件30可以由複數個分離的彈性元件30a、30b、30c、30d...所組成，而該些分離的彈性元件30a、30b、30c、30d...係彼此鄰近配置。彈性元件30a、30b、30c、30d...之間存在有間隔(例如一小間隙)。因此，彈性元件30a、30b、30c、30d...可以獨立地拉伸或負載。再者，彈性元件30a、30b、30c、30d...可以為不同的結構，改變結構或幾何形狀係為了沿著遮罩組件40的一側產生不同的特性，特別是不同的拉力(tension)。彈性元件30a、30b、30c、30d...之各者可以由可撓式材料形成。舉例來說，彈性元件30a、30b、30c、30d...或部分的彈性元件30a、30b、30c、30d...可配置以施加不同的拉伸力(stretching force)給遮罩組件40。再者，彈性元件30a、30b、30c、30d...或部分的彈性元件30a、30b、30c、30d...可以由不同的材料製成或是具有不同的厚度。因此，可改變沿著遮罩組件40的邊緣之彈簧勁度(spring stiffness)及拉力。
「第2圖」繪示「第1圖」之遮罩支撐件10，其中遮罩組件40係附接至遮罩支撐件10。在此狀態下，連接元件42的接合部分43係與臂部分37的接合突出部38接合。接合部分43的懸空端係延伸至彈性元件30的接合凹部39內。
因此，層狀遮罩41係固定至遮罩支撐件10並藉由彈性元件30所施加的力量F而伸展，而彈性元件30係被壓縮以將遮罩組件40固定至遮罩支撐件10。明顯的是，當將遮罩組件40附接至遮罩支撐件10，臂部分37會被壓縮，以使遮罩組件40的連接元件42與遮罩支撐件10的彈性元件30連接。桿或臂部分37係延伸至由框架元件20所界定之高度上方，以使得遮罩41保持被拉伸在框架元件20上方的一平面。
因此，遮罩組件40係藉由彈性元件30而同時附接及拉伸。當要將遮罩組件40自遮罩支撐件10而釋放開時，必須將一力量C(大於F)施加至臂部分37，以壓縮並轉動臂部分37，而將連接元件42與彈性元件30解開，以將遮罩組件40自遮罩支撐件10移除。
明顯可見，附接/拉伸遮罩41以及使遮罩組件40與遮罩支撐件10分離係同樣的簡單及容易。
藉由提供具有一或複數個彎曲33、34、35的彎曲部分，則僅透過決定彈性元件30的幾何形狀則能將彈簧勁度控制在一廣範圍。再者，彈性元件30的撓曲或延伸E、E’(比較「第1及2圖」)相當小，然而彈簧勁度係足以拉伸遮罩41。當拉伸遮罩時41，彈性元件30施加一推動剪切力至遮罩組件40，而非拉動牽引力。藉由各個彈性元件，遮罩組件40的各邊緣部分42係被推動遠離框架元件20，藉以支托及拉伸遮罩。因此，提供本發明之遮罩支撐件10所需的構造空間小。特別是，構造的高度H係受到限制，且框架元件20的縱向及橫向延伸係相應於遮罩組件40的縱向及橫向延伸。遮罩支撐件10因此相當小型。
「第3圖」繪示根據本發明之遮罩支撐件10的一實施例之一部分，其包括一框架元件20以及複數個彈性元件30a、30b、30c、30d、30e、30f、30g及30h。彈性元件30a、30b、30c、30d及30e係沿著框架元件20的第一邊緣24而並列設置。彈性元件30f、30g及30h則沿著框架元件20的第一邊緣25而並列設置。彈性元件30沿著各自邊緣24、25而相鄰設置，因而在相鄰彈性元件30之間具有一間隙30’。
彈性元件30a-h的結構如同「第1及2圖」所示般。由於彈性元件30a-h包括一彎曲部分32，則彈性元件30a-h的高度H係實質受限為框架元件20的高度。
彈性元件30a-h的結構可以為相同或不同，也就是說，一或複數個彈性元件30的結構可以不同於其他彈性元件30的結構。舉例來說，至少兩個彈性元件30在彎曲部分32所形成之彎曲的數量、幾何形狀、材料、厚度或寬度B可以為不同。藉由控制這些參數，特定的彈性元件30可配置以具有特定的特性，例如相應於桿部分37之移動或旋轉力量的特定彈力。藉由沿著框架元件20的邊緣部分提供不同的彈性元件30，則遮罩41可以在沿著遮罩組件40的邊緣42之不同位置而較為或較不被拉伸。因此，拉伸力可適於各個特定的遮罩設計。
「第4圖」顯示遮罩組件40的平面視圖，遮罩組件40包括遮罩41以及連接元件42，而遮罩組件40係藉由複數個彈性元件30a、30b、30c...所施加的彈力而支托在框架元件20。彈性元件30a、30b、30c...係沿著框架元件20的邊緣部分24而並列配置。
由「第4圖」可明顯可見，框架元件20的縱向與橫向延伸係實質相應於遮罩組件40的縱向與橫向延伸。此乃因為彈性元件30a、30b、30c...提供一剪切力以推動遮罩41的邊緣42遠離框架元件20，即框架元件20的延伸係相應於或稍微小於遮罩組件40的表面。由於彈性元件30及框架元件20的高度H亦受到限制，故遮罩支撐件10的構造非常的小型。
惟本發明雖以較佳實施例說明如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技術人員，在不脫離本發明的精神和範圍內所作的更動與潤飾，仍應屬本發明的技術範疇。
10．．．支撐件
20．．．框架元件
21．．．第一框架部分
22．．．第二框架部分
23．．．凹部
24,25．．．邊緣
30．．．彈性元件
30’．．．間隙
30a-h．．．彈性元件
31．．．部分
32．．．彎曲部分
33．．．第一彎曲
34．．．第二彎曲
35．．．第三彎曲
36．．．第四彎曲
37．．．桿/臂部分
38．．．突出部/部分
39．．．(接合)凹部
40．．．遮罩組件
41．．．遮罩
42．．．連接元件/邊緣(部分)
43．．．接合部分
本發明進一步的特徵及優點藉由上方之較佳實施例並伴隨參照所附圖式而可變得明顯。該些圖式為：
第1圖，繪示根據本發明之遮罩支撐件的一部分，且遮罩係與遮罩支撐件分離；
第2圖，繪示根據本發明之遮罩支撐件，且遮罩係與遮罩支撐件附接；
第3圖，繪示根據本發明之遮罩支撐件的一實施例之立體視圖；以及
第4圖，繪示根據本發明之遮罩支撐件的一實施例之頂視圖。
10．．．支撐件
37．．．桿/臂部分
38．．．突出部/部分
39．．．(接合)凹部
40．．．遮罩組件
41．．．遮罩
42．．．連接元件/邊緣(部分)
43．．．接合部分

Claims (32)

  1. 一種遮罩支撐件(10)，用於支撐一遮罩(41)，特別是支撐用於一有機發光二極體(OLED)塗覆裝置中的一層狀遮罩(laminar mask)(41)，該遮罩支撐件包括一框架元件(20)以及一彈性元件(30)，其中該彈性元件(30)包括一用於將該遮罩(41)附接至該框架元件(20)並且拉伸支撐在該框架元件(20)中的該遮罩(41)之裝置，其中該彈性元件(30)包括：一可旋轉地安裝至該框架元件(20)的桿或臂部分(37)；一用於將該彈性元件(30)安裝至該框架元件(20)的安裝邊緣部分(31)；以及一配置在該桿部分(37)及該安裝邊緣部分(31)之間的彎曲部分(32)。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的遮罩支撐件(10)，其中用於附接該遮罩(41)的該裝置包括配置在該彈性元件(30)的一第一接合裝置(38)，該第一接合裝置(38)用於與承載該遮罩(41)之一遮罩組件(40)所提供的相應之一第二接合裝置(43)接合。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一接合裝置(38)包括一突出部，該突出部自該桿或臂部分(37)呈一角度延伸。
  4. 如申請專利範圍第2或3項所述的遮罩支撐件(10)，其中該接合裝置(38)可旋轉地配置在該框架元件(20)。
  5. 一種遮罩支撐件(10)，用於支撐一遮罩(41)，特別是支撐用於一OLED塗覆裝置中的一層狀遮罩(41)，該遮罩支撐件包括一框架元件(20)以及一彈性元件(30)，其中該彈性元件(30)包括一用於將該遮罩(41)附接至該框架元件(20)並且拉伸支撐在該框架元件(20)中的該遮罩(41)之裝置，其中用於附接該遮罩(41)的該裝置包括配置在該彈性元件(30)的一第一接合裝置(38)，該第一接合裝置(38)用於與承載該遮罩(41)之一遮罩組件(40)所提供的相應之一第二接合裝置(43)接合，其中該第一接合裝置(38)經配置以相對於該框架元件(20)繞著一個以上的旋轉軸而可旋轉及/或相對於該框架元件(20)而可產生一平移運動。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的遮罩支撐件(10)，其中該彈性元件(30)包括一桿或臂部分(37)，其中該第一接合裝置(38)包括一突出部，且該突出部自該桿或臂部分(37)呈一角度延伸。
  7. 如申請專利範圍第1或5項所述的遮罩支撐件(10)，其中用於附接該遮罩(41)的該裝置係提供該遮罩(41)與該框架元件(20)之可分離的附接。
  8. 如申請專利範圍第2或5項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一接合裝置(38)可相對於該框架元件(20)而至少由一第一位置移動至一第二位置，在該第一位置時，該彈性元件(30)處於一釋放狀態，在該第二位置時，該彈性元件(30)處於一壓縮狀態而用於將該遮罩(41)鎖固至該框架元件(20)並拉伸該遮罩(41)。
  9. 如申請專利範圍第1或5項所述的遮罩支撐件(10)，其中該彈性元件(30)是由一可撓式(flexible)材料一體形成。
  10. 如申請專利範圍第1或5項所述的遮罩支撐件(10)，其中該彈性元件(30)沿著該框架元件(20)的至少一個邊緣配置。
  11. 如申請專利範圍第1項所述的遮罩支撐件(10)，其中該桿或臂部分(37)延伸至由該框架元件(20)所界定的一高度上方，以保持該遮罩(41)在該框架元件(20)上方的一平面拉伸。
  12. 一種遮罩組件(40)，提供用以將一遮罩(41)附接至如申請專利範圍第1~10項之任一項所述的遮罩支撐件(10)，其中該遮罩組件(40)包括至少一個遮罩(41) 以及一連接裝置(42)，該連接裝置(42)用以將該遮罩(41)連接至用於將該遮罩(41)附接至該框架元件(20)並且拉伸支撐在該框架元件(20)中的該遮罩(41)之裝置。
  13. 一種遮罩支撐件(10)，用於支撐一遮罩(41)，特別是支撐用於一OLED塗覆裝置中的一層狀遮罩(41)，該遮罩支撐件包括一框架元件(20)以及複數個彈性元件(30a、30b、30c、30d…)，其中該複數個彈性元件(30a、30b、30c、30d…)的一第一彈性元件(30a)及一第二彈性元件(30b)皆包括分別配置在該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b)的一第一接合裝置(38)，該第一接合裝置(38)用於與承載該遮罩(41)之一遮罩組件(40)所提供的相應之一第二接合裝置(43)接合，其中該些彈性元件(30a、30b、30c、30d…)係配置以藉由將該遮罩(41)的一邊緣部分推離該框架元件，以將該遮罩(41)固定至該框架元件(20)，並且拉伸支撐在該框架元件(20)中的該遮罩(41)；以及該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b)沿著該框架元件(20)的一實質平直邊緣而彼此鄰近配置。
  14. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該些彈性元件(30a、30b、30c、30d…)係配置以使該遮罩(41)可分離地附接至該框架元件(20)。
  15. 如申請專利範圍第13或14項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b)皆包括一桿或臂部分(37)，且該第一彈性元件(30a)的該第一接合裝置(38)以及該第二彈性元件(30b)的該第一接合裝置(38)包括一突出部，該突出部由該桿或臂部分(37)呈一角度延伸。
  16. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b)皆包括一彎曲部分(32)，該彎曲部分(32)配置在該桿部分(37)及一安裝部分(31)之間，用以分別將該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b)安裝至該框架元件(20)。
  17. 如申請專利範圍第16項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b)具有不同結構。
  18. 如申請專利範圍第17項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)的該彎曲部分(32)及該第二彈性元件(30b)的該彎曲部分(32)包括不同數量的彎曲。
  19. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)的該第一接合裝置(38)以及該第二彈性元件(30b)的該第一接合裝置(38)可相對於該框架元件(20)而至少由一第一位置移動至一第二位置，在該第一位置時，各自的該彈性元件(30)處於一釋放狀態，在該第二位置時，各自的該彈性元件(30)處於一壓縮狀態而用於將該遮罩(41)鎖固至該框架元件(20)並拉伸該遮罩(41)。
  20. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)的該第一接合裝置(38)以及該第二彈性元件(30b)的該第一接合裝置(38)可旋轉地配置在該框架元件(20)。
  21. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b)皆由一可撓式材料一體形成。
  22. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b)皆沿著該框架元件(20)的至少一個邊緣配置。
  23. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)及該第二彈性元件(30b) 係配置以施加不同的拉伸力給該遮罩組件(40)。
  24. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)的至少一部分及該第二彈性元件(30b)的一部分是由不同材料製成。
  25. 如申請專利範圍第13項所述的遮罩支撐件(10)，其中該第一彈性元件(30a)的至少一部分及該第二彈性元件(30b)的一部分的厚度不同。
  26. 一種遮罩組件(40)，提供用以將一遮罩(41)附接至如申請專利範圍第1~10或13~24項之任一項所述的遮罩支撐件(10)，其中該連接裝置(42)包括至少一個第二接合裝置(43)，用於與該遮罩支撐件(10)的一第一接合裝置(38)彼此接合。
  27. 如申請專利範圍第12或26項所述的遮罩組件(40)，其中該第二接合裝置(43)包括一彎折部(crimp)，該彎折部藉由將該遮罩組件(40)的至少一個邊緣部分相對於該遮罩(41)的表面彎折而形成。
  28. 如申請專利範圍第12或26項所述的遮罩組件(40)，其中該遮罩(41)為一層狀陰影遮罩(laminar shadow mask)，且特別是由一金屬薄板所製成的一陰影 遮罩。
  29. 一種組件，包括如申請專利範圍第1~10或13~25項之任一項所述的遮罩支撐件，以及如申請專利範圍第12或26~28項之任一項所述的遮罩組件。
  30. 如申請專利範圍第29項所述的組件，其中該遮罩(41)藉由一彈性力(flexible force)而附接至該遮罩支撐件(10)，該彈性力藉由壓縮該遮罩支撐件(10)的彈性元件(30a、30b、30c、30d…)而施加，該些彈性元件(30a、30b、30c、30d…)的第一接合裝置(38)與該遮罩組件(40)的第二接合裝置(42)接合，用以支撐及拉伸附接至該遮罩支撐件(10)的該遮罩(41)。
  31. 一種連接如申請專利範圍第12或26~28項之任一項所述的遮罩組件以及如申請專利範圍第1~10或13~25之任一項所述的遮罩支撐件之方法，該方法包括如下步驟：a)將包括一框架元件及彈性元件之該遮罩支撐件置入一拉力(tensioning)裝置；b)將包括一遮罩及一連接裝置之該遮罩組件配置在該遮罩支撐件的頂部上；c)藉由致動該拉力裝置而壓縮該或該些彈性元件；以及d)藉由致動該拉力裝置而釋放該或該些彈性元件。
  32. 如申請專利範圍第31項所述的方法，更包括一步驟e)將包括該遮罩組件及該遮罩支撐件的一組件自該拉力裝置移除。
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Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2110455A1 (en) * 2008-04-18 2009-10-21 Applied Materials, Inc. Mask support, mask assembly, and assembly comprising a mask support and a mask
JP2010050268A (ja) * 2008-08-21 2010-03-04 Shibuya Kogyo Co Ltd ボール配列マスク及びボール配列マスク支持装置
JP5620146B2 (ja) * 2009-05-22 2014-11-05 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 薄膜蒸着装置
KR101182439B1 (ko) * 2010-01-11 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법
GB2488568B (en) * 2011-03-02 2014-01-01 Rolls Royce Plc A method and apparatus for masking a portion of a component
KR101693578B1 (ko) * 2011-03-24 2017-01-10 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크
KR20130081528A (ko) * 2012-01-09 2013-07-17 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 및 이를 이용한 증착 설비
KR102104688B1 (ko) * 2012-04-19 2020-05-29 인테벡, 인코포레이티드 태양 전지 제조를 위한 이중 마스크 장치
FR2993897B1 (fr) * 2012-07-30 2015-08-21 Bostik Sa Auto-adhesif thermofusible pour emballage refermable a proprietes organoleptiques ameliorees
KR101980232B1 (ko) * 2012-11-14 2019-05-21 삼성디스플레이 주식회사 패터닝 슬릿 시트 프레임 어셈블리
KR101995500B1 (ko) * 2012-11-20 2019-10-02 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
JP6210355B2 (ja) * 2013-01-11 2017-10-11 大日本印刷株式会社 積層マスクおよび積層マスクの製造方法
KR102218656B1 (ko) * 2013-05-08 2021-02-23 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
JP2015069806A (ja) * 2013-09-27 2015-04-13 株式会社ジャパンディスプレイ 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
JP5846287B1 (ja) * 2013-12-27 2016-01-20 大日本印刷株式会社 フレーム付き蒸着マスクの製造方法、引張装置、有機半導体素子の製造装置及び有機半導体素子の製造方法
JP6304412B2 (ja) * 2017-02-06 2018-04-04 大日本印刷株式会社 金属フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、パターンの形成方法
CN109287117A (zh) * 2017-05-23 2019-01-29 株式会社奥普特尼克斯精密 成膜方法以及成膜装置
CN111492090A (zh) * 2017-12-25 2020-08-04 堺显示器制品株式会社 蒸镀掩模、蒸镀方法以及有机el显示设备的制造方法
WO2019130388A1 (ja) * 2017-12-25 2019-07-04 堺ディスプレイプロダクト株式会社 蒸着マスク、蒸着方法及び有機ｅｌ表示装置の製造方法
US11655536B2 (en) * 2018-03-20 2023-05-23 Sharp Kabushiki Kaisha Film forming mask and method of manufacturing display device using same
US11560616B2 (en) 2019-11-05 2023-01-24 Boe Technology Group Co., Ltd. Mask device, mask plate, and frame
CN113272467B (zh) * 2019-11-12 2023-07-28 京东方科技集团股份有限公司 掩模板
KR20210135387A (ko) * 2020-05-04 2021-11-15 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체의 제조장치, 마스크 조립체의 제조방법, 및 표시 장치의 제조방법
KR20220089809A (ko) * 2020-12-21 2022-06-29 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 및 마스크 프레임의 제조 방법
CN115537751A (zh) * 2021-06-29 2022-12-30 鑫天虹(厦门)科技有限公司 遮蔽机构及具有遮蔽机构的薄膜沉积腔体
CN115430585A (zh) * 2022-08-23 2022-12-06 西安微电子技术研究所 一种tsop引线自动三防涂覆保护模具装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5534969A (en) * 1993-06-02 1996-07-09 Sanei Giken Co., Ltd. Alignment method and apparatus in an exposing process
TW200725696A (en) * 2005-12-28 2007-07-01 Ushio Electric Inc Supporting mechanism and mask carrier using the same

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2274866A (en) * 1940-10-19 1942-03-03 William H Martens Dispensing device
US2469119A (en) * 1946-12-20 1949-05-03 Furnas Electric Co Toggle actuated switch
DE10126779B4 (de) * 2001-06-01 2011-03-17 Zf Sachs Ag Druckplattenbaugruppe
CN100355104C (zh) 2001-08-24 2007-12-12 大日本印刷株式会社 真空蒸镀用多面成形掩模装置
JP2004006257A (ja) * 2002-04-26 2004-01-08 Tohoku Pioneer Corp 真空蒸着用マスク及びこれを用いて製造された有機ｅｌディスプレイパネル
US20040163592A1 (en) * 2003-02-20 2004-08-26 Tohoku Poineer Corporation Mask for vacuum deposition and organic EL display panel manufactured by using the same
JP2007113022A (ja) * 2005-09-26 2007-05-10 Sankyo Kiko:Kk マスク取付具
US20100285286A1 (en) * 2005-11-22 2010-11-11 Pliant Corporation Elastic laminates
KR20070063307A (ko) * 2005-12-14 2007-06-19 주성엔지니어링(주) 마스크 어셈블리
EP2110455A1 (en) * 2008-04-18 2009-10-21 Applied Materials, Inc. Mask support, mask assembly, and assembly comprising a mask support and a mask

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5534969A (en) * 1993-06-02 1996-07-09 Sanei Giken Co., Ltd. Alignment method and apparatus in an exposing process
TW200725696A (en) * 2005-12-28 2007-07-01 Ushio Electric Inc Supporting mechanism and mask carrier using the same

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