JP2014055358A

JP2014055358A - マスク支持体、マスクアセンブリ、及びマスク支持体とマスクを含むアセンブリ

Info

Publication number: JP2014055358A
Application number: JP2013218910A
Authority: JP
Inventors: Landgraf Heike; ハイケランドグラフ; Uwe Schuessler; ウーベシュスラー; Bangert Stefan; シュテファンバンゲルト
Original assignee: Applied Materials Inc
Current assignee: Applied Materials Inc
Priority date: 2008-04-18
Filing date: 2013-10-22
Publication date: 2014-03-27
Also published as: JP5441998B2; WO2009127272A1; EP2133444A1; KR101527344B1; EP2110455A1; EP2268845A1; US20090260566A1; US8733277B2; JP2011516736A; KR20110004445A; EP2268845B1; TWI479281B; US20110185561A1; TW200944966A; EP2110456A1

Abstract

【課題】ＯＬＥＤ装置の生産用に、特に光学装置とディスプレーの生産用に使用されるマスクの取り扱いと交換が容易な改良されたマスクアセンブリを提供する。
【解決手段】マスク支持体１０はフレーム要素２０と弾性要素３０を含んでいる。弾性要素３０はフレーム要素２０に固定されている。弾性要素３０は全体的に可撓性のある材料で形成されている部材である。それは、アーム部３７の自由端からおよそ９０°の角度で伸びる第１締結突起３８を有するレバーあるいはアーム部３７を含んでいる。マスクアセンブリ４０は薄層マスク４１と、例えば薄い金属ホイルで製造されたものと、接続要素４２を含んでいる。接続要素４２は弾性要素３０の締結突起３８と締結するための締結部４３を含んでいる。マスク４１は、マスク支持体１０から楽に取り外されるのみならず、マスク支持体１０に取り付け／延伸させてもよい。
【選択図】図１

Description

発明の分野

本発明は、マスクを支持し、特にＯＬＥＤコーティング装置内で使用される薄層マスク
を支持し、フレーム要素と弾性要素を含むマスク支持体に関するものである。更に、本発
明は、マスクを支持し、特にＯＬＥＤコーティング装置内で使用される、薄層マスクを支
持し、複数の弾性要素を含むマスク支持体に関するものであり、前記複数の弾性要素のう
ちの第１弾性要素と第２弾性要素の両方が、レバーあるいはアーム部と、前記第１弾性要
素と前記第２弾性要素にそれぞれ配置された第１締結手段を含み、前記第1締結手段は前
記マスクを運ぶための前記マスクアセンブリに備えられた対応する第２締結手段と締結し
、前記弾性要素は前記マスクを前記フレームに固定し、前記フレーム要素内に支持される
前記マスクを延伸させるために構成される。更に、本発明は、マスクをマスク支持体に取
り付けるために提供されるマスクアセンブリに関するものであり、前記マスク支持体は少
なくともマスクと、前記マスクを前記マスク支持体に取り付けるための前記手段に前記マ
スクを接続するための接続手段とを含んでいる。更に、本発明は前記マスク支持体と前記
マスクアセンブリを含むアセンブリに関するものである。

従来技術

ＯＬＥＤ装置、例えばＯＬＥＤディスプレーの製造において、基板上にパターニングさ
れた構造をもつコーティングを生成するためにシャドーマスクが利用される。通常、この
マスクは薄い金属シートでできたマスクホイルである。信頼性の高いマスクホイルの支持
と調節を提供するために、マスクホイルはフレーム要素に固定した状態で、例えば半田づ
けによって接続される。代わりの方法として、マスクはフレーム要素に取り外し可能な状
態で、例えばねじ止めによって固定されてもよい。

ＯＬＥＤプロセスにおいてシャドーマスクの生産と利用は、相当なコストの原因となっ
ていることが知られている。マスクホイルがマスクフレームに固定した状態で接続される
とき、各々のパターン用と連続生産用に必要とされるマスクの数が膨大になる。更に、そ
こに半田づけされているマスクホイルを有するマスクフレームの再利用は、マスクホイル
の交換がマスクフレームから材料を取り除く必要があるという事実のために制限される。
マスクホイルの再利用はまず不可能である。

一方、フレームにねじ止め接続によって固定されたマスクホイルの交換は、とても手が
込んでおり、時間が掛かる。

ＥＰ１４３７９２６Ａ１号は、固定式マスククランプと可動式マスククランプによって
固定された金属マスクを開示している。固定式マスククランプはベースプレートに固定さ
れ、可動式マスククランプはボルトによってスライダーに固定されている。マスクの延伸
のために、コイルばねがベースプレートとスライダーの間に配置されている。

ＵＳ５，５３４，９６９号は、フレームと、弾性ばねによって延伸されたマスクを引く
プルバーとを有するマスク支持体を開示している。プルバーはそこに取り付けられている
フック部材を有しており、それはマスク中に備えられたそれぞれのスロットと締結する。

発明の目的

ＯＬＥＤ装置の生産用に、特に光学装置とディスプレーの生産用に使用されるマスクの
取り扱いと交換が容易な改良されたマスクアセンブリを提供することが本発明の目的であ
り、マスクアセンブリはある特定のマスクに対して必要とされる引張り力を提供するため
に調整してもよい。

技術的解決

この目的は、請求項１又は５に係るマスク支持体、請求項１１又は２５に係るマスクア
センブリ、請求項２８に係るアセンブリ、及び請求項３０に係る方法を提供することによ
って解決される。

マスクを支持する、特にＯＬＥＤコーティング装置において利用される薄層マスクを支
持するためのマスク支持体は、フレーム要素と弾性要素を含んでおり、前記弾性要素は前
記マスクを前記フレーム要素に取り付け、前記フレーム要素内で支持される前記マスクを
引張るための手段を含んでいる。

本発明の一態様によると、前記弾性要素は、前記フレーム要素に回転可能に取り付けら
れたレバーあるいはアーム部と、前記弾性要素を前記フレーム要素に取り付けるための取
り付け端部と、前記レバー部と前記取り付け端部の間に配置されている曲部を含んでいる
。

マスクを取り付けるための手段は、第１締結手段を含んでいてもよく、これは前記マス
クを運ぶための前記マスクアセンブリに備えられた対応する第２締結手段に締結するため
に弾性要素に配置されている。

特に、第１締結手段は、レバーあるいはアーム部からある角度で伸びる突起を含んでい
る。

特に、この締結手段はフレーム要素に回転可能に取り付けられている。この締結手段は
フレーム要素に少なくとも１つの回転軸周りに回転あるいは旋回するように回転可能に配
置されている。特に、この締結手段は１よりも多い軸周りに回転できるように、及び／又
は、並進運動できるように配置されていてもよい。これは弾性要素の構成による。

本発明の別の態様によると、前記マスクを取り付けるための手段は、前記弾性要素に配
置された第１締結手段を含んでおり、これは前記マスクを運ぶための前記マスクアセンブ
リに備えられた対応する第２締結手段に締結し、前記第１締結手段は１よりも多い回転軸
の周りに回転できるように、及び／又は前記フレーム要素に対して並進運動できるように
構成されている。

マスクを支持する、特にＯＬＥＤコーティング装置において利用される薄層マスクを支
持するためのマスク支持体は、フレーム要素と複数の弾性要素を含んでいる。複数の弾性
要素のうち第１弾性要素と第２弾性要素の両方が、第１弾性要素と第２弾性要素にそれぞ
れ配置された第１締結手段を含み、これはマスクを運ぶためのマスクアセンブリに備えら
れた対応する第２締結手段に締結し、弾性要素はマスクをフレーム要素に固定し、前記マ
スク（４１）の端部を前記フレーム要素から押し離すことによってフレーム要素内で支持
されるマスクを延伸させるために構成される。第１弾性要素と第２弾性要素はフレーム要
素の実質的なストレートエッジに沿って互いに隣接して配置されている。

マスクのフレーム要素への取り付けは、ピンやばねなどの弾性要素によって行われ、こ
れによってマスクホイルに備わる対応する接続手段（例えば、クランプ）に締結される。
弾性要素は引張り装置でもあり、張力が加えられるとマスクの接続手段と締結し、弾性要
素を圧縮するとマスクから解放される。

マスクのフレーム要素への取り付け（固定）手段は、マスクをフレーム要素に支持する
と同時にマスクを延伸させる。ゆえに、マスクがマスク取り付け手段へ固定されるとすぐ
に、同時にマスクは延伸される。更に、マスクのマスク支持体への取り付け・取り外しは
、張力を解放しマスクをマスク支持体から取り外すのみならず固定と延伸が１ステップで
実行されるという事実のため、非常に容易である。

本発明は特にＯＬＥＤディスプレーの生産に対して便利である。本発明によって、長方
形フレーム要素のそれぞれの側部に弾性要素を備えることによってマスクは安定した位置
に配置され延伸され得る。本発明によって、構造をもつマスクホイルの取り扱いと交換を
簡単に行うことができるので、生産プロセス内で必要とされるマスクとマスクフレームの
数を減らすことができる。更に、マスクの取り外しが緩やかな手順で行われ、マスクとマ
スクフレームの再利用を可能にするという事実によって、マスクフレームのライフサイク
ルが延びる。

従来のプロセスでマスクを生産する場合、金属ホイルは処理のために、例えばマスク上
のある特定の構造を提供するためにクランプ固定具に位置決めされる。クランプ固定具は
特にマスクを処理するために提供され、本発明における発明のマスク支持体は、マスクを
コーティングプロセスで使用するためのみならず、マスクを生産するために使用してもよ
い。従って、特にマスクの生産後にクランプ固定具からマスクを取り外し、マスクをコー
ティングプロセスのために別のフレームへ取り付けるプロセスステップ数を減らすことが
できる。

本発明によると、複数の弾性要素が（通常は長方形の）フレーム要素のそれぞれの側部
で使用されてもよい。少なくとも第１と第２弾性要素がフレーム要素の側部に備わってい
る。従って、フレーム要素の側部に沿って配置された弾性要素の性質を変化させることに
よって、フレーム要素の側部に沿った弾性要素の特性を変化させるのが容易である。弾性
要素の性質を変えることによって張力が変わるので、マスクを平面にしわにならないよう
に配置する点で様々なマスクレイアウトの形状と位置を最適化することができる。

マスクをフレーム要素へ取り付けるには、複数の弾性要素、例えばピンあるいはばねに
よって行われ、マスクホイルに備えられた対応する接続手段（例えば、クランプ）に締結
する。クランプはマスク平面と湾曲側の間に鋭角を形成するようにマスクアセンブリの端
部を曲げることによって提供されてもよい。弾性要素は、張力が掛けられたときにマスク
の接続手段と締結し、弾性要素を圧縮したときにマスクから解放される引張り装置でもあ
る。

弾性要素の特性は以下に記載されるような異なる方法によって変えられてもよい。

弾性要素はマスクをフレーム要素に取り外し可能に取り付けるために構成されているこ
とが望ましい。

特に、第１弾性要素と第２弾性要素の両方は、レバーあるいはアーム部を含んでおり、
また第１弾性要素の第１締結手段と第２弾性要素の第１締結手段は、レバーあるいはアー
ム部からある角度で伸びる突起を含んでいる。

第１弾性要素と第２弾性要素の両方は、レバー部と、第１弾性要素と第２弾性要素をそ
れぞれフレーム要素へ取り付けるための取り付け部との間に配置された曲部を含んでいる
ことが望ましい。曲部を備えることによって、ばね剛性、及び／又は、ばねのたわみ／ば
ねの全長が、かなり多くの構造空間を必要とすること無しに増加するかもしれない。この
ように、マスク支持体の高さ、及び／又は、横方向の伸びは、要求されるばね剛性、及び
／又は、ばねのたわみから独立している。

特に、第１弾性要素と第２弾性要素は異なる構造を有している。構造あるいは幾何形状
は、異なる特性、特にマスクアセンブリの側部に沿って異なる張力を発生させるために変
えてもよい。

本発明の好ましい一実施形態によると、第１弾性要素の曲部と第２弾性要素の曲部は、
異なるカーブ数を含んでいる。カーブ数を変える、例えば、取り付け端と第１締結手段の
間の弾性要素の長さ方向に沿って曲折数を変えることによって、ばね剛性、及び／又は、
ばねのたわみ／ばねの全長を明確に調節することができる。

弾性要素は全体的に可撓性のある材料で形成されていてもよい。少なくとも、可撓性要
素は可撓性部位を有していてもよい。

弾性要素は少なくともフレーム要素の末端に沿って配置されていることが望ましい。特
に、フレーム要素の２つの相対する側部はそこに取り付けられる弾性要素を有していても
よい。弾性要素はマスクを反対方向に延伸させるために力を働かせる。

第１弾性要素の第１締結手段と第２弾性要素の第１締結手段は、マスクをフレーム要素
に固定しマスクを延伸させるために、少なくとも弾性要素が解放状態にある第１位置から
弾性要素が圧縮状態にある第２位置までフレーム要素に対して可動であることが望ましい
。

第１弾性要素の第１締結手段と第２弾性要素の第１締結手段は、フレーム要素に回転可
能に配置されている。締結手段は少なくとも１つの回転軸周りに回転あるいは旋回するよ
うにフレーム要素に回転可能に配置されている。特に、締結手段は１よりも多い軸周りに
回転できるように、及び／又は、並進運動できるように配置されていてもよい。これは、
弾性要素の構成による。

第１弾性要素と第２弾性要素の両方は、少なくともフレーム要素の末端に沿って配置さ
れていることが望ましい。特に、フレーム要素の２つの相対する側部はそこに取り付けら
れる少なくとも２つの弾性要素を有していてもよい。弾性要素はマスクを反対方向に延伸
させるために力を働かせる。

第１弾性要素と第２弾性要素はマスクアセンブリに異なる引張り力を働かせるように形
成されてもよい。

本発明の好ましい一実施形態によると、少なくとも第１弾性要素の一部と第２弾性要素
の一部は異なる材料でできている。異なる材料は異なるばね剛性を有しているので、マス
クアセンブリの端に沿った張力を変えることができる。

本発明の好ましい別の一実施形態によると、少なくとも第１弾性要素の一部と第２弾性
要素の一部は異なる厚みを有している。

本発明によると、マスクをマスク支持体に取り付けるために備えられた上記のようなマ
スクアセンブリは、少なくともマスクと接続手段を含んでおり、この接続手段はマスクを
フレーム要素に取り付け、フレーム要素内で支持されるマスクを延伸させるための手段に
マスクを接続する。接続手段は、少なくともマスク支持体の第１締結手段と相互締結する
ための第２締結手段を含んでいる。

マスクは薄層シャドーマスク、特に金属シートから作られたシャドーマスクであっても
よい。薄層マスクは薄い金属マスクシートでできたシャドーマスクであり、コーティング
粒子がマスクを通過し、基板上に材料パターンを形成することができるように多数の孔を
有している。マスクを使用すると、孔は数回のコーティングサイクルの後に汚れる。本発
明は、マスクの取り扱いとマスク支持体からのマスクの交換を容易に行え、マスク支持体
へのマスクの素早い取り付けを提供する。

本発明の好ましい一実施形態によると、第２締結手段はクランプ、例えばマスクアセン
ブリあるいはマスクの少なくとも一端部をマスク表面に対して曲げることによって形成さ
れたクランプを含み、それによって第１及び／又は第２弾性要素の第１締結手段の締結に
対して鋭角を形成する。

また、本発明の目的は、上記のようなマスク支持体と上記のようなマスクアセンブリを
含むアセンブリによって達成される。

特に、マスク支持体の弾性要素の圧縮によって働くフレキシブルな力によって、マスク
はマスク支持体に（取り外し可能に）取り付けられており、弾性要素の第１締結手段はマ
スクアセンブリの第２締結手段と締結しており、それによってマスク支持体に取り付けら
れたマスクを支持し延伸させている。

本発明に係るマスクアセンブリを本発明に係るマスク支持体に接続する方法は、２以上
の下記のステップの組み合わせを含む：ａ）引張り装置内のフレーム要素と弾性要素を含
むマスク支持体を挿入する；ｂ）マスクと、マスク支持体の上部の接続手段とを含むマス
クアセンブリを配置する；そしてｃ）引張り装置の始動により弾性要素を圧縮する。その
後、ステップｄ）によれば、マスクアセンブリの接続手段は、引張り装置の始動によって
弾性要素を解放するとすぐに、マスク支持体の弾性要素を締結する。弾性要素を解放する
とき、それらはマスクアセンブリの接続手段と締結して動き、このようにしてマスクホイ
ルをフレーム要素と接続する。同時に、弾性要素の弾性力は張力をもった状態にマスクホ
イルを維持する。

本方法は更にステップｅ）マスクアセンブリとマスク支持体を含むアセンブリを引張り
装置から取り外す、を含んでいてもよい。

本発明の更なる構成と特徴が、添付図面を参照するとともに以下に記載される好ましい
実施形態の説明から明白となる。各図は以下のものを示している。

本発明に係るマスク支持体の一部とマスク支持体から取り外されたマスクを示す図である。本発明に係るマスク支持体とそこに取り付けられたマスクを示す図である。本発明に係るマスク支持体の一実施形態の斜視図である。本発明に係るマスク支持体の一実施形態の上面図である。

実施形態の詳細な説明

図１はフレーム要素２０と弾性要素３０を含むマスク支持体１０の一部を示している。
弾性要素３０はフレーム要素２０に固定されている。

フレーム要素２０は第１フレーム部２１と第２フレーム部２２を含んでおり、長方形あ
るいは正方形の形状を有していてもよい。

弾性要素３０は全体的に可撓性のある材料で形成された部品である。それはフレーム要
素２０の末端に沿ってフレーム要素２０の第１フレーム部２１と第２フレーム部２２の間
に備わる凹部２３の中へ伸びる取り付け端部３１を含んでいる。取り付け端部３１は第１
フレーム部２１と第２フレーム部２２の間にクランプされている。１つあるいは複数の弾
性要素３０がフレーム要素２０の末端に沿って配置されてもよく、それによって弾性要素
がマスク支持体１０に取り付けられたマスクを固定して各々の方向に延伸させることがで
きる。

更に、弾性要素３０は取り付け端部３１に接続される曲部３２を含んでいる。曲部３２
は、およそ９０°の第１湾曲３３と、およそ１８０°の第２湾曲３４と、およそ１８０°
の第３湾曲３５と、９０°と１８０°の間の角度をもつ第４湾曲を含んでいる。

レバーあるいはアーム部３７は曲部３２に接続されている。レバーあるいはアーム部３
７はフレーム要素２０から離れて外側へ伸びている。それはアーム部３７と第１締結突起
３８の間の締結凹部３９を形成するために、アーム部３７の自由端からおよそ９０°の角
度で伸びている第１締結突起３８を含んでいる。凹部３９はアーム部３７に対してフレー
ム要素２０と反対側に配置されている。

少なくとも弾性要素３０の一部、特に曲部３２は、アーム部３７と第１締結部３８がフ
レーム要素２０と取り付け端部３１に対して旋回できるように可撓性のある、及び／又は
、弾性をもつ材料でできている。アーム部３７は、少なくとも１軸の周りに、特に複数の
旋回軸の周りに、旋回してもよい。曲部３２が多くの湾曲３３、３４、３５、３６を含ん
でいるという事実のために、アーム部３７は、例えば湾曲の頂点の軸周りに旋回してもよ
い。更に、アーム部３７は並進運動を、例えば曲部３２を矢印ｘで示される方向に圧縮あ
るいは延伸させることによって実行してもよい。

図１に示される実施形態において、弾性要素３０はアンロードの状態にある。この状態
において、アーム部３７はフレーム要素２０に対して決められた角度で延伸する。矢印Ｃ
によって示される方向に圧縮するとき、弾性要素３０はばねあるいはピンのように振る舞
い、矢印Ｆに示されるように反力を発生する。

図１に示されるように、マスクアセンブリ４０は、薄層マスク４１、例えば薄い金属ホ
イルから製造されるものと、接続要素４２を含んでいる。接続要素４２は、弾性要素３０
の締結突起３８で締結する締結部４３を含んでいる。図１において、マスク４０はマスク
支持体１０と弾性要素３０との締結が外れている。マスク４０はマスク支持体１０から解
放されている。このようにマスク４０と弾性要素３０は互いに取り外される。

接続要素４２は、曲げられたタブとマスク４１の表面との間に鋭角を形成するようにマ
スク４１の端部を曲げることによって取って代えてもよい。曲げられたタブとマスク４１
の表面との間に画定される凹部は接続要素４２の締結部４３に対応する。マスク４１の端
のタブを曲げることの利点は、締結部４３が完全に揃うことである。第１に、タブをマス
ク４１の端に対して平行あるいは直角に曲げるのは極めて簡単である。第２に、マスク４
１の端に沿って各々曲げられたタブ部の長さは、例えばレーザを利用して、曲げられたタ
ブ部の間に間隙を形成することによって調整してもよい。

図１に示される実施形態において、弾性要素３０は互いに隣接して配置された複数の別
々の弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．を含んでいてもよい。弾性要素３
０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．の間には仕切り、例えば小さな間隙がある。この
ように弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．は、独立して延伸あるいはロー
ドしてもよい。

更に、弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．は、異なる構造を有していて
もよい。構造あるいは幾何形状は、異なる性質、特にマスクアセンブリ４２の側部に沿っ
て異なる張力を発生させるために変えられてもよい。弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、
３０ｄ、．．．の各々は、全体的に可撓性のある材料で形成されていてもよい。例えば、
弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．あるいは弾性要素３０ａ、３０ｂ、３
０ｃ、３０ｄ、．．．のいくつかは、マスクアセンブリ４２に対して異なる引張り力を働
かせるように形成されてもよい。更に、弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．
．あるいは弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．のいくつかは、異なる材料
でできていてもよく、あるいは異なる厚みをもっていてもよい。従って、ばね剛性やマス
クアセンブリ４２の端に沿った張力が変えられてもよい。

図２は、図１のマスク支持体１０を、マスク支持体１０に取り付けられたマスクアセン
ブリ４０とともに示している。この状態において、接続要素４２の締結部４３は、アーム
部３７の締結突起３８と締結している。締結部４３の自由端は、弾性要素３０の締結凹部
３９の中へ伸びている。

このように薄層マスク４１はマスク支持体１０に固定され、マスクアセンブリ４０をマ
スク支持体１０に固定するために圧縮された弾性要素３０によって発生する力Ｆによって
延伸される。マスクアセンブリ４０をマスク支持体１０に取り付けるとき、アーム部３７
がマスクアセンブリ４０の接続要素４２をマスク支持体１０の弾性要素３０に接続される
ために圧縮しなければならないことは明白である。レバーあるいはアーム部３７は、マス
ク４１がフレーム要素２０の上の平面内において延伸されている状態を保つために、フレ
ーム要素２０によって画定されたレベルの上を伸びる。

このように、マスクアセンブリ４０は弾性要素３０に取り付けられると同時に延伸され
る。マスクアセンブリ４０をマスク支持体１０から解放するとき、接続要素４２を弾性要
素３０から取り外し、マスクアセンブリ４０をマスク支持体１０から取り除くことができ
るように、アーム部３７を圧縮し旋回させるために、力Ｃ（Ｆよりも大きい）がアーム部
３７に適用されなければならない。

マスクアセンブリ４０をマスク支持体１０から取り外すのみならず、マスク４１を取り
付け／延伸させるのは、極めて簡単で楽にできることは明白である。

１つあるいは複数の湾曲３３、３４、３５をもつ曲部を備えることによって、単に弾性
要素３０の幾何形状を決定することによってばね剛性を広範囲に制御してもよい。更に、
弾性要素３０のたわみあるいは伸びＥ，Ｅ’（図１及び２参照）は極めて小さく、ばね剛
性はマスク４１を延伸させるために十分である。マスク４１を延伸するとき、弾性要素３
０はマスクアセンブリ４０に引張牽引力の代わりに圧縮せん断力を働かせる。マスクアセ
ンブリ４０の各々の端部４２は、マスクを把持し延伸させるために各々の弾性要素によっ
てフレーム要素２０から離れる方向に押される。このように、本発明のマスク支持体１０
を備えるために必要とされる構造空間は小さい。特に、構造の高さＨは制限され、フレー
ム要素２０の縦と横の伸びはマスクアセンブリ４０の縦と横の伸びに対応する。このよう
にマスク支持体１０は極めて小型である。

図３は本発明に係るマスク支持体１０の実施形態の一部を示しており、フレーム要素２
０と、複数の弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅ、３０ｆ、３０ｇ、３０
ｈを含んでいる。弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅはフレーム要素２０
の第１端２４に沿って隣り合って配置されている。弾性要素３０ｆ、３０ｇ、３０ｈは、
フレーム要素２０の第２端２５に沿って隣り合って配置されている。弾性要素３０は各々
の端２４、２５に沿って互いに隣接して配置されており、隣接する弾性要素３０の間には
間隙３０’が配置されている。

弾性要素３０ａ、．．．、３０ｈの構成は、図１及び２に示されているものと同じであ
る。弾性要素３０ａ、．．．、３０ｈは曲部３２を含んでいるという事実のため、弾性要
素３０ａ、．．．、３０ｈの高さＨは実質的にフレーム要素２０の高さに制限される。

弾性要素３０ａ、．．．、３０ｈの構成は同じであってもあるいは異なっていてもよく
、すなわち１つあるいは複数の弾性要素３０の構成が他の弾性要素３０の構成と異なって
いてもよい。例えば、少なくとも２つの弾性要素３０における、曲部３２において形成さ
れるカーブ数、幾何形状、材料、厚み、あるいは幅Ｂが異なっていてもよい。これらのパ
ラメータを制御することによって、特定の弾性要素３０が特定の性質、例えばレバー部３
７の並進あるいは回転力に対応する特定のばね力をもつために形成されてもよい。フレー
ム要素２０の端部に沿って異なる弾性要素３０を備えることによって、マスク４１はマス
クアセンブリ４０の端４２に沿って異なる位置で多少延伸されてもよい。このように、引
張力は各々特定のマスク設計に対して適応されてもよい。

図４はマスクアセンブリ４０の平面図を示しており、マスクアセンブリ４０はマスク４
１と、複数の弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、．．．によって働く弾性力によってフレ
ーム要素２０に把持される接続要素４２を含んでいる。弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ
、．．．は、フレーム要素２０の端部２４に沿って隣り合って配置されている。

フレーム要素２０の縦と横の伸びは実質的にマスクアセンブリ４０の縦と横の伸びに対
応していることは図４から明白である。これは弾性要素３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、．．．
がマスク４１の端４２をフレーム要素２０から離れるように押すせん断力を提供している
という事実のためであり、つまり、フレーム要素２０の伸びはマスクアセンブリ４０の表
面に一致しているかもしくは幾分小さい。また弾性要素３０とフレーム要素２０の高さＨ
は制限されているので、マスク支持体１０の構造はとても小型である。

Claims

マスク（４１）を支持し、特にＯＬＥＤコーティング装置内で使用される薄層マスク（
４１）を支持し、フレーム要素（２０）と弾性要素（３０）を含むマスク支持体（１０）
であって、
前記弾性要素（３０）は前記マスク（４１）を前記フレーム要素（２０）に取り付け、
前記フレーム要素（２０）内で支持される前記マスク（４１）を延伸させるための手段を
含んでおり、
前記弾性要素（３０）は、前記フレーム要素（２０）に回転可能に取り付けられたレバ
ーあるいはアーム部（３７）と、前記弾性要素（３０）を前記フレーム要素（２０）へ取
り付ける取り付け端部（３１）と、前記レバー部（３７）と前記取り付け端部（３１）の
間に配置された曲部（３２）を含んでいることを特徴とするマスク支持体（１０）。
前記マスク（４１）を取り付けるための前記手段は、前記弾性要素（３０）に配置され
た第１締結手段（３８）を含み、前記第1締結手段（３８）は前記マスク（４１）を運ぶ
ための前記マスクアセンブリ（４０）に備えられた対応する第２締結手段（４３）に締結
することを特徴とする請求項１記載のマスク支持体。
前記第１締結手段（３８）は前記レバーあるいはアーム部（３７）からある角度で伸び
る突起を含んでいることを特徴とする請求項２記載のマスク支持体（１０）。
前記締結手段（３８）は前記フレーム要素（２０）に回転可能に配置されていることを
特徴とする請求項２又は３記載のマスク支持体（１０）。
マスク（４１）を支持し、特にＯＬＥＤコーティング装置内で使用される薄層マスク（
４１）を支持し、フレーム要素（２０）と弾性要素（３０）を含むマスク支持体（１０）
であって、
前記弾性要素（３０）は前記マスク（４１）を前記フレーム要素（２０）に取り付け、
前記フレーム要素（２０）内で支持される前記マスク（４１）を延伸させるための手段を
含んでおり、
前記マスク（４１）を取り付けるための前記手段は、前記弾性要素（３０）に配置され
た第１締結手段（３８）を含み、これは前記マスク（４１）を運ぶ前記マスクアセンブリ
（４０）に備えられた対応する第２締結手段（４３）に締結するためのものであり、
前記第１締結手段（３８）は１よりも多い回転軸周りに回転できるように、及び／又は、
前記フレーム要素（２０）に対して並進運動できるように取り付けられていることを特徴
とするマスク支持体（１０）。
前記弾性要素（３０）はレバーあるいはアーム部（３７）を含み、前記第１締結手段（
３８）は前記レバーあるいはアーム部（３７）からある角度で伸びる突起を含んでいるこ
とを特徴とする請求項５記載のマスク支持体（１０）。
前記マスク（４１）を取り付けるための前記手段は、前記マスク（４１）を前記フレー
ム要素（２０）に取り外し可能に取り付けるために備えられていることを特徴とする請求
項１〜６のいずれか１項記載のマスク支持体。
前記第１締結手段（３８）は、前記マスク（４１）を前記フレーム要素（２０）に固定
し前記マスク（４１）を延伸させるために、少なくとも前記弾性要素（３０）が解放状態
にある第１位置から前記弾性要素が圧縮状態にある第２位置まで前記フレーム要素（２０
）に対して可動であることを特徴とする請求項２〜７のいずれか１項記載のマスク支持体
。
前記弾性要素（３０）は、全体的に可撓性のある材料で形成されていることを特徴とす
る前記の請求項のいずれか１項記載のマスク支持体（１０）。
前記弾性要素（３０）は、前記フレーム要素（２０）の少なくとも末端に沿って配置さ
れていることを特徴とする前記の請求項のいずれか１項記載のマスク支持体（１０）。
前記の請求項１〜１０のいずれか１項記載のマスク支持体（１０）にマスク（４１）を
取り付けるために設けられたマスクアセンブリ（４０）であって、
前記マスクアセンブリ（４０）は、少なくともマスク（４１）と接続手段（４２）を含
んでおり、前記接続手段（４２）は前記マスク（４１）を前記フレーム要素（２０）に取
り付け、前記フレーム要素（２０）内で支持される前記マスク（４１）を延伸させるため
の前記手段に前記マスク（４１）を接続することを特徴とするマスクアセンブリ（４０）
。
マスク（４１）を支持し、特にＯＬＥＤコーティング装置内で使用される薄層マスク（
４１）を支持し、フレーム要素（２０）と複数の弾性要素（３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３
０ｄ、．．．）を含むマスク支持体（１０）であって、
前記複数の弾性要素（３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．）のうちの第１弾性要
素（３０ａ）と第２弾性要素（３０ｂ）の両方が、前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第
２弾性要素（３０ｂ）にそれぞれ配置された第１締結手段（３８）を含み、これは前記マ
スク（４１）を運ぶための前記マスクアセンブリ（４０）に備えられた対応する第２締結
手段（４３）に締結するためのものであり、
前記弾性要素（３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．）は前記マスク（４１）を前
記フレーム要素（２０）に固定し、前記マスク（４１）の端部を前記フレーム要素から離
れるように押すことによって前記フレーム要素（２０）内に支持される前記マスク（４１
）を延伸させるために形成され、
前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第２弾性要素（３０ｂ）は前記フレーム要素（２０
）の実質的なストレートエッジに沿って互いに隣接して配置されることを特徴とするマス
ク支持体（１０）。
前記弾性要素（３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、．．．）は、前記マスク（４１）を
前記フレーム要素（２０）に取り外し可能に取り付けるために形成されていることを特徴
とする請求項１２記載のマスク支持体。
前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第２弾性要素（３０ｂ）の両方が、レバーあるいは
アーム部（３７）を含み、前記第１弾性要素（３０ａ）の前記第１締結手段（３８）と前
記第２弾性要素（３０ｂ）の前記第１締結手段（３８）が前記レバーあるいはアーム部（
３７）からある角度で伸びる突起を含んでいることを特徴とする請求項１２又は１３記載
のマスク支持体。
前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第２弾性要素（３０ｂ）の両方が、前記レバー部（
３７）と取り付け部（３１）の間に配置された曲部（３２）を含み、前記取り付け部（３
１）は前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第２弾性要素（３０ｂ）をそれぞれ前記フレー
ム要素（２０）に取り付けることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか１項記載のマ
スク支持体。
前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第２弾性要素（３０ｂ）は異なる構造を有している
ことを特徴とする請求項１５記載のマスク支持体（１０）。
前記第１弾性要素（３０ａ）の前記曲部（３２）と前記第２弾性要素（３０ｂ）の前記
曲部（３２）は異なるカーブ数を含んでいることを特徴とする請求項１６記載のマスク支
持体（１０）。
前記第１弾性要素（３０ａ）の前記第１締結手段（３８）と前記第２弾性要素（３０ｂ
）の前記第１締結手段（３８）は、前記マスク（４１）を前記フレーム要素（２０）に固
定し前記マスク（４１）を延伸させるために、少なくとも各々の前記弾性要素（３０）が
解放状態にある第１位置から前記弾性要素（３０）が圧縮状態にある第２位置まで前記フ
レーム要素（２０）に対して可動であることを特徴とする請求項１２〜１７のいずれか１
項記載のマスク支持体。
前記第１弾性要素（３０ａ）の前記第１締結手段（３８）と前記第２弾性要素（３０ｂ
）の前記第１締結手段（３８）は、前記フレーム要素（２０）に回転可能に配置されてい
る、ことを特徴とする請求項１２〜１８のいずれか１項記載のマスク支持体（１０）。
前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第２弾性要素（３０ｂ）の両方が、全体的に可撓性
のある材料で形成されていることを特徴とする請求項１２〜１９のいずれか１項記載のマ
スク支持体（１０）。
前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第２弾性要素（３０ｂ）の両方が、前記フレーム要
素（２０）の少なくとも末端に沿って配置されていることを特徴とする請求項１２〜２０
のいずれか１項記載のマスク支持体（１０）。
前記第１弾性要素（３０ａ）と前記第２弾性要素（３０ｂ）が、前記マスクアセンブリ
（４０）に異なる引張り力を働かせるように形成されていることを特徴とする請求項１２
〜２１のいずれか１項記載のマスク支持体（１０）。
少なくとも前記第１弾性要素（３０ａ）の一部と前記第２弾性要素（３０ｂ）の一部が
異なる材料でできていることを特徴とする請求項１２〜２２のいずれか１項記載のマスク
支持体（１０）。
少なくとも前記第１弾性要素（３０ａ）の一部と前記第２弾性要素（３０ｂ）の一部が
異なる厚みを有することを特徴とする請求項１２〜２３のいずれか１項記載のマスク支持
体（１０）。
マスク（４１）を請求項１〜１０又は請求項１２〜２３のいずれか１項記載のマスク支
持体（１０）に取り付けるために設けられたマスクアセンブリ（４０）であって、
前記接続手段（４２）は、少なくとも前記マスク支持体（１０）の前記第１締結手段（
３８）と相互締結するための第２締結手段（４３）を含むことを特徴とするマスクアセン
ブリ（４０）。
前記第２締結手段（４３）は、少なくとも前記マスクアセンブリ（４０）の端部を前記
マスク（４１）の表面に対して曲げることによって形成されるクランプを含むことを特徴
とする請求項１１〜２５のいずれか１項記載のマスクアセンブリ。
前記マスク（４１）は薄層シャドーマスク、特に金属シートから作られたシャドーマス
クであることを特徴とする請求項１１、２５、１６のいずれか１項記載のマスクアセンブ
リ。
請求項１〜１０又は１２１〜２４のいずれか１項記載のマスク支持体と、請求項１１又
は請求項２５〜２７のいずれか１項記載のマスクアセンブリを含むアセンブリ。
前記マスク（４１）は、前記マスク支持体（１０）の前記弾性要素（３０ａ、３０ｂ、
３０ｃ、３０ｄ、．．．）の圧縮によって発生するフレキシブルな力によって前記マスク
支持体（１０）に取り付けられており、前記弾性要素（３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ
、．．．）の前記第１締結手段（３８）は前記マスク支持体（１０）に取り付けられてい
る前記マスク（４１）を支持し延伸させるための前記マスクアセンブリ（４０）の前記第
２締結手段（４２）と締結していることを特徴とする請求項２８記載のアセンブリ。
請求項１１又は２５〜２７のいずれか１項記載のマスクアセンブリを請求項１〜１０又
は１２〜２４のいずれか１項記載のマスク支持体に接続する方法であって、
ａ）引張り装置内の前記フレーム要素と前記弾性要素を含む前記マスク支持体を挿入し
、
ｂ）前記マスク支持体の上部に前記マスクと前記接続手段を含む前記マスクアセンブリ
を配置し、
ｃ）前記引張り装置の作動によって前記弾性要素を圧縮し、
ｄ）前記引張り装置の作動によって前記弾性要素を解放することを含む方法。
ｅ）前記マスクアセンブリと前記マスク支持体を含む前記アセンブリを前記引張り装置
から取り除くことを含むことを特徴とする請求項３０記載の方法。