TWI449897B - Workpiece appearance inspection device and workpiece appearance inspection method - Google Patents

Description

工件外觀檢查裝置及工件外觀檢查方法

本發明係有關於邊搬送6面體之工件、邊拍攝該工件之6面體影像之工件外觀檢查裝置及工件外觀檢查方法。

從以前作為6面體形狀之電阻或電容等晶片形電子零件(以下簡稱「工件」)之外觀檢查裝置，習知係在由玻璃等透明體所構成之搬送台上載置工件，使搬送台旋轉邊搬送工件邊利用相機等攝像手段拍攝各面影像以進行外觀檢查之裝置。

該場合下，外觀檢查裝置之工件搬送台，係作成利用靜電以靜電吸附而搬送工件。

亦即，首先利用振動在整列搬送工件之線性送料裝置上使工件帶電，將該工件載置於搬送台上搬送直到指定之作業位置，而且，使搬送台之工件載置面與工件相反極性地帶電，在此使工件靜電吸附著(參照專利文獻1)。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2008-260594號公報

然而，以前的工件外觀檢查裝置係有如下之問題。

第1個問題，在於將工件從線性送料裝置移載至搬送台時定位困難。搬送台上的工件，朝搬送方向2面、朝上下方向2面、而朝搬送方向之左右2面，合計具有6面。為了拍攝該等6面影像，採用被固定之攝像手段以精確度良好地拍攝該等6面影像是必要的。不過，因為在將線性送料裝置上的工件移載至搬送台時並未限制工件朝一定方向被移載，移載後利用靜電吸附以固定工件之姿勢，所以，在攝像時對於各個工件的姿勢會發生微妙的差異而有可能使攝像精確度降低。

此外，在線性送料裝置內邊搬送工件邊使之帶電，因而，在搬送中利用靜電之吸附作用使線性送料裝置吸附工件，有可能使搬送速度降低，最差的場合是工件停止。

第2個問題在於工件移載後的靜電吸附力降低的問題。因為使工件與搬送台之工件載置面相反極性地帶電，所以，即使在即將工件移載時就確保了充分的吸引力，在工件移載造成工件載置面與工件接觸時，也會在接觸點電荷中和而使其總量減少。從而，使作用於被載置於搬送台上之工件之靜電吸附力降低。

此外，使搬送台之工件載置面帶電之場合，從被設置於搬送台上面之離子發生器(ionizer)將與使工件帶電電荷相反極性之電荷朝向工件噴射。因此，出現即將被移載至搬送台之工件之電荷的一部份被中和，而該場合下，作用於被載置於搬送台上之工件之靜電吸附力便降低。

第3個問題在於靜電對工件造成之影響。在藉由上述之工件移載使工件載置面與工件接觸時，因為伴隨電荷移動之電荷中和被進行，而有工件之靜電破壞或者特性劣化等之疑慮。

本發明係考慮此類之問題點而作成，目的係提供一種在將工件從線性送料裝置移載至搬送台時能夠精確度良好地進行定位，不發生工件移載後之靜電吸附力降低，不會對工件有靜電影響之工件外觀檢查裝置及工件外觀檢查方法。

本發明係一種工件外觀檢查裝置，其特徵係具備：搬送6面體形狀之工件之線性送料裝置(linear feeder)，從線性送料裝置於移載點移載工件、在載置該工件之狀態下在工件搬送圓弧上進行搬送之由透明體所構成之可自由旋轉之圓形搬送台，被配設於線性送料裝置與搬送台之間、將來自線性送料裝置之工件移載至搬送台上使之整列之移載整列手段，被配置於搬送台下方、保持被載置於搬送台之工件之保持手段、與拍攝搬送台上工件之6面影像之攝像手段；移載整列手段係具有被設於線性送料裝置與搬送台之間之無振動部，與被設於無振動部下流側、從整列工件之平面來看具直線狀的導向面之整列導件；整列導件之導向面，平面上，係相對於連結移載點與搬送台之旋轉軸之直線作成銳角，並且，於移載點下流形成工件搬送圓弧之接線。

本發明之工件外觀檢查裝置中，圓形搬送台係由透明的玻璃體所構成。

本發明之工件外觀檢查裝置中，保持手段係由朝向搬送台下面噴出帶電離子後讓搬送台下面帶電之帶電手段所構成。

本發明之工件外觀檢查裝置中，保持手段係由被配置於搬送台下方之導體所構成，在該導體施加直流電壓使之發生電場。

本發明之工件外觀檢查裝置中，依照搬送台之工件搬送速度，係比依照線性送料裝置之工件搬送速度還要快。

本發明之工件外觀檢查裝置中，整列導件之導向面，平面上，係相對於連結移載點與搬送台之直線，形成75度～88度之銳角。

本發明係一種採用工件外觀檢查裝置之工件外觀檢查方法，其特徵係具備：利用線性送料裝置搬送6面體形狀之工件之工程，將來自線性送料裝置之工件介由無振動部及整列導件移載至圓形搬送台上之移載點、而且利用整列導件之導向面使工件整列之工程，在利用保持手段以保持被載置於搬送台之工件之狀態下，於搬送台之工件搬送圓弧上搬送工件之工程，與利用攝像手段拍攝搬送台上工件的6面影像之工程。

根據本發明，藉由利用被配置於搬送台下面之保持手段保持載置於上面之工件，而在從線性送料裝置移載工件至搬送台時，利用保持手段之保持與整列導件，將工件於搬送台上之間隔形成大致一定，同時，讓對著搬送方向之姿勢形成一定，對於工件而言就能夠精確度佳的定位。因此，使利用攝像手段之攝像精確度提高、可以作成高精確度的外觀檢查。此外，因為並不使工件或搬送台之工件載置面帶電，而是利用被配置於搬送台下面之保持手段以保持工件，所以不會發生在往搬送台移載工件後因電荷中和導致靜電吸附力降低之情事。因此，使外觀檢查裝置之處理能力提高，再者，因為不使工件帶電所以並無對工件之靜電破壞或特性劣化等不良影響。

第1實施型態

以下，參照圖面針對本發明之實施型態加以說明。圖1至圖9係圖示依照本發明之工件外觀檢查裝置及工件外觀檢查方法之第1實施型態。

首先，針對利用工件外觀檢查裝置被檢查之工件，藉圖2加以說明。

在圖2，將作為電容或電阻等晶片零件之工件W作成6面體形狀，具有由絕緣體所構成之本體Wd、與由被形成於本體Wd長邊方向兩端部之導電體所構成之電極Wa、Wb。在進行該工件W外觀檢查之場合下，將工件W載置於後述之搬送台2上，使搬送台2朝圖2中箭頭Z之方向旋轉以搬送工件W。接著，利用攝像手段20從箭頭A方向拍攝紙面相對側之側面影像、從箭頭B方向拍攝靠近紙面跟前之側面影像、從箭頭C方向拍攝上面影像、從箭頭D方向拍攝下面影像、從箭頭E方向拍攝前面影像、從箭頭F方向拍攝後面影像。此時，藉由使用玻璃製的透明搬送台2，能夠在載置工件W之狀態下拍攝上述工件W之6面全面影像。

其次，針對工件外觀檢查裝置加以說明。如圖1及圖3所示，工件外觀檢查裝置30，係具備：搬送工件W之線性送料裝置1，從線性送料裝置1將工件W於移載點4x移載、在載置該工件W之狀態下在工件搬送圓弧5上進行搬送之由透明體所構成之圓形搬送台2，將來自線性送料裝置1之工件W移載至搬送台2上使之整列之移載整列手段21，被配置於搬送台2下方、讓搬送台2下面帶電並作為保持被載置於搬送台2之工件W之保持手段之功能之帶電手段6A，與拍攝搬送台2上工件W之6面影像之攝像手段20。

其中，移載整列手段21係具有被設在線性送料裝置1與搬送台2之間之無振動部4、與被設在無振動部4下流側之讓工件W整列之整列導件7；整列導件7係包含用以讓工件W整列之導向面7a。該導向面7a，係從平面看來(從上方看來)作成直線狀。

此外，攝像手段20，係如後述方式具有：側面相機部8、內面相機部9、上面相機部10、下面相機部11、前面相機部12、與後面相機部13。

其次，針對工件外觀檢查裝置30之各構成部分，再藉由圖1至圖4加以說明。

在此，圖1係以圖2所示形狀之工件W為對象之工件外觀檢查裝置之平面圖，圖3係用圖1之虛線所包圍之領域S之放大平面圖，圖4則是在圖1從箭頭Y方向來看領域S之透視圖。

在圖1，直線狀之線性送料裝置1係利用未圖示之驅動源而振動，使投入位於線性送料裝置1上流側之未圖示之送料裝置(parts feeder)之工件W整列成一列並藉振動以朝箭頭N方向搬送。

被設於線性送料裝置1下方之搬送台2，係透明的玻璃製成且水平地設置，利用未圖示之驅動源以旋轉軸3為中心做順時針(圖1之箭頭X方向)旋轉。如圖4所示方式，線性送料裝置1係朝向搬送台2有些微的傾斜下降，在其下流端，有與線性送料裝置1同等的傾斜但不振動之無振動部4，與搬送台2有些微的間隙接續著。藉此，工件W係從線性送料裝置1經過無振動部4逐漸下降而被移載至搬送台2。

在搬送台2上面的外緣部附近，以圖1之一點鏈線所示方式，形成以旋轉軸3為中心之圓弧之工件搬送圓弧5，工件W則在從無振動部4被移載至搬送台2之後，利用後述之整列導件7之作用在工件搬送圓弧5上進行整列。在此，工件搬送圓弧5係為使工件W整列而被假想之目標位置，並非是在搬送台2上面附上工件搬送圓弧5之利用目視可以識別之任何記號。

此外，帶電手段6A，係作為保持被載置於搬送台2之工件W之保持手段之功能。該帶電手段6A係由被設置於無振動部4位置的稍微靠前面之離子發生器6所構成，該離子發生器6係被設於搬送台2正下方且朝向搬送台2下面噴出正(plus)離子(以下，簡稱「電荷」)以使搬送台2下面帶正電。

又，上述各構成部分之中，利用無振動部4、與具有導向面7a之導向7，而構成移載整列手段21。

此外，在圖3，具有直線狀導向面7a之整列導件7，係於搬送台2外緣部側之正上方，被設置與搬送台2有些微的間隙。在圖3，以連結移載點4x與搬送台2之旋轉軸3之直線當作虛線K顯示。

如圖3所示方式，整列導件7係以導向面7a與虛線K所形成之角α成為75度～88度銳角之方式，並且，導向面7a是以從移載點4x到位於工件W搬送方向下流之工件搬送圓弧5之合流點7x作成工件搬送圓弧5之接線的方式被設置。亦即，在將連結合流點7x與搬送台2之旋轉軸3之直線用虛線L表示時，虛線L與導向面7a所形成之角β成為90°。

此外，如圖1所示方式，在無振動部4下流側沿著搬送台2的旋轉方向，設置構成攝像手段20之側面相機部8、內面相機部9、上面相機部10、下面相機部11、前面相機部12、後面相機部13。利用該攝像手段20，就能夠針對工件搬送圓弧5上的工件W，分別拍攝圖2用箭頭A～F顯示之工件W之各面影像以進行外觀檢查。此時，圖2用箭頭Z表示之工件W的搬送方向，係一致於圖1之搬送台2之旋轉方向X。

具體而言，對著工件W，側面相機部8是拍攝紙面相對側之側面A影像，內面相機部9是拍攝靠近紙面跟前之側面B影像，上面相機部10是拍攝上面C影像，下面相機部11是拍攝下面D影像，前面相機部12是拍攝前面E影像，而後面相機部13則是拍攝後面F影像。

再者，如圖1所示方式，從攝像手段20在搬送台2旋轉方向的下流側設置作為排出手段之排出部14。完成外觀檢查之工件W，係對應於外觀檢查結果並利用排出部14從工件搬送圓弧上被排出至未圖示之收納箱。

其次，針對採用由此類構成所形成之工件外觀檢查裝置之工件外觀檢查方法，詳細地加以說明。

在圖1，工件W是被投入位於線性送料裝置1上流側之未圖示之送料裝置，被投入送料裝置之工件W係利用藉未圖示之驅動源以進行振動之線性送料裝置1之作用整列成一列，以朝圖1之箭頭N方向被串行搬送。此時，工件W係整列成長邊方向與搬送方向一致之方式，圖2之箭頭Z成為工件W之搬送方向。亦即，圖2之箭頭Z方向是一致於圖1之箭頭N方向。

其次，根據圖4，詳述線性送料裝置1之作用。圖4係顯示利用線性送料裝置1被搬送之工件W的樣子，從箭頭Y方向來看圖1用虛線包圍之領域S之透視圖。圖4，為了作成容易看到搬送台2上工件W的樣子，將整列導件7之位置作成用虛線顯示之透視圖。此外，針對工件W，將各個構成部分上的工件顯示為工件W₀ ～W₆ ，不問場所而將一般的工件顯示為工件W。

如圖4所示方式，線性送料裝置1係朝向水平地位於其下方之搬送台2具有些微的傾斜，利用線性送料裝置1之振動被後續之工件W推動而前進之工件W，係如W₀ 顯示之方式朝前後方向連續而朝向搬送台2稍微下降。因為線性送料裝置1是振動著，所以，在將工件W從線性送料裝置1移載至搬送台2時在使線性送料裝置1直到搬送台2之正上方位置接近時，有線性送料裝置1與搬送台2抵接之疑慮。為了防止該疑慮，在線性送料裝置1下流端與搬送台2之間，設置不振動之無振動部4。

此外，也考慮到起因於線性送料裝置1振動之偏差，而在線性送料裝置1發生工件W搬送速度的偏差之情事，藉由使無振動部4介在於線性送料裝置1與搬送台2之間就能夠均一化該搬送速度。

那麼，無振動部4係具有與線性送料裝置1同等之傾斜，在與搬送台2上面之間具有些微的間隙。無振動部4上的工件W係與線性送料裝置1上同樣地被後續之工件推動而前進，如W₀ 顯示之方式朝前後連續而朝向搬送台2稍微下降。

接著，到達無振動部4下流端之工件W₁ ，被正位於其後方之工件W₀ 推動，被移載至搬送台2上之移載點4x，以後，利用搬送台2之旋轉而朝圖4之箭頭X方向被搬送。在此，無振動部4的長度過短時，會使均一化搬送速度變得困難，相反地，其長度過長時，則有工件W在途中停止之疑慮。本發明之實施型態，因為無振動部4的長度係作成工件長邊方向尺寸的8倍，所以，能夠不使工件W停止而謀求工件W搬送速度之均一化。

再者，以上述方式在搬送台2下側設置離子發生器6，朝向搬送台2下面噴出正電荷以使搬送台2下面帶正電。圖4，係模式地用+顯示該正電荷。藉由以該方式讓搬送台2下面帶正電，被移載至移載點4x之工件W就會被吸附於搬送台2上面。

其次，針對搬送台2上之工件W之吸附作用，藉由圖5至圖7加以說明。

其中，圖6(a)(b)係顯示靜電感應原理之說明圖。於圖6(a)顯示工件W長邊方向之一端部之電極Wa。電極Wa係由導電體所構成，在通常狀態係如圖6(a)所示，在其內部有用+顯示之正電荷與用一顯示之負電荷存在於隨機的位置。將使該電極Wa從左方接近正電荷時的樣子顯示於圖6(b)。

在此，係接近使之帶正電荷之帶電體T。此時，電極Wa內的負電荷會被吸引至帶電體T內之正電荷，負電荷會聚集於靠近帶電體T之電極Wa之左面WaL側。此外，電極Wa內的正電荷會排斥帶電體T內之正電荷，而從帶電體T聚集至遠遠的電極Wa之右面WaR側。此時，在左面WaL側顯現負電荷，而在右面WaR側顯現正電荷。又，因為電極Wa係由導電體所構成，所以，內部的電荷係能夠自由地活動，因而，在圖6(b)，在電極Wa左面WaL與右面WaR之間之部分則變成電荷不存在。稱此現象為靜電感應。

此外，利用靜電感應，在聚集於電極Wa左面WaL側之負電荷與帶電體T內之正電荷之間，圖6(b)用箭頭G所示之引力會發揮作用。因此，電極Wa被帶電體T吸引。當帶電體T遠離電極Wa時，電極Wa內之電荷則再度回到圖6(a)之狀態。針對電極Wb也是同樣的。

其中，圖7(a)(b)係顯示靜電感應原理之說明圖。其中，圖7(a)係顯示工件W長邊方向中央部之本體Wd。本體Wd係絕緣體，通常狀態係如圖7(a)所示，在其內部有以+顯示之正電荷與-顯示之負電荷當作一組之分子(橢圓虛線)存在於隨機的位置。

圖7(b)顯示在該本體Wd從左方接近正電荷時的樣子。在此，係接近使之帶正電荷之帶電體T。此時，本體Wd內的負電荷會被吸引至帶電體T內之正電荷，同時，本體Wd內之正電荷則排斥帶電體T內之正電荷。因此，本體Wd內分子的朝向，係整列成接近帶電體T之本體Wd左面WdL側變成負電荷，而遠離帶電體T之本體Wd右面WdR側則變成正電荷。

如圖7(b)所示方式，在本體Wd左面WaL側顯現負電荷，而在右面WaR側顯現正電荷。又，本體Wd因為是絕緣體所以內部的電荷並不能自由地活動，而在左面WdL與右面WdR之間，分子會朝一定方向整列。稱此現象為介電分極。此外，利用介電分極，在本體Wd左面WaL側顯現之負電荷與帶電體T內之正電荷之間，圖7(b)用箭頭G所示之引力會發揮作用。因此，本體Wd被帶電體T吸引。當帶電體T遠離本體Wd時，本體Wd內之分子則再度回到圖7(a)之狀態。

其次，利用圖5，表示被移載至移載點4x之工件W利用靜電感應及介電分極而被吸附於搬送台2上面的樣子。在圖5，搬送台2下面係利用離子發生器6的作用而帶正電。因為搬送台2的材質之玻璃為絕緣體，所以藉由存在於搬送台2下面之正電荷引發上述之介電分極，搬送台2內部之中，在下面側顯現負電荷，而在上面側顯現正電荷。此外，同樣地，針對從無振動部4被移載至搬送台2上之移載點4x之工件W₂ ，在電極Wa及Wb係利用靜電感應，或者在本體Wd是利用介電分極，分別在下面側顯現負電荷、在上面側顯現正電荷。

在圖5，在電極Wa、Wb及本體Wd之下面側所顯現之負電荷與搬送台2下面所存在之正電荷之間，用箭頭顯示之靜電吸附力G會發揮作用，藉此，工件W₂ 會被吸附至搬送台2上面。此時，在工件W₂ 的下面及搬送台2的上面僅僅利用靜電感應或者介電分極讓電荷顯現，並不會引發電荷移動所形成之帶電。因此，吸附時並不會使電荷中和發生，而吸附後吸附力也不會下降。以該方式，工件W₂ 係在被吸附於搬送台2上面之狀態下利用搬送台2的旋轉而朝箭頭X方向被搬送。

其次，從無振動部4被移載至搬送台2上之移載點4x之工件W，被顯示為工件W₂ ，在被吸附於搬送台2之狀態下利用搬送台2的旋轉而朝箭頭X方向被搬送。

該場合，將依搬送台2的旋轉所形成之搬送速度，設為比依線性送料裝置1及無振動部4所形成之搬送速度還要快，並作成使搬送台2上的工件間(例如W₂ 與W₃ 之間)保持間隔。藉由以該方式使搬送台2上的工件間保持間隔，就可以在圖1的前面相機部12拍攝圖2所示之工件W的前面E影像，而且圖1的後面相機部13拍攝圖2所示之工件W的後面F影像時，確實地拍攝面全體影像。

亦即，在工件W從移載點4x被移載至搬送台2後被搬送時，在圖3之區間P，工件W係在被靜電吸附之狀態下，以W₂ →W₃ →W₄ 的方式快速地被加速直到搬送台2的搬送速度，在區間Q，工件的間隔係變寬成例如W₄ 與W₅ 之間。

此時，因為在無振動部4與搬送台2之間有些微的間隙，並且依搬送台2的旋轉所形成之搬送速度是比無振動部4所形成之搬送速度還要快，所以，工件W₂ 在並不完全被吸附於搬送台2之場合，在從無振動部4被移載至搬送台2上之移載點4x之時點下有可能引發工件W₂ 微妙的跳躍。該場合，因為工件W所發生之跳躍會使每一工件W散亂，而使加速後的搬送台2上的工件W的間隔發生偏差。對此，根據本發明，因為工件W₂ 是被完全地吸附於搬送台2，所以，在從無振動部4被移載至搬送台2上的移載點4x之時點，並不會發生工件W₂ 跳躍，而是被固定於搬送台2上。因此，能夠將加速後的工件W的間隔保持於大致一定。

那麼，在搬送台2外緣部的移載點4x正上方，具有直線狀導向面7a之整列導件7，係被設置與搬送台2有些微的間隙。如上述方式，在圖3將連結移載點4x與旋轉軸3之直線作成虛線K時，整列導件7係以導向面7a與虛線K所形成之角α成為銳角之方式，並且，導向面7a是被設置成在位於移載點4x下流方向之合流點7x形成工件搬送圓弧5之接線。亦即，在將連結合流點7x與旋轉軸3之直線用虛線L表示時，虛線L與導向面7a所形成之角β成為90°。因此，使移載點4x成為對工件搬送圓弧5而言位於搬送台2之外緣部側。從而，能夠使被移載至移載點4x之工件W之搬送方向(箭頭X)變成朝向導向面7a之方向，將在移載點4x之工件W之姿勢的微妙差異加以修正而作成相同。

其次，針對由整列導件7所形成之整列作用，利用圖9(a)(b)加以說明。

在此，圖9(a)係顯示被移載至移載點4x之工件W_2E1 之姿勢，對正確的方向而言成稍稍向左之場合。移載點4x之位置對工件搬送圓弧5而言為搬送台2的外緣部側，在圖9(a)用箭頭X顯示之搬送台2之旋轉方向成為與工件搬送圓弧5之軌跡相同方向，而工件W_2E1 之搬送方向則成為朝向導向面7a之方向。因此，工件W_2E1 在以工件W_2E2 之方式抵接於導向面7a之後，會朝導向面7a被推進。此時，因為工件W_2E1 係藉由比作用在導向面7a之間之摩擦力還要強的力而被吸附於玻璃台2，所以，即使在朝導向面7a被推進之狀態下也不會減速，並以沿著導向面7a之形被搬送。

圖9(b)係顯示被移載至移載點4x之工件W_2E3 之姿勢，對正確的方向而言成稍稍向右之場合。該場合也是，工件W_2E3 之搬送方向成為朝向導向面7a之方向，工件W_2E3 在以工件W_2E4 之方式抵接於導向面7a之後，會朝導向面7a被推進，如W₂ 之方式以沿著導向面7a之形被搬送。藉由作成該方式並利用存在於搬送台2下面之電荷之吸附與導向面7a之作用，能夠將工件W在搬送台2上之間隔作成大致一定、同時對搬送方向之姿勢作成一定等等可精確度良好的定位。

那麼，如上述方式，依搬送台2的旋轉所形成之搬送速度會比依線性送料裝置1及無振動部4所形成之搬送速度還要快，因而，被定位之工件W係在圖3之區間P被靜電吸附之狀態下，以W₂ →W₃ →W₄ 的方式快速地被加速直到依搬送台2的旋轉所形成之搬送速度，在區間Q，工件的間隔係變寬成例如W₄ 與W₅ 之間。接著，工件W₅ 係與區間P同樣地邊朝導向面7a被推進邊被搬送，逐漸地去接近於工件搬送圓弧5。接著，到達導向面7a接在工件搬送圓弧5之合流點7x之工件W₆ 之搬送方向，在區間R會一致於工件搬送圓弧5之方向，工件W₆ 則朝離開導向面7a之方向被搬送。亦即，因為對著搬送台2上之工件W₆ 而由存在於搬送台2下面之正電荷發揮靜電吸附力作用，所以，工件W₆ 係被吸附於搬送台2直接離開導向面7a，以後在被載置整列於工件搬送圓弧5上之狀態下被搬送。

其後，工件W直到到達攝像手段20，利用攝像手段20之側面相機部8、內面相機部9、上面相機部10、下面相機部11、前面相機部12、後面相機部13，從圖2用箭頭A～F所示方向拍攝各面影像以執行外觀檢查。該場合，因為利用存在於搬送台2下面之電荷所形成之吸附與導向面7之作用而精確度良好地執行工件W之定位，所以，使利用攝像手段20之攝像精確度提升。

完成外觀檢查之工件W，會到達排出部14，因應外觀檢查結果而朝向未圖示之收納箱被排出。

在排出部14排出工件W之場合，能夠對著例如圖2之靠紙面跟前的側面B從搬送台2內周側噴出壓縮空氣，將工件W朝搬送台2外周側吹跑以導入收納箱。收納箱內之工件W，在搬送台2上因為於其下面所存在之正電荷，而具有圖6(b)、圖7(b)所示之狀態，但是，藉由遠離正電荷就會回到圖6(a)、圖7(a)之狀態。此間，在工件W本身並不產生因靜電造成之帶電。

如上述方式，本實施型態採用靜電而將工件W吸附於搬送台2，但是並不會因靜電使工件W引發靜電破壞或發生特性劣化等，將此情事利用圖8(a)(b)加以說明。

圖8(a)，係顯示在將工件W載置於搬送台2上面並使搬送台2下面帶正電時，因搬送台2下面所存在之正電荷所產生之電力線的樣子。如圖8(a)所示方式，電力線係從正電荷出發而被終端於負電荷。在該場合下考慮到負電荷係存在於無限遠方，因而電力線E1係從存在於搬送台2下面之正電荷出發，貫通搬送台2與工件W而朝向上方。除此之外，從該正電荷出發而朝向下方或者左右之電力線也存在，但因為無關於本發明所以並未圖示。此時，工件W在電極Wa及Wb利用靜電感應、或者在本體Wd利用介電分極，而在各自的下面顯現負電荷，同時，在各自的上面顯現正電荷。此時，因為電極Wa及Wb係導電體，所以，在其上面會聚集正電荷，而在下面聚集負電荷。因而，利用該等電荷而在電極Wa及Wb的內部發生電力線E2。其方向係從存在於上面之正電荷出發而被終端於存在於下面之負電荷。

從而，電極Wa及Wb內因為有電力線E1與E2互為反向存在而抵消，如圖8(b)所示方式在電極Wa及Wb內變成電力線不存在之狀態。在圖8(b)用E1’顯示以該方式用電極Wa及Wb被分斷之電力線。該狀態下，因為在電極Wa及Wb內電力線不存在，所以，電極Wa與電極Wb係同電位。亦即，在電極Wa與電極Wb之間並沒有施加電壓，不會引發工件之靜電破壞或者特性劣化等。

那麼，也考慮到在工件W從無振動部4被移載至搬送台2之過渡狀態，藉由基於存在於搬送台2下面之電荷之靜電感應，邊讓工件W之電極Wa、Wb內之電荷移動各電極內，邊讓電極Wa、Wb反覆進行與無振動部4及搬送台2接觸或離開。也考慮到在此類之電極Wa、Wb之接觸或離開時，當電極Wa、Wb內之電荷在與外部之間移動時，因放電所引發靜電破壞之情事。該場合，因為無振動部4係與搬送台2同樣地採用絕緣體等具有高電阻值之材料而被構成，所以，並不會使電極Wa、Wb之間產生電荷移動。

又，上述實施型態，係顯示使搬送台2下面帶正電之例子，但是，也可以因應必要而使之帶負電。此外，顯示搬送台2是由玻璃製之材料所構成之例子，但是，搬送台2之材料只要是透明體即可並不限於玻璃。

第2實施型態

以下，利用圖10乃至圖15，針對本發明第2實施型態加以說明。

圖10乃至圖15所示之本發明第2實施型態，相異點只在於取代在搬送台2下方配置帶電手段6A，而是在搬送台2的下方配置導電板(導體)15，其他的構成係與圖1乃至圖9所示之第1實施型態大致相同。

在圖10乃至圖15顯示之第2實施型態，在與圖1乃至圖9顯示之第1實施型態相同部分附上相同圖號並省略詳細之說明。

在此，圖10係從箭頭Y方向來看在圖1用虛線所包圍之領域S之透視圖，並對應於圖4。圖10，在搬送台2下側，取代圖4之由離子發生器6所構成之帶電手段6A，而是配置由導體所構成之導電板15並與搬送台2下面隔著些微的間隙。導電板15係作成平面形狀，如圖12所示方式，其表面15a則作成大致平行於搬送台2。此外，在導電板15有直流電源16接續並施加直流電壓，構成電場發生手段。利用圖11顯示導電板15之配置處。圖11係顯示圖1之虛線所包圍之領域S之放大平面圖，並對應於圖3。於圖11，導電板15係朝水平方向細長狀延伸，從移載點4x到工件W之搬送台2上之工件搬送圓弧5及整列導件7之導向面7a所對應之搬送台2下側，被配置成長邊方向沿著工件W之工件搬送圓弧5。

其次，利用圖10乃至圖15針對本發明第2實施型態之作用，說明如下。

圖11，利用線性送料裝置1之振動以一列被搬送之工件W，被移載於搬送台2上之移載點4x，藉由被接續於直流電源16之導電板15所產生之電荷之作用所形成之靜電感應及利用介電分極而被吸附於搬送台2上面。

於圖12顯示該吸附作用之樣子。圖12，導電板15被配置與搬送台2下面隔著些微間隙，在導電板15接續直流電源16並施加正的直流電壓。因此，在導電板15顯現正電荷。

利用該正電荷的作用與圖5同樣地引發介電分極，對向於導電板15之搬送台2內部之中在下面側顯現負電荷，而在上面側顯現正電荷。此外，同樣地，從無振動部4被移載至搬送台2上之移載點4x之工件W₂ ，在電極Wa及Wb係利用靜電感應，或者在本體Wd是利用介電分極，分別在下面側顯現負電荷、在上面側顯現正電荷。

接著，在電極Wa、Wb及本體Wd之下面側所顯現之負電荷與導電板15之正電荷之間，用箭頭顯示之靜電吸附力G會發揮作用，藉此，工件W₂ 在被吸附至搬送台2上面之狀態下利用搬送台2之旋轉而朝箭頭X方向被搬送。

該場合，與圖8(a)(b)所示之第1實施型態同樣地，因為在工件W本身並不發生由靜電所形成之帶電，所以並無工件W引發靜電破壞或者產生特性劣化之情事。

又，上述實施型態之說明中，以導電板15的面作成大致平行於搬送台2的面加以說明，但是，導電板15的面與搬送台2的面之位置關係，並不受限定於此。於圖13顯示圖11之L方向箭視放大圖，圖13中顯示顯示導電板15從正電荷出發之電力線之樣子。

如圖13所示方式，藉由電力線貫通搬送台2及工件W而引發靜電感應及介電分極，在工件W的下面產生負電荷，在工件W的上面則產生正電荷。在此，為了簡化，利用介電分極而在搬送台2內產生之電荷並未圖示。

如圖13所示方式，從導電板15上之正電荷出發之電力線之中，從存在於導電板15端面15x附近之正電荷出發者(圖中的Ex)，係具有所謂朝向電荷不存在側，亦即導電板15外側彎曲之性質。

因此，取代圖13所示之構成，而如圖14之方式將導電板15配置成其表面15a與搬送台2作成大致直角。該場合，導電板15係朝水平方向細長狀延伸，在對應於整列導件7之導向面7a之搬送台2下側，被配置成長邊方向形成大致平行於工件W之工件搬送圓弧5。

於圖14，從導電板15之正電荷出發之電力線之中從端面15x附近之正電荷出發之電力線係貫通搬送台2及工件W。因此，與圖13所示之場合同樣地，利用靜電感應及介電分極，在工件W的下面產生負電荷，在工件W的上面則產生正電荷。

再者，也可以如圖15之方式，設置具有L字形狀剖面之導電板15。該場合，導電板15所交差之2表面15b、15c之中，也可以將表面15b配置成大致直角於搬送台2，將表面15c配置成大致平行於搬送台2。該場合，導電板15係朝水平方向細長狀延伸，在對應於整列導件7之導向面7a之搬送台2下側，被配置成長邊方向形成大致平行於工件W之工件搬送圓弧5。

於圖15，因為電力線跟電力線具有所謂不交差之性質，所以，從導電板15之正電荷出發之電力線之中從存在於端面15x附近之正電荷出發之電力線係貫通搬送台2及工件W。因此，與圖13同樣地，利用靜電感應及介電分極，在工件W的下面產生負電荷，在工件W的上面則產生正電荷。

又，在上述第2實施型態之說明中，係顯示使導電板15帶正電之例子，但是，也可以因應必要而使之帶負電。

1．．．線性送料裝置(linear)

2．．．搬送台

3．．．搬送台之中心軸

4．．．無振動部

4x．．．移載點

5．．．工件搬送圓弧

6．．．離子發生器(ionizer)

6A．．．帶電手段

7．．．整列導件

7a．．．導向面

7x．．．合流點

8．．．側面相機部

9．．．內面相機部

10．．．上面相機部

11．．．下面相機部

12．．．前面相機部

13．．．後面相機部

14．．．排出部

15．．．導電板

20．．．攝像手段

21．．．移載整列手段

30．．．工件外觀檢查裝置

W．．．工件

Wa、Wb．．．工件之電極

Wd．．．工件本體

[圖1]圖1係依照本發明第1實施型態之工件外觀檢查裝置之平面圖。

[圖2]圖2係顯示工件之斜視圖。

[圖3]圖3係顯示圖1之領域S之放大平面圖。

[圖4]圖4係從箭頭Y之方向來看圖1之領域S之透視圖。

[圖5]圖5係顯示本發明第1實施型態之工件往搬送台吸附之模式圖。

[圖6]圖6(a)及圖6(b)係顯示本發明第1實施型態之靜電感應原理之說明圖。

[圖7]圖7(a)及圖7(b)係顯示本發明第1實施型態之介電分極原理之說明圖。

[圖8]圖8(a)及圖8(b)係本發明第1實施型態之電力線之說明圖。

[圖9]圖9(a)及圖9(b)係本發明第1實施型態之整列導件之作用說明圖。

[圖10]圖10係依照本發明第2實施型態之工件外觀檢查裝置之透視圖，對應於第1實施型態之圖4之圖。

[圖11]圖11係依照本發明第2實施型態之工件外觀檢查裝置之放大平面圖。

[圖12]圖12係顯示本發明第2實施型態之工件往搬送台吸附之模式圖。

[圖13]圖13係本發明第2實施型態之電力線之說明圖。

[圖14]圖14係本發明第2實施型態之電力線之說明圖。

[圖15]圖15係本發明第2實施型態之電力線之說明圖。

1．．．線性送料裝置(linear)

2．．．搬送台

4．．．無振動部

4x．．．移載點

5．．．工件搬送圓弧

7．．．整列導件

7a．．．導向面

7x．．．合流點

21．．．移載整列手段

W₀ ～W₉ ．．．工件

Claims (7)

1. 一種工件外觀檢查裝置，其特徵係具備：搬送6面體形狀之工件之線性送料裝置(linear feeder)，從線性送料裝置於移載點移載工件、在載置該工件之狀態下在工件搬送圓弧上進行搬送之由透明體所構成之可自由旋轉之圓形搬送台，被配設於線性送料裝置與搬送台之間、將來自線性送料裝置之工件移載至搬送台上使之整列之移載整列手段，被配置於搬送台下方、保持被載置於搬送台之工件之保持手段、與拍攝搬送台上工件之6面影像之攝像手段；移載整列手段係具有被設於線性送料裝置與搬送台之間之無振動部，與被設於無振動部下流側、從整列工件之平面來看具直線狀的導向面之整列導件；整列導件之導向面，平面上，係包含移載點，以及在移載點的下流側且與工件搬送圓弧合流的合流點，且導向面包含連結移載點與合流點的直線，以及比合流點更為下流側的直線；連結移載點與合流點的直線，係相對於連結移載點與搬送台之旋轉軸之直線作成銳角；並且，比合流點更為下流側的直線，與連結合流點與搬送台的旋轉軸的直線正交；被移載至移載點的工件，藉由保持手段保持，同時被按壓於導向面之連結移載點與合流點的直線而沿著導向面被搬送。
2. 如申請專利範圍第1項記載之工件外觀檢查裝置，其中，圓形搬送台係由透明的玻璃體所構成。
3. 如申請專利範圍第1項記載之工件外觀檢查裝置，其中，保持手段係由朝向搬送台下面噴出帶電離子後讓搬送台下面帶電之帶電手段所構成。
4. 如申請專利範圍第1項記載之工件外觀檢查裝置，其中，保持手段係由被配置於搬送台下方之導體所構成，在該導體施加直流電壓使之發生電場。
5. 如申請專利範圍第1項記載之工件外觀檢查裝置，其中，依照搬送台之工件搬送速度，係比依照線性送料裝置之工件搬送速度還要快。
6. 如申請專利範圍第1項記載之工件外觀檢查裝置，其中，整列導件之導向面，平面上，係相對於連結移載點與搬送台之直線，形成75度~88度之銳角。
7. 一種採用如申請專利範圍第1項記載之工件外觀檢查裝置之工件外觀檢查方法，其特徵係具備：利用線性送料裝置搬送6面體形狀之工件之工程，將來自線性送料裝置之工件介由無振動部及整列導件移載至圓形搬送台上之移載點、而且利用整列導件之導向面使工件整列之工程，在利用保持手段以保持被載置於搬送台之工件之狀態下，於搬送台之工件搬送圓弧上搬送工件之工程，與利用攝像手段拍攝搬送台上工件的6面影像之工程。