CN114249128B - 静电感应吸附式输送体以及静电感应吸附式输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及静电感应吸附式输送体以及静电感应吸附式输送装置。本发明抑制输送中的输送对象物的位置偏移、落下，并且抑制利用静电力的吸附力的降低。用于利用基于静电感应的静电力来吸附输送对象物并进行输送的静电感应吸附式输送体(1)具备：绝缘部，由绝缘性材料构成，且具有与输送对象物接触的输送面；和导电部(12a～12h)，在输送对象物的输送时与绝缘部一起移动，且为了得到静电力而被施加电压。导电部(12a～12h)沿着输送对象物的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个。

Description

静电感应吸附式输送体以及静电感应吸附式输送装置

技术领域

本发明涉及用于利用基于静电感应的静电力来吸附输送对象物并进行输送的静电感应吸附式输送体、以及具备这样的静电感应吸附式输送体的静电感应吸附式输送装置。

背景技术

以往，公知有通过利用基于静电感应的静电力，来吸附输送对象物并进行输送的输送装置。作为这样的输送装置的一个，在专利文献1中公开了如下装置：通过对设置于输送台的下表面的辅助静电感应层施加电压，使载置于输送台上的输送对象物产生静电力而吸附于输送台，并沿旋转方向输送。

然而，公知在利用静电力吸附输送对象物的情况下，大气中的离子等粒子被吸附于输送面，由此吸附力随着时间的经过而降低。

因此，在专利文献2中，公开了通过对电极交替地施加正负的相反极性的电压，能够产生一定以上的静电力的静电保持装置。根据该静电保持装置，通过切换外加电压的极性，在输送对象物的表面瞬间感应相反极性的电荷，由此原来的静电力再次恢复。

专利文献1：日本特开2013-187535号公报

专利文献2：日本特开2004-120921号公报

这里，在专利文献1所记载的输送装置应用专利文献2所记载的技术，构成为切换对辅助静电感应层施加的电压的极性的情况下，由于在切换电压的极性的时机吸附力为0，因此产生输送中的输送对象物的位置偏移、从输送台上落下。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够抑制输送中的输送对象物的位置偏移、落下，并且抑制利用静电力的吸附力的降低的静电感应吸附式输送体、以及具备这样的静电感应吸附式输送体的静电感应吸附式输送装置。

本发明的静电感应吸附式输送体是用于利用基于静电感应的静电力来吸附输送对象物并进行输送的静电感应吸附式输送体，其特征在于，具备：

绝缘部，由绝缘性材料构成，且具有与上述输送对象物接触的输送面；和

导电部，在输送上述输送对象物时与上述绝缘部一起移动，并为了得到上述静电力而被施加电压，

上述导电部沿着上述输送对象物的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个。

本发明的静电感应吸附式输送装置的特征在于，具备：

上述的静电感应吸附式输送体；

驱动部，驱动上述静电感应吸附式输送体；

供给部，将上述输送对象物供给到上述静电感应吸附式输送体的上述绝缘部的上述输送面上；

排出部，将上述输送面上的上述输送对象物排出；

电压施加部，对上述导电部施加电压；以及

控制部，针对多个上述导电部的每一个，控制上述电压施加部所进行的电压施加。

根据本发明的静电感应吸附式输送体，导电部沿着输送对象物的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个，由此能够针对每个导电部来控制电压的施加。因此，例如，通过进行对存在输送中的输送对象物的区域的导电部施加电压，使对不存在输送对象物的区域的导电部施加的电压为零的切换、施加的电压的极性的切换，从而能够抑制输送中的输送对象物的位置偏移、落下，并且抑制利用静电力的吸附力的降低。

另外，根据本发明的静电感应吸附式输送装置，通过控制部对多个导电部的每一个，控制电压施加部所进行的电压施加，由此例如通过进行对存在输送中的输送对象物的区域的导电部施加电压，使对不存在输送对象物的区域的导电部施加的电压为零的切换、施加的电压的极性的切换，从而能够抑制输送中的输送对象物的位置偏移、落下，并且抑制利用静电力的吸附力的降低。

附图说明

图1是示意性地表示第一实施方式中的静电感应吸附式输送装置的结构的图。

图2是示意性地表示静电感应吸附式输送装置所包含的静电感应吸附式输送体的导电部、以及电压施加部的详细结构的图。

图3是表示作为输送对象物的一个例子的层叠陶瓷电容器的外观形状的立体图。

图4是示意性地表示静电感应吸附式输送体的结构的剖视图。

图5是表示施加电压以使第一电极和第二电极中的一方带正电荷，使另一方带负电荷，来吸附作为输送对象物的层叠陶瓷电容器的状态的图。

图6是表示切换对第一电极及第二电极施加的电压的极性的情况下的电压的时间变化的一个例子的图。

图7的(a)是表示每两分钟切换对导电部施加的电压的极性的情况下的吸附力的时间变化的图，(b)是表示对导电部持续施加相同的电压的情况下的吸附力的时间变化的图。

图8是示意性地表示第二实施方式中的静电感应吸附式输送体的导电部、以及电压施加部的详细结构的图。

图9是表示使用了第三实施方式中的静电感应吸附式输送体的输送装置的整体结构的示意图。

图10是示意性地表示第四实施方式中的静电感应吸附式输送体的外观形状的图。

图11是表示第四实施方式中的静电感应吸附式输送体，经由电压施加端子从电源向导电部施加电压的构成例的图。

图12是用于对第一电压施加端子与第一电极的接触、以及第二电压施加端子与第二电极的接触方法进行说明的侧视图。

图13是表示第四实施方式中的静电感应吸附式输送体，经由针对多个导电部的每一个设置的电压施加端子，从多个电源对多个导电部的每一个施加电压的构成例的图。

图14是示意性地表示第五实施方式中的静电感应吸附式输送体的外观形状的图。

图15是示意性地表示第六实施方式中的静电感应吸附式输送体的外观形状的图。

图16是表示在第一绝缘部设置有用于收容输送对象物的收容孔的静电感应吸附式输送体的示意性结构的剖视图。

图17是表示在第一绝缘部、导电部以及第二绝缘部设置有用于从与输送面相反的一侧吸引并吸引保持输送对象物的吸引孔的静电感应吸附式输送体的示意性结构的剖视图。

附图标记说明

1、1A、1B、1C、1D、1E…静电感应吸附式输送体；2…驱动部；3…供给部；4…排出部；5…电压施加部；6…控制部；7…处理部；8…拍摄部；9…对准排列部；11…第一绝缘部；12、12a～12h…导电部；13…第二绝缘部；20…输送对象物；20X…层叠陶瓷电容器；21…陶瓷基体；22a…第一外部电极；22b…第二外部电极；30…电线；41…空气喷出部；50…集流环；51～58、60…电源；61…第一电压施加端子；62…第二电压施加端子；70…收容孔；80…吸引孔；100…静电感应吸附式输送装置；110…输送面；121…第一电极；122…第二电极。

具体实施方式

以下，示出本发明的实施方式，并对本发明的特征具体地进行说明。

＜第一实施方式＞

图1是示意性地表示第一实施方式中的静电感应吸附式输送装置100的结构的图。图2是示意性地表示静电感应吸附式输送装置100所包含的静电感应吸附式输送体1的导电部12、以及电压施加部5的详细结构的图。

第一实施方式中的静电感应吸附式输送装置100具备静电感应吸附式输送体1、驱动部2、供给部3、排出部4、电压施加部5以及控制部6。本实施方式中的静电感应吸附式输送装置100还具备处理部7、作为光学作用部的一个例子的拍摄部8以及对准排列部9。

通过静电感应吸附式输送装置100输送的输送对象物20例如是层叠陶瓷电容器、电感器、热敏电阻、模块基板等电子部件、处于电子部件的制造中途的半成品。但是，输送对象物20不限定于电子部件、半成品。

图3是表示作为输送对象物20的一个例子的层叠陶瓷电容器20X的外观形状的立体图。如图3所示，层叠陶瓷电容器20X具有陶瓷基体21和第一外部电极22a及第二外部电极22b。

层叠陶瓷电容器20X具有6面体的形状。即，层叠陶瓷电容器20X具有相互对置的第一端面23a及第二端面23b、相互对置的第一主面24a及第二主面24b、以及相互对置的第一侧面25a及第二侧面25b。第一外部电极22a及第二外部电极22b例如含有Ni、Cu、Ag、Pd、Pt、Fe、Ti、Cr、Sn或者Au等具有导电性的金属或合金等。陶瓷基体21例如含有钛酸钡、锆酸钙等陶瓷材料。

本申请的静电感应吸附式输送体1用于在后述的输送面110保持输送对象物20，通过驱动静电感应吸附式输送装置100来输送输送对象物20。

在静电感应吸附式输送装置100中，静电感应吸附式输送体1的输送面110在被驱动而从通过供给部3供给输送对象物20的位置向通过排出部4排出输送对象物20的位置输送输送对象物20的往路、和在排出输送对象物20之后，返回到再次供给的位置的回路中循环。静电感应吸附式输送体1的往路和回路连续一体化。静电感应吸附式输送体1用于静电感应吸附式输送装置100，由此只要能够吸附输送对象物20并进行输送，则对其形状没有特别的限制。本实施方式中的静电感应吸附式输送体1沿旋转方向输送输送对象物20，因此具有可旋转的圆台状的形状。静电感应吸附式输送体1的直径例如为100mm以上且1000mm以下。

图4是示意性地表示静电感应吸附式输送体1的结构的剖视图。在本实施方式中，静电感应吸附式输送体1具备第一绝缘部11、导电部12以及第二绝缘部13。但是，也可以是省略了第二绝缘部13的结构。

第一绝缘部11由绝缘性材料构成，且具有与输送对象物20接触的输送面110。在本实施方式中，输送对象物20载置于输送面110上，如后述那样，利用基于静电感应的静电力，吸附于输送面110。输送面110上不是铅垂方向的上方向，而是输送面110之上，方向没有限定。在本实施方式中，第一绝缘部11由透明的绝缘性材料，例如硼硅酸玻璃、石英玻璃、浮法玻璃等透明玻璃材料、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、丙烯酸树脂等透明树脂材料构成。

为了提高输送对象物20的吸附力，优选第一绝缘部11的层叠方向上的厚度较薄，例如为0.001mm以上且5mm以下。

在本实施方式中，如后述那样，对于载置在静电感应吸附式输送体1上的输送对象物20，在输送时，为了进行作为光学作用的一个例子的外观检查，从与输送面110相反的一侧通过拍摄部8进行拍摄。因此，第一绝缘部11具有能够供在检查输送对象物20时照射的检查光透射的透射率。为了提高外观检查的精度，优选透射率较高。

此外，在输送输送对象物20时不进行外观检查，而仅进行输送的情况下，第一绝缘部11不需要具有能够供检查光透射的透射率。在该情况下，作为第一绝缘部11的构成材料，能够使用聚酰亚胺等树脂材料、陶瓷系材料等。

导电部12在输送输送对象物20时与第一绝缘部11一起移动，并为了得到静电力，而被施加与地线具有电位差的电压。本实施方式中的导电部12位于第一绝缘部11与第二绝缘部13之间，具有第一电极121和第二电极122这两个电极。

在本实施方式中，第一电极121和第二电极122为透明电极。透明电极例如由氧化铟锡(ITO)、掺锑氧化锡(ATO)、氧化钛、石墨烯等构成。第一电极121及第二电极122具有能够供检查光透射的透射率。为了提高外观检查的精度，优选透射率较高。另外，在第一绝缘部11与第二绝缘部13之间且没有设置第一电极121和第二电极122的部分设置有绝缘体。在本实施方式中，该绝缘体由透明的绝缘性材料，例如硼硅酸玻璃、石英玻璃、浮法玻璃等透明玻璃材料、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、丙烯酸树脂等透明树脂材料构成。

但是，在输送输送对象物20时不进行外观检查而仅进行输送的情况下，第一电极121和第二电极122不需要具有能够供检查光透射的透射率。在该情况下，第一电极121及第二电极122例如能够由金箔、银箔、铜箔、铝箔或者导电带等构成。另外，在第一绝缘部11与第二绝缘部13之间且没有设置第一电极121和第二电极122的部分设置的绝缘体也不需要具有能够供检查光透射的透射率。

此外，在使第一绝缘部11和第二绝缘部13分别为层的情况下，第一电极121和第二电极122在第二绝缘部13上形成为同一层，但第一电极121和第二电极122也可以形成为不同层。

为了提高输送对象物20的外观检查的精度，优选导电部12的层叠方向上的厚度较薄，例如为1nm以上且100μm以下。

第二绝缘部13由绝缘性材料构成。在本实施方式中，第二绝缘部13由透明的绝缘性材料构成，例如由硼硅酸玻璃、石英玻璃、浮法玻璃等透明玻璃材料、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、丙烯酸树脂等透明树脂材料构成。第二绝缘部13具有能够供检查光透射的透射率。为了提高外观检查的精度，优选透射率较高。在作为检查光，使用可见光的情况以及使用可见光以外的光的情况的任一情况下，作为光透射静电感应吸附式输送体1的比例的透射率优选为40％以上且100％以下。

但是，在输送输送对象物20时不进行外观检查，而仅进行输送的情况下，第二绝缘部13不需要具有能够供检查光透射的透射率。在该情况下，作为第二绝缘部13的构成材料，能够使用聚酰亚胺等树脂材料、陶瓷系材料等。

第二绝缘部13的层叠方向上的厚度例如为1mm以上且20mm以下。

导电部12沿着输送对象物20的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个。在本实施方式中，通过具有圆台状的形状的静电感应吸附式输送体1旋转，从而载置在其上的输送对象物20被输送。因此，输送对象物20的输送方向是静电感应吸附式输送体1旋转的方向。在本实施方式中，如图2所示，沿着旋转方向，设置有第一导电部12a、第二导电部12b、第三导电部12c、第四导电部12d、第五导电部12e、第六导电部12f、第七导电部12g、以及第八导电部12h这八个导电部12。第一导电部12a～第八导电部12h分别相互不电连接。但是，导电部12的数量不限定于8个，也可以是7个以下，也可以是9个以上。

在本实施方式中，第一导电部12a～第八导电部12h分别具有多个电极，具体而言，具有第一电极121和第二电极122这两个电极。第一电极121及第二电极122配设于对置位置。更具体而言，如图2所示，第一电极121及第二电极122配设成梳齿状。即，在输送对象物20的输送方向上，交替地配设第一电极121与第二电极122。

此外，在采用第一电极121及第二电极122中的任一个电极接地的结构的情况下，可以形成接地的电极跨越第一导电部12a～第八导电部12h中的相邻的多个而相互连接的结构。另外，配置于一个导电部12的电极的数量也可以为三个以上。

输送对象物20的输送方向上的第一电极121和第二电极122的宽度W1(参照图4)例如为0.2mm。另外，输送对象物20的输送方向上的第一电极121与第二电极122之间的距离L1(参照图4)例如为0.4mm。另外，在输送对象物20的输送方向上，相邻的导电部12之间的距离优选为不会受泄漏的电流的影响的距离，例如为0.01mm以上且10mm以下。

根据本实施方式中的静电感应吸附式输送体1，导电部12沿着输送对象物20的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个，因此能够针对每个导电部12控制电压的施加。因此，如后述那样，通过在保持对存在输送中的输送对象物20的输送对象物吸附区域T1的导电部12施加电压的状态下，变更对不存在输送对象物20的输送对象物非吸附区域T2的导电部12施加的电压的大小，从而能够抑制输送中的输送对象物20的位置偏移、落下，并且抑制利用静电力的吸附力的降低。

电压施加部5对导电部12施加电压。如上述那样，第一导电部12a～第八导电部12h以相互不电连接的方式设置，电压施加部5对第一导电部12a～第八导电部12h的每一个分别施加电压。这里，电压施加部5施加电压以使导电部12的第一电极121及第二电极122中的一方的电极带正电荷，另一方的电极带负电荷。

如图2所示，电压的施加可以通过经由电线30的接触供电来进行，也可以通过电磁耦合、电场耦合的非接触供电来进行。在图2所示的例子中，电压施加部5具备集流环50和第一电源51～第八电源58。第一电源51～第八电源58分别与第一导电部12a～第八导电部12h对应，对第一导电部12a～第八导电部12h施加电压。即，朝向第一导电部12a～第八导电部12h，经由集流环50，从对应的第一电源51～第八电源58供给电压。

此外，在图2中，示出了第一导电部12a的第一电极121及第二电极122、和第八导电部12h的第一电极121及第二电极122分别经由电线30与集流环50连接的状态，但其他导电部12b～12g也同样。

若通过电压施加部5施加电压，则第一电极121及第二电极122带电，并通过静电感应，相反极性的电荷被吸引到载置在第一绝缘部11上的输送对象物20的导电体。由此，静电力产生，输送对象物20吸附于静电感应吸附式输送体1的输送面110。

图5是表示施加电压以使第一电极121和第二电极122中的一方带正电荷，使另一方带负电荷，来吸附作为输送对象物20的层叠陶瓷电容器20X的状态的图。这里，说明了施加电压以使第一电极121带正电荷，使第二电极122带负电荷。即，在通电时，第一电极121作为正极发挥功能，第二电极122作为负极发挥功能。但是，也可以施加电压以使第一电极121作为负极发挥功能，第二电极122作为正极发挥功能。

如上述那样，层叠陶瓷电容器20X的第一外部电极22a以及第二外部电极22b的接近第一绝缘部11的部分分别以与第一电极121以及第二电极122相反的电荷带电。在图5中，示出了负电荷被吸引至第一外部电极22a的表面中的接近第一绝缘部11的部分，正电荷被吸引至第二外部电极22b的表面中的接近第一绝缘部11的部分的状态。通过使第一电极121和第二电极122中的一方为正极，使另一方为负极，能够增大第一电极121与第二电极122之间的电位差，并能够增大吸附力。

此外，也可以对第一电极121以及第二电极122施加相同极性的电压。但是，在对第一电极121以及第二电极122施加相同极性的电压的情况下，电力线成为开路的状态，对周边部件产生影响，存在输送对象物20的对准排列性变差的可能性。与此相对，通过使第一电极121和第二电极122中的一方为正极，使另一方为负极，从而成为电力线从正极朝向负极的闭合状态，因此能够抑制对周边部件产生影响，使输送对象物20的对准排列性稳定化。

这里，作为利用基于静电感应的静电力吸附输送对象物20的方式，公知有库仑力方式、约翰逊·拉贝克力方式以及梯度力方式，可以是任意的方式。库仑力方式是第一绝缘部11的体积电阻率高，通过导电部12与输送对象物20之间的库仑力进行吸附的方式。约翰逊·拉贝克力方式是与库仑力方式相比，第一绝缘部11的体积电阻率较低，利用第一绝缘部11与输送对象物20之间的接触电阻引起的电位差，通过约翰逊·拉贝克力进行吸附的方式。梯度力方式是在不均匀电场中使电介质产生极化，利用在极化电荷产生的力的差进行吸附的方式。

控制部6针对多个导电部12的每一个控制电压施加部5进行的电压施加。具体而言，当导电部12从输送对象物吸附区域T1向输送对象物非吸附区域T2移动时，控制部6变更通过电压施加部5对该导电部12施加的电压的大小。在本实施方式中，输送对象物吸附区域T1是在输送对象物20的输送方向上，从通过供给部3将输送对象物20供给到输送面110上的位置至通过排出部4排出的位置为止的区域，即存在输送中的输送对象物20的区域(参照图1)。另外，输送对象物非吸附区域T2是在输送对象物20的输送方向上，从通过排出部4将输送对象物20排出的位置至通过供给部3将输送对象物20供给到输送面110上的位置为止的区域，即不存在输送中的输送对象物20的区域(参照图1)。

更详细而言，控制部6在从导电部12的全部进入输送对象物非吸附区域T2开始，到导电部12的前端部分进入输送对象物吸附区域T1的期间，变更由电压施加部5施加的电压的大小。

作为在导电部12从输送对象物吸附区域T1移动到输送对象物非吸附区域T2时，控制部6变更由电压施加部5对导电部12施加的电压的大小的方法，可列举以下的三种方法。

(I)使外加电压为0

在导电部12位于输送对象物吸附区域T1时，即在输送对象物20在输送面110上被输送的期间，通过电压施加部5对导电部12施加电压。当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动到输送对象物非吸附区域T2时，控制部6使电压施加部5对导电部12施加的电压为0。具体而言，通过电压施加部5对导电部12施加地线的电压。或者，在导电部12位于输送对象物吸附区域T1时对第一电极121和第二电极122施加不同的电压的情况下，也可以当导电部12移动到输送对象物非吸附区域T2时，通过电压施加部5对第一电极121和第二电极122施加相同的电压。这里，不是通过电压施加部5对导电部12施加电压0，而是切断电压施加部5与导电部12之间的连接，由此虽然花费少许时间，但能够使电压接近0。此外，使对导电部12施加的电压为0的控制也可以在移动到输送对象物非吸附区域T2之前进行。另外，控制部6在直到导电部12从输送对象物非吸附区域T2进入输送对象物吸附区域T1时，恢复由电压施加部5向导电部12的电压的施加。

若通过电压施加部5对导电部12持续施加电压，则大气中的离子等吸附于静电感应吸附式输送体1的输送面110。离子向输送面110的吸附成为使输送对象物20的吸附力降低的原因，但通过使对导电部12施加的电压为0，从而利用自然放电将吸附于输送面110的离子等除去。因此，通过暂时停止对导电部12的电压的施加，与对导电部12持续施加电压的结构相比，能够降低利用静电力的输送对象物20的吸附力的降低。

(II)切换施加的电压的极性

当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动到输送对象物非吸附区域T2时，控制部6控制电压施加部5，以便切换对该导电部12施加的电压的极性。例如，在导电部12在输送对象物吸附区域T1移动中，施加电压以使第一电极121带正电荷，使第二电极122带负电荷的情况下，当导电部12移动到输送对象物非吸附区域T2时，控制部6切换由电压施加部5施加的电压的极性，以使该导电部12的第一电极121带负电荷，使第二电极122带正电荷。图6表示切换对第一电极121及第二电极122施加的电压的极性的情况下的电压的时间变化的一个例子。

通过切换对导电部12施加的电压的极性，能够将吸附于静电感应吸附式输送体1的输送面110的离子除去。因此，与不切换对导电部12施加的电压的极性的结构相比，能够抑制利用静电力的输送对象物20的吸附力的降低。

另外，通过对导电部12施加相反极性的电压，能够将吸附于输送面110的离子强制地除去，由此与自然放电的情况相比，能够迅速地除去离子。因此，即使在导电部12通过输送对象物非吸附区域T2的时间短的情况下，也能够进行离子的除去。

这里，从一个导电部12的整体进入输送对象物非吸附区域T2开始到该导电部12的前端部分进入输送对象物吸附区域T1的时间例如为5毫秒以上且10秒以下。另外，从切换所施加的电压的极性到吸附力恢复所需的时间例如为1毫秒以上且5秒以下。另外，从切换对一个导电部12施加的电压的极性到切换下一施加的电压的极性的时间例如为0.5秒以上且5分钟以下。

图7的(a)表示每两分钟切换对导电部12施加的电压的极性的情况下的吸附力的时间变化的图，图7的(b)表示对导电部12持续施加相同的电压的情况下的吸附力的时间变化的图。图7的(a)表示静电感应吸附式输送体1的旋转周期为2分钟，每当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动至输送对象物非吸附区域T2时，切换对导电部12施加的电压的极性的情况下的吸附力的时间变化。

如图7(b)所示，在对导电部12持续施加相同的电压的情况下，吸附力随着时间的经过而降低。与此相对，在切换对导电部12施加的电压的极性的情况下，如图7的(a)所示，能够抑制吸附力的降低。

此外，在将切换对导电部12施加的电压的极性的时机从每120秒改变为每20秒后，能够进一步抑制吸附力的降低，落下的输送对象物20的数量减少，或者姿势大幅变化的输送对象物20的数量减少，因此输送对象物20的合格率从84.5％提高到99.9％。但是，在导电部12从输送对象物吸附区域T1移动到输送对象物非吸附区域T2时，需要切换对导电部12施加的电压的极性，因此切换电压的极性的时机取决于静电感应吸附式输送体1的旋转速度。

(III)交替地反复施加相反极性的电压

当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动到输送对象物非吸附区域T2时，控制部6控制电压施加部5，以便对导电部12交替地反复施加相反极性的电压。例如，对导电部12施加电压的极性交替变化的交流电压。通过对导电部12交替地反复施加相反极性的电压，能够更有效地除去吸附于静电感应吸附式输送体1的输送面110的离子。由此，能够更有效地抑制利用静电力的输送对象物20的吸附力的降低。

上述的(I)～(III)的方法中，按照(III)、(II)、(I)的顺序，抑制吸附力的降低的效果从高到低。因此，当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动到输送对象物非吸附区域T2时，控制部6优选控制电压施加部5，以便切换对导电部12施加的电压的极性，更优选控制电压施加部5，以便对导电部12交替地反复施加相反极性的电压。

如上述那样，当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动到输送对象物非吸附区域T2时，通过变更由电压施加部5对导电部12施加的电压的大小，能够抑制利用静电力的输送对象物20的吸附力的降低。另外，在导电部12存在于输送对象物吸附区域T1的期间，为对导电部12施加电压的状态，因此能够抑制输送中的输送对象物20的位置偏移、落下。

供给部3将输送对象物20供给至静电感应吸附式输送体1的输送面110上。作为供给部3，例如，能够使用通过振动而供给输送对象物20的振动式零件进给器、旋转并且供给输送对象物20的旋转式零件进给器、通过空气的力而供给输送对象物20的空气式零件进给器、通过传送带而供给输送对象物20的传送带式零件进给器、逐个供给输送对象物20的一对一式搭载机构等。

供给部3以一定的时间间隔将输送对象物20供给至静电感应吸附式输送体1的输送面110上。由供给部3供给的供给量例如在一分钟内为50个～30000个。

输送对象物20以一定的间隔以列状被供给至静电感应吸附式输送体1的输送面110上。输送对象物20可以被供给为成为1列，也可以被供给为成为2列以上的多列。

在本实施方式中，设置有用于使被供给至静电感应吸附式输送体1的输送面110上的输送对象物20对准排列的对准排列部9。被供给至静电感应吸附式输送体1的输送面110上的输送对象物20通过与对准排列部9抵接而在朝向一致的状态下，对准排列成一列。这里，使作为输送对象物20的层叠陶瓷电容器20X的朝向一致，以使第一外部电极22a及第二外部电极22b对置的方向与输送方向一致。

如上述那样，静电感应吸附式输送体1具有可旋转的圆台状的形状，通过旋转来输送输送面110上的输送对象物20。此时，离心力施加于输送对象物20，但由于输送对象物20在通过基于静电感应的静电力，吸附于静电感应吸附式输送体1的输送面110的状态下被输送，因此能够抑制输送时的输送对象物20的位置偏移、从输送面110上落下。

驱动部2驱动静电感应吸附式输送体1。驱动部2例如是DC马达、伺服马达、步进电机、线性马达等电磁马达、超声波马达、压缩空气等。静电感应吸附式输送体1可以连续地驱动，也可以间歇地驱动。在连续地驱动的情况下的速度例如为10mm/s以上且2400mm/s以下，在间歇地驱动的情况下的速度例如为300mm/s以上且1200mm/s以下。此外，驱动部2能够设置于任意的位置。

本实施方式中的静电感应吸附式输送装置100构成为在输送输送对象物20时，能够进行输送对象物20的外观检查。输送对象物20的外观检查通过拍摄部8及处理部7来进行。

拍摄部8对静电感应吸附式输送体1的输送面110上的输送对象物20进行拍摄。拍摄部8只要能够对输送对象物20进行拍摄，则没有特别限制，例如能够使用CCD照相机、CMOS照相机。

这里，说明了输送对象物20是上述的层叠陶瓷电容器20X，作为拍摄部8使用CCD照相机。为了对层叠陶瓷电容器20X的第一端面23a、第二端面23b、第一主面24a、第二主面24b、第一侧面25a以及第二侧面25b分别进行拍摄，作为拍摄部8，配置有6个CCD照相机。此外，在图1中，作为拍摄部8，示出位于与静电感应吸附式输送体1几乎相同的高度或上方的5个CCD照相机，未示出位于比静电感应吸附式输送体1靠下方的一个CCD照相机。

在图1中，第一拍摄区域SA1是对层叠陶瓷电容器20X的第一侧面25a以及第二侧面25b进行拍摄的区域。第二拍摄区域SA2是对层叠陶瓷电容器20X的第一端面23a以及第二端面23b进行拍摄的区域。第三拍摄区域SA3是对层叠陶瓷电容器20X的第一主面24a以及第二主面24b进行拍摄的区域。

输送对象物20的外观检查基于由拍摄部8拍摄的图像，通过处理部7来进行。在基于拍摄图像的外观检查中，例如，检查输送对象物20的外形尺寸、特定部位的尺寸、表面的凹凸的有无、异物的附着的有无、破损的有无、变色的有无等。

进行了用于外观检查的拍摄的输送对象物20通过排出部4，从静电感应吸附式输送体1的输送面110上排出。从输送对象物20被供给至静电感应吸附式输送体1的输送面110上到排出为止的输送路径的长度例如为300mm以上且2500mm以下。

在本实施方式中，排出部4具备空气喷出部41。即，通过空气喷出部41朝向输送对象物20喷出空气，从而将输送对象物20从静电感应吸附式输送体1的输送面110上排出。但是，输送对象物20的排出方法不限定于利用空气的喷出的方法，例如，也可以通过未图示的吸引机构吸引而排出。另外，也可以逐一拾起输送对象物20而排出。另外，也可以根据外观检查的结果排出，以便将合格产品和不合格产品回收到不同的容器中。

＜第二实施方式＞

在第一实施方式的静电感应吸附式输送体1中，导电部12分别具有多个电极，即具有第一电极121和第二电极122。

与此相对，在第二实施方式的静电感应吸附式输送体1A中，导电部12分别具有一个电极。

图8是示意性地表示第二实施方式中的静电感应吸附式输送体1A的导电部12、以及电压施加部5的详细结构的图。这里，说明了与第一实施方式中的静电感应吸附式输送体1同样地，沿着输送对象物20的输送方向，以相互不电连接的方式设置有第一导电部12a～第八导电部12h这8个导电部12。

如图8所示，第一导电部12a～第八导电部12h具有一个电极。电压施加部5对第一导电部12a～第八导电部12h的每一个分别施加电压。输送对象物20被载置在静电感应吸附式输送体1A的输送面110上中的第一导电部12a～第八导电部12h的形成为圆弧状的部分的铅垂上方，在利用静电力吸附于输送面110的状态下被输送。

此外，在如本实施方式那样，导电部12的每一个仅具有一个电极的结构中，通过将输送对象物20与地线相连，能够获得更大的吸附力，但难以将输送对象物20与地线相连。然而，在如第一实施方式那样，导电部12的每一个具有多个电极，对多个电极的每一个施加相反极性的电压的构成中，即使不将输送对象物20与地线相连也能够获得充分的吸附力。因此，优选如第一实施方式中的静电感应吸附式输送体1那样，导电部12具有多个电极。

＜第三实施方式＞

上述的第一实施方式中的静电感应吸附式输送体1以及第二实施方式中的静电感应吸附式输送体1A具有柔软性较低的构造，但也可以如膜片那样，具有可弯折且柔软性较高的构造。

图9是表示使用了第三实施方式中的静电感应吸附式输送体1B的静电感应吸附式输送装置100的整体结构的示意图。图9所示的静电感应吸附式输送体1B为膜状且具有连续环形状。静电感应吸附式输送体1B的周长例如为500mm以上且2400mm以下。另外，从通过供给部3供给输送对象物20开始到排出的距离例如为150mm以上且1100mm以下。

这里，说明了第三实施方式中的静电感应吸附式输送体1B与图4所示的静电感应吸附式输送体1同样地，由第一绝缘部11、导电部12以及第二绝缘部13构成。在该情况下，第一绝缘部11例如由PET树脂等透明树脂材料构成。第一绝缘部11的层叠方向上的厚度例如为0.001mm以上且0.05mm以下。

导电部12例如由ITO、ATO、氧化钛、石墨烯、金、银、铜、锡等构成。导电部12的厚度例如为5nm以上且1μm以下。

第二绝缘部13例如由PET树脂等透明树脂材料构成。第二绝缘部13的层叠方向上的厚度例如为0.01mm以上且1mm以下。此外，也可以形成为省略第二绝缘部13的结构。

静电感应吸附式输送体1B被驱动为循环。输送对象物20通过供给部3被供给到静电感应吸附式输送体1B的输送面110上，并在通过静电力被吸附的状态下，沿静电感应吸附式输送体1B的驱动方向输送。

在本实施方式中，当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动至输送对象物非吸附区域T2时，控制部6(在图9中省略)变更由电压施加部5(在图9中省略)施加的电压的大小。这里，输送对象物吸附区域T1是在输送对象物20的输送方向上，从通过供给部3将输送对象物20供给到输送面110上的位置至通过排出部4排出的位置为止的区域。另外，输送对象物非吸附区域T2是在输送对象物20的输送方向上，从通过排出部4将输送对象物20排出的位置至通过供给部3将输送对象物20供给到输送面110上的位置为止的区域。

＜第四实施方式＞

图10是示意性地表示第四实施方式中的静电感应吸附式输送体1C的外观形状的图。第四实施方式中的静电感应吸附式输送体1C是第三实施方式中使用的静电感应吸附式输送体的例子，在图示的范围内呈直线状输送输送对象物20。此外，虽然在图10中省略，但优选设置有用于使输送对象物20对准排列的对准排列部。静电感应吸附式输送体1C具有上述那样的层叠第一绝缘部11、导电部12以及第二绝缘部13的结构。但是，也可以是省略了第二绝缘部13的结构。

如图10所示，导电部12沿着输送对象物20的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个。在本实施方式中，一个导电部12也具有第一电极121及第二电极122。第一电极121及第二电极122在输送对象物20的输送方向上交替地配设。但是，也可以是一个导电部12仅具有一个电极的结构。

图10示出电压施加部5具备集流环50，经由集流环50，从与各导电部12对应的电源51、52…向导电部12的第一电极121及第二电极122供给电压的构成例。但是，向导电部12供给电压的方法不限定于使用集流环50的方法。在该结构中，当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动至输送对象物非吸附区域T2时，控制部6变更由电压施加部5施加的电压的大小，这与其他实施方式相同。另外，输送对象物吸附区域T1以及输送对象物非吸附区域T2的定义也与其他实施方式相同。

图11是表示经由电压施加端子61、62，从电源60对导电部12施加电压的构成例的图。在图11所示的例子中，对多个导电部12的第一电极121设置有一个第一电压施加端子61，对多个导电部12的第二电极122设置有一个第二电压施加端子62。第一电极121包含未被第一绝缘部11覆盖的第一电极引出部121a。另外，第二电极122包含未被第一绝缘部11覆盖的第二电极引出部122a。此外，虽然在图11中省略，但优选设置有用于使输送对象物20对准排列的对准排列部。

图12是用于对第一电压施加端子61与第一电极121的接触、以及第二电压施加端子62与第二电极122的接触方法进行说明的侧视图。如图12所示，第一电压施加端子61从上方与第一电极121的第一电极引出部121a接触，从而对第一电极121施加电压。另外，第二电压施加端子62从上方与第二电极122的第二电极引出部122a接触，从而对第二电极122施加电压。

输送对象物20在吸附于静电感应吸附式输送体1C的输送面110的状态下，沿图11的箭头Y1的方向被输送，但第一电压施加端子61以及第二电压施加端子62不移动。因此，当由于输送对象物20的输送，从而此前接触的第一电极引出部121a与第一电压施加端子61成为非接触状态，并且此前接触的第二电极引出部122a与第二电压施加端子62成为非接触状态时，不对未与第一电压施加端子61电连接的第一电极121以及未与第二电压施加端子62电连接的第二电极122施加电压。但是，即使在不施加电压的情况下，也暂时保持基于静电感应的静电力，因此能够将输送对象物20在吸附于静电感应吸附式输送体1C的状态下输送。

如图11所示，通过第一电压施加端子61以及第二电压施加端子62施加电压的位置在输送对象物20的输送方向上，比通过供给部3将输送对象物20供给到静电感应吸附式输送体1C的输送面110上的位置靠后方。控制部6控制电压施加部5，以使在对已施加了一次电压的导电部12再次施加电压时，施加极性与上次施加的电压不同的电压。通过第一电压施加端子61以及第二电压施加端子62对导电部12施加电压的位置为不存在输送对象物20的输送对象物非吸附区域T2，因此与其他实施方式同样地，能够抑制输送中的输送对象物的位置偏移、落下，并且抑制利用静电力的吸附力的降低。

图13是表示经由针对多个导电部12的每一个设置的电压施加端子61a、61b…、62a、62b…，从多个电源60a、60b…对多个导电部12的每一个施加电压的构成例的图。如图13所示，与多个导电部12的第一电极121对应地设置有第一电压施加端子61a、61b…，与多个导电部12的第二电极122对应地设置有第二电压施加端子62a、62b…。即，第一电压施加端子61a、61b…以及第二电压施加端子62a、62b…分别仅设置与导电部12相同的数量。此外，虽然在图13中省略，但优选设置有用于使输送对象物20对准排列的对准排列部。

在图13所示的构成例中，第一电压施加端子61a、61b…以及第二电压施加端子62a、62b…分别与静电感应吸附式输送体1C一起移动。在输送输送对象物20时，对导电部12的第一电极121以及第二电极122持续施加电压。因此，与图11所示的结构相比，能够以更稳定的静电力使输送对象物20吸附于静电感应吸附式输送体1C，从而能够更有效地抑制输送对象物20的位置偏移。

此外，在图13所示的结构中，当导电部12从输送对象物吸附区域T1移动到输送对象物非吸附区域T2时，控制部6变更由电压施加部5施加的电压的大小，这与其他实施方式相同。另外，输送对象物吸附区域T1以及输送对象物非吸附区域T2的定义也与其他实施方式相同。

＜第五实施方式＞

图14是示意性地表示具有鼓状的形状，且沿着旋转方向的表面为输送对象物20的输送面110的、第五实施方式的静电感应吸附式输送体1D的外观形状的图。静电感应吸附式输送体1D具有上述那样的第一绝缘部11、导电部12以及第二绝缘部13沿径向层叠的结构。但是，也可以是省略了第二绝缘部13的结构。

静电感应吸附式输送体1D的直径例如为100mm以上且1000mm以下，输送对象物20的输送面110的宽度例如为5mm以上且150mm以下，包含第一绝缘部11、导电部12以及第二绝缘部13的整体的厚度例如为1mm以上且20mm以下。

导电部12的结构与图10、图11以及图13所示的结构相同，沿着输送对象物20的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个。

＜第六实施方式＞

图15是示意性地表示输送面110与水平方向平行的、将图1所示的静电感应吸附式输送体1配置为输送面110与铅垂方向平行的第六实施方式的静电感应吸附式输送体1E的外观形状的图。图15所示的静电感应吸附式输送体1E仅输送面110的朝向与图1所示的静电感应吸附式输送体1不同，其动作相同。

此外，在图15中，示出了输送对象物20以1列被输送的状态，但也可以与其他实施方式中的静电感应吸附式输送体同样地，构成为以多列被输送。

另外，如图16所示，也可以形成为在静电感应吸附式输送体1E的第一绝缘部11设置有用于收容输送对象物20的收容孔70的结构。在该情况下，输送对象物20在通过供给部3被供给至静电感应吸附式输送体1E时，收容于设置在第一绝缘部11的收容孔70。然后，输送对象物20以收容于收容孔70的状态被输送。根据该结构，输送对象物20以收容于收容孔70的状态被输送，因此能够更有效地抑制输送对象物20的落下、位置偏移。此外，在其他实施方式的静电感应吸附式输送体中也同样，可以采用在第一绝缘部11设置有收容孔70的结构。

另外，如图17所示，也可以形成为在静电感应吸附式输送体1E的第一绝缘部11、导电部12以及第二绝缘部13设置有用于吸引保持输送对象物20的吸引孔80的结构。在图17所示的例子中，构成为通过经由吸引孔80，从与输送面110相反的一侧吸引，来吸引保持输送对象物20。根据该结构，在输送输送对象物20时，除基于静电感应的静电力之外，还能够利用由经由吸引孔80的吸引导致的吸引力使输送对象物20吸附于静电感应吸附式输送体1E的输送面110，因此能够更有效地抑制输送时的输送对象物20的落下、位置偏移。此外，在其他实施方式的静电感应吸附式输送体中也同样，可以采用设置有吸引孔80的结构。

本发明不限定于上述实施方式，在本发明的范围内，能够施加各种应用、变形。即，本发明的静电感应吸附式输送体只要具备如下结构即可，即具备：绝缘部，由绝缘性材料构成，且具有与输送对象物接触的输送面；和导电部，在输送输送对象物时与绝缘部一起移动，并为了得到静电力而被施加电压，导电部沿着输送对象物的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个。另外，本发明的静电感应吸附式输送体只要是如下结构即可，即具备：这样的静电感应吸附式输送体；驱动部，驱动静电感应吸附式输送体；供给部，将输送对象物供给到静电感应吸附式输送体的绝缘部的输送面上；排出部，排出输送面上的输送对象物；电压施加部，对导电部施加电压；以及控制部，针对多个导电部的每一个，控制电压施加部所进行的电压施加。

在上述实施方式中，输送对象物20构成为在输送中进行外观检查。因此，说明了处理部7基于由拍摄部8拍摄的图像，进行检测输送对象物20的表面上的缺陷等的外观检查，但也可以构成为进行外观检查以外的处理。例如，处理部7也可以构成为对输送对象物20进行加工、电特性的测定、拍摄、用于校准等的工件位置识别、红外线等光的照射、导电浆料、绝缘浆料等浆料的涂敷等。即，处理部7对输送对象物20进行外观检查、电特性的测定、加工、拍摄、光的照射以及浆料的涂敷中的至少一个处理。其中，特别是，将进行外观检查等的拍摄、用于工件位置识别等的光传感检测等从输送对象物20向光学作用部入射作用光的处理、和用于拍摄的照明等从光学作用部朝向输送对象物20照射作用光的处理中的至少一个称为光学作用。用于光学作用的光学作用部例如包含拍摄装置、光传感器、照明装置、光照射装置中的至少一个。

Claims (11)

1.一种静电感应吸附式输送装置，其特征在于，具备：

静电感应吸附式输送体，该静电感应吸附式输送体用于利用基于静电感应的静电力来吸附输送对象物并进行输送，并具备：绝缘部，由绝缘性材料构成，且具有与所述输送对象物接触的输送面；和导电部，在输送所述输送对象物时与所述绝缘部一起移动，并为了得到所述静电力而被施加电压，

驱动部，驱动所述静电感应吸附式输送体；

供给部，将所述输送对象物供给到所述静电感应吸附式输送体的所述绝缘部的所述输送面上；

排出部，将所述输送面上的所述输送对象物排出；

电压施加部，对所述导电部施加电压；以及

控制部，控制所述电压施加部所进行的电压施加，

所述导电部沿着所述输送对象物的输送方向，以相互不电连接的方式设置有多个，

作为输送对象物吸附区域被规定为在所述输送对象物的输送方向上，从通过所述供给部将所述输送对象物供给到所述输送面上的位置至通过所述排出部将所述输送对象物排出的位置为止的区域，

作为输送对象物非吸附区域被规定为在所述输送对象物的输送方向上，从通过所述排出部将所述输送对象物排出的位置至通过所述供给部将所述输送对象物供给到所述输送面上的位置为止的区域，

所述控制部针对多个所述导电部的每一个，控制所述电压施加部所进行的电压施加，并且在所述导电部位于所述输送对象物吸附区域时，通过所述电压施加部施加为了得到静电力的电压，并在从所述导电部的全部进入所述输送对象物非吸附区域开始，直到所述导电部的前端部分进入所述输送对象物吸附区域为止的期间，变更由所述电压施加部施加的电压的大小。

2.根据权利要求1所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

所述导电部的每一个具有多个电极。

3.根据权利要求2所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

所述导电部的每一个具有第一电极以及第二电极，

所述第一电极以及所述第二电极配设于对置位置。

4.根据权利要求3所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

所述第一电极以及所述第二电极在所述输送对象物的输送方向上，交替地配设。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

在所述绝缘部以及所述导电部设置有用于对所述输送对象物进行吸引保持的吸引孔。

6.根据权利要求1~4中任一项所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

在所述绝缘部设置有用于收容所述输送对象物的收容孔。

7.根据权利要求1~4中任一项所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

所述绝缘部以及所述导电部具有能够供作用光透射的透射率，所述作用光在对所述输送对象物进行光学作用时被使用。

8.根据权利要求1所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

当所述导电部的全部从输送对象物吸附区域移动到输送对象物非吸附区域时，所述控制部切换由所述电压施加部施加的电压的极性。

9.根据权利要求1所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

当所述导电部的全部从输送对象物吸附区域移动到输送对象物非吸附区域时，所述控制部使由所述电压施加部施加的电压为0。

10.根据权利要求1~4中任一项所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

所述静电感应吸附式输送装置还具备处理部，所述处理部对所述输送对象物进行外观检查、电特性的测定、加工、拍摄、光的照射以及浆料的涂敷中的至少一个处理。

11.根据权利要求10所述的静电感应吸附式输送装置，其特征在于，

对所述输送对象物进行光学作用的光学作用部配置为与所述静电感应吸附式输送体的同输送面背对背的面对置，所述静电感应吸附式输送体具有能够供在进行所述光学作用时被使用的作用光透射的透射率。