CN110872000A - 搬运机器人 - Google Patents

搬运机器人 Download PDF

Info

Publication number
CN110872000A
CN110872000A CN201910799468.4A CN201910799468A CN110872000A CN 110872000 A CN110872000 A CN 110872000A CN 201910799468 A CN201910799468 A CN 201910799468A CN 110872000 A CN110872000 A CN 110872000A
Authority
CN
China
Prior art keywords
holding member
screw
pad
pad holding
display panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
CN201910799468.4A
Other languages
English (en)
Inventor
渋谷収
佐藤史朗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Sankyo Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Sankyo Corp filed Critical Nidec Sankyo Corp
Publication of CN110872000A publication Critical patent/CN110872000A/zh
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/02Carrying-off electrostatic charges by means of earthing connections

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明提供一种向进行显示面板的处理的处理装置搬运显示面板的搬运机器人,能够有效地对搬入到处理装置的显示面板进行静电消除。该搬运机器人具备:握持显示面板(2)的吸附垫(30);一端部插入到吸附垫的插入孔(30a)且在另一端部的外周面形成有外螺纹(31b)的筒状的螺纹部件(31);通过螺纹部件保持吸附垫(30)的金属制的垫保持部件(32)。吸附垫由导电橡胶形成,螺纹部件(31)由导电材料形成,在垫保持部件形成有供外螺纹(31b)螺纹连接的螺纹孔(32a)。在垫保持部件的表面形成有氧化膜,但是在螺纹孔(32a)的至少供外螺纹(31b)螺纹连接的部分的一部分除去氧化膜。并且,垫保持部件(32)接地。

Description

搬运机器人
技术领域
本发明涉及一种搬运液晶面板等显示面板的搬运机器人。
背景技术
以往,公知有一种用于对液晶面板进行点亮检查的检查装置(例如,参照专利文献1)。专利文献1中记载的检查装置被组装在液晶显示器的制造系统的中途。该检查装置具备:进行液晶面板的点亮检查的探测器;向探测器搬运检查前的液晶面板的搬入侧传送带;以及将利用搬入侧传送带搬运的液晶面板搬入到探测器的搬入机构。搬入机构具备:吸附并握持液晶面板的表面的吸附部;在末端安装有吸附部的搬运臂;以及使搬运臂在水平方向上移动的移动机构。吸附部由连接有真空泵的吸盘构成。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2007-107973号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
在专利文献1记载的检查装置中,由于液晶面板吸附并被握持于搬入机构的吸附部时的摩擦带电和被握持于搬入机构的吸附部的液晶面板与吸附部分离时的剥离带电,液晶面板处于带电状态。即使由于摩擦带电和剥离带电导致在液晶面板被握持于吸附部时、液晶面板与吸附部分离时液晶面板处于带电状态,因为这种程度的静电的影响而导致液晶面板的品质受损的可能性也较低。
但是,本申请的发明人通过研究明确得知:由于摩擦带电和剥离带电导致在液晶面板被握持于吸附部时和液晶面板与吸附部分离时处于带电状态,如果对这样的液晶面板进行点亮检查,则根据点亮检查的检查精度不同,可能会因为静电的影响而将本来是合格品的液晶面板判断为不合格品。
因此,本发明的技术问题是提供一种在向进行显示面板的处理的处理装置搬运显示面板的搬运机器人,其能够有效地对搬入到处理装置的显示面板进行静电消除。
为了解决上述技术问题,本发明的搬运机器人用于搬运显示面板,在该搬运机器人中,具备:吸附垫,其吸附并握持显示面板;螺纹部件,其形成为在内周侧具有通气孔的筒状,并且一端部插入到形成于吸附垫的基端部的插入孔中,并且在另一端部的外周面形成有外螺纹;金属制的垫保持部件,其通过螺纹部件保持吸附垫;以及臂,其安装有垫保持部件,吸附垫由具有导电性的橡胶形成,螺纹部件由具有导电性的导电材料形成,在垫保持部件的表面形成有氧化膜,在垫保持部件形成有供螺纹部件的外螺纹螺纹连接的螺纹孔,在螺纹孔的至少供外螺纹螺纹连接的部分的一部分中除去氧化膜,垫保持部件接地。
在本发明的搬运机器人中,吸附并握持显示面板的吸附垫由具有导电性的橡胶形成,一端部插入到形成于吸附垫的基端部的插入孔中的螺纹部件由具有导电性的导电材料形成。并且,在本发明中,在垫保持部件形成有供螺纹部件的外螺纹螺纹连接的螺纹孔。并且,在本发明中,在垫保持部件的表面形成有氧化膜,但是在螺纹孔的至少供外螺纹螺纹连接的部分的一部分中除去氧化膜。因此,在本发明中,能够将吸附垫、螺纹部件以及垫保持部件电连接。
并且,在本发明中,由于垫保持部件接地,因此通过吸附垫、螺纹部件以及垫保持部件能够释放握持于吸附垫的显示面板的静电。即,在本发明中,在通过搬运机器人搬运显示面板的过程中能够释放显示面板的静电。因此,在本发明中,能够有效地对搬入到处理装置的显示面板进行静电消除。此外,在本发明中,在垫保持部件的表面形成有氧化膜,所以能够提高金属制的垫保持部件的耐腐蚀性等。即,在本发明中,不仅能够提高垫保持部件的耐腐蚀性等,并且能够有效地对搬入到处理装置的显示面板进行静电消除。
在本发明中,优选搬运机器人具备带齿垫圈、连接有接地用的配线端部的端子、用于将带齿垫圈以及端子固定于垫保持部件的螺钉,在垫保持部件形成有供螺钉螺纹连接的第二螺纹孔,带齿垫圈以带齿垫圈的齿末端与垫保持部件接触并且端子与带齿垫圈接触的状态通过螺钉与端子一起固定于垫保持部件,垫保持部件、带齿垫圈与端子电连接。如果以这种方式构成,则即使在垫保持部件的表面形成有氧化膜,也能够使垫保持部件与带齿垫圈可靠地电连接。因此,通过带齿垫圈、端子以及接地用的配线,能够可靠地从垫保持部件释放静电。
在本发明中,搬运机器人例如向对显示面板进行点亮检查的点亮检查装置搬运显示面板。在这种情况下,能够有效地对搬入到点亮检查装置的显示面板进行静电消除。因此,能够防止发生本来是合格品的显示面板由于静电的影响而在点亮检查装置中被判断为不合格品的情况。
(发明效果)
如上所述,在本发明中,在向进行显示面板的处理的处理装置搬运显示面板的搬运机器人中,能够有效地对搬入到处理装置的显示面板进行静电消除。
附图说明
图1是使用了本发明的实施方式所涉及的搬运机器人的搬运系统等的立体图。
图2是用于说明图1所示的搬运系统的结构的侧视图。
图3是用于说明图2的E部的结构的立体图。
图4是用于说明吸附垫相对于图3所示的垫保持部件的安装部分的结构的剖视图。
图5是用于说明接地用的配线相对于图3所示的垫保持部件的安装部分的结构的剖视图。
符号说明
1 机器人(搬运机器人)
2 液晶面板(显示面板)
4 检查装置(点亮检查装置)
17 臂
30 吸附垫
30a 插入孔
31 螺纹部件
31a 通气孔
31b 外螺纹
32 垫保持部件
32a 螺纹孔
32c 螺纹孔(第二螺纹孔)
35 配线(接地用的配线)
36 端子
37 带齿垫圈
38 螺钉
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(搬运系统的示意结构)
图1是使用了本发明的实施方式所涉及的搬运机器人1的搬运系统3等的立体图。图2是用于说明图1所示的搬运系统3的结构的侧视图。
本实施方式的搬运机器人1(以下,称作“机器人1”)搬运作为显示面板的液晶面板2。机器人1在搬运系统3中使用,搬运系统3组装到在移动设备等中使用的较小型的液晶显示器的生产线。搬运系统3在进行液晶面板2的处理的处理装置4和配置有利用处理装置4处理前的液晶面板2的面板配置部5之间搬运液晶面板2。液晶面板2形成为长方形的平板状。
本实施方式的处理装置4是对液晶面板2进行点亮检查的点亮检查装置。因此,以下将处理装置4作为“检查装置4”。在检查装置4的内部设置有用于进行液晶面板2的点亮检查的背光、摄像头等。检查装置4具备离子发生器,该离子发生器用于对投入到检查装置4的液晶面板2进行静电消除。该离子发生器设置于液晶面板2的投入口。
在面板配置部5配置有容纳于存储盒6的多枚液晶面板2。在存储盒6中,液晶面板2以液晶面板2的厚度方向与上下方向大致一致的方式配置。并且,在存储盒6中,多枚液晶面板2以在上下方向上隔着规定间隔的状态配置。此外,容纳于托盘的多枚液晶面板2也可以配置于面板配置部5。
搬运系统3具备载置从面板配置部5搬运出且搬入到检查装置4之前的液晶面板2的临时放置台7。临时放置台7的上表面是与上下方向正交的平面。并且,搬运系统3具备两台机器人1。两台机器人1中的一台机器人1从临时放置台7向检查装置4搬运液晶面板2,另一台机器人1从面板配置部5向临时放置台7搬运液晶面板2。
并且,搬运系统3具备:用于对载置于临时放置台7的液晶面板2进行静电消除的离子发生器11;用于在从面板配置部5向临时放置台7搬运液晶面板2的途中对液晶面板2进行静电消除的离子发生器12;用于对从面板配置部5搬运出的液晶面板2进行静电消除的离子发生器13。离子发生器11配置于比临时放置台7靠下侧的位置。离子发生器11向载置于临时放置台7的液晶面板2的下表面侧供给离子。
离子发生器12配置于液晶面板2的从面板配置部5向临时放置台7的搬运路径上。并且,离子发生器12配置于比机器人1靠上侧的位置。离子发生器12向被机器人1从面板配置部5搬运出之后、在离子发生器12的下侧停止规定时间的液晶面板2的上表面侧供给离子。离子发生器13配置于面板配置部5的上侧。离子发生器13向从面板配置部5搬运出的液晶面板2的上表面侧供给离子。
(搬运机器人的结构)
图3是用于说明图2的E部的结构的立体图。图4是用于说明吸附垫30相对于图3所示的垫保持部件32的安装部分的结构的剖视图。图5是用于说明接地用的配线35相对于图3所示的垫保持部件32的安装部分的结构的剖视图。
机器人1是六轴的垂直多关节机器人。如图2所示,机器人1具备:构成机器人1的下端部的支承部件16;基端侧可转动地与支承部件16连接的臂17;以及安装于臂17的末端侧的面板保持机构18。支承部件16通过支架固定于搬运系统3的主体框架。此外,在图1中省略面板保持机构18的图示。
臂17具备:可相对转动地与支承部件16连接的关节部19;可相对转动地与关节部19连接的关节部20;基端固定于关节部20的直线状的臂部21;固定于臂部21的末端的关节部22;可相对转动地与关节部22连接的关节部23;基端可相对转动地与关节部23连接的直线状的臂部24;固定于臂部24的末端的关节部25;以及可相对转动地与关节部25连接的关节部26。
关节部19、20、22、23、25、26具备马达和减速传递马达的动力的减速机。关节部19以能够以上下方向作为转动的轴向进行转动的方式与支承部件16连接。关节部20以能够以水平方向作为转动的轴向进行转动的方式与关节部19连接。关节部23以能够以水平方向作为转动的轴向进行转动的方式与关节部22连接。关节部26以能够以水平方向作为转动的轴向进行转动的方式与关节部25连接。
关节部20相对于关节部19的转动的轴向以及关节部23相对于关节部22的转动的轴向与臂部21的长度方向正交。关节部23相对于关节部22的转动的轴向以及关节部26相对于关节部25的转动的轴向与臂部24的长度方向正交。并且,关节部23相对于关节部22的转动的轴向与臂部24相对于关节部23的转动的轴向正交。
面板保持机构18可转动地与关节部26连接。关节部26相对于关节部25的转动的轴向与面板保持机构18相对于关节部26的转动的轴向正交。面板保持机构18具备:吸附并握持液晶面板2的吸附垫30;安装有吸附垫30的基端部的螺纹部件31;以及通过螺纹部件31保持吸附垫30的垫保持部件32。本实施方式的面板保持机构18例如具备四个吸附垫30,四个吸附垫30通过螺纹部件31保持于垫保持部件32。此外,在图2中,省略吸附垫30以及螺纹部件31的图示。
吸附垫30由具有导电性的橡胶(导电橡胶)形成。如图4所示,吸附垫30形成为筒状。吸附垫30的末端部例如形成为折皱状。吸附垫30的末端部的内周侧是吸引液晶面板2的吸引孔。吸附垫30的基端部的内周侧是供螺纹部件31的一端部插入的插入孔30a。
螺纹部件31由具有导电性的导电材料形成。具体地说,螺纹部件31由钢铁等金属形成。并且,螺纹部件31形成为在内周侧具有通气孔31a的筒状。具体地说,螺纹部件31形成为大致圆筒状。螺纹部件31的一端部插入到吸附垫30的插入孔30a中。螺纹部件31的一端部的外周面以规定的接触压力与插入孔30a的内周面接触,吸附垫30与螺纹部件31电连接。在螺纹部件31的另一端部的外周面形成有外螺纹31b。
垫保持部件32形成为长方形的平板状。垫保持部件32安装于臂17。具体地说,垫保持部件32通过转动部件33可转动地安装于关节部26。垫保持部件32固定于转动部件33。转动部件33与垫保持部件32一起相对于关节部26转动。
垫保持部件32由具有导电性的金属形成。并且,在垫保持部件32的表面形成有氧化膜。本实施方式的垫保持部件32由铝合金形成,在垫保持部件32的表面形成有阳极氧化膜。即,在垫保持部件32实施阳极氧化处理(耐酸铝)。因此,在本实施方式中,能够提高由铝合金形成的垫保持部件32的耐腐蚀性以及耐磨性。此外,形成于垫保持部件32的表面的阳极氧化膜具有绝缘性,不导电。
在垫保持部件32形成有供螺纹部件31的外螺纹31b螺纹连接的螺纹孔32a。形成于垫保持部件32内部的通气孔32b的一端与螺纹孔32a相连。在通气孔32b的另一端固定有接头34(参照图3)。真空泵等吸气机构通过规定的配管与接头34连接,如果驱动该吸气机构,则液晶面板2被吸附到垫30上。
垫保持部件32接地。具体地说,垫保持部件32通过接地用的配线35与臂17电连接,通过至少一部分由金属形成的臂17接地。在本实施方式中,配线35的一端部固定于转动部件33。转动部件33由金属形成,与至少一部分由金属形成的关节部26电连接。即,配线35的一端部通过转动部件33与关节部26电连接。
面板保持机构18如图5所示具备连接有配线35的另一端部的端子36、带齿垫圈(齿形垫圈)37、用于将端子36以及带齿垫圈37固定于垫保持部件32的螺钉38。此外,在图3的(B)中,省略端子36以及带齿垫圈37的图示。
端子36例如是圆型端子,由具有导电性的金属形成。配线35的另一端部与端子36电连接。在垫保持部件32形成有作为供螺钉38螺纹连接的第二螺纹孔的螺纹孔32c。带齿垫圈37以带齿垫圈37的齿的末端与垫保持部件32接触并且端子36与带齿垫圈37接触的状态通过螺钉38与端子36一起固定于垫保持部件32。螺钉38的轴部贯穿插入于端子36以及带齿垫圈37的内周侧。
如上所述,在垫保持部件32的表面形成有氧化膜(阳极氧化膜),但是在本实施方式中,螺钉38拧入螺纹孔32c,直至带齿垫圈37的齿贯通垫保持部件32的氧化膜并咬入垫保持部件32。并且,端子36与带齿垫圈37以规定的接触压力接触。因此,垫保持部件32、带齿垫圈37与端子36电连接。即,垫保持部件32通过带齿垫圈37、端子36以及配线35等与臂17电连接。
并且,如上所述,在垫保持部件32实施阳极氧化处理,在阳极氧化处理后的垫保持部件32中,螺纹孔32a的内周面整体也被氧化膜(阳极氧化膜)覆盖。在本实施方式中,在螺纹部件31的外螺纹31b拧入螺纹孔32a之前,除去螺纹孔32a的至少供外螺纹31b螺纹连接的部分的一部分氧化膜。具体地说,通过进行攻丝加工,削掉螺纹孔32a的内周面,除去螺纹孔32a的至少供外螺纹31b螺纹连接的部分的一部分氧化膜。
即,在螺纹孔32a的至少供外螺纹31b螺纹连接的部分的一部分中除去了氧化膜,除去了氧化膜的部分为氧化膜除去部32d(参照图4)。在本实施方式中,例如,螺纹孔32a的供外螺纹31b螺纹连接的部分的整体或一部分为氧化膜除去部32d。或者,螺纹孔32a的整体为氧化膜除去部32d。因此,在本实施方式中,螺纹部件31与垫保持部件32电连接。即,吸附垫30通过螺纹部件31与垫保持部件32电连接。
(本实施方式的主要效果)
如以上说明所述,在本实施方式中,吸附并握持液晶面板2的吸附垫30由具有导电性的橡胶形成,安装有吸附垫30的基端部的螺纹部件31由具有导电性的导电材料形成,在垫保持部件32形成有供螺纹部件31的外螺纹31b螺纹连接的螺纹孔32a。并且,在本实施方式中,为了提高由铝合金形成的垫保持部件32的耐腐蚀性以及耐磨性,在垫保持部件32的表面形成有氧化膜(阳极氧化膜),但在螺纹孔32a的至少供外螺纹31b螺纹连接的部分的一部分除去氧化膜。因此,在本实施方式中,如上所述,吸附垫30通过螺纹部件31与垫保持部件32电连接。
并且,在本实施方式中,垫保持部件32通过带齿垫圈37、端子36以及配线35等与臂17电连接,通过臂17接地。因此,在本实施方式中,通过吸附垫30、螺纹部件31以及垫保持部件32等能够释放被握持于吸附垫30的液晶面板2的静电。即,在本实施方式中,即使为了提高垫保持部件32的耐腐蚀性以及耐磨性而在垫保持部件32的表面形成有氧化膜,也能够在利用机器人1搬运液晶面板2的过程中释放液晶面板2的静电。因此,在本实施方式中,不仅能够提高垫保持部件32的耐腐蚀性以及耐磨性,并且能够有效地对搬入到检查装置4的液晶面板2进行静电消除,其结果是,能够防止本来是合格品的液晶面板2受静电的影响而在检查装置4中被判断为不合格品。
在本实施方式中,带齿垫圈37的齿贯通垫保持部件32的氧化膜并咬入垫保持部件32。因此,在本实施方式中,即使在垫保持部件32的表面形成有氧化膜,也能够使垫保持部件32与带齿垫圈37可靠地电连接。并且,在本实施方式中,端子36与带齿垫圈37以规定的接触压力接触。因此,在本实施方式中,能够通过带齿垫圈37、端子36以及配线35等可靠地从垫保持部件32释放静电。
(其他实施方式)
上述实施方式是本发明优选的方式中的一个例子,但本发明不限于此,在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变形实施。
在上述实施方式中,垫保持部件32通过配线35与臂17电连接,但是垫保持部件32也可以通过金属板等与臂17电连接。并且,在上述实施方式中,在接头34由金属形成的情况下,垫保持部件32也可以通过接头34与臂17电连接。即,配线35的端部也可以与接头34电连接。在这种情况下,在螺纹孔32c的至少供螺钉38螺纹连接的部分的一部分除去氧化膜。
在上述实施方式中,垫保持部件32也可以由除了铝合金以外的金属形成。但是,在垫保持部件32由铝合金形成的情况下,能够实现面板保持机构18的轻量化。并且,在上述实施方式中,一台机器人1也可以进行从面板配置部5向临时放置台7搬运液晶面板2和从临时放置台7向检查装置4搬运液晶面板2的操作。并且,在上述实施方式中,处理装置4是对液晶面板2进行点亮检查的点亮检查装置,但是处理装置4也可以是点亮检查装置以外的对液晶面板2进行规定处理的装置。
在上述实施方式中,机器人1也可以是六轴的垂直多关节机器人以外的机器人。例如,机器人1既可以是六轴以外的垂直多关节机器人,也可以是水平多关节机器人,还可以是平行连杆型机器人,还可以是三轴正交机器人,还可以是双轴正交机器人。并且,在上述实施方式中,机器人1搬运的显示面板是液晶面板2,但是机器人1搬运的显示面板也可以是液晶面板2以外的显示面板。例如,机器人1搬运的显示面板也可以是有机EL(电致发光)面板。

Claims (3)

1.一种搬运机器人,所述搬运机器人搬运显示面板,其特征在于,具备:
吸附垫,其吸附并握持所述显示面板;
螺纹部件,其形成为在内周侧具有通气孔的筒状,所述螺纹部件的一端部插入到形成于所述吸附垫的基端部的插入孔中,并且在所述螺纹部件的另一端部的外周面形成有外螺纹;
金属制的垫保持部件,其通过所述螺纹部件保持所述吸附垫;以及
臂,其安装有所述垫保持部件,
所述吸附垫由具有导电性的橡胶形成,
所述螺纹部件由具有导电性的导电材料形成,
在所述垫保持部件的表面形成有氧化膜,
在所述垫保持部件形成有供所述螺纹部件的所述外螺纹螺纹连接的螺纹孔,
在所述螺纹孔的至少供所述外螺纹螺纹连接的部分的一部分中除去所述氧化膜,
所述垫保持部件接地。
2.根据权利要求1所述的搬运机器人,其特征在于,具备:
带齿垫圈;
端子,其与接地用的配线的端部连接;以及
螺钉,其用于将所述带齿垫圈以及所述端子固定于所述垫保持部件,
在所述垫保持部件形成有供所述螺钉螺纹连接的第二螺纹孔,
所述带齿垫圈以所述带齿垫圈的齿的末端与所述垫保持部件接触并且所述端子与所述带齿垫圈接触的状态通过所述螺钉与所述端子一起固定于所述垫保持部件,
所述垫保持部件、所述带齿垫圈与所述端子电连接。
3.根据权利要求1或2所述的搬运机器人,其特征在于,
所述搬运机器人向点亮检查装置搬运所述显示面板,所述点亮检查装置对所述显示面板进行点亮检查。
CN201910799468.4A 2018-08-29 2019-08-28 搬运机器人 Withdrawn CN110872000A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018-160001 2018-08-29
JP2018160001A JP2020035841A (ja) 2018-08-29 2018-08-29 搬送ロボット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110872000A true CN110872000A (zh) 2020-03-10

Family

ID=69668640

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910799468.4A Withdrawn CN110872000A (zh) 2018-08-29 2019-08-28 搬运机器人

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2020035841A (zh)
CN (1) CN110872000A (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7465550B2 (ja) 2021-01-26 2024-04-11 Aiメカテック株式会社 吸着パッド及び基板搬送装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07330149A (ja) * 1994-06-13 1995-12-19 Mitsubishi Electric Corp ガラス基板の搬送方法および搬送装置
CN1702495A (zh) * 2004-05-24 2005-11-30 统宝光电股份有限公司 静电消除装置及其机台
CN101153988A (zh) * 2006-09-27 2008-04-02 Nec液晶技术株式会社 液晶显示装置以及用于将液晶显示装置接地的方法
CN102446673A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 旭硝子株式会社 显示器用玻璃基板及其制造方法
CN102446674A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 旭硝子株式会社 显示器用玻璃基板及其分选方法
CN102623526A (zh) * 2012-03-26 2012-08-01 上海蓬华机电工程咨询有限公司 用于平屋顶的太阳能支架
CN105500391A (zh) * 2014-10-10 2016-04-20 三星钻石工业股份有限公司 真空吸附头及使用其的真空吸附装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07330149A (ja) * 1994-06-13 1995-12-19 Mitsubishi Electric Corp ガラス基板の搬送方法および搬送装置
CN1702495A (zh) * 2004-05-24 2005-11-30 统宝光电股份有限公司 静电消除装置及其机台
CN101153988A (zh) * 2006-09-27 2008-04-02 Nec液晶技术株式会社 液晶显示装置以及用于将液晶显示装置接地的方法
CN102446673A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 旭硝子株式会社 显示器用玻璃基板及其制造方法
CN102446674A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 旭硝子株式会社 显示器用玻璃基板及其分选方法
CN102623526A (zh) * 2012-03-26 2012-08-01 上海蓬华机电工程咨询有限公司 用于平屋顶的太阳能支架
CN105500391A (zh) * 2014-10-10 2016-04-20 三星钻石工业股份有限公司 真空吸附头及使用其的真空吸附装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020035841A (ja) 2020-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101271720B1 (ko) 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법
KR101436449B1 (ko) 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법
KR20170087024A (ko) 반송 장치
KR20180077340A (ko) 접지식 척
TW201532689A (zh) 清潔裝置
CN110872000A (zh) 搬运机器人
CN110780470A (zh) 搬送系统
JP2008260594A (ja) 部品搬送装置
KR20180131838A (ko) 롤러형 컨베이어 접지장치
KR20150077726A (ko) 기판 처리 장치 및 방법
JP2022167922A (ja) 外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体および外観検査装置
TW201832313A (zh) 對準裝置
JP2008066472A (ja) ワーク複合処理装置
KR20150010144A (ko) 기판 지지 장치
JP2020067362A (ja) 試験装置
JP7347386B2 (ja) 静電誘導吸着式搬送体および静電誘導吸着式搬送装置
CN111132915A (zh) 搬运系统
EP2854166B1 (en) Apparatus for aligning a substrate
CN109618513B (zh) 电子产品壳体加工系统
CN110018412B (zh) 搬运机构可调的基板检查装置
JP2020164282A (ja) パネル搬送システム
CN111095085A (zh) 检查装置
CN111747116A (zh) 面板搬运装置及面板搬运系统
JP2013212920A (ja) 搬送アーム、搬送装置および搬送方法
CN113390878B (zh) 检查装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WW01 Invention patent application withdrawn after publication
WW01 Invention patent application withdrawn after publication

Application publication date: 20200310