JP2022167922A - 外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体および外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第1透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第1層と、
前記第1層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第2層と、
前記第2層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第2透明部を有する第3層と、
を備え、
前記第1透明部、前記透明電極部、および、前記第2透明部は、所定の一方向に並んでいることを特徴とする。
前記第2層には、複数の前記透明電極部が設けられていてもよい。
上述したいずれかの外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体と、
前記透明電極部に電圧を印加する電圧供給部と、
前記電圧供給部により電圧を供給された前記静電誘導吸着式搬送体の上に前記検査対象物を供給する検査対象物供給部と、
前記静電誘導吸着式搬送体を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記静電誘導吸着式搬送体の上の前記検査対象物を撮像する撮像部と
を備えることを特徴とする。
前記撮像部には、前記反射体で光路が変更された光を受光することによって前記検査対象物を撮像するものが含まれていてもよい。
本実施形態において、静電誘導吸着式搬送体1は、回転可能な円形テーブル状の形状を有する。静電誘導吸着式搬送体1の直径は、例えば100mm以上1000mm以下である。
第1の実施形態における静電誘導吸着式搬送体1では、積層方向に見たときの第1層11の面積、第2層12の面積、および、第3層13の面積は略同一である。すなわち、第2層12を構成している透明電極部120の上面は全て、第1層11によって覆われている。
第2の実施形態における静電誘導吸着式搬送体1Aにおいて、第2層12の透明電極部120の少なくとも一部は、その上に第1層11Aが形成されておらず、表面が露出している。
第1~第3の実施形態における静電誘導吸着式搬送体では、第2層に1つの透明電極部120が設けられている。
透明電極部を有する第2層、第2層より上に位置する第1層、および、第2層より下に位置する第3層はそれぞれ、複数の板材やシート材を組合せた複数層からなる構成であってもよい。
続いて、外観検査装置10の全体構成について説明する。以下では、静電誘導吸着式搬送体が第1の実施形態における静電誘導吸着式搬送体1であるものとして説明するが、上述した第2~第5の実施形態における静電誘導吸着式搬送体1A~1Dであってもよいし、それらの変形構成による静電誘導吸着式搬送体でもよい。
上述した各実施形態の静電誘導吸着式搬送体は、柔軟性の低い構造であるが、フィルムのように、折り曲げ可能で柔軟性の高い構造であってもよい。静電誘導吸着式搬送体がフィルム状である場合も、上述した各実施形態のように、検査対象物20が載置される層であり、絶縁性材料からなる第1透明部を有する第1層と、第1層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第2層と、第2層下側に位置し、絶縁性材料からなる第2透明部を有する第3層とを備える。
2 検査対象物供給部
3 電圧供給部
4 撮像部
5 整列部
6 検査部
7 排出部
8 除電部
9 駆動部
10 外観検査装置
11、11A、11D 第1層
12、12B、12C 第2層
13 第3層
20 検査対象物
20X 積層セラミックコンデンサ
21 セラミック素体
22a 第1の外部電極
22b 第2の外部電極
23a 第1の端面
23b 第2の端面
24a 第1の主面
24b 第2の主面
25a 第1の側面
25b 第2の側面
41 第1のCCDカメラ
42 第2のCCDカメラ
43 第3のCCDカメラ
44 第4のCCDカメラ
45 第5のCCDカメラ
46 第6のCCDカメラ
51 第1の照明部
52 第2の照明部
53 第3の照明部
54 第4の照明部
55 第5の照明部
56 第6の照明部
57 同軸補助照明部
61 第1の反射体
62 第2の反射体
63 第3の反射体
71 エア噴出部
110 第1透明部
111 第1層の上層
112 第1層の下層
120 透明電極部
121 第1の透明電極部
122 第2の透明電極部
130 第2透明部
510 LED
検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第1透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第1層と、
前記第1層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第2層と、
前記第2層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第2透明部を有する第3層と、
を備え、
前記第1透明部、前記透明電極部、および、前記第2透明部は、所定の一方向に並んでおり、
前記透明電極部には、第1の透明電極部と第2の透明電極部とが含まれ、
前記第1層の上に一定の間隔で列状に供給される複数の前記検査対象物の載置位置に対応して、前記第1の透明電極部と前記第2の透明電極部とが設けられていることを特徴とする。
Claims (16)
- 検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第1透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第1層と、
前記第1層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第2層と、
前記第2層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第2透明部を有する第3層と、
を備え、
前記第1透明部、前記透明電極部、および、前記第2透明部は、所定の一方向に並んでいることを特徴とする外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。 - 前記第1層は、絶縁被膜からなる絶縁被膜層であることを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 前記透明電極部の少なくとも一部は、その上に前記第1層が形成されておらず、表面が露出していることを特徴とする請求項1または2に記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 前記透明電極部は、前記第3層の上面のうちの一部に設けられていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 前記第2層には、複数の前記透明電極部が設けられていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 複数の前記透明電極部には、通電時に正極となる第1の透明電極部と、通電時に負極となる第2の透明電極部とが含まれることを特徴とする請求項5に記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 前記第1層の前記積層方向における厚みは、前記第3層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 前記第2層の前記積層方向における厚みは、前記第3層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 前記第2層の前記積層方向における厚みは、前記第1層の前記積層方向における厚みよりも薄く、かつ、前記第1層の前記積層方向における厚みは、前記第3層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 前記第1層、前記第2層、および、前記3層の前記積層方向における厚みの合計は、1mm以上20mm以下であることを特徴とする請求項1~9のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 折り曲げ可能なフィルム状の形状を有することを特徴とする請求項1~10のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
- 請求項1~11のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体と、
前記透明電極部に電圧を印加する電圧供給部と、
前記電圧供給部により電圧を供給された前記静電誘導吸着式搬送体の上に前記検査対象物を供給する検査対象物供給部と、
前記静電誘導吸着式搬送体を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記静電誘導吸着式搬送体の上の前記検査対象物を撮像する撮像部と、
を備える外観検査装置。 - 前記検査対象物を光で照らす照明部をさらに備えることを特徴とする請求項12に記載の外観検査装置。
- 前記照明部には、前記静電誘導吸着式搬送体の前記第3層側から前記第1層の上に載置されている前記検査対象物を照明するものが含まれることを特徴とする請求項13に記載の外観検査装置。
- 前記撮像部には、前記静電誘導吸着式搬送体の前記第3層側から前記第1層の上に載置されている前記検査対象物を撮像するものが含まれることを特徴とする請求項12~14のいずれかに記載の外観検査装置。
- 光路を変更するための反射体をさらに備え、
前記撮像部には、前記反射体で光路が変更された光を受光することによって前記検査対象物を撮像するものが含まれることを特徴とする請求項12~15のいずれかに記載の外観検査装置。
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