JPS62136281A - チツプ部品の外観検査装置 - Google Patents
チツプ部品の外観検査装置Info
- Publication number
- JPS62136281A JPS62136281A JP27849985A JP27849985A JPS62136281A JP S62136281 A JPS62136281 A JP S62136281A JP 27849985 A JP27849985 A JP 27849985A JP 27849985 A JP27849985 A JP 27849985A JP S62136281 A JPS62136281 A JP S62136281A
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- chip
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はチップ部品の外観検査装置に関し、特にたと
えば積層チップコンデンサなどのチップ部品の外観を検
査することによってその選別を行なうための外観検査装
置に関する。
えば積層チップコンデンサなどのチップ部品の外観を検
査することによってその選別を行なうための外観検査装
置に関する。
（従来技術）
第３図はこの発明の背景となる従来の外観検査装置の一
例を示す要部斜視図である。テーブルｌＯの周縁に形成
された部品保持部１２，１２． ・・・にチップ部品
１４が保持され、このテーブル１０が矢印Ａ方向に回転
される。テーブル１０の周縁の一部（これが検査ステー
ションとなる）の上方にはＴＶカメラ１６が配置される
。したがって、このＴＶカメラ１６によって、保持部１
２に保持されたチップ部品の表面からその外観が検査さ
れる。テーブル１０の周縁の上方には、テーブル１０と
はその主面がほぼ直角になるように、テーブル１８が配
置される。このテーブル１８は矢印Ｂ方向に回転される
。テーブル１８の周側面には穴２０．２０． ・・・
が形成され、この穴２０の部分において、テーブル１０
に保持され移送されてきたチップ部品１４を真空吸着す
る。そして、穴２０によって真空吸着されたチップ部品
１４がテーブル１８の外周近傍（これが検査ステーショ
ンとなる）にＴＶカメラ２２が配置される。テーブル１
８がテーブル１０からチップ部品１４を受け取り、その
回ｉによってチップ部品は検査ステーションにもたらさ
れ、そこでチップ部品１４の裏面からその外観が検査さ
れる。
例を示す要部斜視図である。テーブルｌＯの周縁に形成
された部品保持部１２，１２． ・・・にチップ部品
１４が保持され、このテーブル１０が矢印Ａ方向に回転
される。テーブル１０の周縁の一部（これが検査ステー
ションとなる）の上方にはＴＶカメラ１６が配置される
。したがって、このＴＶカメラ１６によって、保持部１
２に保持されたチップ部品の表面からその外観が検査さ
れる。テーブル１０の周縁の上方には、テーブル１０と
はその主面がほぼ直角になるように、テーブル１８が配
置される。このテーブル１８は矢印Ｂ方向に回転される
。テーブル１８の周側面には穴２０．２０． ・・・
が形成され、この穴２０の部分において、テーブル１０
に保持され移送されてきたチップ部品１４を真空吸着す
る。そして、穴２０によって真空吸着されたチップ部品
１４がテーブル１８の外周近傍（これが検査ステーショ
ンとなる）にＴＶカメラ２２が配置される。テーブル１
８がテーブル１０からチップ部品１４を受け取り、その
回ｉによってチップ部品は検査ステーションにもたらさ
れ、そこでチップ部品１４の裏面からその外観が検査さ
れる。
（発明が解決しようとする問題点）
第３図に示す従来の外観検査装置では、第２のテーブル
が真空吸着によってチップ部品を保持するようにしてい
るため、次のような問題点があった。すなわち、真空吸
着するための穴の目詰まりやバッキング疲労によりその
吸着力が弱くなるばかりでなく、真空のオンまたはオフ
をそれぞれのチップ毎に行なう必要があり、そのタイミ
ングを決定するためのメカニズムが複雑で、したがって
故障が多い。
が真空吸着によってチップ部品を保持するようにしてい
るため、次のような問題点があった。すなわち、真空吸
着するための穴の目詰まりやバッキング疲労によりその
吸着力が弱くなるばかりでなく、真空のオンまたはオフ
をそれぞれのチップ毎に行なう必要があり、そのタイミ
ングを決定するためのメカニズムが複雑で、したがって
故障が多い。
それゆえに、この発明の主たる目的は、真空吸着を用い
ないで、構造の簡単なチップ部品の外観検査装置を提供
することである。
ないで、構造の簡単なチップ部品の外観検査装置を提供
することである。
（問題点を解決するための手段）
この発明は、簡単にいえば、その一方主面に検査すべき
チップ部品の一方面側を保持してそのチップ部品を第１
の検査ステーションに移送するための第１の保持体、第
１の検査ステーションに設けられ、チップ部品の外観を
その他方面側から検査するための第１の検査手段、第１
の保持体の近傍にその第１の保持体と面平行に設けられ
、第１の保持体からチップ部品を受け取り、その他方主
面にそのチップ部品の他方面側を貼着保持してチップ部
品を第２の検査ステーションに移送するための第２の保
持体、および第２の検査ステーションに設けられ、チッ
プ部品の外観をその一方面倒から検査するための第２の
検査手段を備える、チップ部品の外観検査装置である。
チップ部品の一方面側を保持してそのチップ部品を第１
の検査ステーションに移送するための第１の保持体、第
１の検査ステーションに設けられ、チップ部品の外観を
その他方面側から検査するための第１の検査手段、第１
の保持体の近傍にその第１の保持体と面平行に設けられ
、第１の保持体からチップ部品を受け取り、その他方主
面にそのチップ部品の他方面側を貼着保持してチップ部
品を第２の検査ステーションに移送するための第２の保
持体、および第２の検査ステーションに設けられ、チッ
プ部品の外観をその一方面倒から検査するための第２の
検査手段を備える、チップ部品の外観検査装置である。
（作用）
第１の保持体の一方主面にチップ部品の裏面ないし下面
側が保持され移送されて第１の検査ステーションにおい
てチップ部品の表面ないし上面側から検査される。続い
てチップ部品の表面ないし上面側が第２の保持体の他方
主面に貼着保持される。この第２の保持体に関連する第
２の検査ステーションに設けられた第２の検査手段によ
って、チップ部品の裏面ないし下面側から外観形状が検
査される。
側が保持され移送されて第１の検査ステーションにおい
てチップ部品の表面ないし上面側から検査される。続い
てチップ部品の表面ないし上面側が第２の保持体の他方
主面に貼着保持される。この第２の保持体に関連する第
２の検査ステーションに設けられた第２の検査手段によ
って、チップ部品の裏面ないし下面側から外観形状が検
査される。
（発明の効果）
この発明によれば、面平行に配置された２つの保持体に
よってチップ部品の異なる側を保持するようにしたので
、従来のようにテーブルの側面に真空部品を吸着させる
必要がなく、したがってその構成が非常に簡単になる。
よってチップ部品の異なる側を保持するようにしたので
、従来のようにテーブルの側面に真空部品を吸着させる
必要がなく、したがってその構成が非常に簡単になる。
そのため、この発明によれば、検査装置の故障が少なく
耐久性が向上する。
耐久性が向上する。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行なう以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。
は、図面を参照して行なう以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。
（実施例）
第１図はこの発明の一実施例を示す要部斜視図である。
テーブル１０が軸（図示せず）によって矢印Ａ方向に間
欠的に回転可能に保持される。このテーブル１０の上面
の周縁には、そこに保持すべきチップ部品１４の形状に
応じた凹部ないし保持部１２．１２． ・・・がほぼ
所定のピッチで形成される。この保持部１２の底面には
、その部分においてテーブル１０を貫通する貫通孔２４
が形成される。この貫通孔２４は、後に説明するように
、テーブル１０からテーブル２６へのチップ部品１４の
移し替えの際に利用される。そして、テーブル１０の周
縁上方には検査手段としてのＴＶ左カメラ６が配置され
る。
欠的に回転可能に保持される。このテーブル１０の上面
の周縁には、そこに保持すべきチップ部品１４の形状に
応じた凹部ないし保持部１２．１２． ・・・がほぼ
所定のピッチで形成される。この保持部１２の底面には
、その部分においてテーブル１０を貫通する貫通孔２４
が形成される。この貫通孔２４は、後に説明するように
、テーブル１０からテーブル２６へのチップ部品１４の
移し替えの際に利用される。そして、テーブル１０の周
縁上方には検査手段としてのＴＶ左カメラ６が配置され
る。
テーブル１０の上方に、周縁が相互に一部重なり合うよ
うに、テーブル２６が設けられる。このテーブル２６は
軸（図示せず）によって矢印Ｃ方向に間欠的に回転可能
に保持される。テーブル２６と先のテーブル１０とは、
その主面が互いに平行になるように配置される。テーブ
ル２６の他方主面には貼着手段としてのシリコンプレー
ト２８が積層的に設けられる。このシリコンプレート２
８はテーブルの全面にわたって形成されてもよいが、材
料節約のためには少なくともテーブルの周端縁部分に形
成されればよい。
うに、テーブル２６が設けられる。このテーブル２６は
軸（図示せず）によって矢印Ｃ方向に間欠的に回転可能
に保持される。テーブル２６と先のテーブル１０とは、
その主面が互いに平行になるように配置される。テーブ
ル２６の他方主面には貼着手段としてのシリコンプレー
ト２８が積層的に設けられる。このシリコンプレート２
８はテーブルの全面にわたって形成されてもよいが、材
料節約のためには少なくともテーブルの周端縁部分に形
成されればよい。
２つのテーブル１０および２６の重なり合う部分におい
て、テーブル１０の下方には、テーブル１０の保持部１
２に形成された貫通孔２４を貫通可能な位置に、チップ
部品の移し替え手段の一例としてのピン３０が設けられ
る。このピン３０はソレノイド３２によって駆動され、
上方に突出しまたは下方に拘引され得る。
て、テーブル１０の下方には、テーブル１０の保持部１
２に形成された貫通孔２４を貫通可能な位置に、チップ
部品の移し替え手段の一例としてのピン３０が設けられ
る。このピン３０はソレノイド３２によって駆動され、
上方に突出しまたは下方に拘引され得る。
テーブル２６の周縁下方には、第２の検査手段としての
ＴＶカメラ２２が設けられる。
ＴＶカメラ２２が設けられる。
テーブル１０の保持部１２，１２． ・・・に、それ
ぞれの表面がその上に向くようにチップ部品１４．１４
． ・・・が保持される。テーブル１０が駆動装置（
図示せず）によって矢印Ａ方向にその保持部１２のピッ
チ毎に間欠的に回転される。
ぞれの表面がその上に向くようにチップ部品１４．１４
． ・・・が保持される。テーブル１０が駆動装置（
図示せず）によって矢印Ａ方向にその保持部１２のピッ
チ毎に間欠的に回転される。
そして、ＴＶカメラ１６によって、その保持部１２に保
持されたチップ部品１４が、その表面ないし上面側から
、その外観形状が検査される。その状態が第２Ａ図に示
される。
持されたチップ部品１４が、その表面ないし上面側から
、その外観形状が検査される。その状態が第２Ａ図に示
される。
テーブルｌＯからテーブル２６へのチップ部品の移し替
えは第２Ｂ図に示すようにして行なわれる。すなわち、
テーブル１０の保持部１２に形成された貫通孔２４が、
そのテーブル１０の間欠的な停止毎にピン３０の位置に
もたらされる。そして、そのときソレノイド３２によっ
てピン３０が上方すなわち矢印り方向に突出される。そ
うすると、そのピン３０は、貫通孔２４を貫通して、保
持部１２に保持されていたチップ部品１４をその下面か
ら押し上げる。したがって、チップ部品１４は、その上
面がテーブル２６すなわちシリコンプレート２８に押し
付けられる。シリコンプレート２日は弾性を有し、した
がってチップ部品１４はシリコンプレート２８に真空接
合される。チップ部品１４それ自体の大きさや重さは小
さいので、そのような単なる真空接合によってもチップ
部品１４がシリコンプレート２８から外れて落下すると
いうことはない。このようにしてテーブル２６によって
チップ部品１４の上面が保持される。そして、このテー
ブル２６が、図示しない駆動装置によって、矢印Ｃ方向
にその保持ピッチ毎に間欠的に回転される。そして、Ｔ
Ｖカメラ２２によって、チップ部品１４が、その裏面な
いし下面側から検査される。
えは第２Ｂ図に示すようにして行なわれる。すなわち、
テーブル１０の保持部１２に形成された貫通孔２４が、
そのテーブル１０の間欠的な停止毎にピン３０の位置に
もたらされる。そして、そのときソレノイド３２によっ
てピン３０が上方すなわち矢印り方向に突出される。そ
うすると、そのピン３０は、貫通孔２４を貫通して、保
持部１２に保持されていたチップ部品１４をその下面か
ら押し上げる。したがって、チップ部品１４は、その上
面がテーブル２６すなわちシリコンプレート２８に押し
付けられる。シリコンプレート２日は弾性を有し、した
がってチップ部品１４はシリコンプレート２８に真空接
合される。チップ部品１４それ自体の大きさや重さは小
さいので、そのような単なる真空接合によってもチップ
部品１４がシリコンプレート２８から外れて落下すると
いうことはない。このようにしてテーブル２６によって
チップ部品１４の上面が保持される。そして、このテー
ブル２６が、図示しない駆動装置によって、矢印Ｃ方向
にその保持ピッチ毎に間欠的に回転される。そして、Ｔ
Ｖカメラ２２によって、チップ部品１４が、その裏面な
いし下面側から検査される。
テーブル２６の検査ステーションを通過した後、そのテ
ーブル２６の下面に保持されているチップ部品１４は、
第２Ｃ図に示すように、接触片３４に接触する。したが
って、シリコンプレート２８によって真空接合されてい
るだけのチップ部品１４が、第２Ｃ図に示すようにテー
ブル２６から脱落する。
ーブル２６の下面に保持されているチップ部品１４は、
第２Ｃ図に示すように、接触片３４に接触する。したが
って、シリコンプレート２８によって真空接合されてい
るだけのチップ部品１４が、第２Ｃ図に示すようにテー
ブル２６から脱落する。
なお、上述の実施例では、テーブル２６の下面の貼着手
段としてシリコンプレート２８を用いた。
段としてシリコンプレート２８を用いた。
しかしながら、このような貼着手段は接着剤層あるいは
粘着剤層として形成されてもよい。
粘着剤層として形成されてもよい。
また、テーブル１０からテーブル２６へのチップ部品の
移し替えは、実施例のようなピン３０による他、そのチ
ップ部品を把み取るようなマニピーユレータなど任意の
手段が用いられてもよい。
移し替えは、実施例のようなピン３０による他、そのチ
ップ部品を把み取るようなマニピーユレータなど任意の
手段が用いられてもよい。
第１図はこの発明の一実施例を示す要部斜視図である。
第２Ａ図〜第２Ｃ図はこの実施例の動作を説明するため
の図解図である。 第３図は従来のチップ部品外観検査装置の一例を示す要
部斜視図である。 図において、１０．２６はテーブル、１２は保持部、１
４はチップ部品、１６．２２はＴＶ左カメラ２８はシリ
コンプレート、３０はピンを示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 山 １） 義 人 （ほか１名）
の図解図である。 第３図は従来のチップ部品外観検査装置の一例を示す要
部斜視図である。 図において、１０．２６はテーブル、１２は保持部、１
４はチップ部品、１６．２２はＴＶ左カメラ２８はシリ
コンプレート、３０はピンを示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 山 １） 義 人 （ほか１名）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ その一方主面に検査すべきチップ部品の一方面側を
保持してそのチップ部品を第１の検査ステーションに移
送するための第１の保持体、前記第１の検査ステーショ
ンに設けられ、前記チップ部品の外観をその他方面側か
ら検査するための第１の検査手段、 前記第１の保持体の近傍にその第１の保持体と面平行に
設けられ、前記第１の保持体からチップ部品を受け取り
、その他方主面にそのチップ部品の他方面側を貼着保持
してチップ部品を第２の検査ステーションに移送するた
めの第２の保持体、および 前記第２の検査ステーションに設けられ、前記チップ部
品の外観をその一方面側から検査するための第２の検査
手段を備える、チップ部品の外観検査装置。 ２ 前記第１の保持体から前記チップ部品を前記第２の
保持体に移し替えるための手段を含む、特許請求の範囲
第１項記載のチップ部品の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27849985A JPS62136281A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | チツプ部品の外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27849985A JPS62136281A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | チツプ部品の外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62136281A true JPS62136281A (ja) | 1987-06-19 |
Family
ID=17598165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27849985A Pending JPS62136281A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | チツプ部品の外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62136281A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01321213A (ja) * | 1988-06-24 | 1989-12-27 | Matsushita Electric Works Ltd | 搬送装置 |
| JPH0352296A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の搬送方法 |
| JP2002068470A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品製造装置 |
| JP2004154660A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Nippon Ritoru Kk | 搬送装置 |
| WO2005100215A1 (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Tdk Corporation | チップ部品搬送方法及び装置、並びに外観検査方法及び装置 |
| JP2006196633A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の搬送装置およびその搬送方法 |
| JP2007045597A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Murata Mfg Co Ltd | チップ部品搬送装置 |
| JP2022053843A (ja) * | 2020-09-25 | 2022-04-06 | 株式会社村田製作所 | 静電誘導吸着式搬送体および静電誘導吸着式搬送装置 |
-
1985
- 1985-12-10 JP JP27849985A patent/JPS62136281A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01321213A (ja) * | 1988-06-24 | 1989-12-27 | Matsushita Electric Works Ltd | 搬送装置 |
| JPH0352296A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の搬送方法 |
| JP2002068470A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品製造装置 |
| JP2004154660A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Nippon Ritoru Kk | 搬送装置 |
| WO2005100215A1 (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Tdk Corporation | チップ部品搬送方法及び装置、並びに外観検査方法及び装置 |
| KR100849003B1 (ko) * | 2004-04-13 | 2008-07-30 | 티디케이가부시기가이샤 | 칩 부품 반송 방법 및 장치, 및 외관 검사 방법 및 장치 |
| US7987968B2 (en) | 2004-04-13 | 2011-08-02 | Tdk Corporation | Chip component carrying method and system, and visual inspection method and system |
| US8499924B2 (en) | 2004-04-13 | 2013-08-06 | Tdk Corporation | Chip component carrying method and system, and visual inspection method and system |
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| JP4586673B2 (ja) * | 2005-08-11 | 2010-11-24 | 株式会社村田製作所 | チップ部品搬送装置 |
| JP2022053843A (ja) * | 2020-09-25 | 2022-04-06 | 株式会社村田製作所 | 静電誘導吸着式搬送体および静電誘導吸着式搬送装置 |
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