KR20110059524A - 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법 - Google Patents

워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20110059524A
KR20110059524A KR1020100109014A KR20100109014A KR20110059524A KR 20110059524 A KR20110059524 A KR 20110059524A KR 1020100109014 A KR1020100109014 A KR 1020100109014A KR 20100109014 A KR20100109014 A KR 20100109014A KR 20110059524 A KR20110059524 A KR 20110059524A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
workpiece
work
conveyance
linear feeder
conveyance table
Prior art date
Application number
KR1020100109014A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101271720B1 (ko
Inventor
가츠요시 고데라
히로유키 모치즈키
다스쿠 고토
Original Assignee
가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 도쿄 웰드 filed Critical 가부시키가이샤 도쿄 웰드
Publication of KR20110059524A publication Critical patent/KR20110059524A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101271720B1 publication Critical patent/KR101271720B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/02—Devices for feeding articles or materials to conveyors
    • B65G47/04—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles
    • B65G47/06—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from a single group of articles arranged in orderly pattern, e.g. workpieces in magazines
    • B65G47/08—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from a single group of articles arranged in orderly pattern, e.g. workpieces in magazines spacing or grouping the articles during feeding
    • B65G47/082—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from a single group of articles arranged in orderly pattern, e.g. workpieces in magazines spacing or grouping the articles during feeding grouping articles in rows
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G01N2021/8893—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques providing a video image and a processed signal for helping visual decision

Landscapes

  • Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)

Abstract

반송 테이블 상에서 워크를 정확히 위치 결정할 수 있고, 또한 워크에 대한 정전 파괴나 특성 열화를 생기게 하지 않는 워크의 외관 검사 장치를 제공한다.
워크의 외관 검사 장치(30)는, 육면체 형상의 워크 W를 반송하는 리니어 피더(1)와, 리니어 피더(1)로부터의 워크 W가 이재되어 반송되는 반송 테이블(2)과, 리니어 피더(1)로부터의 워크 W를 반송 테이블(2) 상에 이재해서 정렬시키는 이재 정렬 수단(21)과, 반송 테이블(2)의 하면을 대전해서 워크 W를 보관유지하는 대전 수단(6A)과, 워크 W의 6면을 촬상하는 촬상 수단(20)을 구비하고 있다. 이재 정렬 수단(21)은, 리니어 피더(1)와 반송 테이블(2) 사이에 위치하는 무진동부(4)와, 워크 W를 정렬시키는 정렬 가이드(7)를 가지고 있다. 정렬 가이드(7)는 평면으로부터 보아서 직선 형상을 이루는 가이드면(7a)을 포함한다.

Description

워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법{APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING APPEARANCE OF WORK}
본 발명은 육면체의 워크를 반송(搬送)하면서, 이 워크의 육면체를 촬상하는 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법에 관한 것이다.
종래로부터 육면체 형상의 저항이나 콘덴서 등의 칩형 전자부품(이하, 「워크」라 함)의 외관 검사 장치로서, 글래스 등의 투명체로 이루어지는 반송 테이블 상에 워크를 탑재하고, 반송 테이블을 회전시켜서 워크를 반송하면서 카메라 등의 촬상 수단에 의해 각 면을 촬상하여 외관 검사를 행하는 장치가 알려져 있다.
이 경우, 외관 검사 장치의 워크 반송 테이블은 정전기에 의해 워크를 정전흡착해서 반송하도록 되어 있다.
즉, 우선 진동에 의해 워크를 정렬 반송하는 리니어 피더(linear Feeder) 상에서 워크를 대전시키고, 그 워크를 반송 테이블 상에 탑재해서 소정의 작업 위치까지 반송함과 함께, 반송 테이블의 워크 재치면을 워크와 반대 극성으로 대전시켜, 거기에 워크를 정전흡착시키고 있다(특허문헌 1 참조).
특허문헌 1 : 일본국 공개특허 제2008-260594호 공보
그러나, 종래의 워크의 외관 검사 장치에는 다음과 같은 문제가 있다.
제1 문제는, 워크를 리니어 피더로부터 반송 테이블에 이재(移載)할 때의 위치 결정이 곤란하다는 것이다. 반송 테이블 상의 워크는, 반송 방향으로 2면, 상하 방향으로 2면, 반송 방향의 좌우로 2면의 합계 6면을 가진다. 이들 6면을 촬상하기 위해서는, 고정된 촬상 수단을 이용하여 이들 6면을 양호한 정밀도로 촬상하는 것이 필요하다. 그런데, 리니어 피더 상의 워크를 반송 테이블에 이재할 때에 워크가 일정한 방향으로만 이재된다고 할 수 없고, 이재 후에는 정전 흡착에 의해 워크의 자세가 고정되기 때문에, 촬상 시에 개개의 워크의 자세에 미묘한 차이가 발생해서 촬영 정밀도가 저하될 가능성이 있다.
또한, 리니어 피더 내에서 워크를 반송하면서 대전시키고 있기 때문에, 반송 중에 정전기의 흡착 작용에 의해 리니어 피더에 워크가 흡착되어, 반송 속도가 저하될 가능성이 있고, 최악인 경우에는 워크가 정지해버린다.
제2 문제는, 워크 이재 후의 정전 흡착이 저하되는 것이다. 반송 테이블의 워크 재치면과 워크가 반대 극성으로 대전하고 있기 때문에, 워크 이재 직전에는 충분한 흡인력이 확보되어 있어도, 워크 이재에 의해 워크 재치면과 워크가 접촉하면, 접촉점에서 전하가 중화(中和)되어 그 총량이 감소한다. 따라서, 반송 테이블 상에 탑재된 워크에 작용하는 정전 흡착력이 저하된다.
또한, 반송 테이블의 워크 재치면을 대전시킬 경우, 반송 테이블 상면에 설치된 이오나이저로부터 워크를 대전시키는 전하와 반대 극성의 전하를 워크를 향해서 분사하고 있다. 이 때문에, 반송 테이블에 이재되기 직전의 워크의 전하의 일부가 중화되는 경우가 있고, 이 경우에는 반송 테이블 상에 탑재된 워크에 작용하는 정전 흡착력이 저하된다.
제3 문제는, 정전기에 의한 워크로의 영향이다. 상술한 워크 이재에 의해 워크 재치면과 워크가 접촉할 때, 전하의 이동을 따르는 전하의 중화가 이루어지기 때문에, 워크의 정전 파괴 혹은 특성 열화 등의 우려가 있다.
본 발명은 이러한 점을 고려해서 이루어진 것으로서, 워크를 리니어 피더로부터 반송 테이블에 이재할 때에 양호한 정밀도로 위치 결정을 행할 수 있고, 워크 이재 후의 정전 흡착력이 저하되는 일이 없고, 워크에 대한 정전기의 영향이 없는 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 육면체 형상의 워크를 반송하는 리니어 피더와, 리니어 피더로부터 워크가 이재점에서 이재되며, 이 워크를 탑재한 상태에서 워크 반송 원호 상에서 반송하는 투명체로 이루어지는 회전 가능한 원형 반송 테이블과, 리니어 피더와 반송 테이블 사이에 설치되어, 리니어 피더로부터의 워크를 반송 테이블 상에 이재 해서 정렬시키는 이재 정렬 수단과, 반송 테이블 하방에 배치되어 반송 테이블에 탑재된 워크를 보관유지하는 보관유지 수단과, 반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상하는 촬상 수단을 구비하고, 이재 정렬 수단은 리니어 피더와 반송 테이블 사이에 설치된 무진동부와, 무진동부의 하류측에 설치되어, 워크를 정렬하는 평면으로부터 보아서 직선 형상의 가이드면을 가지는 정렬 가이드를 가지며, 정렬 가이드의 가이드면은, 평면 상, 이재점과 반송 테이블의 회전축을 연결하는 직선에 대하여 예각을 이루고, 또한 이재점의 하류에서 워크 반송 원호의 접선을 형성하는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.
본 발명은, 원형 반송 테이블은 투명한 유리체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.
본 발명은, 보관유지 수단은 반송 테이블의 하면을 향해서 대전 이온을 분출해서 반송 테이블 하면을 대전하는 대전 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.
본 발명은, 보관유지 수단은 반송 테이블의 하방에 배치된 도체로 이루어지며, 이 도체에 직류 전압을 인가해서 전장(電場)을 발생시키는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.
본 발명은, 반송 테이블에 의한 워크의 반송 속도는, 리니어 피더에 의한 워크의 반송 속도보다 큰 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.
본 발명은, 정렬 가이드의 가이드면은, 평면 상, 이재점과 반송 테이블을 연결하는 직선에 대하여, 75도∼88도의 예각을 형성하는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.
본 발명은, 워크의 외관 검사 장치를 사용한 워크의 외관 검사 방법에 있어서, 육면체 형상의 워크를 리니어 피더에 의해 반송하는 공정과, 리니어 피더로부터의 워크를 무진동부 및 정렬 가이드를 거쳐서 원형 반송 테이블 상의 이재점에 이재함과 함께, 정렬 가이드의 가이드면에 의해 워크를 정렬시키는 공정과, 보관유지 수단에 의해 반송 테이블에 탑재된 워크를 보관유지한 상태에서, 워크를 반송 테이블의 워크 반송 원호 상에서 반송하는 공정과, 반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상 수단에 의해 촬상하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 방법이다.
본 발명에 의하면, 반송 테이블 하면에 배치된 보관유지 수단에 의해 상면에 탑재한 워크를 보관유지함으로써, 워크를 리니어 피더로부터 반송 테이블에 이재할 때에, 보관유지 수단에 의한 보관유지와 정렬 가이드를 이용하여, 워크의 반송 테이블 상에서의 간격을 대략 일정하게 하고, 아울러 반송 방향에 대한 자세를 일정 하게 함으로써 워크에 대하여 양호한 정밀도로 위치 결정할 수 있다. 이 때문에, 촬상 수단에 의한 촬상 정밀도가 향상되어, 고밀도의 외관 검사가 가능해진다. 또한, 워크나 반송 테이블의 워크 재치면을 대전시키지 않고, 반송 테이블 하면에 배치된 보관유지 수단에 의해 워크를 보관유지하므로, 반송 테이블로의 워크 이재 후에 전하의 중화에 의해 정전 흡착력이 저하되는 것이 없다. 이 때문에, 외관 검사 장치의 처리 능력이 향상되고, 또한 워크를 대전시키지 않기 때문에 워크에 대한 정전 파괴나 특성 열화 등의 악영향이 없다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 워크의 외관 검사 장치의 평면도.
도 2는 워크를 나타내는 사시도.
도 3은 도 1의 영역 S를 나타내는 확대 평면도.
도 4는 도 1의 영역 S를 화살표 Y의 방향으로부터 본 투시도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에서의 워크의 반송 테이블로의 흡착을 나타내는 모식도.
도 6(a) 및 도 6(b)는 본 발명의 제1 실시예에서의 정전 유도의 원리를 나타내는 설명도.
도 7(a) 및 도 7(b)는 본 발명의 제1 실시예에서의 유전 분극의 원리를 나타내는 설명도.
도 8(a) 및 도 8(b)는 본 발명의 제1 실시예에서의 전기력선의 설명도.
도 9(a) 및 도 9(b)는 본 발명의 제1 실시예에서의 정렬 가이드의 작용 설명도.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 의한 워크의 외관 검사 장치의 투시도로, 제1 실시예에서의 도 4에 대응하는 도면.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 의한 워크의 외관 검사 장치의 확대 평면도.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에서의 워크의 반송 테이블로의 흡착을 나타내는 모식도.
도 13은 본 발명의 제2 실시예에서의 전기력선의 설명도.
도 14는 본 발명의 제2 실시예에서의 전기력선의 설명도.
도 15는 본 발명의 제2 실시예에서의 전기력선의 설명도.
(제1 실시예)
이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시예에 관하여 설명한다. 도 1 내지 도 9는 본 발명에 의한 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법의 제1 실시예를 나타내는 도면이다.
우선, 워크의 외관 검사 장치에 의해 검사되는 워크에 대해서, 도 2에 의해 설명한다.
도 2에서, 콘덴서나 저항 등의 칩 부품으로 이루어지는 워크 W는 육면체 형상을 이루고, 절연체로 이루어지는 본체 Wd와, 본체 Wd의 길이 방향의 양단부에 형성된 도전체로 이루어지는 전극 Wa, Wb를 가지고 있다. 이 워크 W의 외관 검사를 행할 경우, 후술하는 반송 테이블(2) 상에 워크 W를 탑재하고, 반송 테이블(2)을 도 2 중의 화살표 Z의 방향으로 회전시켜서 워크 W를 반송시킨다. 그리고, 촬상 수단(20)에 의해 화살표 A의 방향으로부터 지면(紙面) 반대측의 측면을 촬상하고, 화살표 B의 방향으로부터 지면 전방의 측면을 촬상하고, 화살표 C의 방향으로부터 상면을 촬상하고, 화살표 D의 방향으로부터 하면을 촬상하고, 화살표 E의 방향으로부터 전면(前面)을 촬상하고, 화살표 F의 방향으로부터 후면을 촬상한다. 이 때, 유리제의 투명 반송 테이블(2)을 사용함으로써, 워크 W를 탑재한 상태에서 상기 워크 W의 6면 전체면을 촬상할 수 있다.
다음에, 워크의 외관 검사 장치에 관하여 설명한다. 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 워크의 외관 검사 장치(30)는 워크 W를 반송하는 리니어 피더(1)와, 리니어 피더(1)로부터 워크 W가 이재점 4x에서 이재되고, 이 워크 W를 탑재한 상태에서 워크 반송 원호(5) 상에서 반송하는 투명체로 이루어지는 원형 반송 테이블(2)과, 리니어 피더(1)로부터의 워크 W를 반송 테이블(2) 상에 이재해서 정렬시키는 이재 정렬 수단(21)과, 반송 테이블(2)의 하방에 배치되어 반송 테이블(2) 하면을 대전해서 반송 테이블(2)에 탑재된 워크 W를 보관유지하는 보관유지 수단으로서 기능하는 대전 수단(6A)과, 반송 테이블(2) 상의 워크 W의 6면을 촬상하는 촬상 수단(20)을 구비하고 있다.
이 중 이재 정렬 수단(21)은 리니어 피더(1)와 반송 테이블(2) 사이에 설치된 무진동부(4)와, 무진동부(4)의 하류측에 설치된 워크 W를 정렬하는 정렬 가이드(7)를 가지고, 정렬 가이드(7)는 워크 W를 정렬하기 위한 가이드면(7a)을 포함한다. 이 가이드면(7a)은 평면으로부터 보아서(상방으로부터 보아서) 직선 형상을 이루고 있다.
또한, 촬상 수단(20)은, 후술과 같이 측면 카메라부(8)와, 내면 카메라부(9)와, 상면 카메라부(10)와, 하면 카메라부(11)와, 전면 카메라부(12)와, 후면 카메라부(13)를 가지고 있다.
다음에 워크의 외관 검사 장치(30)의 각 구성 부분에 대해서 도 1 내지 도 4에 의해 더욱 설명한다.
여기서, 도 1은 도 2에 나타내는 형상의 워크 W를 대상으로 한 워크의 외관 검사 장치의 평면도이며, 도 3은 도 1의 파선으로 둘러싼 영역 S의 확대 평면도이고, 도 4는 도 1에서 영역 S를 화살표 Y의 방향으로부터 본 투시도이다.
도 1에서, 직선 형상의 리니어 피더(1)는 도시되지 않은 구동원에 의해 진동하고, 리니어 피더(1)의 상류측에 위치하는 도시되지 않은 파트 피더에 투입된 워크 W를 일렬로 정렬시켜서 진동에 의해 화살표 N의 방향으로 반송한다.
리니어 피더(1)의 하방에 설치된 반송 테이블(2)은, 투명한 글래스제로 이루어져서 수평으로 설치되어 있고, 도시되지 않은 구동원에 의해 회전축(3)을 중심으로 해서 시계 방향(도 1의 화살표 X 방향)으로 회전하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 리니어 피더(1)는 반송 테이블(2)을 향해서 약간의 경사를 가지고 하강하며, 그 하류끝에는 리니어 피더(1)와 동등한 경사를 가짐과 함께 진동하지 않는 무진동부(4)가, 반송 테이블(2)과 약간의 간극을 두고서 접속되어 있다. 이에 따라, 워크 W는 리니어 피더(1)로부터 무진동부(4)를 거쳐서 점차로 하강해서 반송 테이블(2)에 이재된다.
반송 테이블(2)의 상면의 외연부(外緣部) 근방에는, 도 1의 일점 쇄선으로 나타내는 바와 같이 회전축(3)을 중심으로 한 원호로서 워크 반송 원호(5)가 형성되며, 워크 W는 무진동부(4)로부터 반송 테이블(2)에 이재된 후에, 후술하는 정렬 가이드(7)의 작용에 의해 워크 반송 원호(5) 상에 정렬된다. 여기서, 워크 반송 원호(5)는 워크 W를 정렬시키기 위해서 상정된 목표 위치이며, 반송 테이블(2)의 상면에 워크 반송 원호(5)를 눈으로 식별가능한 어떠한 표시가 되어 있는 것은 아니다.
또한, 대전 수단(6A)은 반송 테이블(2)에 탑재된 워크 W를 보관유지하는 보관유지 수단으로서 기능하는 것이다. 이 대전 수단(6A)은 무진동부(4)의 위치의 조금 앞쪽에 설치된 이오나이저(6)로 이루어지며, 이 이오나이저(6)는 반송 테이블(2)의 바로 아래에 설치되어 반송 테이블(2)의 하면을 향해서 플러스 이온(이하 「전하」)을 분출해서 반송 테이블(2)의 하면을 플러스로 대전시킨다.
또한, 상기 각 구성 부분 중, 무진동부(4)와, 가이드면(7a)을 가지는 가이드(7)에 의하여 이재 정렬 수단(21)이 구성된다.
또한, 도 3에서, 직선 형상의 가이드면(7a)을 가지는 정렬 가이드(7)는 반송 테이블(2)의 외연부측의 바로 위에, 반송 테이블(2)과 약간의 간극을 두고서 설치되어 있다. 도 3에, 이재점 4x와 반송 테이블(2)의 회전축(3)을 연결하는 직선을 파선 K로 하여 나타낸다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 정렬 가이드(7)는 가이드면(7a)과 파선 K가 이루는 각 α가 75도∼88도의 예각이 되도록, 또한 가이드면(7a)이 이재점 4x보다 워크 W의 반송 방향 하류에 위치하는 워크 반송 원호(5)의 합류점 7x에서 워크 반송 원호(5)의 접선이 되도록 설치되어 있다. 즉, 합류점 7x와 반송 테이블(2)의 회전축(3)을 연결하는 직선을 파선 L로 나타냈을 때에, 파선 L과 가이드면(7a)이 이루는 각 β가 90°로 된다.
또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 무진동부(4)의 하류측에 반송 테이블(2)의 회전 방향을 따라서, 촬상 수단(20)을 구성하는 측면 카메라부(8), 내면 카메라부(9), 상면 카메라부(10), 하면 카메라부(11), 전면 카메라부(12), 후면 카메라부(13)가 설치되어 있다. 이 촬상 수단(20)에 의해, 워크 반송 원호(5) 상의 워크 W에 대해서, 각각 도 2에 화살표 A∼F로 나타내는 워크 W의 각 면을 촬상해서 외관 검사를 행할 수 있다. 이 때, 도 2에 화살표 Z로 나타내는 워크 W의 반송 방향은, 도 1에서의 반송 테이블(2)의 회전 방향 X에 일치한다.
구체적으로는, 워크 W에 대하여 측면 카메라부(8)가 지면 반대측의 측면 A를 촬상하고, 내면 카메라부(9)가 지면 전방의 측면 B를 촬상하며, 상면 카메라부(10)가 상면 C를 촬상하고, 하면 카메라부(11)가 하면 D를 촬상하며, 전면 카메라부(12)가 전면 E를 촬상하고, 후면 카메라부(13)가 후면 F를 촬상한다.
또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 촬상 수단(20)으로부터 반송 테이블(2)의 회전 방향의 하류측에는 배출 수단으로서의 배출부(14)가 설치되어 있다. 외관 검사를 종료한 워크 W는, 외관 검사의 결과에 대응해서 배출부(14)에 의해 워크 반송 원호 상에서 도시되지 않은 수납 상자에 배출된다.
다음에 이러한 구성으로 이루어지는 워크의 외관 검사 장치를 사용한 워크의 외관 검사 방법에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1에서, 워크 W가 리니어 피더(1)의 상류측에 위치하는 도시되지 않은 파트 피더에 투입되고, 파트 피더에 투입된 워크 W는 도시되지 않은 구동원에 의해 진동하는 리니어 피더(1)의 작용에 의해 일렬로 정렬하고, 도 1의 화살표 N의 방향으로 직렬 반송된다. 이 때, 워크 W는 길이 방향이 반송 방향에 일치하도록 정렬하여, 도 2에서의 화살표 Z가 워크 W의 반송 방향이 된다. 즉, 도 2에서의 화살표 Z의 방향이 도 1에서의 화살표 N의 방향에 일치한다.
다음에, 도 4에 의해 리니어 피더(1)의 작용을 상세하게 설명한다. 도 4는 리니어 피더(1)에 의해 반송되는 워크 W의 모양을 나타내는 것으로, 도 1에서 파선으로 둘러싼 영역 S를 화살표 Y의 방향으로부터 본 투시도이다. 도 4는 반송 테이블(2) 상의 워크 W의 상황을 보기 쉽게 하기 위해서, 정렬 가이드(7)의 위치를 파선으로 나타낸 투시도로 되어 있다. 또한 워크 W에 대해서는, 개개의 구성 부분 상의 워크를 워크 W0∼W6으로 하여 나타내고, 장소에 상관없이 일반의 워크를 워크 W로 하여 나타낸다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 리니어 피더(1)는 그 하방에 수평으로 위치하는 반송 테이블(2)을 향해서 약간의 경사를 가지고 있어, 리니어 피더(1)의 진동에 의해 후속의 워크 W에 밀려서 전진하는 워크 W는, W0으로 나타내는 바와 같이 전후 방향으로 연속해서 반송 테이블(2)을 향해서 조금씩 하강한다. 리니어 피더(1)가 진동하고 있기 때문에, 워크 W를 리니어 피더(1)로부터 반송 테이블(2)에 이재할 때에 리니어 피더(1)를 반송 테이블(2)의 바로 위의 위치까지 접근시키면, 리니어 피더(1)와 반송 테이블(2)이 맞닿을 우려가 있다. 이것을 방지하기 위해서, 리니어 피더(1)의 하류끝과 반송 테이블(2) 사이에는, 진동하지 않는 무진동부(4)가 설치되어 있다.
또한, 리니어 피더(1)의 진동의 편차에 기인하여, 리니어 피더(1)에서 워크 W의 반송 속도의 편차가 발생하는 것도 생각되지만, 무진동부(4)를 리니어 피더(1)와 반송 테이블(2) 사이에 개재시킴으로써 이 반송 속도를 균일화할 수 있다.
그런데, 무진동부(4)는 리니어 피더(1)와 동등한 경사를 가지고, 반송 테이블(2)의 상면과의 사이에는 약간의 간극을 가지고 있다. 무진동부(4) 상의 워크 W는 리니어 피더(1) 위와 마찬가지로 후속의 워크에 밀려서 전진하고, W0으로 나타내는 바와 같이 전후로 연속해서 반송 테이블(2)을 향해서 조금씩 하강한다.
그리고, 무진동부(4)의 하류끝에 도달한 워크 W1은, 직후에 위치하는 워크 W0에 밀려서, 반송 테이블(2) 상의 이재점 4x에 이재되고, 이후 반송 테이블(2)의 회전에 의해 도 4의 화살표 X의 방향으로 반송된다. 여기서, 무진동부(4)의 길이가 지나치게 짧으면 반송 속도를 균일화하는 것이 곤란해지고, 반대로 이 길이가 너무 길면 워크 W가 도중에 정지해버릴 우려가 있다. 본 발명의 실시예에서는, 무진동부(4)의 길이는 워크의 길이 방향의 치수의 8배로 되어 있으므로, 워크 W를 정지시키지 않고 워크 W의 반송 속도의 균일화를 도모할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 반송 테이블(2)의 하측에는 이오나이저(6)가 설치되어, 반송 테이블(2)의 하면을 향해서 플러스의 전하를 분출해서 반송 테이블(2)의 하면을 플러스로 대전시키고 있다. 도 4에서는, 이 플러스의 전하를 모식적으로 "+"로 나타내고 있다. 이와 같이 반송 테이블(2)의 하면이 플러스로 대전됨으로써, 이재점 4x에 이재된 워크 W는 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된다.
다음에 반송 테이블(2) 상에서의 워크 W의 흡착 작용에 대해서 도 5 내지 도 7에 의해 설명한다.
이 중 도 6(a), (b)는 정전 유도의 원리를 나타내는 설명도이다. 도 6(a)에서 워크 W의 길이 방향의 일단부의 전극 Wa가 도시되어 있다. 전극 Wa는 도전체로 이루어지고, 보통 상태에서는 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 그 내부에는 +로 나타내는 플러스의 전하와 -로 나타내는 마이너스의 전하가 랜덤한 위치에 존재한다. 이 전극 Wa에 좌측 방향으로부터 플러스의 전하를 근접시켰을 때의 모양을 도 6(b)에 나타낸다.
여기서는, 플러스의 전하를 대전시킨 대전체 T를 근접시키고 있다. 이 때, 전극 Wa 내의 마이너스의 전하는 대전체 T 내의 플러스의 전하에 끌어 당겨져서, 마이너스의 전하가 대전체 T에 가까운 전극 Wa의 좌면 WaL측으로 모인다. 또한, 전극 Wa 내의 플러스의 전하는 대전체 T 내의 플러스의 전하에 반발하여, 대전체 T로부터 먼 전극 Wa의 우면 WaR측으로 모인다. 이 때, 좌면 WaL측에는 마이너스의 전하가 나타나고, 우면 WaR측에는 플러스의 전하가 나타난다. 또한, 전극 Wa는 도전체로 이루어지므로, 내부의 전하는 자유롭게 움직일 수 있고, 이 때문에 도 6(b)에서, 전극 Wa의 좌면 WaL과 우면 WaR 사이의 부분에는 전하가 존재하지 않게 된다. 이 현상을 정전 유도라 부른다.
또한, 정전 유도에 의해, 전극 Wa의 좌면 WaL측에 모인 마이너스의 전하와 대전체 T 내의 플러스의 전하 사이에는, 도 6(b)에 화살표 G로 나타낸 인력이 작용한다. 이 때문에, 전극 Wa는 대전체 T에 끌어 당겨진다. 대전체 T가 전극 Wa로부터 멀어지면, 전극 Wa 내의 전하는 다시 도 6(a)의 상태로 돌아간다. 전극 Wb에 관해서도 마찬가지이다.
도 7(a), (b)는 유전 분극의 원리를 나타내는 설명도이다. 이 중 도 7(a)는 워크 W의 길이 방향 중앙부에 있는 본체 Wd를 나타낸다. 본체 Wd는 절연체이며, 보통 상태에서는 도 7(a)에 나타내는 바와 같이 그 내부에는 +로 나타내는 플러스의 전하와 -로 나타내는 마이너스의 전하를 1조(組)로 한 분자(파선의 타원)가 랜덤한 위치에 존재한다.
이 본체 Wd에 좌측 방향으로부터 플러스의 전하를 근접시켰을 때의 모양을 도 7(b)에 나타낸다. 여기서는, 플러스의 전하를 대전시킨 대전체 T를 근접시키고 있다. 이 때, 본체 Wd 내의 마이너스의 전하는 대전체 T 내의 플러스의 전하에 끌어 당겨짐과 함께, 본체 Wd 내의 플러스의 전하는 대전체 T 내의 플러스의 전하에 반발한다. 이 때문에, 본체 Wd 내의 분자의 방향은, 대전체 T에 가까운 본체 Wd의 좌면 WdL측이 마이너스의 전하가 되고, 대전체 T로부터 먼 본체 Wd의 우면 WdR측이 플러스의 전하가 되도록 정렬한다.
도 7(b)에 나타내는 바와 같이 본체 Wd의 좌면 WdL측에는 마이너스의 전하가 나타나고, 우면 WdR측에는 플러스의 전하가 나타난다. 또한, 본체 Wd는 절연체이므로 내부의 전하는 자유롭게 움직일 수 없어, 좌면 WdL과 우면 WdR 사이에는 분자가 일정 방향으로 정렬하고 있다. 이 현상을 유전 분극이라 부른다. 또한, 유전 분극에 의해, 본체 Wd의 좌면 WaL측에 나타난 마이너스의 전하와 대전체 T 내의 플러스의 전하 사이에는, 도 7(b)에 화살표 G로 나타낸 인력이 작용한다. 이 때문에, 본체 Wd는 대전체 T에 끌어 당겨진다. 대전체 T가 본체 Wd로부터 멀어지면, 본체 Wd 내의 분자는 다시 도 7(a)의 상태로 돌아간다.
다음에 도 5에 의해, 이재점 4x에 이재된 워크 W가 정전 유도 및 유전 분극에 의해 반송 테이블(2)의 상면에 흡착되는 모양을 나타낸다. 도 5에서, 반송 테이블(2)의 하면은 이오나이저(6)의 작용에 의해 플러스로 대전하고 있다. 반송 테이블(2)의 재질인 글래스는 절연체이므로, 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 플러스의 전하에 의해 상기의 유전 분극이 일어나서, 반송 테이블(2)의 내부 중 하면측에 마이너스의 전하가 나타나고, 상면측에 플러스의 전하가 나타난다. 또한 마찬가지로, 무진동부(4)로부터 반송 테이블(2) 상의 이재점 4x에 이재된 워크 W2에 대해서는, 전극 Wa 및 Wb에는 정전 유도에 의해, 또한 본체 Wd에는 유전 분극에 의해, 각각의 하면측에 마이너스의 전하가 나타나고, 상면측에 플러스의 전하가 나타난다.
도 5에서, 전극 Wa, Wb 및 본체 Wd의 하면측에 나타난 마이너스의 전하와 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 플러스의 전하 사이에는, 화살표로 나타낸 정전 흡착력 G가 작용하고, 이에 따라 워크 W2는 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된다. 이 때, 워크 W2의 하면 및 반송 테이블(2)의 상면에는 정전 유도 혹은 유전 분극에 의해 전하가 나타나 있을 뿐, 전하의 이동에 의한 대전은 일어나지 않는다. 이 때문에, 흡착시에 전하의 중화는 발생하지 않아, 흡착 후에도 흡착력이 저하되지 않는다. 이와 같이 워크 W2는 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된 상태에서 반송 테이블(2)의 회전에 의해 화살표 X의 방향으로 반송된다.
다음에, 무진동부(4)로부터 반송 테이블(2) 상의 이재점 4x에 이재된 워크 W는 워크 W2로 하여 나타내고, 반송 테이블(2)에 흡착된 상태에서 반송 테이블(2)의 회전에 의해 화살표 X의 방향으로 반송된다.
이 경우, 반송 테이블(2)의 회전에 의한 반송 속도를 리니어 피더(1) 및 무진동부(4)에 의한 반송 속도보다도 크게 하고, 반송 테이블(2) 상의 워크 사이(예를 들면 W2와 W3 사이)에 간격을 두도록 하고 있다. 이와 같이 반송 테이블(2) 상의 워크 사이에 간격을 두게 함으로써, 도 1의 전면 카메라부(12)가 도 2에 나타내는 워크 W의 전면 E를 촬상하고, 또한 도 1의 후면 카메라부(13)가 도 2에 나타내는 워크 W의 후면 F를 촬상할 때에, 면 전체를 확실하게 촬상하는 것이 가능해진다.
즉 워크 W가 이재점 4x로부터 반송 테이블(2)에 이재되어서 반송되면, 도 3에서의 구간 P에서 워크 W는 정전 흡착된 상태에서, W2→W3→W4와 같이 반송 테이블(2)의 반송 속도까지 신속하게 가속되고, 구간 Q에서 워크의 간격은 예를 들면 W4와 W5 사이와 같이 넓어진다.
이 때, 무진동부(4)와 반송 테이블(2) 사이에 약간의 간극이 있고, 또한 반송 테이블(2)의 회전에 의한 반송 속도가 무진동부(4)에 의한 반송 속도보다도 크기 때문에, 워크 W2가 반송 테이블(2)에 충분히 흡착되지 않는 경우에는, 무진동부(4)로부터 반송 테이블(2) 상의 이재점 4x에 이재된 시점에서 워크 W2가 미묘한 도약을 일으켜 버리는 경우가 있다. 이 경우, 워크 W에 발생하는 도약은 워크 W 마다 불균일하기 때문에, 가속 후의 반송 테이블(2) 상의 워크 W의 간격에 불균일이 생긴다. 이에 대하여 본 발명에 의하면, 워크 W2가 반송 테이블(2)에 충분히 흡착되기 때문에, 무진동부(4)로부터 반송 테이블(2) 상의 이재점 4x에 이재된 시점에서 워크 W2가 도약하는 경우가 없이, 반송 테이블(2) 상에 고정된다. 이 때문에 가속 후의 워크 W의 간격을 대략 일정하게 유지할 수 있다.
그런데 반송 테이블(2)의 외연부의 이재점 4x 바로 위에는, 직선 형상의 가이드면(7a)을 가지는 정렬 가이드(7)가 반송 테이블(2)과 약간의 간극을 두고서 설치되어 있다. 상술한 바와 같이, 도 3에서 이재점 4x와 회전축(3)을 연결하는 직선을 파선 K로 했을 때, 정렬 가이드(7)는 가이드면(7a)과 파선 K가 이루는 각 α가 예각이 되도록, 또한 가이드면(7a)이 이재점 4x의 하류 방향에 위치하는 합류점 7x에서 워크 반송 원호(5)의 접선이 되도록 설치되어 있다. 즉, 합류점 7x와 회전축(3)을 연결하는 직선을 파선 L로 나타냈을 때에, 파선 L과 가이드면(7a)이 이루는 각 β가 90로 된다. 이 때문에, 이재점 4x는 워크 반송 원호(5)에 대하여 반송 테이블(2)의 외연부측에 위치하게 된다. 따라서, 이재점 4x에 이재된 워크 W의 반송 방향(화살표 X)은 가이드면(7a)을 향하는 방향이 되고, 이재점 4x에서의 워크 W의 자세의 미묘한 차이를 수정해서 동일하게 할 수 있다.
다음에 정렬 가이드(7)에 의한 정렬 작용에 대해서, 도 9(a), (b)에 의해 설명한다.
여기서 도 9(a)는 이재점 4X에 이재된 워크 W2E1의 자세가, 바른 방향에 대하여 약간 좌향으로 되어 있는 경우를 나타낸다. 이재점 4x의 위치는 워크 반송 원호(5)에 대하여 반송 테이블(2)의 외연부측이며, 도 9(a)에서 화살표 X로 나타내는 반송 테이블(2)의 회전 방향은 워크 반송 원호(5)의 궤적과 동일한 방향이 되고, 워크 W2E1의 반송 방향은 가이드면(7a)을 향하는 방향이 된다. 이 때문에, 워크 W2E1은 워크 W2E2와 같이 가이드면(7a)에 맞닿은 후, 가이드면(7a)에 눌려진다. 이 때, 워크 WW2E1은 가이드면(7a)과의 사이에 작용하는 마찰력보다도 강한 힘으로 글래스 테이블(2)에 흡착되어 있기 때문에, 가이드면(7a)에 눌려진 상태에서도 감속하지 않고 가이드면(7a)을 따르는 형태로 반송된다.
도 9(b)는 이재점 4X에 이재된 워크 W2E3의 자세가, 바른 방향에 대하여 약간 우향으로 되어 있는 경우를 나타낸다. 이 경우도, 워크 W2E3의 반송 방향은 가이드면(7a)을 향하는 방향이 되고, 워크 W2E3은 워크 W2E4와 같이 가이드면(7a)에 맞닿은 후, 가이드면(7a)에 눌려지고, W2와 같이 가이드면(7a)을 따르는 형태로 반송된다. 이렇게 하여 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 전하에 의한 흡착과 가이드면(7a)의 작용에 의하여, 워크 W의 반송 테이블(2) 상에서의 간격을 대략 일정하게 하고, 아울러 반송 방향에 대한 자세를 일정하게 하도록 하는 정밀도가 좋은 위치 결정을 할 수 있다.
그런데 상술한 바와 같이, 반송 테이블(2)의 회전에 의한 반송 속도가 리니어 피더(1) 및 무진동부(4)에 의한 반송 속도보다도 크기 때문에, 위치 결정된 워크 W는 도 3에서의 구간 P에서 정전 흡착된 상태에서, W2→W3→W4와 같이 반송 테이블(2)의 회전에 의한 반송 속도까지 신속하게 가속되고, 구간 Q에서 워크의 간격은 예를 들면 W4와 W5 사이와 같이 넓어진다. 그리고 워크 W5는 구간 P와 마찬가지로 가이드면(7a)에 눌려지면서 반송되고, 점차로 워크 반송 원호(5)에 가까이 간다. 그리고, 가이드면(7a)이 워크 반송 원호(5)에 접하는 합류점 7x에 도달한 워크 W6의 반송 방향은 구간 R에서 워크 반송 원호(5)의 방향에 일치하고, 워크 W6은 가이드면(7a)으로부터 벗어나는 방향으로 반송된다. 즉, 반송 테이블(2) 상의 워크 W6에 대하여 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 플러스의 전하로부터 정전 흡착력이 작용하고 있기 때문에, 워크 W6은 반송 테이블(2)에 흡착된 채 가이드면(7a)으로부터 벗어나고, 이후 워크 반송 원호(5) 상에 재치 정렬된 상태로 반송된다.
그 후 워크 W는 촬상 수단(20)까지 도달하고, 촬상 수단(20)의 측면 카메라부(8), 내면 카메라부(9), 상면 카메라부(10), 하면 카메라부(11), 전면 카메라부(12), 후면 카메라부(13)에 의해, 도 2에 화살표 A∼F로 나타내는 방향으로부터 각 면이 촬상되어 외관 검사가 행하여진다. 이 경우, 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 전하에 의한 흡착과 가이드면(7a)의 작용에 의하여 워크 W의 위치 결정이 양호한 정밀도로 행하여지고 있기 때문에, 촬상 수단(20)에 의한 촬상 정밀도가 향상된다. 외관 검사를 종료한 워크 W는 배출부(14)에 도달하고, 외관 검사의 결과에 따라 도시되지 않은 수납 상자를 향해서 배출된다.
배출부(14)에서 워크 W를 배출할 경우, 예를 들면 도 2에서의 지면 전방의 측면 B에 대하여 반송 테이블(2)의 내주측으로부터 압축 에어를 분출하고, 워크 W를 반송 테이블(2)의 외주측으로 날려서 수납 상자로 유도할 수 있다. 수납 상자 내의 워크 W는 반송 테이블(2) 상에서는 그 하면에 존재하는 플러스의 전하 때문에 도 6(b), 도 7(b)에 나타내는 상태를 가지고 있었지만, 플러스 전하로부터 멀어짐에 따라서 도 6(a), 도 7(a)의 상태로 돌아간다. 이 동안, 워크 W 자체에는 정전기에 의한 대전은 생기지 않는다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에서는 정전기를 이용하여 워크 W를 반송 테이블(2)에 흡착하고 있지만, 정전기에 의해 워크 W가 정전 파괴를 일으키거나 특성 열화 등을 생기게 하지 않는 것을, 도 8(a), (b)에 의해 설명한다.
도 8(a)는 워크 W를 반송 테이블(2)의 상면에 탑재해서 반송 테이블(2)의 하면을 플러스로 대전시켰을 때에, 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 플러스의 전하에 의해 생기는 전기력선의 모양을 나타낸다. 도 8(a)에 나타내는 바와 같이 전기력선은 플러스의 전하로부터 출발해서 마이너스의 전하에서 종단된다. 이 경우에는 마이너스의 전하는 무한 원방(遠方)에 존재한다고 생각되므로, 전기력선 E1은 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 플러스의 전하로부터 출발하여, 반송 테이블(2)과 워크 W를 관통해서 상방을 향한다. 그 외에 상기 플러스의 전하로부터 출발해서 하방 혹은 좌우를 향하는 전기력선도 존재하지만, 본 발명과 관계없으므로 도시하고 있지 않다. 이 때, 워크 W의 전극 Wa 및 Wb에는 정전 유도에 의해, 또한 본체 Wd에는 유전 분극에 의해, 각각의 하면에 마이너스의 전하가 나타나고, 동시에 각각의 상면에 플러스의 전하가 나타난다. 이 때, 전극 Wa 및 Wb는 도전체이기 때문에, 그 상면에 플러스의 전하가 모이고, 하면에 마이너스의 전하가 모이고 있다. 따라서, 이들 전하에 의해 전극 Wa 및 Wb의 내부에는 전기력선 E2가 발생한다. 그 방향은 상면에 존재하는 플러스의 전하로부터 출발해서 하면에 존재하는 마이너스의 전하에서 종단된다.
따라서, 전극 Wa 및 Wb 내에서는 전기력선 E1과 E2가 서로 반대 방향으로 존재하므로 서로 소거되어, 도 8(b)에 나타내는 바와 같이 전극 Wa 및 Wb 내에는 전기력선이 존재하지 않는 상태가 된다. 이렇게 전극 Wa 및 Wb에서 분단된 전기력선을 도 8(b)에서 E1'으로 나타낸다. 이 상태에서는 전극 Wa 및 Wb 내에 전기력선이 존재하지 않기 때문에, 전극 Wa와 전극 Wb는 동전위이다. 즉, 전극 Wa와 전극 Wb 사이에 전압이 걸릴 일이 없어, 워크의 정전 파괴 혹은 특성 열화 등은 일어나지 않는다.
그런데, 워크 W가 무진동부(4)로부터 반송 테이블(2)에 이재되는 과도 상태에 있어서는, 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 전하에 근거하는 정전 유도에 의해 워크 W의 전극 Wa, Wb 내의 전하가 각 전극 내를 이동하면서, 전극 Wa, Wb가 무진동부(4) 및 반송 테이블(2)과 접촉이나 이간을 되풀이하는 것도 생각된다. 이러한 전극 Wa, Wb의 접촉이나 이간 시에 전극 Wa, Wb 내의 전하가 외부와의 사이에서 이동하면, 방전에 의한 정전 파괴를 일으키는 것도 생각된다. 이 경우, 무진동부(4)는 반송 테이블(2)과 마찬가지로 절연체 등의 고저항값을 가지는 재료를 이용하여 구성되어 있으므로, 전극 Wa, Wb 사이에 전하의 이동을 생기게 할 일은 없다.
또한, 상기 실시예에서, 반송 테이블(2)의 하면을 플러스로 대전시키는 예를 나타냈지만, 필요에 따라서 마이너스로 대전시켜도 된다. 또한, 반송 테이블(2)이 유리제의 재료로 이루어지는 예를 나타냈지만, 반송 테이블(2)의 재료는 투명체이면 글래스에 한정되는 것은 아니다.
(제2 실시예)
이하, 도 10 내지 도 15에 의해, 본 발명의 제2 실시예에 관하여 설명한다.
도 10 내지 도 15에 나타내는 본 발명의 제2 실시예는, 반송 테이블(2)의 하방에 대전 수단(6A)을 배치하는 대신에, 반송 테이블(2)의 하방에 도전판(도체)(15)을 배치한 점이 다를 뿐이며, 다른 구성은 도 1 내지 도 9에 나타내는 제1 실시예와 대략 동일하다.
도 10 내지 도 15에 나타내는 제2 실시예에서, 도 1 내지 도 9에 나타내는 제1 실시예와 동일부분에는 동일한 부호를 붙여서 상세한 설명은 생략한다.
여기서, 도 10은 도 1에서 파선으로 둘러싼 영역 S를 화살표 Y의 방향으로부터 본 투시도이며, 도 4에 대응하고 있다. 도 10에서 반송 테이블(2)의 하측에는, 도 4에서의 이오나이저(6)로 이루어지는 대전 수단(6A) 대신에, 도체로 이루어지는 도전판(15)이 반송 테이블(2)의 하면에 약간의 간극을 두고서 배치되어 있다. 도전판(15)은 평면 형상을 이루며, 도 12에 나타내는 바와 같이 그 표면(15a)은 반송 테이블(2)에 대략 평행하게 되어 있다. 또한, 도전판(15)에는 직류 전원(16)이 접속되어 직류 전압이 인가되어, 전장 발생 수단을 구성하고 있다. 도 11에 의해 도전판(15)의 배치 장소를 나타낸다. 도 11은 도 1의 파선으로 둘러싼 영역 S의 확대 평면도를 나타내며, 도 3에 대응하는 것이다. 도 11에서, 도전판(15)은 수평 방향으로 가늘고 긴 형상으로 뻗어서, 이재점 4x로부터 워크 W의 반송 테이블(2) 상에서의 워크 반송 원호(5) 및 정렬 가이드(7)의 가이드면(7a)에 대응하는 반송 테이블(2)의 하측에, 길이 방향이 워크 W의 워크 반송 원호(5)에 따르도록 배치되어 있다.
다음에 도 10 내지 도 15에 의해 본 발명의 제2 실시예의 작용에 대해서, 이하에 설명한다.
도 11에서, 리니어 피더(1)의 진동에 의해 일렬로 반송된 워크 W는, 반송 테이블(2) 상의 이재점 4x에 이재되고, 직류 전원(16)에 접속된 도전판(15)에 생긴 전하의 작용에 의한 정전 유도 및 유전 분극에 의해 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된다.
이 흡착 작용의 모양을 도 12에 나타낸다. 도 12에서, 도전판(15)이 반송 테이블(2)의 하면에 약간의 간극을 두고서 배치되고, 도전판(15)에는 직류 전원(16)이 접속되어 플러스의 직류 전압이 인가되고 있다. 이 때문에, 도전판(15)에는 플러스의 전하가 나타난다.
이 플러스의 전하의 작용에 의해 도 5와 마찬가지로 유전 분극이 일어나고, 도전판(15)에 대향하는 반송 테이블(2)의 내부 중 하면측에 마이너스의 전하가 나타나며, 상면측에 플러스의 전하가 나타난다. 또한 마찬가지로, 무진동부(4)로부터 반송 테이블(2) 상의 이재점 4x에 이재된 워크 W2에서 전극 Wa 및 Wb에는 정전 유도에 의해, 또한 본체 Wd에는 유전 분극에 의해, 각각 하면측에 마이너스의 전하가 나타나며, 상면측에 플러스의 전하가 나타난다.
그리고, 전극 Wa, Wb 및 본체 Wd의 하면측에 나타난 마이너스의 전하와 도전판(15)의 플러스의 전하 사이에는, 화살표로 나타낸 정전 흡착력 G가 작용하고, 이에 따라 워크 W2는 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된 상태에서 반송 테이블(2)의 회전에 의해 화살표 X의 방향으로 반송된다.
이 경우, 도 8(a), (b)에 나타내는 제1 실시예와 마찬가지로, 워크 W 자체에는 정전기에 의한 대전은 생기지 않으므로, 워크 W가 정전 파괴를 일으키거나 특성 열화를 생기게 하는 경우는 없다.
또한, 상기 실시예의 설명에서는, 도전판(15)의 면이 반송 테이블(2)의 면에 대략 평행한 것으로 해서 설명했지만, 도전판(15)의 면과 반송 테이블(2)의 면의 위치 관계는, 이것에 한정되는 것이 아니다. 도 11에서의 L 방향에서 본 확대도를 도 13에 나타내며, 도 13 중에 도전판(15)의 플러스의 전하로부터 출발하는 전기력선의 모양을 나타낸다.
도 13에 나타내는 바와 같이, 전기력선이 반송 테이블(2) 및 워크 W를 관통 함으로써 정전 유도 및 유전 분극이 일어나고, 워크 W의 하면에 마이너스의 전하가 생기며, 워크 W의 상면에 플러스의 전하가 생기고 있다. 여기서, 간단하게, 유전 분극에 의해 반송 테이블(2) 내에 생기는 전하는 도시하고 있지 않다.
도 13에 나타내는 바와 같이, 도전판(15) 상의 플러스의 전하로부터 출발하는 전기력선 중, 도전판(15)의 단면(15x)의 근방에 존재하는 플러스의 전하로부터 출발하는 것(도면 중의 Ex)은, 전하가 존재하지 않는 측, 즉 도전판(15)의 외측을 향해서 휘어지는 성질을 가진다. 이 때문에, 도 13에 나타내는 구성 대신에, 도 14와 같이 도전판(15)을 그 표면(15a)이 반송 테이블(2)과 대략 직각이 되도록 해서 배치해도 된다. 이 경우, 도전판(15)은 수평 방향으로 가늘고 긴 형상으로 뻗고, 정렬 가이드(7)의 가이드면(7a)에 대응하는 반송 테이블(2)의 하측에서, 길이 방향이 워크 W의 워크 반송 원호(5)에 대략 평행하게 되도록 배치된다.
도 14에서, 도전판(15)의 플러스의 전하로부터 출발한 전기력선 중 단면(15x) 근방의 플러스의 전하로부터 출발한 전기력선은 반송 테이블(2) 및 워크 W를 관통한다. 이 때문에, 도 13에 나타내는 경우와 마찬가지로, 정전 유도 및 유전 분극에 의해 워크 W의 하면에 마이너스의 전하가 생기고, 워크 W의 상면에 플러스의 전하가 생긴다.
또한, 도 15와 같이 , L자 형상의 단면을 가지는 도전판(15)을 설치해도 된다. 이 경우, 도전판(15)의 교차하는 2 표면(15b, 15c) 중, 표면(15b)을 반송 테이블(2)에 대략 직각이 되도록 배치하고, 표면(15c)을 반송 테이블(2)에 대략 평행하게 배치해도 된다. 이 경우, 도전판(15)은 수평 방향으로 가늘고 긴 형상으로 뻗고, 정렬 가이드(7)의 가이드면(7a)에 대응하는 반송 테이블(2)의 하측에서, 길이 방향이 워크 W의 워크 반송 원호(5)에 대략 평행하게 되도록 배치된다.
도 15에서, 전기력선끼리는 교차하지 않는다는 성질을 가지기 때문에서, 도전판(15)의 플러스의 전하로부터 출발한 전기력선 중 단면(15x)의 근방에 존재하는 플러스의 전하로부터 출발한 전기력선은 반송 테이블(2) 및 워크 W를 관통한다. 이 때문에, 도 13과 마찬가지로, 정전 유도 및 유전 분극에 의해 워크 W의 하면에 마이너스의 전하를 생기게 하고, 워크 W의 상면에 플러스의 전하를 생기게 한다.
또한, 상기 제2 실시예의 설명에서는, 도전판(15)을 플러스로 대전시키는 예를 나타냈지만, 필요에 따라서 마이너스로 대전시켜도 된다.
1 : 리니어 피더 2 : 반송 테이블
3 : 반송 테이블의 중심축 4 : 무진동부
4x : 이재점 5 : 워크 반송 원호
6 : 이오나이저 6A : 대전 수단
7 : 정렬 가이드 7a : 가이드면
7x : 합류점 8 : 측면 카메라부
9 : 내면 카메라부 10 : 상면 카메라부
11 : 하면 카메라부 12 : 전면 카메라부
13 : 후면 카메라부 14 : 배출부
15 : 도전판 20 : 촬상 수단
21 : 이재 정렬 수단 30 : 워크의 외관 검사 장치
W : 워크 Wa, Wb : 워크의 전극
Wd : 워크의 본체

Claims (7)

  1. 육면체 형상의 워크를 반송(搬送)하는 리니어 피더와,
    리니어 피더로부터 워크가 이재점(移載点)에서 이재되고, 이 워크를 탑재한 상태에서 워크 반송 원호 상에서 반송하는 투명체로 이루어지는 회전 가능한 원형 반송 테이블과,
    리니어 피더와 반송 테이블 사이에 설치되어, 리니어 피더로부터의 워크를 반송 테이블 상에 이재해서 정렬시키는 이재 정렬 수단과,
    반송 테이블 하방에 배치되어, 반송 테이블에 탑재된 워크를 보관유지하는 보관유지 수단과,
    반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상하는 촬상 수단을 구비하고,
    이재 정렬 수단은 리니어 피더와 반송 테이블 사이에 설치된 무진동부와, 무진동부의 하류측에 설치되어, 워크를 정렬하는 평면으로부터 보아서 직선 형상의 가이드면을 가지는 정렬 가이드를 가지며,
    정렬 가이드의 가이드면은, 평면 상, 이재점과 반송 테이블의 회전축을 연결하는 직선에 대하여 예각을 이루고, 또한 이재점의 하류에서 워크 반송 원호의 접선을 형성하는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    원형 반송 테이블은 투명한 유리체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    보관유지 수단은 반송 테이블의 하면을 향해서 대전 이온을 분출해서 반송 테이블 하면을 대전하는 대전 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    보관유지 수단은 반송 테이블의 하방에 배치된 도체로 이루어지며, 이 도체에 직류 전압을 인가해서 전장(電場)을 발생시키는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    반송 테이블에 의한 워크의 반송 속도는, 리니어 피더에 의한 워크의 반송 속도보다 큰 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    정렬 가이드의 가이드면은, 평면 상, 이재점과 반송 테이블을 연결하는 직선에 대하여, 75도∼88도의 예각을 형성하는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
  7. 청구항 1에 기재된 워크의 외관 검사 장치를 사용한 워크의 외관 검사 방법에 있어서,
    육면체 형상의 워크를 리니어 피더에 의해 반송하는 공정과,
    리니어 피더로부터의 워크를 무진동부 및 정렬 가이드를 거쳐서 원형 반송 테이블 상의 이재점에 이재함과 함께, 정렬 가이드의 가이드면에 의해 워크를 정렬시키는 공정과,
    보관유지 수단에 의해 반송 테이블에 탑재된 워크를 보관유지한 상태에서, 워크를 반송 테이블의 워크 반송 원호 상에서 반송하는 공정과,
    반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상 수단에 의해 촬상하는 공정
    을 구비한 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 방법.
KR1020100109014A 2009-11-27 2010-11-04 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법 KR101271720B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2009-270347 2009-11-27
JP2009270347 2009-11-27
JP2010167323A JP5598912B2 (ja) 2009-11-27 2010-07-26 ワークの外観検査装置およびワークの外観検査方法
JPJP-P-2010-167323 2010-07-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110059524A true KR20110059524A (ko) 2011-06-02
KR101271720B1 KR101271720B1 (ko) 2013-06-04

Family

ID=44346328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100109014A KR101271720B1 (ko) 2009-11-27 2010-11-04 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5598912B2 (ko)
KR (1) KR101271720B1 (ko)
TW (1) TWI449897B (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013133492A1 (ko) * 2012-03-09 2013-09-12 윈텍 주식회사 정전 유도 흡착식 전자부품 검사 테이블
KR101436449B1 (ko) * 2012-01-17 2014-09-02 가부시키가이샤 도쿄 웰드 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법
KR20160119516A (ko) * 2015-04-06 2016-10-14 나승옥 워크 외형검사장치 및 방법
KR20200088158A (ko) * 2019-01-14 2020-07-22 엘지전자 주식회사 냉장고 및 냉장고의 압축기 제어 방법

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6213981B2 (ja) 2013-04-12 2017-10-18 株式会社 東京ウエルズ ワークの外観検査装置およびワークの外観検査方法
JP6529170B2 (ja) 2015-08-26 2019-06-12 株式会社 東京ウエルズ ワークの外観検査装置およびワークの外観検査方法
JP6668738B2 (ja) * 2015-12-21 2020-03-18 株式会社村田製作所 搬送装置およびそれに用いられる基盤
JP6561825B2 (ja) * 2015-12-21 2019-08-21 株式会社村田製作所 搬送装置、基盤およびその製造方法
JP6999150B2 (ja) 2017-03-28 2022-01-18 株式会社 東京ウエルズ ワークの検査結果判定方法
KR102297748B1 (ko) 2017-04-17 2021-09-06 가부시키가이샤 도쿄 웰드 워크의 검사 결과 판정 방법
WO2019045031A1 (ja) 2017-08-31 2019-03-07 東レ株式会社 海島複合繊維、吸着用担体及び該吸着用担体を備える医療用カラム
JP7243152B2 (ja) * 2018-11-30 2023-03-22 Tdk株式会社 ワーク搬送回転テーブル装置およびワーク検査装置
JP7506309B2 (ja) 2020-06-11 2024-06-26 シンフォニアテクノロジー株式会社 シュート、振動搬送装置
JPWO2023127315A1 (ko) * 2021-12-27 2023-07-06
TWI814542B (zh) * 2022-08-17 2023-09-01 產台股份有限公司 工件外觀檢查機之整列裝置
KR20240078364A (ko) 2022-11-25 2024-06-03 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 슈트 및 진동 반송 장치

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63106225A (ja) * 1986-10-23 1988-05-11 Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd 円柱体の方向転換機
JP2585133B2 (ja) * 1990-08-24 1997-02-26 ティーディーケイ株式会社 部品外観選別装置
JP3796971B2 (ja) * 1998-07-16 2006-07-12 松下電器産業株式会社 部品整列装置
JP2001287826A (ja) * 2000-01-31 2001-10-16 Taiyo Yuden Co Ltd 部品供給装置
JP2002076569A (ja) * 2000-08-30 2002-03-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd プリント基板の検査装置
JP3855733B2 (ja) * 2001-10-30 2006-12-13 株式会社村田製作所 電子部品の外観検査装置および外観検査方法
KR20050116414A (ko) * 2004-06-07 2005-12-12 삼성전자주식회사 반도체 제조장치에 사용되는 정전척
JP2007039142A (ja) * 2005-07-29 2007-02-15 Murata Mfg Co Ltd 搬送装置及び外観検査装置
JP2008105811A (ja) * 2006-10-26 2008-05-08 Ishikawa Seisakusho Ltd ワークの外観検査装置
JP2008260594A (ja) * 2007-04-10 2008-10-30 Okano Denki Kk 部品搬送装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101436449B1 (ko) * 2012-01-17 2014-09-02 가부시키가이샤 도쿄 웰드 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법
WO2013133492A1 (ko) * 2012-03-09 2013-09-12 윈텍 주식회사 정전 유도 흡착식 전자부품 검사 테이블
KR20160119516A (ko) * 2015-04-06 2016-10-14 나승옥 워크 외형검사장치 및 방법
KR20200088158A (ko) * 2019-01-14 2020-07-22 엘지전자 주식회사 냉장고 및 냉장고의 압축기 제어 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP5598912B2 (ja) 2014-10-01
TW201140035A (en) 2011-11-16
KR101271720B1 (ko) 2013-06-04
JP2011133458A (ja) 2011-07-07
TWI449897B (zh) 2014-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101271720B1 (ko) 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법
KR101436449B1 (ko) 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법
JP6529170B2 (ja) ワークの外観検査装置およびワークの外観検査方法
CN102079448B (zh) 工件的外观检查装置以及工件的外观检查方法
JP2008260594A (ja) 部品搬送装置
KR102172030B1 (ko) 반송 장치, 반송 방법, 및 외관 검사 장치
CN113443386B (zh) 输送装置和输送方法
KR101841515B1 (ko) 전자부품의 반송 장치 및 그것을 사용한 산업 장치
JPH1159880A (ja) チップの１列整列１個分離搬送装置
CN114249128A (zh) 静电感应吸附式输送体以及静电感应吸附式输送装置
JP2016102024A (ja) 半導体チップの整列方法およびその装置
JP6459882B2 (ja) 通電装置
JP3352049B2 (ja) 電子部品の極性整列機構
WO2017169636A1 (ja) 物品供給装置
JP2003057015A (ja) 微小部品の外観検査装置及び該装置の使用方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160513

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170512

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180510

Year of fee payment: 6