JP2003057015A - 微小部品の外観検査装置及び該装置の使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成で、微小部品の受け渡し及び吸引
飛送を１つ１つ確実に行って、多面外観検査を正確に行
うことができる微小部品の外観検査装置等を提供する。 【解決手段】 直進フィーダ７０から順次供給される角
チップ９は、切り分け搬送部２０の円盤部２４の溝状ポ
ケット２５で１個ずつ受け取られ、Ｅ面、Ｆ面を解放し
た状態で吸着保持されつつ、円盤部２４が回転すること
で搬送途中の撮像位置Ｒ２にてＥ面及びＦ面の撮像がな
された後、４面検査部５０まで搬送される。４面検査部
５０では、吸引ノズル５６により、溝状ポケット２５に
保持されている角チップ９が吸引され角チップ９が４面
検査部５０内を飛送したところを４面（Ａ面〜Ｄ面）撮
像される。切り分け搬送部２０は、角チップ９の２面
（Ｅ面、Ｆ面）撮像機能と４面検査部５０までの切り分
け搬送機能とを兼用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術の分野】本発明は、角チップ等の微
小部品をユニット間で搬送し、その外観等を検査して良
品を識別する微小部品の外観検査装置及び方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、角チップ等の電子部品のような微
小部品について、その機能を保証するべく、例えば外観
や寸法を検査して良品と不良品とに仕分けるようにした
外観検査装置が知られている。この装置は一般に、検査
ユニットに微小部品を受け渡す部品供給ユニットと、微
小部品の外観を検査する検査ユニットと、検査ユニット
から検査済みの微小部品を受け取り検査結果に応じて仕
分ける仕分けユニットとを備えている。

【０００３】特に、６面体等の多面体微小部品について
は、例えば、検査ユニットにて微小部品を搬送しつつ各
面をそれぞれＣＣＤカメラ等で撮像し、その撮像画像か
ら画像処理技術を用いて外観等のチェックを行うように
している。また、各微小部品を１つ１つ浮遊飛送させた
ところをＣＣＤカメラにてタイミングよく撮像する手法
も知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多面体
微小部品を上記検査ユニットにて撮像、検査する場合、
微小部品を保持する必要から、全面をカメラに対して同
時に解放状態にはできないため、途中で微小部品の姿勢
を変えるために、複数の円盤やコンベア等間で微小部品
の受け渡しを行うような機構が一般に設けられる。その
ため、構成が複雑となるだけでなく、微小部品の受け渡
しが円滑にいかなかったり撮像時の姿勢が不安定となっ
たりして、正確な検査が困難になるという問題があっ
た。

【０００５】一方、上記従来の、微小部品を１つ１つ浮
遊飛送させる手法では、進行方向に略平行な平行面（例
えば４面）は同時撮像できるが、例えば該平行面に直角
な（進行方向前側の面及び後側の面）については、スペ
ース上の制約からカメラの設置ができず、浮遊飛送中の
全面同時検査が困難である。また、浮遊飛送は一般に仕
分けユニット側からの吸引等によってなされるため、同
時に２個飛送する場合があり、円滑で正確な検査に支障
が生じる場合があるという問題があった。

【０００６】本発明は上記従来技術の問題を解決するた
めになされたものであり、その目的は、簡単な構成で、
微小部品の受け渡し及び吸引飛送を１つ１つ確実に行っ
て、多面外観検査を正確に行うことができる微小部品の
外観検査装置及び該装置の使用方法を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の請求項１の微小部品の外観検査装置は、微小
部品（９）を吸引により飛送させて、進行方向に略平行
な平行面（Ａ面〜Ｄ面）を第１の撮像手段（７Ａ〜７
Ｄ）により撮像する飛送撮像手段（Ｕ３）を備えた微小
部品の外観検査装置であって、前記微小部品を順次供給
する部品供給手段（Ｕ１）と、前記部品供給手段から前
記微小部品を１個ずつ受け取り、前記微小部品の前記平
行面以外の他の面（Ｅ、Ｆ面）を解放した状態で該微小
部品を保持して前記他の面を第２の撮像手段（７Ｅ、７
Ｆ）により撮像すると共に、前記微小部品を前記飛送撮
像手段まで１個ずつ搬送する撮像搬送手段（２０）と、
前記第１、第２の撮像手段により撮像された画像に基づ
いて前記微小部品の外観を検査する検査手段とを備えた
ことを特徴とする。

【０００８】この構成によれば、撮像搬送手段では、部
品供給手段から順次供給される微小部品が１個ずつ受け
取られ、微小部品の進行方向に略平行な平行面以外の他
の面を解放した状態で該微小部品が保持されて前記他の
面が第２の撮像手段により撮像されると共に、微小部品
が飛送撮像手段まで１個ずつ搬送される。飛送撮像手段
では、微小部品が吸引により飛送されて、前記平行面が
第１の撮像手段により撮像される。そして、検査手段で
は、第１、第２の撮像手段により撮像された画像に基づ
いて微小部品の外観が検査される。これにより、飛送撮
像手段へは、微小部品が１個ずつ切り分けられて搬送さ
れてくるので、微小部品の受け渡し及び吸引飛送が１つ
１つ確実になされ、飛送撮像手段において微小部品が同
時に２個飛送することが回避されて、円滑で正確な検査
が行える。また、撮像搬送手段が、微小部品を飛送撮像
手段へ１個ずつ切り分けて搬送する機能と前記他の面を
撮像する機能とを兼ねるので、構成の複雑化を抑えつつ
他の面を撮像することができる。よって、簡単な構成
で、微小部品の受け渡し及び吸引飛送を１つ１つ確実に
行って、多面外観検査を正確に行うことができる。

【０００９】上記目的を達成するために本発明の請求項
２の微小部品の外観検査装置は、微小部品（９）を吸引
により飛送させて、進行方向に略平行な平行面（Ａ面〜
Ｄ面）を第１の撮像手段（７Ａ〜７Ｄ）により撮像する
飛送撮像手段（Ｕ３）を備えた微小部品の外観検査装置
であって、前記微小部品を順次供給する部品供給手段
（Ｕ１）と、回転円盤（２４）を有し、前記部品供給手
段から前記微小部品を前記円盤で１個ずつ受け取り、前
記微小部品の前記平行面以外の他の面（Ｅ、Ｆ面）を解
放した状態で該微小部品を保持して前記他の面を第２の
撮像手段（７Ｅ、７Ｆ）により撮像すると共に、前記円
盤を回転させることで前記微小部品を前記飛送撮像手段
まで１個ずつ搬送する撮像搬送手段（２０）と、前記第
１、第２の撮像手段により撮像された画像に基づいて前
記微小部品の外観を検査する検査手段とを備えたことを
特徴とする。

【００１０】この構成によれば、撮像搬送手段では、部
品供給手段から順次供給される微小部品が回転円盤で１
個ずつ受け取られ、微小部品の進行方向に略平行な平行
面以外の他の面を解放した状態で該微小部品が保持され
て前記他の面が第２の撮像手段により撮像されると共
に、前記円盤が回転することで微小部品が飛送撮像手段
まで１個ずつ搬送される。飛送撮像手段では、微小部品
が吸引により飛送されて、前記平行面が第１の撮像手段
により撮像される。そして、検査手段では、第１、第２
の撮像手段により撮像された画像に基づいて微小部品の
外観が検査される。これにより、飛送撮像手段へは、微
小部品が１個ずつ切り分けられて搬送されてくるので、
微小部品の受け渡し及び吸引飛送が１つ１つ確実になさ
れ、飛送撮像手段において微小部品が同時に同時に２個
飛送することが回避されて、円滑で正確な検査が行え
る。また、撮像搬送手段が、微小部品を飛送撮像手段へ
１個ずつ切り分けて搬送する機能と前記他の面を撮像す
る機能とを兼ねるので、構成の複雑化を抑えつつ他の面
を撮像することができる。よって、簡単な構成で、微小
部品の受け渡し及び吸引飛送を１つ１つ確実に行って、
多面外観検査を正確に行うことができる。

【００１１】上記目的を達成するために本発明の請求項
３の微小部品の外観検査装置の使用方法は、微小部品を
吸引により飛送させて、進行方向に略平行な平行面を第
１の撮像手段により撮像する飛送撮像手段を備えた微小
部品の外観検査装置の使用方法であって、前記微小部品
を部品供給手段により順次供給する部品供給工程と、前
記部品供給工程により順次供給される前記微小部品を前
記部品供給手段から１個ずつ受け取り、前記微小部品の
前記平行面以外の他の面を解放した状態で該微小部品を
保持して前記他の面を第２の撮像手段により撮像すると
共に、前記微小部品を前記飛送撮像手段まで１個ずつ搬
送する撮像搬送工程と、前記第１、第２の撮像手段によ
り撮像された画像に基づいて前記微小部品の外観を検査
する検査工程とを有することを特徴とする。

【００１２】この構成によれば、請求項１と同様の作用
効果を奏する。

【００１３】上記目的を達成するために本発明の請求項
４の微小部品の外観検査装置の使用方法は、微小部品を
吸引により飛送させて、進行方向に略平行な平行面を第
１の撮像手段により撮像する飛送撮像手段を備えた微小
部品の外観検査装置の使用方法であって、前記微小部品
を部品供給手段により順次供給する部品供給工程と、前
記部品供給工程により順次供給される前記微小部品を前
記部品供給手段から回転円盤で１個ずつ受け取り、前記
微小部品の前記平行面以外の他の面を解放した状態で該
微小部品を保持して前記他の面を第２の撮像手段により
撮像すると共に、前記円盤を回転させることで前記微小
部品を前記飛送撮像手段まで１個ずつ搬送する撮像搬送
工程と、前記第１、第２の撮像手段により撮像された画
像に基づいて前記微小部品の外観を検査する検査工程と
を有することを特徴とする。

【００１４】この構成によれば、請求項２と同様の作用
効果を奏する。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００１６】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施の形態に係る微小部品の外観検査装置を作業者
側からみた正面図である。以下、図１における紙面手前
側、すなわち作業者側を本装置の前方、同図左方を本装
置の左方と称する。

【００１７】本外観検査装置は、微小な電子部品として
例えば角チップの外観を検査し、検査結果によって仕分
けるものであり、部品供給ユニットＵ１（部品供給手
段）、検査ユニットＵ２及び仕分けユニットＵ３がベー
ス１上に配設されて構成される。部品供給ユニットＵ１
は、ホッパ６８、直進フィーダ７０等を備える。検査ユ
ニットＵ２は、４面検査部５０、切り分け搬送部２０
（撮像搬送手段）及び６つのＣＣＤカメラ７（７Ａ、７
Ｂ、７Ｃ、７Ｄ（第１の撮像手段）、及び７Ｅ、７Ｆ
（第２の撮像手段））等を備える。仕分けユニットＵ３
は、モータ２７、振り分け部４１等を備える。なお、６
つのＣＣＤカメラ７のうち、図１には、カメラ７Ｂ、７
Ｄのみが表されている。

【００１８】カメラ７Ａ〜７Ｄは、４面検査部５０を向
いて、９０度の等間隔で４つ設けられる。カメラ７Ｂ、
７Ｄはそれぞれ、４面検査部５０の上方、下方に配置さ
れる。カメラ７Ａ、７Ｃはそれぞれ、４面検査部５０の
前方（作業者側）、後方（反作業者側）に配置される。
カメラ７Ｅ、７Ｆは、後述するように、切り分け搬送部
２０を向いて、それぞれ切り分け搬送部２０の前方（作
業者側）、後方（反作業者側）に配置される。各カメラ
７は、不図示の脚部によって支持される。

【００１９】検査ユニットＵ２の４面検査部５０には、
図示はしないが、一対のトリガ用透過型センサと等間隔
に４つ配設されたストロボとが設けられている。トリガ
用透過型センサは、４面検査部５０内を飛送して通過す
る後述する角チップ９（微小部品）を検出し、トリガ信
号を発生する。ストロボは、トリガ用透過型センサから
のトリガ信号に従って、不図示の光源から４つに分岐し
た光ファイバを通じて供給される光を角チップ９に照射
する。

【００２０】振り分け部４１には、不図示の吸引装置が
接続され、所定の吸引位置においてエア吸引により負圧
を与えられる。振り分け部４１にはまた、不図示の圧力
発生装置が接続され、所定の排出位置において正圧を与
えられる。振り分け部４１は、角チップ９を一時収納す
る複数のポケットを有しており、後述する４面撮像後の
角チップ９を吸引により収納し、モータ２７でポケット
の位置を間欠回転により移動させながら、ＯＫ品とＮＧ
品のそれぞれに対応する排出位置で角チップ９をポケッ
トから排出することで、角チップ９を振り分けるように
構成されている。

【００２１】図２は、角チップ９の外観斜視図である。

【００２２】本装置の検査対象となる角チップ９は、略
直方体形状を成し、略正方形のＥ面（他の面）及びその
反対側のＦ面（他の面）と、略長方形のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ
の各面（平行面）とを有する。角チップ９の寸法は、長
手方向の全長が０．５〜１ｍｍ、高さ（乃至幅）がいず
れも０．２〜０．５ｍｍ程度である。Ｅ面及びＦ面に
は、電極部９ｅ、９ｆがそれぞれ設けられており、これ
ら電極部９ｅ、９ｆの寸法が外観検査の主な対象とな
る。また、Ｂ面には中央からＥ面寄りが黒く塗りつぶし
てあるマーカ部９ａが設けられている。

【００２３】図３は、切り分け搬送部２０及びその近傍
を上方からみた平面図（図１のＡ視図）である。図４
は、切り分け搬送部２０を作業者側からみた部分断面図
である。図５は、図４のＱ部の拡大図（同図（ａ））及
びＱ部を左方からみた部分側面図（同図（ｂ））であ
る。

【００２４】図４に示すように、切り分け搬送部２０
は、円盤部２４（回転円盤）が回転軸２３に連結されて
構成される。不図示のモータによる回転駆動力が回転軸
２３を介して円盤部２４に伝わり、これにより、円盤部
２４が図３の時計方向に間欠回転するようになってい
る。

【００２５】図４、図５（ｂ）に示すように、円盤部２
４の外周部には、溝状ポケット２５が複数（例えば、３
２個）設けられる。溝状ポケット２５は、円盤部２４の
外周部において上方に延びる環状リブ２２を複数箇所切
り欠いて形成され、溝状ポケット２５の幅は、角チップ
９が余裕をもって嵌合するように形成される（図５
（ｂ））。溝状ポケット２５は、環状リブ２２を、円盤
部２４の中心から外周方向に向かって貫通しており、角
チップ９は、溝状ポケット２５に保持されたとき、その
Ｅ面及びＦ面が拘束されない。

【００２６】図４に示すように、Ｑ部近傍における円盤
部２４の下方には、吸引用継手２６が配設されている。
図５（ａ）に示すように、吸引用継手２６に繋がった吸
引穴２８が円盤部２４の外周部に複数設けられる。ま
た、溝状ポケット２５の底面である座面２５ａは例えば
網状に加工され（図示せず）、吸引穴２８からの吸引力
が座面２５ａに作用し、溝状ポケット２５内に嵌入した
角チップ９が下方に吸着保持されるようになっている。
なお、吸引穴２８が角チップ９より十分小さく形成され
ていれば、座面２５ａは網状でなくてもよい。図３に示
すように、少なくともチップ受け取り位置Ｒ１からチッ
プ飛送位置Ｒ３に亘る吸引範囲ＡＲが、吸引用継手２６
による吸引力で角チップ９を保持可能な領域になってい
る。

【００２７】図３に示すように、円盤部２４の右部の一
部は４面検査部５０内に入っている。円盤部２４の左側
の外側面には、直進フィーダ７０の先端部が近接してい
る。円盤部２４の外側面と直進フィーダ７０の先端部の
近接部分（チップ受け取り位置Ｒ１）には、角チップ９
確認用のセンサ２１が設けられている。センサ２１が角
チップ９の通過を検知する度に、円盤部２４が間欠回転
する。

【００２８】直進フィーダ７０は、振動によって角チッ
プ９を整列させつつ先端側に搬送する。円盤部２４の間
欠回転により溝状ポケット２５がチップ受け取り位置Ｒ
１にきたとき、直進フィーダ７０の先端部まで搬送され
た先頭の角チップ９が、直進フィーダ７０からの後続の
角チップ９による押圧によって前進し、溝状ポケット２
５に１つだけ収まったタイミングで、円盤部２４が間欠
回転する。そして、次の溝状ポケット２５が角チップ９
の受け取り位置にきたとき、次の角チップ９が同様の動
作で溝状ポケット２５に収まる。この繰り返しにより、
各溝状ポケット２５には角チップ９が１個ずつ収まり、
角チップ９は吸着保持されつつ搬送されていく。

【００２９】カメラ７Ｅ、７Ｆは、上述したように、円
盤部２４を向いて、それぞれ円盤部２４の前方（作業者
側）、後方（反作業者側）に配置される。カメラ７Ｅ、
７Ｆは、角チップ９が撮像位置Ｒ２（図３参照）にきた
とき、角チップ９を撮像可能に配設されている。切り分
け搬送部２０には不図示のストロボが備えられ、カメラ
７Ｅ、７Ｆによる撮像時にはこのストロボが角チップ９
を照射する。上述したように、角チップ９のＥ面、Ｆ面
は拘束されておらず解放されているので、カメラ７Ｅか
らでも手前側の溝状ポケット２５を通って撮像位置Ｒ２
にある角チップ９を撮像可能である。

【００３０】ところで、本実施の形態では、直進フィー
ダ７０からの角チップ９が溝状ポケット２５に嵌入保持
された時点で角チップ９のＥ面が円盤部２４の中心側を
向くように制御されるものとし、従って、Ｆ面は常に円
盤部２４の外周側を向いている。なお、Ｅ面、Ｆ面の向
きを制御しないように構成し、カメラ７Ｅ、７Ｆの一方
ではＥ面、他方ではＦ面を撮像するようにしてもよい。
その場合は、４面検査部５０における画像処理により、
マーカ部９ａの存在する面（すなわちＢ面）と角チップ
９の長手方向におけるマーカ部９ａの存在位置とを判断
することで、Ａ面〜Ｄ面だけでなく、Ｅ面、Ｆ面も判断
できるので、これにより、カメラ７Ｅ、７Ｆでそれぞれ
撮像した面のいずれがＥ面でいずれがＦ面であるかを認
識すればよい。

【００３１】このように、角チップ９は、直進フィーダ
７０から溝状ポケット２５に１つずつ供給され、円盤部
２４の間欠回転によりチップ飛送位置Ｒ３まで搬送され
る。そして、搬送途中の撮像位置Ｒ２にてＥ面及びＦ面
の撮像がなされる。切り分け搬送部２０が角チップ９の
２面撮像と４面検査部５０への１つずつ切り分けて搬送
する切り分け搬送とを兼ねることで、構成が簡単になっ
ている。

【００３２】図３に示すように、４面検査部５０内の仕
分けユニットＵ３側には、吸引ノズル５６が設けられ、
吸引ノズル５６の先端部が４面検査部５０内に挿入され
ている。吸引ノズル５６は角チップ９が通過可能な貫通
孔５６ａを有する。

【００３３】吸引ノズル５６は、前述した振り分け部４
１側からの吸引力によって、切り分け搬送部２０の円盤
部２４のチップ飛送位置Ｒ３にある溝状ポケット２５に
保持されている角チップ９を吸引する。振り分け部４１
の上記ポケットが所定位置にきたタイミングで、角チッ
プ９が吸引され、溝状ポケット２５から吸引ノズル５６
に向かって４面検査部５０内を飛送する。溝状ポケット
２５には角チップ９が１個しか保持されていないので、
４面検査部５０内に同時に２個以上の角チップ９が吸引
されることが回避されている。

【００３４】角チップ９が４面検査部５０の略中央にき
たとき、それが上記トリガ用透過型センサによって検出
され、上記ストロボから光が角チップ９に照射されたと
ころで、カメラ７（７Ａ〜７Ｄ）によって角チップ９の
４面（Ａ面〜Ｄ面）がそれぞれ同時撮像される。

【００３５】そして、切り分け搬送部２０で得られたＥ
面、Ｆ面の２枚の画像、及び４面検査部５０で得られた
Ａ面〜Ｄ面の４枚の画像について、ＣＰＵ等から成る検
査手段（図示せず）によって所定の画像処理がなされる
ことで、電極部９ｅ、９ｆの寸法等の外観が検査され
る。

【００３６】本実施の形態によれば、直進フィーダ７０
から順次供給される角チップ９が円盤部２４の溝状ポケ
ット２５で１個ずつ受け取られ、Ｅ面、Ｆ面を解放した
状態で保持されて円盤部２４が回転することで４面検査
部５０まで１個ずつ切り分けられて搬送されるので、角
チップ９の受け渡し及び吸引飛送が１つ１つ確実になさ
れ、４面検査部５０では、２個以上の角チップ９が同時
に飛送することが回避されて、円滑で正確な検査が行え
る。また、切り分け搬送部２０における角チップ９の搬
送中に、Ｅ面、Ｆ面が撮像されるようにしたことで、切
り分け搬送部２０が、角チップ９を４面検査部５０へ１
個ずつ切り分けて搬送する機能とＥ面及びＦ面を撮像す
る機能とを兼ねるので、構成の複雑化が抑えられる。よ
って、簡単な構成で、微小部品の受け渡し及び吸引飛送
を１つ１つ確実に行って、多面外観検査を正確に行うこ
とができる。

【００３７】なお、溝状ポケット２５に保持された状態
で、角チップ９のＡ面〜Ｄ面のうち上方を向いている面
は、切り分け搬送部２０で撮像するようにしてもよい。
その場合は、カメラ７Ｂは４面検査部５０側に設ける代
わりに切り分け搬送部２０側に設ければよい。

【００３８】なお、溝状ポケット２５の形状はＶ溝状と
し、これに応じて各カメラ７の設置位置も変えて構成し
てもよい。

【００３９】（第２の実施の形態）図６は、本発明の第
２の実施の形態に係る微小部品の外観検査装置を作業者
側からみた正面図である。検査対象（角チップ９）や、
装置の前方、左方等の呼称は第１の実施の形態と同様で
ある。また、部品供給ユニットＵ１及び仕分けユニット
Ｕ３の構成は第１の実施の形態と同様である。

【００４０】本第２の実施の形態では、検査ユニットＵ
１２の構成が第１の実施の形態と異なり、検査ユニット
Ｕ２に対して、４面検査部５０に変えて４面検査部１５
０、切り分け搬送部２０に変えて切り分け搬送部３０
（撮像搬送手段）を備える。カメラ７Ａ〜７Ｄの構成、
配置は第１の実施の形態と同様であるが、カメラ７Ｅ、
７Ｆの配置は異なる。なお、６つのＣＣＤカメラ７のう
ち、図６には、カメラ７Ｂ、７Ｄのみが表されている。
また、直進フィーダ７０は、先端部の図示が省略されて
いる。

【００４１】図７は、切り分け搬送部３０及びその近傍
を図６の左方からみた側面図（図６のＢ視図）である。
図８は、検査ユニットＵ１２及びその近傍を作業者側か
らみた部分断面図である。

【００４２】図８に示すように、切り分け搬送部３０
は、フレーム３６、円盤部３４（回転円盤）、回転軸３
３、プーリ３１、ベルト３２等で構成される。円盤部３
４は、フレーム３６に回転自在に支持された回転軸３３
を介してプーリ３１に連結されている。ベルト３２はプ
ーリ３１に懸架されており、不図示のモータによる回転
駆動力をプーリ３１、回転軸３３を介して円盤部３４に
伝え、これにより、円盤部３４は、図７の時計方向に間
欠回転するようになっている。

【００４３】円盤部３４の外周部には、貫通穴３４ａが
複数（例えば、２４個）設けられる。図８に示すよう
に、貫通穴３４ａは、円盤部３４の外周部において右方
に延びる環状リブ３５を回転軸３３に略平行に貫通して
いる。円盤部３４の環状リブ３５の一部は、４面検査部
１５０内に嵌入している。貫通穴３４ａは、角チップ９
が余裕をもって嵌合する矩形断面を有し、チップ受け取
り位置Ｐ１、撮像位置Ｐ２及びチップ飛送位置Ｐ３にお
いて、矩形の各４面が水平、垂直になるように形成され
ている。また、円盤部３４の左端面であって貫通穴３４
ａの入口には、補助エアブロー３７が設けられている。

【００４４】円盤部３４のチップ受け取り位置Ｐ１にお
ける左端面には、直進フィーダ７０の先端部が近接して
いる（図８参照）。直進フィーダ７０は、振動によって
角チップ９を整列させつつ先端側に搬送する。円盤部３
４の間欠回転により貫通穴３４ａがチップ受け取り位置
Ｐ１にきたとき、直進フィーダ７０の先端部まで搬送さ
れた先頭の角チップ９が、直進フィーダ７０からの後続
の角チップ９による押圧によって前進し、貫通穴３４ａ
に１つだけ収まったタイミングで、円盤部３４が間欠回
転する。そして、次の貫通穴３４ａがチップ受け取り位
置Ｐ１にきたとき、次の角チップ９が同様の動作で貫通
穴３４ａに収まる。この繰り返しにより、各貫通穴３４
ａには角チップ９が１個ずつ収まり４面検査部１５０内
に搬送されていく。

【００４５】図８に示すように、カメラ７Ｅ、７Ｆは、
円盤部３４の撮像位置Ｐ２（図７参照）を向いて、それ
ぞれ円盤部３４の左方、右方に配置される。カメラ７
Ｅ、７Ｆは、角チップ９が撮像位置Ｐ２にきたとき、角
チップ９を撮像可能に配設されている。切り分け搬送部
３０には不図示のストロボが備えられ、カメラ７Ｅ、７
Ｆによる撮像時にはこのストロボが角チップ９を照射す
る。

【００４６】角チップ９は、貫通穴３４ａに保持された
とき、そのＥ面及びＦ面は拘束されず解放されている。
また、フレーム３６の撮像位置Ｐ２に対応する部分には
切り欠き３６ａが形成されている（図７参照）。従っ
て、撮像位置Ｐ２では、カメラ７Ｅ、７Ｆから貫通穴３
４ａ内にある角チップ９を撮像可能である。

【００４７】ところで、本実施の形態では、直進フィー
ダ７０からの角チップ９が貫通穴３４ａに保持された時
点で角チップ９のＦ面が進行方向前方を向くように制御
されるものとする。なお、第１の実施の形態で説明した
のと同様に、マーカ部９ａを利用すれば、Ｅ面、Ｆ面の
向きを制御せず、カメラ７Ｅ、７Ｆの一方ではＥ面、他
方ではＦ面を撮像するように構成することも可能であ
る。

【００４８】４面検査部１５０内の仕分けユニットＵ３
側には、吸引ノズル５６が設けられ、吸引ノズル５６の
先端部が４面検査部１５０内に挿入されている。吸引ノ
ズル５６は、前述した振り分け部４１側からの吸引力に
よって、切り分け搬送部３０の円盤部３４のチップ飛送
位置Ｐ３にきた角チップ９を吸引する。その際、補助エ
アブロー３７により角チップ９の飛送動作が補助され
る。振り分け部４１の上記ポケットが所定位置にきたタ
イミングで、角チップ９が吸引され、貫通穴３４ａから
吸引ノズル５６に向かって４面検査部１５０内を飛送す
る。貫通穴３４ａには角チップ９が１個しか保持されて
いないので、４面検査部１５０内に同時に２個以上の角
チップ９が吸引されることが回避されている。

【００４９】吸引ノズル５６に吸引された以後の角チッ
プ９の４面撮像、振り分け等の処理は第１の実施の形態
と同様である。また、切り分け搬送部３０で得られたＥ
面、Ｆ面の２枚の画像、及び４面検査部１５０で得られ
たＡ面〜Ｄ面の４枚の画像について、ＣＰＵ等から成る
検査手段（図示せず）によりなされる外観検査処理も第
１の実施の形態と同様である。

【００５０】このように、角チップ９は、チップ受け取
り位置Ｐ１において直進フィーダ７０から貫通穴３４ａ
に１つずつ供給され、円盤部３４の間欠回転により搬送
されて、搬送途中の撮像位置Ｐ２にてＥ面及びＦ面の撮
像がなされ、さらにチップ飛送位置Ｐ３まで搬送され
る。切り分け搬送部３０が角チップ９の２面撮像と４面
検査部１５０への１つずつ切り分けて搬送する切り分け
搬送とを兼ねることで、構成が簡単になっている。

【００５１】本実施の形態によれば、切り分け搬送部３
０が、角チップ９を４面検査部１５０へ１個ずつ切り分
けて搬送する機能とＥ面及びＦ面を撮像する機能とを兼
ねるようにしたので、第１の実施の形態と同様の効果を
奏することができる。

【００５２】なお、４面検査部に角チップ９を搬送する
機構上でＥ面及びＦ面の２面撮像を行って構成を簡単に
する観点からは、上記第１、第２の実施の形態で例示し
た構成に限らず、他にも種々考えられる。

【００５３】図９、図１０は、４面撮像前の搬送途中で
２面撮像を行う他の構成例を示す概略図である。

【００５４】例えば、図９に示すように、直進フィーダ
７０に相当する直進フィーダ２７０から４面検査部５０
に相当する４面検査部２５０まで角チップ９を搬送する
ためのコンベア２００を設けると共に、カメラ７Ｅ、７
Ｆに相当するカメラ２７Ｅ、２７Ｆを撮像位置Ｐ４に向
けて設ける。そして、コンベア２００を適当な速度で駆
動することで、直進フィーダ７０から供給される角チッ
プ９が適当な間隔をもって、４面検査部２５０まで順次
搬送されて、その後４面検査部２５０でＡ面〜Ｄ面の４
面撮像がなされる。

【００５５】コンベア２００による搬送途中において、
角チップ９が撮像位置Ｐ４にきたとき、カメラ２７Ｅ、
２７Ｆで角チップ９のＥ面、Ｆ面を撮像する。なお、カ
メラ２７Ｅ、２７ＦはＥ面、Ｆ面とはやや角度を有して
設置されるので、撮像結果には所定の補正が施される。

【００５６】このように構成しても、第１、第２の実施
の形態と同様の効果を奏することができる。

【００５７】なお、コンベア２００に対する角チップ９
の供給及び排出時の向きを図１０に示すように、コンベ
ア２００の進行方向に対して直角に設定してもよい。こ
の構成によっても同様の効果を奏するだけでなく、カメ
ラ２７Ｅ、２７ＦをＥ面、Ｆ面に対向して設置可能であ
ることから、図９の構成のような撮像後の補正が不要で
あるという利点がある。

【００５８】このように、４面検査部に角チップ９を一
定の間隔をもって搬送することで、４面検査部において
２個同時吸引を回避すると共に、その搬送機構上でＥ面
及びＦ面の２面撮像を行える構成であれば、例示したも
のに限られない。

【００５９】なお、上記各実施の形態では、角チップ９
として６面体を例示したが、これに限るものでなく、例
えば、角チップ９が三角柱であれば、飛送中の進行方向
に平行な面は３面となる。また、Ｅ面、Ｆ面に対応する
部分が複数の面によって構成されているような微小部品
であっても、それら複数の面に対応するカメラを設ける
ことは比較的容易であるので、本発明の効果を得ること
ができる。

【００６０】なお、上記各実施の形態とは別に、視点を
変えて、あくまで６面を同時に撮像、検査するような構
成を検討する場合、例えば、ピッチングマシンのように
角チップ９を１つ１つ安定飛送させて、且つ飛送中の角
チップ９の前面及び後面にカメラ７Ｅ、７Ｆを向けて設
置することができるように飛送距離を長く設定すれば、
より簡単な構成で、６面外観検査を正確に行うことがで
きる。

【００６１】なお、撮像画像の画像処理にはある程度の
時間を要し、角チップ９の搬送サイクルに画像処理が間
に合わない場合もある。その場合は、飛送のための吸引
経路を螺旋状にする等によって長くすることで、時間を
かせぎ、画像処理が確実に完了するようにしてもよい。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項
１、３によれば、簡単な構成で、微小部品の受け渡し及
び吸引飛送を１つ１つ確実に行って、多面外観検査を正
確に行うことができる。

【００６３】また、本発明の請求項２、４によれば、簡
単な構成で、微小部品の受け渡し及び吸引飛送を１つ１
つ確実に行って、多面外観検査を正確に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態に係る微小部品の
外観検査装置を作業者側からみた正面図である。

【図２】 角チップの外観斜視図である。

【図３】 切り分け搬送部及びその近傍を上方からみた
平面図（図１のＡ視図）である。

【図４】 切り分け搬送部を作業者側からみた部分断面
図である。

【図５】 図４のＱ部の拡大図（同図（ａ））及びＱ部
を左方からみた部分側面図（同図（ｂ））である。

【図６】 本発明の第２の実施の形態に係る微小部品の
外観検査装置を作業者側からみた正面図である。

【図７】 切り分け搬送部及びその近傍を図６の左方か
らみた側面図（図６のＢ視図）である。

【図８】 検査ユニット及びその近傍を作業者側からみ
た部分断面図である。

【図９】 ４面撮像前の搬送途中で２面撮像を行う他の
構成例を示す概略図である。

【図１０】 ４面撮像前の搬送途中で２面撮像を行う他
の構成例を示す概略図である。

【符号の説明】

９ 角チップ（微小部品）、 ７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ
ＣＣＤカメラ（第１の撮像手段）、 ７Ｅ、７Ｆ Ｃ
ＣＤカメラ（第２の撮像手段）、 ４１ 振り分け部、
２０ 切り分け搬送部（撮像搬送手段）、 ２４ 円
盤部（回転円盤）、 ２５ 溝状ポケット、 ３０ 切
り分け搬送部（撮像搬送手段）、 ３４円盤部（回転円
盤）、 ３４ａ 貫通穴、 ５０ ４面検査部、５６
吸引ノズル、 ５６ａ 貫通孔、 ７０ 直進フィー
ダ、 １５０ ４面検査部、 Ｕ１ 部品供給ユニット
（部品供給手段）、 Ｕ２ 検査ユニット、 Ｕ３ 仕
分けユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 笹岑 敬一郎 静岡県浜松市青屋町283番地 ヤマハファ インテック株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA51 AA67 BB15 CC00 FF04 JJ03 JJ26 MM02 UU04 2G051 AA61 BA20 CA04 CB01 DA01 DA06 3F079 AD06 BA06 BA11 CA41 CB25 CB30 CB35 CC01 DA04 DA15 EA03 EA10

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 微小部品（９）を吸引により飛送させ
   て、進行方向に略平行な平行面（Ａ面〜Ｄ面）を第１の
   撮像手段（７Ａ〜７Ｄ）により撮像する飛送撮像手段
   （Ｕ３）を備えた微小部品の外観検査装置であって、 前記微小部品を順次供給する部品供給手段（Ｕ１）と、 前記部品供給手段から前記微小部品を１個ずつ受け取
   り、前記微小部品の前記平行面以外の他の面（Ｅ、Ｆ
   面）を解放した状態で該微小部品を保持して前記他の面
   を第２の撮像手段（７Ｅ、７Ｆ）により撮像すると共
   に、前記微小部品を前記飛送撮像手段まで１個ずつ搬送
   する撮像搬送手段（２０）と、 前記第１、第２の撮像手段により撮像された画像に基づ
   いて前記微小部品の外観を検査する検査手段とを備えた
   ことを特徴とする微小部品の外観検査装置。
2. 【請求項２】 微小部品（９）を吸引により飛送させ
   て、進行方向に略平行な平行面（Ａ面〜Ｄ面）を第１の
   撮像手段（７Ａ〜７Ｄ）により撮像する飛送撮像手段
   （Ｕ３）を備えた微小部品の外観検査装置であって、 前記微小部品を順次供給する部品供給手段（Ｕ１）と、 回転円盤（２４）を有し、前記部品供給手段から前記微
   小部品を前記円盤で１個ずつ受け取り、前記微小部品の
   前記平行面以外の他の面（Ｅ、Ｆ面）を解放した状態で
   該微小部品を保持して前記他の面を第２の撮像手段（７
   Ｅ、７Ｆ）により撮像すると共に、前記円盤を回転させ
   ることで前記微小部品を前記飛送撮像手段まで１個ずつ
   搬送する撮像搬送手段（２０）と、 前記第１、第２の撮像手段により撮像された画像に基づ
   いて前記微小部品の外観を検査する検査手段とを備えた
   ことを特徴とする微小部品の外観検査装置。
3. 【請求項３】 微小部品を吸引により飛送させて、進行
   方向に略平行な平行面を第１の撮像手段により撮像する
   飛送撮像手段を備えた微小部品の外観検査装置の使用方
   法であって、 前記微小部品を部品供給手段により順次供給する部品供
   給工程と、 前記部品供給工程により順次供給される前記微小部品を
   前記部品供給手段から１個ずつ受け取り、前記微小部品
   の前記平行面以外の他の面を解放した状態で該微小部品
   を保持して前記他の面を第２の撮像手段により撮像する
   と共に、前記微小部品を前記飛送撮像手段まで１個ずつ
   搬送する撮像搬送工程と、 前記第１、第２の撮像手段により撮像された画像に基づ
   いて前記微小部品の外観を検査する検査工程とを有する
   ことを特徴とする微小部品の外観検査装置の使用方法。
4. 【請求項４】 微小部品を吸引により飛送させて、進行
   方向に略平行な平行面を第１の撮像手段により撮像する
   飛送撮像手段を備えた微小部品の外観検査装置の使用方
   法であって、 前記微小部品を部品供給手段により順次供給する部品供
   給工程と、 前記部品供給工程により順次供給される前記微小部品を
   前記部品供給手段から回転円盤で１個ずつ受け取り、前
   記微小部品の前記平行面以外の他の面を解放した状態で
   該微小部品を保持して前記他の面を第２の撮像手段によ
   り撮像すると共に、前記円盤を回転させることで前記微
   小部品を前記飛送撮像手段まで１個ずつ搬送する撮像搬
   送工程と、 前記第１、第２の撮像手段により撮像された画像に基づ
   いて前記微小部品の外観を検査する検査工程とを有する
   ことを特徴とする微小部品の外観検査装置の使用方法。