JP7279673B2 - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents

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Description

本発明は、搬送装置および搬送方法に関する。
電子部品などの部品を搬送する搬送装置として、特許文献1には、回転軸に対して複数列の同心円状のキャビティ列を有する搬送媒体と、搬送媒体を回転駆動する駆動手段と、ランダムな状態で投入された複数の電子部品を1個ずつ分離供給する供給手段と、供給手段によって分離供給された複数の電子部品を搬送媒体の各列のキャビティへ取り入れる取入れ手段と、搬送媒体のキャビティから電子部品を取り出す取出し手段と、を備えた電子部品の搬送装置が開示されている。
特許文献2には、チップ部品を搬送するシュートと、該シュートから順次供給されるチップ部品を受ける回転円盤とを備えるチップ部品の供給分離装置であって、上記シュートから順次供給されるチップ部品の次のチップ部品を押圧して停止させるストッパ手段が設けられていることを特徴とするチップ部品の供給分離装置が開示されている。
特開2002-29627号公報 特開2005-350184号公報
特許文献1には、上記搬送装置を検査装置に適用した例が記載されている。上記例において、検査装置は、搬送媒体であるターンテーブル、供給手段であるパーツフィーダ、分離手段である振分けロータなどで構成されている。ターンテーブルは、水平な回転軸を中心として回転可能に取り付けられている。各列のキャビティは、ターンテーブルの半径方向に一直線状に並ぶように形成されている。ターンテーブルは、キャビティのピッチ間隔ずつ間欠回転される。
このように、特許文献1に記載の搬送装置では、ターンテーブルの間欠回転が前提となっているため、電子部品などの部品を連続回転体へ供給するには向かない構造となっている。したがって、部品の搬送速度を向上させることが困難である。
また、特許文献2には、上記供給分離装置を外観検査装置に適用した例が記載されている。しかし、部品が搬送される方向が一定であるために、部品の進行方向に相対する面を検査することが困難であり、また、部品が搬送部と接している面を検査することも困難である。
本発明は、部品を高速で搬送することが可能で、搬送中の部品の外観を検査するにも有用な搬送装置および搬送方法を提供することを目的とする。
本発明の搬送装置は、第1の態様において、搬入位置と受け渡し位置とを結ぶ第1搬送経路を通って移動する第1搬送部を含む第1搬送機構と、上記第1搬送部の上記受け渡し位置から第1距離Dで離れた受け取り位置と搬出位置とを結ぶ第2搬送経路を通って移動する第2搬送部を含む第2搬送機構と、を備える搬送装置であって、上記第1搬送部は、上記第1搬送経路を通って移動する第1搬送面を有し、上記第2搬送部は、回転軸を中心にして上記第2搬送経路を通って連続的に回転移動する第2搬送面を有し、上記受け渡し位置における第1搬送面の移動方向と、上記受け取り位置における第2搬送面の移動方向とは、上記第1搬送面を平面視して交差しており、上記第2搬送機構は、上記第2搬送面に向かって引力を発生させる引力発生部を含んでいる。
本発明の搬送装置は、第2の態様において、部品の第1主面が第1搬送面と接した状態で、該部品を搬入位置から受け渡し位置へ搬送するための第1搬送部を含む第1搬送機構と、上記第1搬送部の上記受け渡し位置から上方に離れて配置された受け取り位置にて、上記部品を第2搬送面で受け取って搬出位置まで搬送するための第2搬送部を含む第2搬送機構と、を備える搬送装置であって、上記第2搬送部の上記第2搬送面は、回転軸を中心にして連続的に回転移動し、上記第1搬送部の上記受け渡し位置へ上記部品が搬送される方向と、上記第2搬送部の上記受け取り位置から上記部品が搬送される方向とは、上記第1搬送面を平面視して交差しており、上記第2搬送機構は、上記部品の第1主面と相対する上記部品の第2主面を上記第2搬送部の上記第2搬送面に吸着するための吸着部を含んでいる。
本発明の搬送方法は、部品の第1主面が第1搬送部の第1搬送面と接した状態で、該部品を搬入位置から受け渡し位置へ搬送する第1搬送工程と、上記第1搬送部の上記受け渡し位置から上方に離れて配置された受け取り位置にて、上記部品を第2搬送部の第2搬送面で受け取って搬出位置まで搬送する第2搬送工程と、を備える搬送方法であって、上記第2搬送部の上記第2搬送面は、回転軸を中心にして連続的に回転移動し、上記第1搬送部の上記受け渡し位置へ上記部品が搬送される方向と、上記第2搬送部の上記受け取り位置から上記部品が搬送される方向とは、上記第1搬送面を平面視して交差しており、上記第2搬送工程では、上記部品の第1主面と相対する上記部品の第2主面を上記第2搬送部の上記第2搬送面に吸着させて上記部品を搬送する。
本発明によれば、部品を高速で搬送することが可能で、搬送中の部品の外観を検査するにも有用である。
図1は、電子部品の外観検査装置に適用した本発明の搬送装置の一例を模式的に示す概略斜視図である。 図2は、電子部品の一例を模式的に示す斜視図である。 図3は、図1に示す搬送装置を構成するコンベアおよび搬送ディスクの平面図である。 図4は、図1に示す搬送装置における受け渡し位置を拡大した正面図である。 図5A、図5B、図5Cおよび図5Dは、コンベアから搬送ディスクに電子部品を受け渡す方法の一例を説明するための断面図である。 図6は、本発明の搬送装置の別の一例を模式的に示す平面図である。
以下、本発明の搬送装置および搬送方法について説明する。
しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する個々の望ましい構成を2つ以上組み合わせたものもまた本発明である。
以下の例では、本発明の搬送装置の一実施形態として、電子部品の外観検査装置に適用した場合について、図面を参照しながら説明する。各図は、本発明の搬送装置の概略を図示したものであり、被搬送部品である電子部品や搬送装置の寸法および縮尺等については正確ではない。
なお、本発明の搬送装置は、外観検査装置以外の装置に適用することも可能である。本発明の搬送装置および搬送方法において、搬送される部品は電子部品に限定されず、また、部品の形状は直方体状に限定されない。
図1は、電子部品の外観検査装置に適用した本発明の搬送装置の一例を模式的に示す概略斜視図である。図2は、電子部品の一例を模式的に示す斜視図である。
図1に示す搬送装置1は、第1搬送機構であるコンベア10と、第2搬送機構である搬送ディスク20とを備える。図示されていないが、搬送装置1は、複数個の電子部品100をコンベア10に供給するためのパーツフィーダをさらに備える。
搬送装置1によって搬送される電子部品100は、図2に示すように、直方体状のチップ型電子部品である。電子部品100は、高さ方向(H方向)において相対する第1主面111および第2主面112と、高さ方向に直交する幅方向(W方向)において相対する第1側面113および第2側面114と、高さ方向および幅方向に直交する長さ方向(L方向)において相対する第1端面115および第2端面116とを有する。電子部品100の第1端面115および第2端面116には、それぞれ第1外部電極121および第2外部電極122が形成されている。電子部品100の長さ方向、幅方向および高さ方向における各寸法は特に限定されないが、長さ方向における寸法は、幅方向における寸法および高さ方向における寸法より大きいことが好ましい。幅方向における寸法は、高さ方向における寸法と同程度であることが好ましい。
コンベア10は、電子部品100を搬送するための第1搬送部11を含む。第1搬送部11は、搬入位置P11と受け渡し位置P12とを結ぶ経路(以下、第1搬送経路という)を通って移動する。したがって、第1搬送部11は、第1搬送経路を通って移動する搬送面(以下、第1搬送面という)を有する。図1に示す例では、第1搬送経路は、直線軌道である。すなわち、第1搬送部11の第1搬送面は、直線軌道で移動する。
コンベア10は、パーツフィーダから搬入位置P11へ供給される電子部品100を、矢印Aに示す方向に、電子部品100の第1主面111が第1搬送部11の第1搬送面と接した状態で、受け渡し位置P12へ搬送する。コンベア10は、間欠駆動でもよいが、高速化の観点からは連続駆動が好ましい。図1に示すように、コンベア10は、電子部品100の長さ方向が搬送方向(すなわち、矢印Aに示す方向)に平行になるように電子部品100を搬送することが好ましい。
搬送ディスク20は、第1搬送部11から電子部品100を受け取って搬送するための第2搬送部21を含む。第2搬送部21は、搬送ディスク20の外周に配置されている。第2搬送部21は、受け取り位置P21と搬出位置P22とを結ぶ経路(以下、第2搬送経路という)を通って移動する。したがって、第2搬送部21は、第2搬送経路を通って移動する搬送面(以下、第2搬送面という)を有する。第2搬送部21の受け取り位置P21は、第1搬送部11の受け渡し位置P12から上方に離れて配置されており、受け渡し位置P12から第1距離Dで離れている。
図示されていないが、搬送ディスク20の回転軸Rは、モータなどの駆動部と連結されている。これにより、第2搬送部21の第2搬送面は、回転軸Rを中心にして、矢印Bに示す方向に連続的に回転移動する。
第1搬送部11の受け渡し位置P12における第1搬送面の移動方向と、第2搬送部21の受け取り位置P21における第2搬送面の移動方向とは、第1搬送面を平面視して交差している。言い換えると、第1搬送部11の受け渡し位置P12へ電子部品100が搬送される方向と、第2搬送部21の受け取り位置P21から電子部品100が搬送される方向とは、第1搬送面を平面視して交差している。
図3は、図1に示す搬送装置を構成するコンベアおよび搬送ディスクの平面図である。
搬送ディスク20の回転軸Rは、図3に示すように、第1搬送部11の第1搬送面を平面視したとき、第1搬送部11の受け渡し位置P12における第1搬送面の移動方向、言い換えると、第1搬送部11の受け渡し位置P12へ電子部品100が搬送される方向(図3では、矢印Yに示す方向)に平行であることが好ましい。
本明細書において、「回転軸が搬送面の移動方向に平行である」あるいは「回転軸が部品の搬送方向に平行である」とは、本発明の効果を奏する程度に平行であればよく、完全に平行であってもよいし、実質的に平行であってもよい。
図4は、図1に示す搬送装置における受け渡し位置を拡大した正面図である。
搬送ディスク20の回転軸Rは、図4に示すように、第1搬送部11の第1搬送面に対して傾斜していることが好ましい。
搬送ディスク20は、第2搬送部21の第2搬送面に向かって引力を発生させる引力発生部を含んでいる。引力発生部は、第2搬送面に配置され、負圧を発生する第1吸引口を有することが好ましい。
例えば、搬送ディスク20は、引力発生部として、電子部品100の第2主面112を第2搬送部21の第2搬送面に吸着するための吸着部を含んでいる。図1に示す例では、搬送ディスク20の第2搬送部21に沿って、第1吸引口である吸引溝22が設けられている。吸引溝22に代えて、複数の吸引口が第2搬送部21に沿って設けられていてもよい。第2搬送部21での吸引は、搬送中、連続して行われることが好ましい。なお、電子部品100が磁性を有する場合、引力発生部として、電子部品100の第2主面112を第2搬送部21の第2搬送面に接触する引力を発生させる電磁石が搬送ディスク20に設けられてもよい。
上記のように電子部品100をコンベア10から搬送ディスク20に受け渡すことで、電子部品100の搬送方向を変えることができる。図1に示す例では、電子部品100は、コンベア10によって、電子部品100の長さ方向が搬送方向と平行になるように搬送された後、搬送ディスク20によって、電子部品100の幅方向が搬送方向と平行になるように搬送される。
搬送装置1においては、連続的に回転している搬送ディスク20に電子部品100を供給することができるため、電子部品100を高速で搬送することが可能である。
搬送装置1が電子部品100の外観検査装置として使用される場合、搬送装置1は、第1搬送部11上で搬送される電子部品100を撮像するための第1撮像機構と、第2搬送部21上で搬送される電子部品100を撮像するための第2撮像機構と、をさらに備える。
図1に示す例では、第1撮像機構は、電子部品100の第2主面112を撮像するための第1撮像機器31と、電子部品100の第1側面113を撮像するための第2撮像機器32と、電子部品100の第2側面114を撮像するための第3撮像機器33とを有し、第2撮像機構は、電子部品100の第1主面111を撮像するための第4撮像機器34と、電子部品100の第1端面115を撮像するための第5撮像機器35と、電子部品100の第2端面116を撮像するための第6撮像機器36とを有する。
撮像機器としては、例えば、CCD(Charge Coupled Device)またはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)などのイメージセンサを備える撮像機器が挙げられる。
図1に示す状態で電子部品100が第1搬送部11上を搬送される場合、電子部品100の第2主面112と第1側面113と第2側面114とを撮像することは容易であるが、第1搬送部11と接している電子部品100の第1主面111や、搬送方向に相対する電子部品100の第1端面115および第2端面116を撮像することは困難である。上記のとおり、電子部品100をコンベア10から搬送ディスク20に受け渡すことで、電子部品100の搬送方向を変えることができるため、第2搬送部21上を搬送される電子部品100においては、第1主面111と第1端面115と第2端面116とを撮像することが容易になる。したがって、電子部品100を搬送しながら、電子部品100の6面すべての外観を検査することが可能である。
図1に示す例のように、コンベア10は、第1搬送部11上に、電子部品100を受け渡し位置P12に規制するガイド部13を含むことが好ましい。ガイド部13は、第1搬送部11の受け渡し位置P12へ電子部品100が搬送される方向と交差する位置決め面14を有する。
ガイド部13の位置決め面14は、図4に示すように、第1搬送部11の搬送面に対して傾斜していることが好ましい。図4に示すような、搬送ディスク20の回転軸Rに平行で、かつ、第1搬送部11の第1搬送面に垂直な面において、ガイド部13の位置決め面14と、第1搬送部11の第1搬送面に垂直な線とがなす角度をθとする。このとき、0°<θ<90°であればよく、0°<θ≦45°であることが好ましい。0°<θ<90°とすることで、電子部品100の第1主面111が第1搬送部11の第1搬送面から離れやすくなる効果とともに、電子部品100と第2搬送部21の第2搬送面との距離が近くなる効果が得られる。なお、この2つの効果を得るためには、0°<θ≦45°であることが好ましい。
図4に示すような、搬送ディスク20の回転軸Rに平行で、かつ、第1搬送部11の第1搬送面に垂直な面において、搬送ディスク20の回転軸Rと、第1搬送部11の第1搬送面に平行な線とがなす角度をθとする。0°<θ≦45°である場合、θ<θの関係とすることで、電子部品100がガイド部13の位置決め面14から離れやすくなる効果を有する。角度θと角度θとの差は、例えば、0°より大きく15°以下である。また、角度θは、好ましくは5°以上、45°以下である。
ガイド部13は、電子部品100を位置決め面14に吸着するための吸着部を有することが好ましい。図1に示す例では、ガイド部13の位置決め面14から内部に通じる複数本の吸引路15が設けられている。吸引路15の本数は1本であってもよい。また、吸引路15の形状は特に限定されない。位置決め面14での吸引は、搬送中、連続して行われることが好ましい。なお、電子部品100が吸引路15による吸引力によってガイド部13の位置決め面14に安定して接触させるためには、角度θは5°以上、30°以下であることが好ましい。あるいは、角度θが角度θ以上である関係にすれば、吸引路15の吸引力を低減できる。これは、電子部品100が吸引路15による吸引力によってガイド部13の位置決め面14に、角度θが角度θ未満である関係よりも、電子部品100が傾斜したときに、電子部品100と吸引路15との距離をより小さくできるためである。
ガイド部13の吸着力は、搬送ディスク20の吸着力よりも小さいことが好ましい。これにより、電子部品100がガイド部13の位置決め面14に吸着された後、電子部品100の第2主面112が第2搬送部21の第2搬送面に吸着されやすくなる。
図5A、図5B、図5Cおよび図5Dは、コンベアから搬送ディスクに電子部品を受け渡す方法の一例を説明するための断面図である。
図5Aでは、コンベア10により、電子部品100が矢印Aに示す方向に搬送される。電子部品100の第1主面111は、第1搬送部11の第1搬送面と接している。ガイド部13では、白色の矢印の方向に連続的に吸引が行われている。また、搬送ディスク20では、回転軸R(図1参照)に向かう方向に連続的に吸引が行われている。
図5Bでは、第1搬送部11上の受け渡し位置P12まで搬送された電子部品100が、ガイド部13に当接する。
図5Cでは、ガイド部13の吸引により、電子部品100が傾斜して起き上がる。この際、0°<θ≦45°であると、起き上がり時の勢いで、図5Dに示すように、位置決め面14が傾斜している角度を超えて電子部品100が起き上がる。その結果、電子部品100が搬送ディスク20に近づく作用によって、電子部品100の第2主面112が第2搬送部21の第2搬送面に吸着される。この際、ガイド部13の吸着力が搬送ディスク20の吸着力よりも小さく、さらに、θ<θであると、電子部品100がガイド部13の位置決め面14から離れやすくなるとともに、電子部品100が第2搬送部21の第2搬送面に吸着されやすくなる。
上述したガイド部13に限らず、コンベア10は、受け渡し位置P12に配置され、受け渡し位置P12から受け取り位置P21に向かって作用する力を発生させる補助力発生部を含むことが好ましい。
補助力発生部は、負圧を発生する第2吸引口が配置された位置決め面14を有することが好ましい。さらに、位置決め面14は、受け渡し位置P12における第1搬送経路の延長方向上に傾斜して設けられていることが好ましい。第2吸引口としては、吸引路15などが挙げられる。
補助力発生部および引力発生部は、第2吸引口に吸引されて位置決め面14に当接して傾斜することにより、電子部品100が第2搬送部21の第2搬送面に近づいたとき、第1吸引口に吸引されて第2搬送面に吸着されるように設けられていることが好ましい。
図6は、本発明の搬送装置の別の一例を模式的に示す平面図である。
図6に示す搬送装置1Aは、第1搬送機構である搬送ディスク10Aと、第2搬送機構である搬送ディスク20とを備える。図示されていないが、搬送装置1Aは、複数個の電子部品100を搬送ディスク10Aに供給するためのパーツフィーダをさらに備える。
搬送ディスク10Aは、電子部品100を搬送するための第1搬送部11Aを含む。第1搬送部11Aは、搬入位置(図示せず)と受け渡し位置P12とを結ぶ第1搬送経路を通って移動する。したがって、第1搬送部11Aは、第1搬送経路を通って移動する第1搬送面を有する。図6に示す例では、第1搬送経路は、円弧軌道である。すなわち、第1搬送部11Aの第1搬送面は、円弧軌道で移動する。
図示されていないが、搬送ディスク10Aは、モータなどの駆動部と連結されている。これにより、第1搬送部11Aの第1搬送面は、矢印Cに示す方向に回転移動する。
搬送ディスク10Aは、パーツフィーダから搬入位置へ供給される電子部品100を、矢印Cに示す方向に、電子部品100の第1主面が第1搬送部11Aの第1搬送面と接した状態で、受け渡し位置P12へ搬送する。搬送ディスク10Aは、間欠回転でもよいが、高速化の観点からは連続回転が好ましい。図6に示すように、搬送ディスク10Aは、電子部品100の長さ方向が搬送方向(すなわち、矢印Cに示す方向)に平行になるように電子部品100を搬送することが好ましい。
搬送ディスク20は、第1搬送部11Aから電子部品100を受け取って搬送するための第2搬送部21を含む。第2搬送部21は、搬送ディスク20の外周に配置されている。第2搬送部21は、受け取り位置P21と搬出位置(図示せず)とを結ぶ第2搬送経路を通って移動する。したがって、第2搬送部21は、第2搬送経路を通って移動する第2搬送面を有する。第2搬送部21の受け取り位置P21は、第1搬送部11Aの受け渡し位置P12から上方に離れて配置されており、受け渡し位置P12から第1距離Dで離れている。
図示されていないが、搬送ディスク20の回転軸Rは、モータなどの駆動部と連結されている。これにより、第2搬送部21の第2搬送面は、回転軸Rを中心にして、矢印Bに示す方向に連続的に回転移動する。
第1搬送部11Aの受け渡し位置P12における第1搬送面の移動方向と、第2搬送部21の受け取り位置P21における第2搬送面の移動方向とは、第1搬送面を平面視して交差している。言い換えると、第1搬送部11Aの受け渡し位置P12へ電子部品100が搬送される方向と、第2搬送部21の受け取り位置P21から電子部品100が搬送される方向とは、第1搬送面を平面視して交差している。
搬送ディスク20の回転軸Rは、図6に示すように、第1搬送部11Aの第1搬送面を平面視したとき、第1搬送部11Aの受け渡し位置P12における第1搬送面の移動方向、言い換えると、第1搬送部11Aの受け渡し位置P12へ電子部品100が搬送される方向(図6では、矢印Yに示す方向)に平行であることが好ましい。
図6に示す搬送装置1Aは、第1搬送機構が搬送ディスク10Aであることを除いて、図1に示す搬送装置1と同様の構成を有する。したがって、搬送装置1Aを構成する搬送ディスク20は、搬送装置1を構成する搬送ディスク20と同様の構成を有する。
図6に示す搬送装置1Aにおいては、図1に示す搬送装置1と同様、電子部品100を搬送ディスク10Aから搬送ディスク20に受け渡すことで、電子部品100の搬送方向を変えることができる。
搬送ディスク10Aは、第1搬送部11A上に、電子部品100を受け渡し位置P12に規制するガイド部を含むことが好ましい。ガイド部の好ましい構成は、図1に示す搬送装置1と同様である。
上述したガイド部に限らず、搬送ディスク10Aは、受け渡し位置P12に配置され、受け渡し位置P12から受け取り位置P21に向かって作用する力を発生させる補助力発生部を含むことが好ましい。補助力発生部の好ましい構成は、図1に示す搬送装置1と同様である。
本発明は、上記の構成に限定されるものではなく、搬送装置の構成、部品の構成、部品を搬送する方法等に関し、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
図1および図6では、第1搬送機構であるコンベア10および搬送ディスク10Aは、電子部品100の長さ方向が搬送方向に平行になるように電子部品100を搬送しているが、電子部品100の幅方向が搬送方向に平行になるように電子部品100を搬送してもよい。
第1搬送機構がガイド部を有する場合、ガイド部の位置決め面は、第1搬送部の搬送面に対して傾斜していなくてもよい。また、コンベアや搬送ディスクなどの第1搬送機構はガイド部を有さなくてもよい。
第2搬送機構の回転軸は、第1搬送部の搬送面に平行であってもよい
1、1A 搬送装置
10 コンベア(第1搬送機構)
10A 搬送ディスク(第1搬送機構)
11、11A 第1搬送部
13 ガイド部
14 位置決め面
15 吸引路
20 搬送ディスク(第2搬送機構)
21 第2搬送部
22 吸引溝
31 第1撮像機器
32 第2撮像機器
33 第3撮像機器
34 第4撮像機器
35 第5撮像機器
36 第6撮像機器
100 電子部品
111 第1主面
112 第2主面
113 第1側面
114 第2側面
115 第1端面
116 第2端面
121 第1外部電極
122 第2外部電極
11 搬入位置
12 受け渡し位置
21 受け取り位置
22 搬出位置
R 回転軸
θ ガイド部の位置決め面と、第1搬送部の第1搬送面に垂直な線とがなす角度
θ 搬送ディスクの回転軸と、第1搬送部の第1搬送面に平行な線とがなす角度

Claims (16)

  1. 搬入位置と受け渡し位置とを結ぶ第1搬送経路を通って移動する第1搬送部を含む第1搬送機構と、
    前記第1搬送部の前記受け渡し位置から第1距離Dで離れた受け取り位置と搬出位置とを結ぶ第2搬送経路を通って移動する第2搬送部を含む第2搬送機構と、を備える搬送装置であって、
    前記第1搬送部は、前記第1搬送経路を通って移動する第1搬送面を有し、
    前記第2搬送部は、回転軸を中心にして前記第2搬送経路を通って連続的に回転移動する第2搬送面を有し、
    前記受け渡し位置における第1搬送面の移動方向と、前記受け取り位置における第2搬送面の移動方向とは、前記第1搬送面を平面視して交差しており、
    前記第2搬送機構は、前記第2搬送面に向かって引力を発生させる引力発生部を含み、
    前記引力発生部は、前記第2搬送面に配置され、負圧を発生する第1吸引口を有し、
    前記第1搬送機構は、前記受け渡し位置に配置され、前記受け渡し位置から前記受け取り位置に向かって作用する力を発生させる補助力発生部を含み、
    前記補助力発生部は、負圧を発生する第2吸引口が配置され、前記受け渡し位置における前記第1搬送経路の延長方向上に傾斜して設けられている位置決め面を有し、
    前記回転軸に平行で、かつ、前記第1搬送面に垂直な面において、前記位置決め面と、前記第1搬送面に垂直な線とがなす角度をθ としたとき、0°<θ ≦45°であり、
    前記第2吸引口の吸引路は、前記第1搬送経路の延長方向上にある、搬送装置。
  2. 記補助力発生部および前記引力発生部は、前記第2吸引口に吸引されて前記位置決め面に当接して傾斜することにより、被搬送部品が前記第2搬送面に近づいたとき、前記第1吸引口に吸引されて前記第2搬送面に吸着されるように設けられている、請求項に記載の搬送装置。
  3. 前記第1搬送経路は、直線軌道または円弧軌道である、請求項1または2に記載の搬送装置。
  4. 記回転軸に平行で、かつ、前記第1搬送面に垂直な面において、前記回転軸と、前記第1搬送面に平行な線とがなす角度をθとしたとき、θ<θである、請求項1~3のいずれか1項に記載の搬送装置。
  5. 前記第2吸引口吸引力は、前記第1吸引口吸引力よりも小さい、請求項1~4のいずれか1項に記載の搬送装置。
  6. 被搬送部品は、第1主面と、前記第1主面と相対する第2主面と、前記第1主面および前記第2主面が相対する高さ方向において直交する幅方向に相対する第1側面および第2側面と、前記高さ方向および前記幅方向に直交する長さ方向において相対する第1端面および第2端面とを有する直方体状であり、
    前記第1搬送機構は、前記被搬送部品の長さ方向および幅方向の一方が搬送方向と平行になるように前記被搬送部品を搬送し、
    前記第2搬送機構は、前記被搬送部品の長さ方向および幅方向の他方が搬送方向と平行になるように前記被搬送部品を搬送する、請求項のいずれか1項に記載の搬送装置。
  7. 前記第1搬送部上で搬送される被搬送部品を撮像するための第1撮像機構と、
    前記第2搬送部上で搬送される前記被搬送部品を撮像するための第2撮像機構と、をさらに備える、請求項のいずれか1項に記載の搬送装置。
  8. 被搬送部品は、第1主面と、前記第1主面と相対する第2主面と、前記第1主面および前記第2主面が相対する高さ方向において直交する幅方向に相対する第1側面および第2側面と、前記高さ方向および前記幅方向に直交する長さ方向において相対する第1端面および第2端面とを有する直方体状であり、
    前記第1搬送機構は、前記被搬送部品の長さ方向および幅方向の一方が搬送方向と平行になるように前記被搬送部品を搬送し、
    前記第2搬送機構は、前記被搬送部品の長さ方向および幅方向の他方が搬送方向と平行になるように前記被搬送部品を搬送し、
    前記第1撮像機構は、前記被搬送部品の前記第2主面を撮像するための第1撮像機器と、前記被搬送部品の前記第1側面を撮像するための第2撮像機器と、前記被搬送部品の前記第2側面を撮像するための第3撮像機器とを有し、
    前記第2撮像機構は、前記被搬送部品の前記第1主面を撮像するための第4撮像機器と、前記被搬送部品の前記第1端面を撮像するための第5撮像機器と、前記被搬送部品の前記第2端面を撮像するための第6撮像機器とを有する、請求項に記載の搬送装置。
  9. 入位置受け渡し位置とを結ぶ第1搬送経路を通って第1搬送部上で被搬送部品を搬送する第1搬送工程と、
    前記第1搬送部の前記受け渡し位置から第1距離Dで離れた受け取り位置にて、前記被搬送部品を第2搬送部で受け取って、前記受け取り位置と搬出位置とを結ぶ第2搬送経路を通って前記第2搬送部上で前記被搬送部品を搬送する第2搬送工程と、を備える搬送方法であって、
    前記第1搬送部は、前記第1搬送経路を通って移動する第1搬送面を有し、
    前記第2搬送部は、回転軸を中心にして前記第2搬送経路を通って連続的に回転移動する第2搬送面を有し、
    記受け渡し位置における第1搬送面の移動方向と、前記受け取り位置における第2搬送面の移動方向とは、前記第1搬送面を平面視して交差しており、
    前記第2搬送工程では、前記第2搬送面に向かって引力を発生させ、
    前記第2搬送面には、負圧を発生する第1吸引口が配置され、
    前記第1搬送工程では、前記受け渡し位置から前記受け取り位置に向かって作用する力を発生させ、
    前記受け渡し位置には、負圧を発生する第2吸引口と、前記受け渡し位置における前記第1搬送経路の延長方向上に傾斜して設けられている位置決め面とが配置され、
    前記回転軸に平行で、かつ、前記第1搬送面に垂直な面において、前記位置決め面と、前記第1搬送面に垂直な線とがなす角度をθ としたとき、0°<θ ≦45°であり、
    前記第2吸引口の吸引路は、前記第1搬送経路の延長方向上にある、搬送方法。
  10. 前記第1搬送工程では、前記第2吸引口に吸引して前記位置決め面に前記被搬送部品を当接させて傾斜させることにより、前記被搬送部品を前記第2搬送面に近づけて、
    前記第2搬送工程では、前記第1吸引口に吸引して前被搬送部品を前記第2搬送面に吸着させる、請求項に記載の搬送方法。
  11. 前記第1搬送経路は、直線軌道または円弧軌道である、請求項9または10に記載の搬送方法。
  12. 前記回転軸に平行で、かつ、前記第1搬送面に垂直な面において、前記回転軸と、前記第1搬送面に平行な線とがなす角度をθ としたとき、θ <θ である、請求項9~11のいずれか1項に記載の搬送方法。
  13. 前記第2吸引口の吸引力は、前記第1吸引口の吸引力よりも小さい、請求項9~12のいずれか1項に記載の搬送方法。
  14. 被搬送部品は、第1主面と、前記第1主面と相対する第2主面と、前記第1主面および前記第2主面が相対する高さ方向において直交する幅方向に相対する第1側面および第2側面と、前記高さ方向および前記幅方向に直交する長さ方向において相対する第1端面および第2端面とを有する直方体状であり、
    前記第1搬送工程では、前記被搬送部品の長さ方向および幅方向の一方が搬送方向と平行になるように前記被搬送部品を搬送し、
    前記第2搬送工程では、前記被搬送部品の長さ方向および幅方向の他方が搬送方向と平行になるように前記被搬送部品を搬送する、請求項9~13のいずれか1項に記載の搬送方法。
  15. 前記第1搬送工程では、前記第1搬送部上で搬送される被搬送部品を撮像し、
    前記第2搬送工程では、前記第2搬送部上で搬送される前記被搬送部品を撮像する、請求項9~13のいずれか1項に記載の搬送方法。
  16. 被搬送部品は、第1主面と、前記第1主面と相対する第2主面と、前記第1主面および前記第2主面が相対する高さ方向において直交する幅方向に相対する第1側面および第2側面と、前記高さ方向および前記幅方向に直交する長さ方向において相対する第1端面および第2端面とを有する直方体状であり、
    前記第1搬送工程では、前記被搬送部品の長さ方向および幅方向の一方が搬送方向と平行になるように前記被搬送部品を搬送し、
    前記第2搬送工程では、前記被搬送部品の長さ方向および幅方向の他方が搬送方向と平行になるように前記被搬送部品を搬送し、
    前記第1搬送工程では、前記被搬送部品の前記第2主面と、前記被搬送部品の前記第1側面と、前記被搬送部品の前記第2側面とをそれぞれ撮像し、
    前記第2搬送工程では、前記被搬送部品の前記第1主面と、前記被搬送部品の前記第1端面と、前記被搬送部品の前記第2端面とをそれぞれ撮像する、請求項15に記載の搬送方法。
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