JP5183979B2 - ワークの検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、ＩＣチップやチップ型コンデンサ等の微小な電子素子やカプセル錠剤などのワークの検査を行い、良品と不良品に選別するワークの検査装置に関する。

ＩＣチップやチップ型コンデンサ等の電子素子（チップ部品）のワークの場合、その性能（ＩＣチップでは電気特性等であり、チップ型コンデンサでは電気容量等）の検査、外周の傷の検査や、その種類や大きさを選別するための測定が行われ、梱包ラインに供給された後に出荷される。このワークの検査装置は、供給されたワークを多角度的に撮像して、これらの品質を検査して選別する。

上記ワークの検査装置として、例えば、特許文献１には、ワークを整列搬送する直進フィーダと、外周側面に微小物体を収納する収納溝が形成され回転する円盤状の回転ディスク（検査用回転ディスク）と、直進フィーダと検査用回転ディスクとの間に位置して直進フィーダから整列搬送される微小物体を回転ディスクの収納溝に搬送する無振動中継台と、無振動中継台に移行した微小物体を吸引する吸引手段とを備え、無振動中継台の搬送路にワークの搬送姿勢を整える溝を形成し、回転ディスクの搬送溝（ポケット）にＶ字状溝の両方の谷面（一方の辺と他方の辺）に吸引と排気が弁によって切り替えられ、吸排気装置に接続した吸排気口が設けられている。
特開２００２−３２６０５９号公報

特許文献１は、ワークを回転ディスクの搬送溝に供給（収納）させる際において、ワークが脱落したり（飛び出したり）詰まったりする事態を防止するもので、特に、直進フィーダは、そのＶ字溝の一辺を切り欠いたり、回転ディスクの側周外側にガイドプレートを設け、このガイドプレートから回転ディスクのポケットにおけるＶ字状の谷面と平行に出退する案内板を設けたり、又、固定テーブルにガイドのノズルを設けたり、更に、直進フィーダの先端部と回転ディスク及び固定テーブルとの間に搬送コンベヤを設けたものを開示している。

しかしながら、いずれも脱落防止や目詰りする事態の対応としては十分なものではない。例えば、Ｖ字溝の直進フィーダの一辺を切り欠いたものは、回転ディスクは回転動作するが、直進フィーダは移動しないことから、これらの間でワークの目詰まりが生じるために、Ｖ字溝の一辺を切り欠いたものである。しかし、このような切り欠き形成すると、その切り欠き部分からワークが脱落するおそれがある。また、回転駆動する回転ディスクと移動しない直進フィーダの切り欠かかれていない一辺との間でワークが挟まれて、ワーク姿勢が定まらないうちに回転ディスクが回転して、ワークが飛び出すこともある。さらに、特許文献１では、回転ディスクの搬送溝（ポケット）にＶ字状溝に吸引と排気が弁によって切り替えられ、吸排気装置に接続した吸排気口が設けられているが、この切り替えが正確でないと、ワークが脱落したり目詰まりする。

また、回転ディスクが縦型配置の場合、直進フィーダは、その下方位置（時計の６時の位置等）に配置されることが多いが、装置によってはその位置が好ましくない場合がある。つまり、撮像手段等を配置する場所の確保や、装置の小型化傾向からスペースが限られてくると、常に上記の下方位置には配置できない場合がある。

一方、ワークの検査は、回転ディスクの搬送溝に収納された状態でワークの検査を行う場合がある。例えば、電子素子等のＩＣチップの電気特性等を検査するときには、回転ディスクの外周にワークとの接触を図る接触子をＩＣチップの両側から挟み込むように接触させて検査する場合がある。しかしながら、従来装置では、この接触の際にワークが脱落する事態が生じることがあった。

そこで本発明の目的は、検査用回転ディスクの周囲のどの位置に配置されても、ワークを脱落させたり詰まらせることなく搬送溝に確実に供給（収納）し、検査用回転ディスクの搬送溝に収納された状態でワークと接触させて電気的な検査等を行うときにも、ワークが脱落することがないワークの検査装置を提供することにある。

本発明のワークの検査装置は、ワークを搬送する搬送溝がその外周に形成された第１の検査用回転ディスクと、第１の検査用回転ディスクの搬送溝にワークを供給するフィーダと、第１の検査用回転ディスクの外周に近接配置される第１のガイド用ディスクを備え、前記第１のガイド用ディスクは、その外周に前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と対応するガイド溝が形成されており、前記第１の検査用回転ディスクと周方向で近接した部分が同じ方向に移動するように互いに逆回転し、前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と前記第１のガイド用ディスクのガイド溝とが、これらの周方向と直交する方向に形成され、前記第１の検査用回転ディスクと前記第１のガイド用ディスクとが、当該搬送溝と当該ガイド溝とが向かい合うように同期駆動し、前記フィーダと対向する位置には、バックゲージが配されており、当該バックゲージに形成された吸引孔を介して、搬送するワークが前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と前記第１のガイド用ディスクのガイド溝とが向かい合う位置に吸引により導かれる構成となっていることを特徴とする。

本発明によれば、供給手段からワークが供給されると、前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と第１のガイド用ディスクのガイド溝が向かい合うことで、ワークの脱落を阻止する。そして、前記第１の検査用回転ディスクの正回転に合せて前記第１のガイド用ディスクが逆回転することにより、従来のようにＶ字状溝の一辺がワークと接触することにより目詰まりする事態が防止される。ワークが搬送溝に収納された後は、前記第１のガイド用ディスクのガイド溝は前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝から徐々に離れる。

本発明は、前記第１の検査用回転ディスクの外周に近接配置される第２のガイド用ディスクを備え、前記第２のガイド用ディスクは、その外周に前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と対応するガイド溝が形成されるとともに、ワークを検査する接触子が備わっており、前記第１の検査用回転ディスクと周方向で近接した部分が同じ方向に移動するように互いに逆回転し、前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と前記第２のガイド用ディスクのガイド溝とが、これらの周方向と直交する方向に形成され、前記第１の検査用回転ディスクと前記第２のガイド用ディスクとが、当該搬送溝と当該ガイド溝とが向かい合うように同期駆動することを特徴とする。本発明は、前記フィーダと対向する位置には、バックゲージが配されており、当該バックゲージに形成された吸引孔を介して、搬送するワークが前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と前記第１のガイド用ディスクのガイド溝とが向かい合う位置に吸引により導かれることを特徴とする。本発明は、前記第１の検査用回転ディスクの下方側に配されて第１の検査用回転ディスクと逆向きに回転しワークを前記第１の検査用回転ディスクから受け取って搬送する第２の検査用回転ディスクと、これら搬送過程においてワークを撮影する複数の撮像手段を備えることを特徴とする。本発明は、前記第１の検査用回転ディスクと前記第２の検査用回転ディスクには、搬送するワークに吸引力を働かせる所定長の吸引用スリットが形成されたサクションリングが各々備わっていることを特徴とする。本発明は、前記第１のガイド用ディスクと前記第２のガイド用ディスクがいずれもゴム製であることを特徴とする。

本発明によれば、ＩＣチップのようなワークの電気特性等を検査するときは、前記第２のガイド用ディスクの接触子が搬送溝に配されたワークと接触することから、従来のように接触子（プローブ）がワークと接触することにより脱落する事態が防止される。

本発明によれば、前記搬送溝とガイド溝が向かい合うように駆動する同期駆動であることから、互いの溝の移動のずれにより、ワークが目詰まりしたり脱落するようなことがない。なお、第１と第２のガイド用ディスクをゴム製とすることにより、弾性力を持って覆うことから、ワークとの接触が柔らかくなって、飛び出すような事態を防止するとともに、ワークが損傷するような事態を防止する。

本発明のワークの検査装置によれば、搬送溝からワークを脱落させず、また、ワークを目詰りさせる事態を防止することが可能になる。また、これによりバックゲージの吸引を連続して行うことができ、吸引動作を簡略化し、制御が簡単なものとなる。そして、本発明によれば、前記第１のガイド用ディスク並びに第２のガイド用ディスクは、前記第１の検査用回転ディスクの外周に近接したどの位置にも配置することが可能となり、従来のように縦型配置の検査用回転ディスクの下方に配置しなければならないような配置の規制をなくすことが可能になる。

以下に、本発明を実施するための最良の形態を図面を引用しながら説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態であるワークの検査装置の正面図であり、図２は、ワークの検査装置の断面図であり、図３は、ワークの検査装置の断面図であり、図４は斜視図であり、図５はワークの搬送状態の拡大正面図である。本実施の形態のワークの検査装置１は、電子素子や電子回路等のチップ部品等のワークＣを撮像手段により検査するワークの検査装置であり、ワークＣを回転搬送しながら検査する第１と第２の検査用回転ディスクＩＤ１，ＩＤ２と、ワークＣを供給する供給手段である直進フィーダＦと、検査用回転ディスクＩＤ１の外周に配される第１のガイド用ディスクＧ１を備える。検査対象であるワークＣは、ＩＣチップやチップ型コンデンサ等の微小な電子素子（微小物体）Ｃのほか（図９（ａ））、錠剤、カプセル錠剤（カプセル型の錠剤）Ｋ等である（図９（ｂ））。なお、本実施の形態のワークＣは、直方体形状のワークとして説明するが、立方体形状や薄い板状のチップ部品等であっても適用可能である。

直進フィーダＦは、ワークＣが投入される円筒フィーダ（図示せず）の排出口から取り出されたワークＣを振動させながら送り出すもので、円筒フィーダの排出口と連続された直線状の溝Ｆｖが形成されており、この溝Ｆｖから第１の検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１にワークＣを供給する。なお、直進フィーダＦと第１の検査用回転ディスクＩＤ１との間に位置して無振動中継台が配され、この位置に撮像手段が配される場合もある。

直進フィーダＦと対向する位置には、バックゲージｇｅが取り付けられ、バックゲージｇｅには第１の吸引孔ｑ１が形成されるとともに、この第１の吸引孔ｑ１を介してワークＣを吸引する（図５）。第１の吸引孔ｑ１は、直進フィーダＦの搬送溝Ｆｖに向けて形成され、吸引手段である真空ポンプ（図示せず）と連結される連結部ｇｅｐが設けられている。このため、真空ポンプにより吸引力が働くと、直進フィーダＦの搬送溝Ｆｖから後述する検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１と第１のガイド用ディスクＧ１のガイド溝Ｇ１ｖにワークＣを第１の吸引孔ｑ１を介して吸引により導くことができる。すなわち、図５に示すように、バックゲージｇｅの吸引孔ｑ１を両者のディスクＩＤ１とＧ１の接点に配置することで、両者のディスクＩＤ１，Ｇ１の溝ｖ１と溝Ｇ１ｖにより形成される空間に対して一度に連続して行うことができるとともに、吸引動作を簡単で安定して行うことになる。

第１と第２の回転ディスクＩＤ１，ＩＤ２は、ベース基台Ｂに取り付けられた軸Ｊ１，Ｊ２の先端側に取り付けられ、軸Ｊ１，Ｊ２の他方側は、モータＭ１，Ｍ２が取り付けられている（図２）。第１と第２の回転ディスクＩＤ１，ＩＤ２は、多数のワークＣをその外周の搬送溝ｖ１，ｖ２で回転搬送させるもので、その軸Ｊ１，Ｊ２に取り付けられる外周ローラＳ１ｂがサクションリングＳ１ａに重ね合わせられて構成されている。外周ローラＳ１ｂには、その接線方向に対して直交方向に所定間隔をおいて搬送溝ｖ１,ｖ２が形成されている。この搬送溝ｖ１,ｖ２は、直線フィーダＦの搬送溝Ｆｖに対応させたＶ字状に形成され、このＶ字状の搬送溝ｖ１,ｖ２の底部（ｖ字状の先端）に第２の吸引孔ｑ２が形成され、この第２の吸引孔ｑ２は、サクションリングＳ１ａの吸引用スリットＳｓと連結されるとともに、連結具Ｑを介して吸引手段である真空ポンプ（図示せず）と接続されている（図２）。したがって、回転ディスクＩＤ１，ＩＤ２が回転しても、搬送溝ｖ１,ｖ２からワークＣは脱落することはない。また、サクションリングＳ１ａには、直進フィーダＦから上記Ｖ字状の搬送溝ｖ１に吸引するための第２の吸引孔ｑ２と連結されている（図２、図３、図５）。第２の吸引孔ｑ２は、搬送溝ｖ１の収納状態での回転搬送を可能にするもので、ワークＣを吸引した後は回転搬送状態を維持するために吸引し続ける。

Ｖ字状の搬送溝ｖ１は、向かい合う第１のガイド用ディスクＧ１のガイド溝Ｇ１ｖと対称の形状に形成され、上記搬送溝はＶ字状に、他方のガイド溝Ｇ１ｖもこれに合せて同じＶ字状に形成されている。このような上記搬送溝ｖ１と第１のガイド用ディスクＧ１のガイド溝Ｇ１ｖにより、図９（ａ）に示すように、直方体形状のワークＣの四側面（第１面から第４面）が覆われることになり、残りのワークＣの一面は直進フィーダＦからの送り側の面（第５面）となり（（図９（ａ）の矢印）、他の残りの一面（第６面）はバックゲージｇｅの第１の吸引孔ｑ１側の面となり、これらによりワークＣの第５面を除いた面が覆われることとなる。

第１の検査用回転ディスクＩＤ１のサクションリングＳ１ａの吸引用スリットＳｓは、ほぼ時計の９時の方向から右回転で５時の範囲までの位置に設けられ、第２の回転ディスクＩＤ２のサクションリングＳ１ａの吸引用スリットＳｓは、ほぼ時計の１０時の位置から左回転の５時の位置までの範囲までの半周上に設けられ、送風通路Ａ１…Ａ４が配される位置にまで及んでいる。電子素子であるワークＣは、上記所定長の吸引用スリットＳｓの位置から外れる位置にある第１の検査用回転ディスクＩＤ１の５時の位置から第２の回転ディスクＩＤ２の時計の１０時の位置でその搬送溝ｖ２に受け渡され、左回りで時計の６時から５時の位置まで搬送される。

第１の検査用回転ディスクＩＤ１と第２の回転ディスクＩＤ２は、縦型配置による連続回転方式により回転する。第２の回転ディスクＩＤ２は、第１の検査用回転ディスクＩＤ１の下方側において斜めに位置をずらして配されている。第１の検査用回転ディスクＩＤ１は、その中心に配される回転軸Ｊ１により時計の針の回転方向と同じ向きに回転する。第２の回転ディスクＩＤ２は、その中心に配される回転軸Ｊ２により時計の針の回転方向と逆向きに回転する。第１と第２の回転ディスクＩＤ１,ＩＤ２の軸Ｊ１，Ｊ２には、各々駆動源（モータ）Ｍ１，Ｍ２が取り付けられて回転するが、ギヤＥ１，Ｅ２を介して同期駆動する構造になっている（図２）。この第１と第２の回転ディスクＩＤ１,ＩＤ２の駆動は、上記第１のガイド用ディスクＧ１とも間欠駆動により同期駆動しているが、連続駆動であっても良い。

第１のガイド用ディスクＧ１は、検査用回転ディスクＩＤ１の外周に配置されるもので、その外周において上記検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１を覆うガイド溝Ｇ１ｖとしての役割を有する。図２に示すように、第１のガイド用ディスクＧ１は、ベース基台Ｂに軸Ｊ３が取り付けられ、この軸Ｊ３の先端側に取り付けられ、他方側には、第１の検査用回転ディスクＩＤ１のモータＭ１とギヤＥ１，Ｅ３を介して連結されている（図２）。すなわち、第１の検査用回転ディスクＩＤ１と第２の回転ディスクＩＤ２の軸Ｊ１，Ｊ２には、回転駆動手段であるモータ（ステッピングモータ）Ｍ１，Ｍ２が各々取り付けられ、第１のガイド用ディスクＧ１の回転駆動は、第１の検査用回転ディスクＩＤ１の軸Ｊ１にギヤ（ノンバックラッシュギア）Ｅ１，Ｅ３を介して連結されて、第１の検査用回転ディスクＩＤ１の回転と同期駆動する。この同期駆動は間欠駆動とされている。したがって、第１の検査用回転ディスクＩＤ１と第１のガイド用ディスクＧ１の駆動は、搬送溝ｖ１と向かい合うガイド溝Ｇ１ｖが向かい合う同期駆動となる。そして、同じ動力源とすることにより、第１のガイド用ディスクＧ１の駆動源を別個も受けなくとも良くしている。

第１のガイド用ディスクＧ１のガイド溝Ｇ１ｖは、検査用回転ディスクＩＤ１，ＩＤ２の搬送溝ｖ１と対応させて形成されている。本実施の形態のワークは直方体形状であることから、一方の搬送溝ｖ１はＶ字状に、他方のガイド溝Ｇ１ｖもこれに合せて同じＶ字状に形成され、対称になっている。例えば、ワークＣが錠剤カプセルのような場合は、断面がＵ字状になる搬送溝ｖＫを形成すると良く（図９（ｂ））、この場合、一方の搬送溝ｖＫと他方のガイド溝Ｇ１ｖは対称にすることが好ましい。

ここで、第１のガイド用ディスクＧ１は、検査用回転ディスクＩＤ１に対して時計の針で９時の位置に配されているが、両者は同じ円盤状のものであるので、第１のガイド用ディスクＧ１は、検査用回転ディスクＩＤ１の外周位置であればどの位置に配されても同じである。すなわち、検査用回転ディスクＩＤ１の６時の位置でも、それ以外のどの位置でも検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１のワークＣを介して覆うこととなる。また、第１のガイド用ディスクＧ１の径は、できるだけ小さな径であることが好ましい。これは、小さな径にすることで、装置の小型化が図られることと、本実施の形態では、第１のガイド用ディスクＧ１の回転駆動を検査用回転ディスクＩＤ１の軸の駆動源（ステッピングモータ）から得ているために、この検査用回転ディスクＩＤ１の駆動源にかかる負荷をできるだけ軽減することができるからである。なお、本実施の形態の第１のガイド用ディスクＧ１はステンレス製として説明するが、第２の実施の形態のようにゴム製とすることも可能である。

ワーク（電子素子）Ｃ１の外周を撮像する撮像手段Ｓ１…Ｓ６は、第１の検査用回転ディスクＩＤ１による搬送途中の１２時の位置で撮影する撮像手段Ｓ１，Ｓ２と、その後ほぼ２時の位置で搬送途中のワークＣを撮像する撮像手段Ｓ３，Ｓ４と、第２の回転ディスクＩＤ２の搬送途中で撮影する撮像手段Ｓ５，Ｓ６とが配置されている。各撮像手段Ｓ１…Ｓ６は、イメージセンサや、イメージセンサと発光ダイオードとを組み合わせた光学式外径測定器の他、高感度カメラ（Ｃ１Ｃ１Ｄカメラ）等であり、直方体形状のワークＣの外周を撮像する。その結果は、図示しない制御部により、長さ・幅や面積を撮像したり、傷の有無が検査される。

撮像手段Ｓ１，Ｓ２は、第１の検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１に収納された状態でワークＣの第３面Ｃ３、第４面Ｃ４を斜め方向から撮像するもので、撮像手段Ｓ３，Ｓ４は、第５面Ｃ５、第６面Ｃ６を前後（図面上の前後）から撮像するもので、撮像手段Ｓ５，Ｓ６は、第２の回転ディスクＩＤ２の搬送溝ｖ２に収納された状態でワークＣの第１面Ｃ１、第２面Ｃ２を斜め方向から撮像するもので、各々の先端に搭載されるカメラがワークＣに向けて配設されている。

本実施の形態は、第１と第２の回転ディスクＩＤ１,ＩＤ２による搬送過程においてワークＣを撮影する撮像手段Ｓ１…Ｓ６を備え、ワークＣの六方向から撮像して検査するが、これら限らず、四方向から撮像したり二方向から撮像するようにすることも可能である。また、無振動中継台上での撮像する撮像手段を加えることも可能である。また、本実施の形態では、撮像手段Ｓ１とＳ２（または、撮像手段Ｓ３とＳ４）が同じ位置のワークＣを同時に撮影するが、撮像手段Ｓ１とＳ２で位置を異ならせて撮影することも可能である。

第２の回転ディスクＩＤ２の下方側には、ワークＣを取り出すための送風通路Ａ１…Ａ４が設けられ、これら送風通路Ａ１…Ａ４は、送風手段（図示せず）と連結されている。５時の位置から６時の位置にかけての第２の回転ディスクＩＤ２の外周位置には、排出側ブラケットＢ１が取り付けられ、排出側ブラケットＢ１には、上記搬送溝ｖ２から取り出して選別ボックス（図示せず）に連結される複数の排出口Ｂｂが設けられるとともに、排出されたことを検知するとともに個数をカウントする光センサが取り付けられている。すなわち、排出側では、上記吸引スリットＳｓの吸引手段を介しての吸引よりも強いエアーを送風して上記搬送溝ｖ２から取り出す。本実施の形態では、良品と再検査品と検査不可能品との選別と、これらいずれでもないものが最終的にすべて排出されるようになっている。

次に、本実施の形態のワークの検査装置１を実際に使用して電子素子（ワーク）Ｃ１の検査する場合の動作について説明する。

直進フィーダＦの搬送溝Ｆｖに搬送されてくるワークＣは、直進フィーダＦの先端まで来ると、直進フィーダＦの位置と対向するバックゲージｇｅの第１の吸引孔ｑ１により吸引され、上記搬送溝ｖ１とガイド溝Ｇ１ｖに収納される。すなわち、ワークＣは、その一個分が上記搬送溝ｖ１とガイド溝Ｇ１ｖで形成する空間に配される。第１の吸引孔ｑ１による吸引は、吸引すると停止し、これと切り替えて、今度は、検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１と連結する第２の吸引孔ｑ１により吸引され、搬送溝ｖ１にワークＣの第１面Ｃ１と第２面Ｃ２が吸着される。したがって、ワークＣが搬送溝ｖ１から脱落することなく、第１の検査用回転ディスクＩＤ１の周回方向に周回する。第１のガイド用ディスクＧ１は、第１の検査用回転ディスクＩＤ１と同期駆動によって両者同時に互いに逆回転するために（第１のガイド用ディスクＧ１は反時計方向の回転で、第１の検査用回転ディスクＩＤ１は時計方向の回転）、従来のように一方が駆動し他方が駆動せずに、ワークＣをかみ込んで、それでも無理に回転して飛び出る事態は生ぜず、上記搬送溝ｖ１とガイド溝Ｇ１ｖによりワークＣの姿勢を整える。すなわち、ワークＣが上記搬送溝ｖ１に収納される際には、第１のガイド用ディスクＧ１が回転しながら搬送溝ｖ１に配されるまでワークＣを介して覆い続け、その後は第１のガイド用ディスクＧ１のガイド溝Ｇ１ｖは検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１から徐々に離れる。

第１のガイド用ディスクＧ１のガイド溝Ｇ１ｖが検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１から離れると、ワークＣの第３面Ｃ３と第４面Ｃ４は、搬送溝ｖ１から突出した状態で検査用回転ディスクＩＤ１の外周を搬送され、時計の１２時の位置に搬送されたときに、ワークＣは撮像手段Ｓ１とＳ２によりその直方体形状の２面（第３面Ｃ３と第４面Ｃ４）が二方向から撮像される。その後は、ワークＣの第５面Ｃ５と第６面Ｃ６が撮像手段Ｓ３，Ｓ４により撮像される。そして、第１の検査用回転ディスクＩＤ１の時計のほぼ５時の位置では、第１の検査用回転ディスクＩＤ１の所定長の吸引スリットＳｓの位置から外れ、他方、第２の回転ディスクＩＤ２の搬送溝ｖ２に受け渡される。第２の回転ディスクＩＤ２の回転により、ワークＣが搬送されると、時計の８時の位置でワークＣが撮像手段Ｓ５，Ｓ６により撮像される。このようにワークＣは斜めのＳ字曲線を描くように回転搬送される。撮像結果は、制御部で蓄積データと照合されて、良品であるか、不良品であるか、更には再検査品であるか検査不可能品であるか等の選別が行われる。撮像手段Ｓ１…Ｓ４による撮像が終了して上記選別が行われ、時計の６時から８時の位置にある排出側に回転搬送されると、上記検査結果に基づき、この排出側では、上記吸引よりも強い勢いのエアーを供給するエアー供給孔から送りワークＣを搬送溝ｖ２から離脱させ、排出口Ｂｂを介して選別ボックス（図示せず）に収納させる。

（第２の実施の形態）
図７は第２の実施の形態の正面図であり、図８は接触子Ｇｐ１，Ｇｐ２による接触検査の状態を示す平面図である。本実施の形態は、ＩＣチップのようなワークＣの電気特性等を検査するときに使用されるもので、検査用回転ディスクＩＤ１の外周に第２のガイド用ディスクＧ２が配置されている。この第２のガイド用ディスクＧ２は、第１の実施の形態の第１のガイド用ディスクＧ１とその構造はほぼ同じ構造であり、検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１を覆うガイド溝Ｇ２ｖが形成され、検査用回転ディスクＩＤ１と互いに逆回転する。上記接触子Ｇｐ１，Ｇｐ２は、本実施の形態では、ワークＣの第５面Ｃ５と第６面Ｃ６と接触する（図９（ａ））。この接触子Ｇｐ１，Ｇｐ２は、ワークＣがＩＣチップでは電気特性を検査したり、チップ型コンデンサでは電気容量を検査したりするものであり、検査の種類に応じて使い分けられ、本実施の形態では、第２のガイド用ディスクＧ２は、検査用回転ディスクＩＤ１の外周に２箇所に配置され、異なる検査に対応可能になっている。接触子Ｇｐ１，Ｇｐ２は、左右１対のものであり、くの字状に形成されることで、弾力性をもってワークＣの第５面Ｃ５と第６面Ｃ６と接触する。接触子Ｇｐ１，Ｇｐ２としては、プローブ（検査針）のようなものであっても良い。接触子Ｇｐは、図示しないが、本体の検査部と連結されており、電気特性等の検査のデータが送られ、その検査情報が記録される。このような第２のガイド用ディスクＧ２は、検査用回転ディスクＩＤ１やＩＤ２の外周において、いくつ配置されるものでも良く、また、どの位置に配することも可能なものである。

本実施の形態の第２のガイド用ディスクＧ２は、ゴム製のものを使用している。なお、少なくともガイド溝Ｇ２ｖの部分だけでもゴムを使用することが好ましい。このガイド溝Ｇ２ｖは、検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１を覆うことから、ワークＣとの接触ができるだけ緩やかに接触することが好ましいからである。

したがって、第１のガイド用ディスクＧ１を介して検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝に収納された状態のワークＣが、例えば時計の１２時の位置に搬送されてくると、第２のガイド用ディスクＧ２が上記搬送溝ｖ１を覆うとともに、接触子Ｇｐ１，Ｇｐ２は搬送溝ｖ１に配されたワークＣと接触する。すなわち、ゴム製の第２のガイド用ディスクＧ２のガイド溝Ｇ２ｖがその弾性力をもって検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１のワークＣを介して覆うようになり、そして、接触子Ｇｐ１，Ｇｐ２は搬送溝ｖ１に配されたワークＣの第５面Ｃ５と第６面Ｃ６を左右から挟み込んで接触することにより（図８）、ワークＣである電子素子の電気特性等を検出する。したがって、この検出の際に検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１から脱落することなく検査が行われる。

以上、本実施の形態では、縦型配置の検査用回転ディスクＩＤ１，ＩＤ２に適用した場合で説明したが、水平な配置の検査用回転ディスクにも適用可能なものであり、その配置姿勢は問われない。なお、本実施の形態では、吸引孔ｑ１，ｑ２を設けたもので説明したが、本発明は、上記第１のガイド用ディスクＧ１と第２のガイド用ディスクＧ２は、検査用回転ディスクＩＤ１，ＩＤ２の搬送溝ｖ１，ｖ２を覆うガイド溝Ｇ１ｖ，Ｇ２ｖが形成されるものであって、必ずしも上記吸引孔ｑ１，ｑ２を必須のものとするものではない。

本発明の第１の実施の形態であるワークの検査装置を示す正面図である。 上記第１の実施の形態のワークの検査装置の断面図である。 上記図２の拡大断面図である。 上記第１の実施の形態のワークの検査装置の斜視図である。 上記第１の実施の形態の検査用回転ディスクの搬送溝の拡大正面図である。 上記第１の実施の形態の検査用回転ディスクの搬送溝によるワークの搬送状態の斜視図である。 本発明の第２の実施の形態のワークの検査装置の正面図である。 上記第２の実施の形態の第２のガイド用ディスクを示す平面図である。 上記第１と第２の実施の形態のワークの検査面と接触面を説明する斜視図であり、（ａ）はワークが直方体形状の場合の例であり、（ｂ）ワークがカプセル錠剤の場合の例である。

符号の説明

１ ワークの検査装置、
Ｃ ワーク（電子素子：電子チップ）、
Ｋ カプセル錠剤（カプセル型の錠剤）、
ＩＤ１ 第１の検査用回転ディスク、
ＩＤ２ 第２の検査用回転ディスク、
Ｇ１ 第１のガイド用ディスク、
Ｇ２ 第２のガイド用ディスク、
ｖ１，ｖ２ 搬送溝、
Ｇ１ｖ，Ｇ２ｖ ガイド溝、
Ｇｐ１，Ｇｐ２ 接触子（プローブ）、
ｑ１ 第１の吸引孔、
ｑ２ 第２の吸引孔、
Ｓ１ａ サクションリング、
Ｓ１ｂ 外周ローラ、
Ｓｓ 吸引スリット

Claims (5)

1. ワークを搬送する搬送溝がその外周に形成された第１の検査用回転ディスクと、第１の検査用回転ディスクの搬送溝にワークを供給するフィーダと、第１の検査用回転ディスクの外周に近接配置される第１のガイド用ディスクを備え、前記第１のガイド用ディスクは、その外周に前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と対応するガイド溝が形成されており、前記第１の検査用回転ディスクと周方向で近接した部分が同じ方向に移動するように互いに逆回転し、前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と前記第１のガイド用ディスクのガイド溝とが、これらの周方向と直交する方向に形成され、前記第１の検査用回転ディスクと前記第１のガイド用ディスクとが、当該搬送溝と当該ガイド溝とが向かい合うように同期駆動し、前記フィーダと対向する位置には、バックゲージが配されており、当該バックゲージに形成された吸引孔を介して、搬送するワークが前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と前記第１のガイド用ディスクのガイド溝とが向かい合う位置に吸引により導かれる構成となっていることを特徴とするワークの検査装置。
2. 前記第１の検査用回転ディスクの外周に近接配置される第２のガイド用ディスクを備え、前記第２のガイド用ディスクは、その外周に前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と対応するガイド溝が形成されるとともに、ワークを検査する接触子が備わっており、前記第１の検査用回転ディスクと周方向で近接した部分が同じ方向に移動するように互いに逆回転し、前記第１の検査用回転ディスクの搬送溝と前記第２のガイド用ディスクのガイド溝とが、これらの周方向と直交する方向に形成され、前記第１の検査用回転ディスクと前記第２のガイド用ディスクとが、当該搬送溝と当該ガイド溝とが向かい合うように同期駆動することを特徴とする請求項１記載のワークの検査装置。
3. 前記第１の検査用回転ディスクの下方側に配されて第１の検査用回転ディスクと逆向きに回転しワークを前記第１の検査用回転ディスクから受け取って搬送する第２の検査用回転ディスクと、これら搬送過程においてワークを撮影する複数の撮像手段を備えることを特徴とする請求項１または２記載のワークの検査装置。
4. 前記第１の検査用回転ディスクと前記第２の検査用回転ディスクには、搬送するワークに吸引力を働かせる所定長の吸引用スリットが形成されたサクションリングが各々備わっていることを特徴とする請求項３記載のワークの検査装置。
5. 前記第１のガイド用ディスクと前記第２のガイド用ディスクがいずれもゴム製であることを特徴とする請求項２記載のワークの検査装置。

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