WO2017056300A1

WO2017056300A1 - 検査装置

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Publication number: WO2017056300A1
Application number: PCT/JP2015/077982
Authority: WO
Inventors: 利幸澤田
Original assignee: 富士機械製造株式会社
Priority date: 2015-10-01
Filing date: 2015-10-01
Publication date: 2017-04-06
Also published as: JP6771256B2; JPWO2017056300A1

Abstract

検査装置において、測定ミスの低減を図る。検査装置は、部品載置部と、その部品載置部に載置されるべき電子部品を部品載置部へ引き寄せる引き寄せ部と、部品載置部に載置された電子部品の複数の電極の各々に電気的に接続可能に設けられた複数の測定子とを含むものである。電子部品が部品載置部に載置される際、電子部品は引き寄せ部により部品載置部に引き寄せられるので、電子部品を、適切な姿勢で部品載置部に載置することができる。したがって、電子部品の電気的特性の測定において、測定ミスが低減される。

Description

検査装置

本発明は、回路基板に装着される部品の検査を行う検査装置に関するものである。

特許文献２，３には、プローブを備え、そのプローブの接触により部品の電気的特性を測定する検査装置が記載されている。特許文献１には、保持台に載置させられた部品を両端から挟んで電気的特性を測定する検査装置が記載されている。この検査装置において、送風口部２８から保持台のＶ溝に沿ってエアが供給され、そのＶ溝上にある測定後の部品が導入口部７´へ送られる。そして、不良品は廃棄され、良品は回路基板への装着に用いられる。

特公昭５２－３０７０３号公報実開平１－７６１００号公報国際公開第２０１４／１５５６５７パンフレット

本発明の課題は、部品の電気的特性を自動で測定可能な検査装置において、測定ミスの低減を図ることである。

課題を解決するための手段、作用および効果

本発明に係る検査装置は、部品載置部と、その部品載置部に載置されるべき電子部品を部品載置部へ引き寄せる引き寄せ部と、部品載置部に載置された電子部品の複数の電極の各々に電気的に接続可能に設けられた複数の測定子とを含むものである。電子部品が部品載置部に載置される際、電子部品は引き寄せ部により部品載置部に引き寄せられるので、電子部品を、適切な姿勢で部品載置部に載置することができる。したがって、電子部品の電気的特性の測定において、測定ミスが低減される。

本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機の斜視図である。上記検査装置の要部の斜視図である。上記検査装置の要部の断面図である。上記検査装置の一部平面図である。上記検査装置に含まれるエア回路図である。上記装着機の制御装置を概念的に示す図である。 (a)上記制御装置の記憶部に記憶されたLCR 測定プログラムを表すフローチャートである。(b)上記検査装置においてLCR が測定される場合のタイムチャートである。上記制御装置の記憶部に記憶された部品適正判定プログラムを表すフローチャートである。上記検査装置の作動を示す図である。(a)初期状態を示す図であり、(b)クランプ状態を示す図であり、(c)測定状態を示す図であり、(d)廃棄状態を示す図である。上記検査装置の図２とは異なる角度から見た斜視図である。比較的小さな寸法の部品ｓが溝４４ｃに載置される状態を示す断面図である。比較的大きな寸法の部品ｓが溝４４ｃに載置された状態を示す断面図である。比較的大きな寸法の部品ｓが溝４４ｃに載置された別の状態を示す断面図である。

発明の実施形態

以下、本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、装置本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。

また、符号２０はカメラを示す。カメラ２０は、吸着ノズル１８によって保持された部品ｓを撮像するものであり、カメラ２０によって撮像された画像に基づいて、部品ｓが回路基板Ｐに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号２２は検査装置を示す。検査装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定して、検査するものである。部品ｓの電気的特性が測定され、測定された電気的特性が、JOB 情報に含まれる部品ｓに関する情報（電気的特性）と一致するか否か、すなわち、次の作業に用いられる予定の部品ｓが備えた電気的特性と一致するか否かが判定されるのである。
部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、検査装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。

検査装置２２は、ごみ箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。ごみ箱２６と検査装置２２とは廃棄通路２８によって接続されるが、電気的特性が測定された部品ｓが、廃棄通路２８を経てごみ箱２６に収容される。検査装置２２は、ごみ箱２６に高さ調整可能に設けられる。図２，１０に示すように、ごみ箱２６には、昇降可能にベース部３０が係合させられ、ベース部３０に本体２９がボルトおよびナットを含む締結部３１（図３，４，１０参照）によって固定され、これらベース部３０および本体２９が一体的に昇降可能に保持される。また、本体２９、ベース部３０には、それぞれ、廃棄通路２８と連通可能な開口２９ａ、３０ａが設けられる（図３，４参照）。
検査装置２２は、図２～４，１０に示すように、(i)上記本体２９およびベース部３０、(ii)部品ｓを保持可能な保持台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)保持台３２を移動させる保持台移動装置４０、(v)可動子３６を固定子３４に対して接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性検出部としてのLCR 検出部４２等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端部に電極を有し、一対の測定子３７によって把持可能なものとすることができる。部品ｓとしては、例えば、角チップと称するものが該当する。

保持台３２は、部品載置部４４と、部品載置部４４を保持する載置部保持体４６とを含む。部品載置部４４の上面には溝４４ｃが形成され、部品ｓが載せられる。溝４４ｃは、ｘ方向両側の傾斜面４４１Ｌ、４４１Ｒと、傾斜面４４１Ｌ、４４１Ｒ間に設けられた底部４４２とを含む（図１１参照）。溝４４ｃは、略Ｖ形状とされているため、部品ｓの位置が精度よく決まる。なお、溝４４ｃは、完全なＶ形状ではないが、略Ｖ形状であるため、以後の説明において、溝４４ｃをＶ溝４４ｃと称する。
部品載置部４４は、導電性、耐摩耗性を有し、かつ、酸化が進み難い材料で製造されたものとすることができる。部品載置部４４は、複数の導電性を有する部材を介してベース部３０に電気的に接続されるが、ベース部３０が接地されることにより、部品載置部４４も接地される。本実施例においては、部品載置部４４が載置部保持体４６に当接し、かつ、締結部４７によって固定されるとともに、載置部保持体４６が本体２９にストッパ８０（図３参照）を介して当接し、本体２９がベース部３０に締結部３１によって固定される。そして、載置部保持体４６、ストッパ８０、本体２９、ベース部３０、締結部３１、４７等は導電性を有するものである。したがって、部品載置部４４は接地されるのである。
このように、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造され、かつ、接地されることにより、部品載置部４４に載置させられた部品ｓの除電を行うことができる。また、部品載置部４４が、耐摩耗性を有する材料で製造されることにより、部品載置部４４の摩耗を抑制し、耐久性を向上させることができる。さらに、酸化が進み難い材料、すなわち、金属の酸化被膜である不動態皮膜が形成され得る材料で製造されることにより、部品載置部４４が錆び難くすることができる。錆が部品ｓに付き難くすること等ができ、部品ｓの電気的特性の測定精度の低下を抑制することができる。例えば、部品載置部４４は、アルミニウム合金またはステンレス材料等によって製造されたものとすることができる。

固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓの電極が把持される。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体２９に固定される。可動子３６は、可動子保持体５６に一体的に移動可能に保持されたものであり、固定子３４に対して接近・離間可能とされる。本実施例において、対向面３６ｆは、断面が三角形状を成し、Ｖ溝４４ｃに沿って移動可能とされる。換言すれば、可動子３６の対向面３６ｆの形状は、ほぼＶ溝４４ｃに対応する形状とされ、可動子３６の対向面３６ｆ、固定子３４の対向面３４ｆおよび保持台３２のＶ溝４４ｃは、ほぼ同一高さに位置する。そのため、部品ｓがＶ溝４４ｃ内のいずれにあっても、一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持可能とされる。
また、可動子３６は、本実施例において、ｙ方向（移動方向）に伸びた長手部材であり、後退端において可動子保持体５６に保持される。さらに、対向面３６ｆを含む先端部より後部は、先端部よりｘ方向にはみ出す部分を有さない形状を成す。その結果、保持台３２と可動子３６とは互いに相対移動可能とされ、保持台３２は、Ｖ溝４４の底部が可動子３６を下方に位置する状態で、対向面３６ｆの前方へ移動したり後方へ移動したりすることが可能である。
さらに、可動子３６と固定子３４とから成る一対の測定子３７、LCR 検出部４２、図示を省略する電源装置等を含む電気回路５８が形成される。これら固定子３４と可動子３６との間に電流が供給されるとともに流れた電流が検出され、これらの関係に基づいて部品ｓの電気的特性がＬＣＲ検出部４２によって測定される。LCR 検出部４２は、Ｌ，Ｃ，Ｒを検出する検出部に限らず、Ｌ，Ｃ，Ｒ，Ｚ´等の電気的特性を表す物理量の１つ以上を検出するものとすることができる。なお、図２～４の符号５８ａ、ｂは、一対の測定子３７の電気回路５８への接続部である。

保持台３２にはカバー部５０が取り付けられる。カバー部５０は、互いにｘ方向に隔たって、Ｖ溝４４ｃの両側にそれぞれ設けられた一対のカバー用板部５２，５４を含む。カバー用板部５２，５４は、それぞれ、保持台３２の固定子３４側に設けられ、ｙ方向およびｚ方向、すなわち、保持台３２、可動子３６の移動方向および上下方向に伸びたものであり、板状部材が曲げられた形状を成す。カバー用板部５２は、平面視において溝形を成し、底板部５２ａと、それの両側に、ｘ方向に隔たって設けられた側板部５２ｂ、５２ｃとを含む。底板部５２ａは、下部が曲げられた形状を成し、側面視においてＬ字形を成し、上部において部品載置部４４の固定子３４側の側面に取り付けられる。また、保持台３２の前進端位置において、底板部５２の下部が固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｂが固定子３４の外側、かつ、固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｃが側板部５２ｂより外側であって、固定子保持体５５の外側に位置する。側板部５２ｃは、側板部５２ｂより上下方向の寸法が大きいものであり、下端部が本体２９の開口２９ａ付近まで伸びる。カバー用板部５４は、Ｖ溝４４ｃに対してカバー用板部５２の反対側の載置部保持体４６に取り付けられる。カバー用板部５４は、保持台３２の前進端位置において、固定子保持体５５の外側に位置する。カバー用板部５４は、上下方向に曲げられた形状を成し、下端部が本体２９の開口２９ａ付近まで伸びたものである。
また、側板部５２ｃ、カバー用板部５４のｙ方向の寸法は、固定子３４と可動子３６とが互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のほぼ全体をｘ方向から覆い得る大きさとされる。
なお、カバー部５０は、後述するように、エアの拡散を防止するとともに、エアの噴出によって落下させられた部品ｓの飛散を防止する機能を果たす。

固定子側の部材｛例えば、固定子３４の上部または固定子保持体５５の固定子３４の上方の部分または本体２９｝には、可動子３６の対向面３６ｆに対向するエア通路６０の開口６０ａが形成される。エア通路６０は、図３に示すように概してｙ方向に伸びたエア噴出通路６０ｓ、本体２９に形成された内部通路６０ｈ等を含む。エア噴出通路６０ｓは、可動子３６に近づくにつれて下方へいく向きに傾斜して伸び、可動子３６が固定子３４から離間した位置にある場合に、延長線ｋが可動子３６の対向面３６ｆの部分Ｒの上方または部分Ｒ内に達する状態で伸びたものである。部分Ｒは、可動子３６の対向面３６ｆの部品ｓを把持する頻度が高い部分であり、把持部と称することができる。エアは、対向面３６ｆの延長線ｋが交差する部分に、斜め上方から当たる。
エア通路６０には、エアシリンダ６４，７０が接続される。また、エア通路６０のエアシリンダ６４，７０の下流側の部分にはイオナイザ６２が設けられる。イオナイザ６２は、コロナ放電を生起させて空気をイオン化するものであり、対向面３６ｆにイオン化された空気が供給され得る。

保持台移動装置４０は、本体２９またはベース部３０に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ６４を含む。エアシリンダ６４のピストンロッド６６（図５参照）には載置部保持体４６が連結される。エアシリンダ６４は、シリンダハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室６４ａ、６４ｂを含み、２つのエア室６４ａ、６４ｂとエア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）との間に電磁弁装置６９が設けられる。電磁弁装置６９は、１つ以上の電磁弁、例えば、図５に示すように、方向切換弁、可変絞りを含むものとすることができる。方向切換弁により、載置部保持体４６の移動方向が制御され、可変絞りにより載置部保持体４６の移動・停止が制御される。電磁弁装置６９によって、エア室６４ｂがエア源６８に連通させられエア室６４ａがエア通路６０に連通させられることにより、保持台３２が前進（図３の矢印Ｆ方向の移動）させられ、エア室６４ｂが大気に開放されエア室６４ａがエア源６８に連通させられることにより、保持台３２が後退（図３の矢印Ｂ方向の移動）させられる。

可動子移動装置４１は、本体２９に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ７０を含む。エアシリンダ７０のピストンロッド７１には可動子と一体的に移動可能な可動子保持体５６が連結される。エアシリンダ７０のハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室７０ａ、７０ｂには、電磁弁装置７２を介して、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）に接続される。電磁弁装置７２は、１つ以上の電磁弁を含むものであり、例えば、方向切換弁、可変絞り等を含むものとすることができる。電磁弁装置７２により、エア室７０ｂがエア通路６０に連通させられエア室７０ａがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が後退させられ、エア室７０ａが大気に開放されエア室７０ｂがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が前進させられる。
本実施例においては、エアシリンダ６４，７０、エア通路６０（エア噴出通路６０ｓを含む）、開口６０ａ、カバー部５０、イオナイザ６２等によりエア供給装置７３が構成される。エア供給装置７３は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。また、対向面３６ｆが供給対象面に対応する。
なお、電磁弁装置６９，７２の構造は、本実施例のそれに限らない。例えば、１つの３位置弁を含むものとしたり、複数の開閉弁を含むものとしたりすること等ができる。また、イオナイザ６２を設けることは不可欠ではない。

可動子保持体５６と本体２９との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７４，７５が設けられ、保持台３２と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７６，７７が設けられる。ガイドロッド７４，７５の一端部は、可動子保持体５６に連結され、他端部は、本体２９に摺動可能に係合させられる。ガイドロッド７６，７７は、一端部において載置部保持体４６に連結されるとともに、可動子保持体５６に摺動可能に係合させられる。これらガイドロッド７４，７５、７６，７７により保持台３２と可動子３６とは本体２９に対して、ｙ方向に互いに相対移動可能とされるとともに、保持台３２と可動子３６とは互いにｙ方向に相対移動可能とされる。
また、図３に示すように、可動子保持体５６の固定子側にはストッパ８２が設けられ、本体２９の固定子保持体５５を保持する部分にはストッパ８０が設けられる。ストッパ８２は、可動子保持体５６と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものであり、ストッパ８０は、固定子３４（本体２９）と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものである。
本実施例において、ガイドロッド７４～７７は、保持台移動装置４０、可動子移動装置４１に共有され、ストッパ８０，８２は保持台移動装置４０の構成要素であると考えることができる。
なお、図３に示すように、可動子３６が後退端位置にある場合のストッパ８２の前端部と、保持台３２が前進端位置にある場合の載置部保持体４６との間の隙間Ｌｄが、可動子３６と保持台３２との相対移動が許容される距離である。

　図３に示すように、保持台３２の部品載置部４４の下方には永久磁石１３０が設けられている。永久磁石１３０は、Ｖ溝４４ｃのｘ方向の中心に対してｘ方向にほぼ対称に設けられている。永久磁石１３０は、部品ｓの電極を磁力により引き寄せるので、部品ｓを吸着した吸着ノズル１８が、部品ｓをＶ溝４４ｃに載置する際に、Ｖ溝４４ｃに載置されたはずの部品ｓが静電気により吸着ノズル１８に貼りつくことが低減される。永久磁石１３０は、部品ｓを吸着ノズル１８に貼り付ける静電気よりも大きな磁力を有する。ただし、永久磁石１３０の磁力は、検査装置２２による部品ｓの電気的特性の検査に影響を与えない大きさとなっている。また、後述するように、検査装置２２は、電気的特性の測定の際、部品ｓとＶ溝４４ｃとを相対移動させるが、永久磁石１３０の磁力は、この相対移動を許容する大きさである。

当該装着機は制御装置１００を含む。制御装置１００は、図６に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ１０２と、複数の駆動回路１０４とを含む。コントローラ１０２は、実行部１１０、記憶部１１２、入出力部１１４等を含み、入出力部１１４には、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路１０４を介して接続されるとともに、可動子移動装置４１、保持台移動装置４０の電磁弁装置６９，７２等が接続される。また、ＬＣＲ検出部４２、ディスプレイ１１６、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０、ノズル１８の高さを検出するノズル高さセンサ１２２等が接続される。記憶部１１２には、図７(a)のフローチャートで表されるLCR 検出プログラム等の複数のプログラム、テーブルが記憶されている。また、コントローラ１０２に設けられたタイマ１２４によって時間の計測が行われる。
なお、本実施例においては、制御装置１００によって装着機全体が制御される場合について説明したが、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８等がそれぞれ互いに個別の制御装置によって制御されるようにすることもできる。

以下、装着機の作動について説明する。
段取り替えが行われる場合等、新たなテープフィーダ１４のセット、テープフィーダ１４の交換等が行われた場合等に、そのテープフィーダ１４に保持された部品ｓの電気的特性が測定され、そのテープフィーダ１４（または部品ｓ）が適切なものであるか否かが検査される。また、その検査結果がディスプレイ１１６に表示される。不適切である場合には、テープフィーダ１４が取り替えられる。

部品ｓの電気的特性は、図７(a)のフローチャートで表されるLCR 測定プログラムの実行により測定される。また、保持台３２、可動子３６の動き、保持台位置センサ１２０、可動子位置センサ１１８の状態を図７(b)に示す。
検査装置２２は、常には、図９(a)に示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、保持台３２は前進端位置、すなわち、ストッパ８０に当接した位置にある。この状態において、保持台３２は、内部導通等によりアースされた状態にある。保持台３２のＶ溝４４ｃの上方に可動子３６が存在せず、部品ｓを載置可能な状態にある。また、カバー部５０は固定子３４の両側（ｘ方向に隔たって）に位置する。可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は、いずれもＯＮ状態にある。
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。段取り替えが行われる場合等には電気的特性の測定指令が出される。測定指令が出されると、Ｓ２において、装着ヘッド１６が移動させられ、例えば、新たに取り付けられたテープフィーダ１４に保持された部品ｓが吸着ノズル１８によってピックアップされて、保持台３２のＶ溝４４ｃ上に載せられる。吸着ノズル１８が下降させられ、部品ｓが開放されることにより、部品ｓがＶ溝４４ｃ上に載置させられたことがわかる。吸着ノズル１８にピックアップされた部品ｓは、予め定められた姿勢、具体的には、両端の電極が、一対の測定子３７の各々に対向する向きで、Ｖ溝４４ｃ上に載せられる。部品ｓの両端の電極が、Ｖ溝４４ｃの下方に設けられた永久磁石１３０に引き寄せられるため、Ｖ溝４４ｃ上に一旦載置された部品ｓが、静電気により吸着ノズル１８に貼り付いて吸着ノズル１８とともに上昇した後にＶ溝４４ｃ上に落下して部品ｓの姿勢が乱れた結果、部品ｓの載置向きが変わることが低減される。部品ｓの載置向きが変わり、部品ｓの両端の電極が一対の測定子３７の各々に対向しない向きに載置された場合、部品ｓの両端の電極と一対の測定子３７とが電気的に接続できず、測定エラーとなる。永久磁石１３０の磁力により、部品ｓの載置向きは、部品ｓの両端の電極が一対の測定子３７の各々に対向する向きとなるので、測定エラーの発生が低減される。

そして、吸着ノズル１８が部品ｓをＶ溝４４ｃ上に載置させて上昇端に達したことがノズル高さセンサ１２２によって検出されると、Ｓ３において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が前進させられ、可動子位置センサ１１８がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。可動子３６の先端の対向面３６ｆは、部品載置部４４のＶ溝４４ｃに沿って前進させられ、対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとによって部品ｓがクランプされる｛図９(b)｝。本実施例においては、後退端位置から部品ｓをクランプするまでの可動子３６のストロークＬ1（図３参照）は、クランプされる部品ｓの大きさ等で決まり、予め決められている。可動子３６の前進開始時から、可動子３６がストロークＬ1 前進するまでに要する時間である前進時間が経過した後に、可変絞りの制御等により、可動子３６の前進が停止させられる。前進時間は、タイマ１２４によって計測される。この保持台３２が前進端位置にあり、可動子３６が前進させられ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆにより部品ｓがクランプされた状態がクランプ状態である。

Ｓ４において、電磁弁装置６９の制御により保持台３２が後退させられ、保持台位置センサ１２０がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。保持台３２は、ストッパ８２に当接するまで後退させられ｛図９(c)｝、その位置で保持される。その間の保持台３２のストロークはＬ2（図３参照）である。
Ｌ2＝Ｌｄ－Ｌ1
本実施例においては、ストロークＬ2 は設定値Ｌｘ以上の大きさとされていて（Ｌ2≧Ｌｘ）、部品載置部４４が部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させられる。導電性を有する部材（部品載置部４４）が電気的特性の測定時に部品ｓの近傍に位置すると静電誘導が起きたり、渦電流が生じたりする等、電気的特性を正確に検出することができない。それに対して、部品載置部４４を部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させれば（部品載置部４４と部品ｓとの最短距離が設定値Ｌｘ以上とすれば）、部品載置部４４が部品ｓの近傍に位置することに起因して生じる電気的特性の測定誤差を小さくすることができる。このように、設定値Ｌｘは、部品載置部４４が部品ｓの電気的特性の測定に影響を及ぼし難い距離であり、予め実験等により取得された値である。この状態が測定状態である。
なお、保持台３２の後退開始時から、保持台３２がストロークＬ2 後退するのに要する時間である後退時間Ta が経過した後に、電磁弁装置６９の制御により保持台３２の位置が保持される。後退時間Taは、タイマ１２４によって計測される。

Ｓ５において、吸着ノズル１８により部品ｓが開放され、Ｖ溝４４ｃ上に載せられた時から、設定時間である除電時間が経過するのが待たれる。テープフィーダ１４に保持された部品ｓの各々は、テープフィーダ１４の運搬に伴う振動、物との接触等に起因して生じた静電気により帯電した状態にある。この帯電された部品ｓが、導電性を有する材料で製造され、かつ、アースされた部品載置部４４に載置されることにより除電されたり、空気中への放電により除電されたりする。除電時間は、部品ｓが有していると推定される容量の静電気を除去するのに要する時間であり、予め実験等により求めたり、部品ｓの大きさ、特性等に基づいて理論的に求めたりすること等ができる。部品ｓが部品保持台４４に載せられてからの経過時間が除電時間に達すると、Ｓ５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ６において部品ｓの電気的特性が測定される。
そして、電気的特性の測定に要する時間である測定時間が経過すると、Ｓ７が実行されるのであるが、測定時間は部品ｓの種類等によって決まる時間としても、一定の時間としてもよい。いずれにしても予め取得されて記憶されている。

測定時間が経過し、部品ｓの電気的特性の測定が終了すると、Ｓ７において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が後退させられる。後退端に達すると、可動子位置センサ１１８がＯＮとなる。Ｓ８において、電磁弁装置６９の制御により、保持台３２が後退させられる｛図９(d)｝。保持台３２が測定状態から後退端位置にある可動子３６のストッパ８２に当接するまでのストロークはＬ1 である。そのため、保持台３２がストロークＬ1 後退するのに要する時間である後退時間Tb が経過した後に、ストッパ８２に当接したとわかる。図９(d)に示すように、保持台３２は、可動子３６の対向面３６ｆより後方に位置し、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に存在しない。この状態が廃棄状態である。
保持台３２がストッパ８２に当接するまで後退させられると、Ｓ９において、電磁弁装置６９の制御により、エアシリンダ６４においてエア室６４ｂがエア源６８に連通させられ、エア室６４ａがエア通路６０に連通させられる。保持台３２が前進させられ、ストッパ８０に当たると保持台位置センサ１２０がＯＮとなる。保持台３２は、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間に位置し（Ｖ溝４４が対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に位置し）、Ｖ溝４４ｃの上方が空間とされている。そのため、部品ｓが載置可能とされる。この状態が初期状態である。

可動子３６の対向面３６ｆが固定子３４の対向面３４ｆから離間することにより、これらの間に把持されていた部品ｓが開放される。また、可動子３６の後退時には、エアシリンダ７０のエア室７０ａがエア通路６０に連通させられ、カバー用板部５２，５４は、それぞれ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のｘ方向の両側に位置する。さらに、保持台３２が可動子３６の対向面３６ｆの後方に移動させられることにより、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に存在しなくなり、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間は、開口２９ａ、３０ａ、廃棄通路２８に連通させられる。
可動子３６の後退に伴って、エア室７０ａから流出させられたエアが開口６０ａから可動子３６の対向面３６ｆに斜め上方から供給されるが、エアが供給される空間、換言すれば、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間が、カバー部５０によってｘ方向から覆われる。エアは、主として対向面３６ｆに当たった後、対向面３６ｆに沿って下方へ流れる。そのため、仮に、対向面３６ｆから部品ｓが落下せず、部分Ｒに付着していても、それを良好に落下させることができる。また、エアは、カバー部５０の内部を渦状に流れるため、仮に、固定子３４の対向面３４ｆに部品ｓが付着していたとしても落下させることができる。さらに、対向面３４ｆ、３６ｆから落下して保持台３２の上に載った部品ｓもエアにより落下させ得るが、仮に、Ｖ溝４４上に部品ｓが載って、エアにより落下しなかった場合であっても、保持台３２の後退に伴う可動子３６の対向面３６ｆの前進により確実に落下させることができる。このように、本実施例において、廃棄状態は、部品ｓが良好に落下させられた状態と考えることができる。
なお、一対の対向面３４ｆ、３６ｆから落下した部品ｓは、開口２９ａ、３０ａ、廃棄通路２８を経て良好にごみ箱２６へ収容される。

また、カバー部５０を設けることにより、落下した部品ｓが飛び散らないようにすることもできる。カバー用板部５２の側板部５２ｃ、カバー用板部５４の下端部は本体２９の開口２９ａの近傍まで伸びているため、部品ｓを良好に開口２９ａから廃棄通路２８を経てごみ箱２６へ収容させることができる。一方、イオン化されたエアが供給される場合には可動子３６、固定子３４の対向面３６ｆ、３４ｆを電気的に中和させることが可能となり、次の部品ｓの電気的特性の測定精度を向上させることができる。
さらに、エアシリンダ６４において、保持台３２の前進時（Ｓ９）にエア室６４ａがエア噴出通路６０ｓに連通させられる。廃棄状態から初期状態へ移行する場合にも、可動子３６の対向面３６ｆにエアを供給することができるのであり、可動子３６の対向面３６ｆの除電を良好に行うことが可能となる。

一方、測定された電気的特性とJOB 情報に含まれる電気的特性とが比較され、当該部品ｓが、これから行われる作業（JOB）に用いられるべきものであるかどうかが判定され、その判定結果がディスプレイ１１６に表示される。
Ｓ２１において、当該部品ｓの電気的特性の測定値が取得され、Ｓ２２において、次のJOB のJOB情報から対応する情報が読み込まれる。Ｓ２３において、これらが比較され、一致するかどうかが判定される。一致する場合であっても不一致の場合であっても、判定結果はディスプレイ１１６に表示される。仮に、不一致の場合には、適切なテープフィーダと交換される等の作業が行われる。

以上のように、本実施例においては、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造されるとともに接地される。その結果、電気的特性の測定前に部品載置部４４に載せられた部品ｓの除電を良好に行うことができる。一方、部品ｓが帯電していると、部品ｓのインピーダンスを測定することが困難であった。それに対して、本実施例においては、部品ｓの除電が良好に行われるため、部品ｓのインピーダンスを良好に測定することができる。
さらに、可動子３６の後退と並行して部品ｓを廃棄通路２８に落下させることができるのであり、可動子の後退と、部品ｓの送出とを別の工程で行われる場合に比較して、電気的特性の測定に要する時間を短くすることができる。

　さらに、永久磁石１３０の磁力により、部品ｓの両端の電極がＶ溝４４ｃに引き寄せられるため、部品ｓが静電気によって吸着ノズル１８に貼り付くことによる部品の姿勢の乱れが低減される。そのため、部品ｓは、部品ｓの両端の電極が一対の測定子３７の各々に対向する向きで保持される。

以上のように、本実施例においては、部品載置部４４が部品載置部に対応し、永久磁石１３０が引き寄せ部に対応し、一対の測定子３７が複数の測定子に対応する。

また、コントローラ１０２のLCR 測定プログラムのＳ４，７，８を記憶する部分、実行する部分、タイマ１２４、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０等により移動制御装置、相対移動制御装置が構成される。また、そのうちの、Ｓ４を記憶する部分、実行する部分等により測定時制御部が構成され、Ｓ８を記憶する部分、実行する部分等により廃棄時制御部が構成され、Ｓ９を記憶する部分、実行する部分等により準備時制御部が構成される。移動制御装置は、保持台移動制御装置、相対移動制御部でもある。
また、エアシリンダ７０が可動子用シリンダに対応し、エアシリンダ６４が保持台用シリンダに対応する。エア供給装置７３は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。さらに、一対の測定子３７、LCR 検出部４２を含む電気回路５８、コントローラ１０２のＳ６を記憶する部分、実行する部分等により電気的特性取得装置が構成される。
さらに、Ｓ３がクランプ工程に対応し、Ｓ４、６が測定工程に対応し、Ｓ７，８が廃棄工程に対応し、Ｓ９が準備工程に対応する。

なお、一対の測定子の両方を移動可能とし、保持台を本体に固定とすることもできる。その場合であっても、保持台上に載せられた部品ｓを一対の測定子が把持し、一対の測定子が移動させられることにより、部品ｓから保持台を設定値以上離間させることができる。
また、保持台は、上下方向へ移動可能とすることもできる。その場合であっても、部品ｓが一対の測定子によってクランプされた状態で、保持台を部品ｓから設定値以上離間させることができる。
さらに、エア噴出通路を検査装置２２の本体２９の側部に、概してｘ方向に開く開口を有する状態で設けることもできる。換言すれば、カバー用板部５２，５４のいずれか一方をなくし（例えば、カバー用板部５４をなくし）、そのなくした側に、ｘ方向に開口を有するエア噴出通路を設けることができる。その結果、エアは、対向面３４ｆ、３６ｆ（ｘｚ方向に伸びた面）に沿って、カバー用板部５２に向かって供給されることになり、それにより、一対の対向面３４ｆ、３６ｆに付着した部品ｓを落とすことが可能となる。
また、部品ｓの電気的特性の測定後に、保持台３２を可動子３６の後退に伴って後退させる（例えば、同時に後退させる）ことも可能である。この保持台３２および可動子３６が後退させられる状態を廃棄状態とすることもできる。
さらに、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は不可欠ではない。例えば、タイマ１２４による計測により電磁弁装置６９，７２を制御することもできる。また、エア供給装置も不可欠ではない。

　引き寄せ部として、永久磁石の代わりに、電磁石を利用してもよい。また、引き寄せ部として、例えばエアの吸引などによる負圧力を用いた引き寄せ機構を利用してもよい。引き寄せ部として、電磁石や負圧力を用いる場合、吸着ノズル１８が部品ｓをＶ溝４４ｃに載置する際には、磁力や負圧力をＯＮにし、一対の測定子３７による部品ｓのクランプ以降の工程では、磁力や負圧力をOFFにしたり、部品ｓのＶ溝４４ｃへの載置時よりも弱い力を発生させたりして、引き寄せ力を変化させてもよい。

　なお、引き寄せ部により測定エラーの発生を低減させる効果は、Ｖ溝４４ｃが完全なＶ字であっても達成される。

　ところで、検査装置２２は、様々な寸法の部品ｓの電気的特性を測定する。寸法が比較的小さく、重量が比較的軽い部品ｓは、静電気による吸着ノズル１８への貼り付きやその他の要因により、部品載置部４４上での部品ｓの姿勢が特に乱れ易い。

　そのため、検査装置２２の底部４４２のｘ方向の寸法は、様々な寸法の測定対象部品ｓのうちの、特定の部品ｓの一対の電極をｙ方向に並ばせた際の特定の部品ｓのｘ方向の寸法よりも大きくされている。また、検査装置２２の底部４４２のｘ方向の寸法は、特定の部品ｓの一対の電極をｘ方向に並ばせた際の特定の部品ｓのｘ方向の寸法よりも小さくされている。

　特定の部品ｓとは、寸法が小さく、重量が軽いため、姿勢の乱れが特に著しい部品である。例えば、測定対象部品ｓのうち、最も寸法が小さい部品ｓである。

　特定の部品ｓの一対の電極がｙ方向に並んだ状態で底部４４２に載置されれば、特定の部品ｓの底面のほぼ全面が、底部４４２上に接触できる。そのため、特定の部品ｓの底面と底部４４２との摩擦力により、特定の部品ｓの姿勢の乱れ、特に、特定の部品ｓの一対の電極がｘ方向に並ぶ方向に回転することを抑制できる。したがって、部品ｓの電気的特性の測定エラーの発生が低減される。

　なお、特定の部品ｓの底面と底部４４２との摩擦力により、特定の部品ｓの姿勢の乱れを低減させる効果は、少なくとも、底部４４２のｘ方向の寸法が、特定の部品ｓの一対の電極をｙ方向に並ばせた際の特定の部品ｓのｘ方向の寸法よりも大きければよい。底部４４２のｘ方向の寸法が、特定の部品ｓの一対の電極をｘ方向に並ばせた際の特定の部品ｓのｘ方向の寸法よりも小さいことは不可欠ではない。しかし、底部４４２のｘ方向の寸法が、特定の部品ｓの一対の電極をｘ方向に並ばせた際の特定の部品ｓのｘ方向の寸法よりも小さければ、傾斜面４４１Ｌ、４４１Ｒにより、両端の電極が一対の測定子３７の各々に対向する向きで吸着ノズル１８に保持された特定の部品ｓが底部４４２に載置された後に、特定の部品ｓの一対の電極がｘ方向に並ぶ方向に回転することをさらに抑制できる。

　部品ｓが比較的大きな寸法の部品、すなわち、一対の電極がｙ方向に並んだ状態の部品ｓのｘ方向の寸法が、底部４４２のｘ方向の寸法よりも大きい部品ｓを測定する場合、吸着ノズル１８に保持された部品ｓがＶ溝４４ｃに載置されると、部品ｓは底部４４２上に載置できない寸法である。しかし、上方へ向かうにつれて互いに離間する一対の傾斜面４４１Ｌ、４４１Ｒにより、底部４４２上に載置できない寸法の部品ｓをＶ溝４４ｃに載置することができる。部品ｓは図１２または図１３のような姿勢となる。部品ｓが図１２のような姿勢となった場合、部品ｓを構成する面が水平面に対して傾斜した状態で部品ｓが載置された状態となるが、部品ｓと傾斜面４４１Ｌとの接触面積が大きいことや、部品ｓの重量が比較的重いことなどの理由により、図１２の姿勢を維持し易い。部品ｓが図１３のような姿勢となった場合、部品ｓとＶ溝４４ｃとの接触面積は小さいが、部品ｓの重量が比較的重いため、図１３の姿勢を維持し易い。したがって、一対の電極がｙ方向に並んだ状態の部品ｓのｘ方向の寸法が、底部４４２のｘ方向の寸法よりも大きい部品ｓであっても、吸着ノズル１８によりＶ溝４４ｃに載置された姿勢から、部品ｓの一対の電極がｘ方向に並ぶ方向に回転する可能性は、特定の部品ｓより少ない。

　以上のように、特定の部品ｓのＶ溝４４ｃへの載置に着目した実施例において、部品載置部４４が部品載置部に対応し、Ｖ溝４４ｃが溝に対応し、y方向が第一方向に対応し、底部４４２が底部に対応し、傾斜面４４１Ｌ、４４１Ｒが一対の傾斜面に対応し、一対の測定子３７が一対の測定子に対応する。また、ｘ方向が第二方向に対応する。

　なお、部品載置部に底部を設けることにより測定エラーの発生を低減させる効果は、部品載置部の下方に引き寄せ部がなくても達成される。ただし、部品載置部の下方に引き寄せ部を設けることにより、測定エラーの発生を低減させる効果はさらに向上する。

本発明は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。

２２：検査装置２６：ごみ箱２８：廃棄通路２９：本体２９ａ：開口３０：ベース部３０ａ：開口３１：締結部３２：保持台３４：固定子３６：可動子３４ｆ，３６ｆ：対向面４０：保持台移動装置４１：可動子移動装置４２：ＬＣＲ検出部４４：部品載置部４４ｃ：Ｖ溝５０：カバー部７２：エア供給装置１００：制御装置１１８：可動子位置センサ１１８：保持台位置センサ１２４：タイマ　１３０：永久磁石　４４１Ｌ：傾斜面　４４１Ｒ：傾斜面　４４２：底部

特許請求可能な発明

（１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされるとともに、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記保持台を移動させる保持台移動装置と、
その保持台移動装置を制御する保持台移動制御装置と
を含み、かつ、前記保持台移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記保持台を前記部品から設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
保持台は、一対の測定子の接近・離間方向と平行な方向に移動可能としても、交差する方向に移動可能としてもよい。設定値は、例えば、保持台が導電性を有するものである場合において、保持台の影響が部品の電気的特性の測定に及び難い距離とすることができる。
（２）前記保持台を、導電性を有するものとした(1)項に記載の検査装置。
（３）前記一対の測定子が、互いに対向し、前記部品に接触可能な一対の対向面を含み、それら一対の対向面が互いに接近させられることにより前記部品を保持し、互いに離間させられることにより前記部品を放すものであり、
前記保持台移動装置が、前記測定状態から、前記保持台を移動させることにより、前記互いに離間させられた一対の対向面の間の下方に前記保持台が存在しない廃棄状態とする廃棄時制御部を含む(1)項または(2)項に記載の検査装置。
（４）前記保持台移動制御装置が、前記廃棄状態から、前記互いに離間させられた一対の対向面の間の下方へ前記保持台を移動させて、前記保持台が前記部品を保持可能な初期状態とする準備時制御部を含む(3)項に記載の検査装置。
（５）前記装着機が、前記検査装置に接続された廃棄通路を含み、当該検査装置の本体が、前記廃棄通路に連通可能な開口を有する(1)項ないし(4)項のいずれか１つに記載の検査装置。
開口の位置、大きさは、少なくとも、廃棄状態において一対の対向面の間の下方に開口状態にあるように決めることができる。
（６）当該検査装置が、前記一対の測定子の間に電流を供給するとともに前記一対の測定子の間に流れる電流を検出して、前記部品の前記電気的特性を取得する電気的特性取得装置を含み、その電気的特性取得装置が、前記保持台に前記部品が載置させられた時点から設定時間以上が経過した場合に、前記部品の前記電気的特性の測定を開始する遅延型測定部を含む(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載の検査装置。
設定時間は、例えば、部品の除電に要する時間である除電時間とすることができる。除電時間は、部品によって決まる時間であっても、部品に関係なく予め定められた時間であってもよい。
なお、保持台に部品が載置させられている時間を除電時間とすることもできる。
（７）前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、前記固定子に対して相対移動可能な可動子とを含み、
当該検査装置が、前記可動子を前記固定子に対して移動させる可動子移動装置と、その可動子移動装置を制御することにより前記一対の測定子を互いに接近・離間させる可動子移動制御部とを含む(1)項ないし(6)項のいずれか１つに記載の検査装置。
（８）当該検査装置が、前記可動子と前記保持台とを互いに相対移動可能に連結する連結機構を含む(7)項に記載の検査装置。
例えば、可動子は、その可動子の移動方向と平行に伸びた長手形状を成すものとすることができる。また、保持台は、可動子の先端の前方に位置する場合、後方に位置する場合がある。
（９）前記保持台が、横断面がＶ字状を成す溝であるＶ溝を有し、前記一対の測定子の少なくとも一方の先端部の横断面が前記Ｖ溝に対応する三角形状を成す(1)項ないし(8)項のいずれか１つに記載の検査装置。

（１０）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記一対の測定子と前記保持台とを互いに相対移動させる相対移動装置と、
その相対移動装置を制御する相対移動制御装置と
を含み、かつ、前記相対移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記部品と前記保持台とを設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置には、(1)項ないし(9)項のいずれかに記載の技術的特徴を採用することができる。
相対移動装置は、(a)保持台を固定、一対の測定子を移動させる装置としたり、(b)一対の測定子のうちの一方を固定、一対の測定子の他方と保持台とを移動させる装置としたりすること等ができる。
(a)の場合として、例えば、保持台に保持された部品が一対の測定子によってクランプされた状態で、一対の測定子が保持台に対して相対移動させられ、部品と保持台とが設定値以上離間させられる場合が該当する。

（１１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に設けられ、(i)部品を保持可能な保持台と、(ii)互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子とを含む検査装置において前記部品の電気的特性に関する検査を行う検査方法であって、
前記保持台に保持された部品を、一対の測定子が把持するクランプ工程と、
前記一対の測定子によって把持された前記部品から前記保持台を設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定する測定工程と
を含むことを特徴とする検査方法。
本項に記載の検査方法は、(1)項ないし(10)項のいずれかに記載の検査装置において実行され得る。
（１２）前記測定工程の実行後に、前記一対の測定子を互いに離間させ、前記保持台を前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方から退避させる廃棄工程と、
前記保持台を、前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方へ侵入させて、前記部品を保持可能な初期状態とする準備工程と
を含む(11)項に記載の検査方法。
廃棄工程において、一対の測定子の離間と保持台の退避とを順番に行っても、並行しておこなってもよい。

（１３）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
導電性を有し、部品を保持する保持台と、
前記保持台に保持された前記部品を把持するとともに、前記部品が前記保持台から離間した状態で前記部品の電気的特性を取得する電気的特性取得装置と
を含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置は、(1)項ないし(12)項のいずれか１つに記載の技術的特徴を採用することができる。

（１４）前記一対の測定子が、互いに接近させられることにより、一対の対向面が前記部品を挟んで、その部品の電気的特性を測定し、互いに離間させられることにより、前記一対の対向面から前記部品を放すものであり、
当該検査装置が、それら一対の測定子が離間させられる場合に、前記一対の対向面のうちの少なくとも一方である供給対象面に、エアを供給するエア供給装置を含む(1)項ないし(13)項のいずれか１つに記載の検査装置。
一対の測定子が離間させられる場合とは、互いに離間している間、離間している間の一部または全行程、離間開始時、離間終了時等が該当する。
（１５）前記エア供給装置が、前記エアをイオン化するイオナイザを含み、前記イオン化されたエアを前記供給対象面に供給する(14)項に記載の検査装置。
（１６）前記エア供給装置が、前記供給対象面に対向する開口を有するエア通路を含む(14)項または(15)項に記載の検査装置。
供給対象面が一対の対向面の一方である場合には、その一方の供給対象面に対向する開口が１つ設けられ、供給対象面が一対の対向面の両方である場合には、それぞれに対向して開口が２つ設けられる。
（１７）前記エア通路が、前記供給対象面に近づくにつれて下方へ行く向きに傾斜したエア噴出通路を含む(16)項に記載の検査装置。
（１８）前記エア噴出通路の傾斜角度が、前記エアが前記供給対象面の前記部品を把持する部分の上方に当たる角度とされた(17)項に記載の検査装置。
（１９）前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、その固定子に接近・離間可能な可動子とを含み、
前記エア供給装置が、前記可動子が前記固定子から離間させられる場合に、前記供給対象面である前記可動子の対向面に前記エアを供給する可動子供給部を含む(14)項ないし(18)項のいずれか１つに記載の検査装置。
（２０）当該検査装置が、可動子用シリンダを備え、その可動子用シリンダの作動により前記可動子を前記固定子に対して接近・離間させる可動子移動装置を含み、
前記エア供給装置が、前記可動子の前記固定子からの離間に伴って前記可動子用シリンダから流出させられるエアを前記可動子の対向面に供給する駆動源連動型供給部を含む(19)項に記載の検査装置。
（２１）当該検査装置が、前記一対の対向面が離間した状態で、これらの間を覆うカバー部を含む(1)項ないし(20)項のいずれか１つに記載の検査装置。
カバー部は、一対の対向面の間の大部分を覆うものであり、一対の対向面の間の全体を覆うものとする必要は必ずしもなく、多少の隙間がある状態で覆うものであってもよい。一対の対向面が互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面の間の全体を両側から覆うものとすることが望ましい。
（２２）前記カバー部が、前記保持台に取り付けられ、前記保持台が後退端位置にある状態で、前記一対の対向面の間の大部分を側から覆うものである(21)項に記載の検査装置。

Claims

　検査されるべき電子部品が載置される部品載置部と、
　前記部品載置部に載置されるべき電子部品を部品載置部へ引き寄せる引き寄せ部と、
　前記部品載置部に載置された電子部品の複数の電極の各々に電気的に接続可能に設けられた複数の測定子と、
　を含むことを特徴とする電子部品の電気的特性を検査する検査装置。
　前記引き寄せ部は、磁力を利用して、電子部品を前記部品載置部へ引き寄せることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
　前記引き寄せ部は、永久磁石を含むことを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
　前記引き寄せ部は、負圧力を利用して、電子部品を前記部品載置部へ引き寄せることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
　前記部品載置部が略Ｖ字形状であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の検査装置。
　検査されるべき電子部品を保持し、電子部品を予め定められた姿勢で前記部品載置部に載置する部品保持部と、
　請求項１ないし５のいずれか１つに記載の検査装置と
　を含むことを特徴とする電子部品実装機。