WO2022264213A1 - 測定装置 - Google Patents

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WO2022264213A1
WO2022264213A1 PCT/JP2021/022528 JP2021022528W WO2022264213A1 WO 2022264213 A1 WO2022264213 A1 WO 2022264213A1 JP 2021022528 W JP2021022528 W JP 2021022528W WO 2022264213 A1 WO2022264213 A1 WO 2022264213A1
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WO
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component
mover
pair
measuring device
groove
Prior art date
Application number
PCT/JP2021/022528
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English (en)
French (fr)
Inventor
利幸 澤田
Original Assignee
株式会社Fuji
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社Fuji filed Critical 株式会社Fuji
Priority to PCT/JP2021/022528 priority Critical patent/WO2022264213A1/ja
Priority to CN202180098975.0A priority patent/CN117426151A/zh
Priority to JP2023529171A priority patent/JPWO2022264213A1/ja
Priority to EP21945893.2A priority patent/EP4358669A1/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/082—Integration of non-optical monitoring devices, i.e. using non-optical inspection means, e.g. electrical means, mechanical means or X-rays

Definitions

  • the present disclosure relates to a measuring device that measures electrical characteristics of components mounted on a circuit board.
  • Patent Document 1 discloses a measuring device that is mounted on a mounting machine that mounts a component supplied by a component supply device on a circuit board and that measures the electrical characteristics of the component. - A measuring device is described that includes a pair of probes that are spaced apart from each other. In the measuring apparatus described in Patent Document 1, the electrical characteristics of the component are measured by sandwiching the component placed on the mounting table between a pair of probes.
  • the subject of the present disclosure is to improve the measuring device, for example, to stably measure electrical characteristics even if the parts are small.
  • At least one of the pair of probes for gripping the component is provided with a recess capable of accommodating at least part of the component. Since at least a part of the component is accommodated in the concave portion, the component can be well gripped by the pair of probes, and the component can be gripped at a predetermined position by the pair of probes. At least one of being able to be obtained. As a result, it becomes possible to stably measure the electrical characteristics of the component.
  • FIG. 1 is a perspective view of a placement machine including a measuring device that is an embodiment of the present disclosure
  • FIG. It is a perspective view of the said measuring apparatus. It is a side view of the said measuring apparatus. It is a top view of the said measuring apparatus. It is a rear view of the said measuring apparatus.
  • (6A) is a cross-sectional view of a groove portion of the mounting table of the measuring device;
  • (6B) is a front view of a mover of the measuring device;
  • (6C) is a diagram showing a state in which the mover has entered the groove portion of the mounting table of the measuring device.
  • FIG. 3 is a block diagram conceptually showing the periphery of a control device of the measuring device; FIG. It is an operation diagram of the measuring device.
  • (11A) is a diagram showing an initial state.
  • (11B) A diagram showing a clamped state.
  • (11C) A diagram showing a measurement state.
  • (11D) is a diagram showing a discarded state. It is a sectional view of another groove part provided in the above-mentioned mounting base. It is a figure which shows the principal part of the conventional measuring apparatus.
  • a mounting machine including a measuring device which is an embodiment of the present disclosure, will be described in detail below with reference to the drawings.
  • the mounting machine shown in FIG. 1 mounts components on a circuit board, and includes a main body 2, a circuit board transfer/holding device 4, a component supply device 6, a head moving device 8, and the like.
  • the circuit board transporting/holding device 4 transports and holds a circuit board P (hereinafter abbreviated as the board P) in a horizontal posture.
  • the width direction is the y direction
  • the thickness direction of the substrate P is the z direction.
  • the y direction is the longitudinal direction of the mounting machine
  • the z direction is the vertical direction.
  • the component supply device 6 supplies electronic components (hereinafter abbreviated as components) s to be mounted on the substrate P, and includes a plurality of tape feeders 14 and the like.
  • the head moving device 8 holds and moves the mounting head 16 in the x, y, and z directions, and the mounting head 16 has a suction nozzle 18 that suctions and holds the component s.
  • Reference numeral 22 indicates a measuring device.
  • the measuring device 22 measures electrical characteristics of the component s.
  • the electrical characteristics of the component s include L (inductance), C (capacitance), R (resistance), Z' (impedance), etc. One or more of these are measured by the measuring device 22 .
  • the measuring device 22 is provided on the main body of the circuit board transporting and holding device 4 via a collection box 26 .
  • a collection passage 28 is provided between the collection box 26 and the measuring device 22 , and the component s whose electrical characteristics have been measured is stored in the collection box 26 via the collection passage 28 .
  • the measuring device 22 includes (i) a main body 30, (ii) a mounting table 32 on which the part s is placed, (iii) a pair of probes 37 consisting of a stator 34 and a mover 36, (iv) a mounting table moving device 40 for moving the mounting table 32; (v) a mover moving device 41 for moving the mover 36 toward and away from the stator 34; It includes a characteristic measuring unit 42 (see FIG. 10) and the like.
  • the part s has electrodes at both ends and can be gripped by a pair of probes 37, and can be, for example, a square tip.
  • the main body 30 is provided with a through hole 31 that can communicate with the recovery passage 28 . Also, the main body 30 is grounded.
  • the measuring device 22 is attached to the main body of the circuit board transporting/holding device 4 so that the direction of approach/separation of the mover 36 to/from the stator 34 is the y direction, and the direction orthogonal to the direction of approach/separation is the x direction. can be done.
  • the y direction is generally the horizontal direction, and the mover 36 is moved closer to or away from the stator 34 by moving in the horizontal direction.
  • the y direction may be referred to as the approaching/separating direction, or the longitudinal direction of the mover 36 or the groove portion 46 formed in the mounting table 32, which will be described later.
  • the movement of the mover 36 toward the stator 34 may be referred to as forward movement, and the movement of the mover 36 away from the stator 34 may be referred to as retreat.
  • the x direction may be referred to as the width direction of the mover 36 or the groove portion 46 .
  • the mounting table 32 includes a component mounting section 44 and a mounting section holder 45 that holds the component mounting section 44 .
  • the component mounting section 44 is integrally and movably held by the mounting section holder 45, and the mounting section holder 45 is provided on the main body 30 so as to be movable in the y direction (approaching/separating direction). .
  • a groove portion 46 extending in the approaching/separating direction is formed in the component placement portion 44 .
  • the groove portion 46 is generally V-shaped, and as shown in FIG. 6A, includes an upper groove portion 46a having a pair of inclined side surfaces and a lower groove portion 46b having a generally quadrangular cross section provided at the lower portion of the upper groove portion 46a. including.
  • the upper groove portion 46a includes a pair of inclined surfaces 48a and 48b, and the lower groove portion 46b includes a flat bottom surface 50 and a pair of wall surfaces 51a and 51b on both sides of the bottom surface 50. As shown in FIG.
  • the component s placed on the component placement portion 44 may be placed on the bottom surface 50 of the lower groove portion 46b or may be placed while being held by a pair of inclined surfaces 48a and 48b of the upper groove portion 46a. There are cases, etc.
  • a cover portion 52 extending in the approach/separation direction is attached to the mounting table 32 .
  • the cover portion 52 includes a pair of side plates 52 a and 52 b located on both sides of the groove portion 46 of the mounting table 32 .
  • the pair of side plates 52 a and 52 b move integrally with the mounting table 32 .
  • the stator 34 and the mover 36 respectively have facing surfaces 34f and 36f facing each other, and the part s is gripped by the pair of facing surfaces 34f and 36f.
  • the stator 34 is fixed to the main body 30 via a stator holder 55 .
  • the mover 36 is integrally and movably held by a mover holder 56, and the mover holder 56 is provided on the main body 30 so as to be movable in the y direction (approaching/separating direction).
  • the stator holder 55 and the mover holder 56 are positioned on both sides of the mounting section holder 45 in the approach/separation direction.
  • the stator 34 and the mover 36 are connected to the electrical characteristic measuring section 42 via copper wires.
  • the stator 34 includes a body portion 34h and a contact portion 34a as a concave portion forming portion detachably provided on the body portion 34h.
  • the contact portion 34a is detachably attached to the body portion 34h by a bolt 34b as a fixing device.
  • the surface of the contact portion 34a facing the mover 36 is the facing surface 34f.
  • the contact portion 34a is provided with a concave portion 54 that opens to face the groove portion 46 of the component mounting portion 44 in the approaching/separating direction.
  • a bottom surface 54b of the concave portion 54 is a flat surface extending in a direction orthogonal to the approaching/separating direction.
  • the facing surface 34f includes the bottom surface 54b of the recess.
  • the length La of the opening of the recess 54 in the x direction corresponds to the width Wa of the bottom surface 50 of the groove 46 (corresponding to the width of the bottom). That is, the width La of the opening of the recess 54 is substantially the same as the width Wa of the bottom surface 50 (La ⁇ Wa).
  • the depth of the concave portion 54 (the length in the approaching/separating direction from the opening to the bottom surface 54b) Ld is less than 1/2 the length Lp of the component s (Ld ⁇ Lp/2).
  • the component s is a component s whose width Wp is smaller than the width Wa of the bottom surface 50 of the groove 46 (Wp ⁇ Wa). , refers to the smallest part s among a plurality of types of parts s.
  • the mover 36 includes a generally rectangular parallelepiped main body portion 36a and a protruding portion 36b that protrudes downward from the front portion of the main body portion 36a.
  • the mover 36 is held by the mover holder 56 at the rear portion of the body portion 36 a , and the projecting portion 36 b and the body portion 36 a forming the front portion enter the groove portion 46 of the component placement portion 44 .
  • the front end surface of the protruding portion 36b of the mover 36, or the front end surface of the protruding portion 36b and (a part of) the front end surface of the main body portion 36a serve as the opposing surface 36f.
  • the body portion 36a is provided in a posture in which the longitudinal direction of the rectangular parallelepiped extends in the approaching/separating direction.
  • the projecting portion 36b has a size and shape that can be engaged with the groove portion 46, as shown in FIGS. 6B and 6C.
  • the projecting portion 36b includes a lower groove engaging portion 57 that engages with the lower groove portion 46b and an upper groove engaging portion 58 that engages with a portion of the upper groove portion 46a.
  • the upper groove engaging portion 58 has a pair of inclined surfaces 58 a and 58 b that face part of the pair of inclined surfaces 48 a and 48 b of the groove portion 46 .
  • the lower groove engaging portion 57 has a bottom surface 50 of the lower groove portion 46b, a lower end surface 57d facing the pair of wall surfaces 51a and 51b, and a pair of side surfaces 57a and 57b.
  • the body portion 36 a is separated from the pair of inclined surfaces 48 a and 48 b of the groove portion 46 .
  • the mounting table moving device 40 and the mover moving device 41 include air cylinders 60 and 62 as driving sources, a pair of guide rails 64 and 66 provided on the main body 30, a guide rail 64, It includes a pair of stage sliders 68, 69 and a pair of mover sliders 70, 71 movably engaged with 66, electromagnetic valve devices 74, 76 (see FIGS. 9 and 10), an air source 77, and the like.
  • a pair of guide rails 64 and 66 are fixed to the main body 30 while being separated in the x direction (the width direction of the mover 36) while extending in the y direction (approaching/separating direction).
  • the mounting section holder 45 is fixed to the mounting table sliders 68 and 69 .
  • the mover holders 56 are fixed to the mover sliders 70 and 71, respectively.
  • a piston rod 60r (see FIG. 9) of an air cylinder 60 is attached to the mounting portion holder 45, and a piston rod 62r of an air cylinder 62 is attached to the mover holder 56.
  • the air cylinders 60, 62 are provided with the piston rods 60r, 62r extending in the approach/separation direction.
  • an air passage 92 is provided in a member on the stator side ⁇ for example, the upper part of the stator 34, the stator holder 55, etc. ⁇ .
  • the air passage 92 has an opening 93 that opens to a portion of the stator-side member facing the facing surface 36 f of the mover 36 .
  • An ionizer 94 is connected to the air passage 92 .
  • the ionizer 94 causes corona discharge to ionize the air.
  • a solenoid valve device 74 is provided between the two air chambers 60a and 60b of the air cylinder 60, the air source 77, the air passage 92, and the filter (atmosphere). Movement of the mounting table 32 and the like are controlled by controlling the electromagnetic valve device 74 .
  • An air source 77 , an air passage 92 and a filter (atmosphere) are selectively connected to the air chambers 62 a and 62 b of the air cylinder 62 via an electromagnetic valve device 76 .
  • an electromagnetic valve device 76 By controlling the solenoid valve device 76, the movement of the mover holder 56 (the mover 36) and the like are controlled. Further, when the mounting table 32 advances and the mover 36 retreats, air is supplied from the air cylinders 60 and 62 to the air passage 92 and the air flows out from the opening 93 .
  • an air supply device 96 is composed of the air passage 92, the air source 77, the air cylinders 60 and 62, and the like.
  • the air supply device 96 has common components with the mover moving device 41 and the mounting table moving device 40 .
  • the mover 36 is attached to the mover holder 56 with respect to the body 30 of the mover 36, which is the height, which is the vertical position in the z direction, and the position in the width direction of the mover 36, which is the x direction. and tilting about an axis X extending in the x-direction are held adjustable.
  • the front portion of the mover 36 has a shape and size that allows engagement with the groove portion 46 .
  • the mover 36 is assembled to the mover holder 56 in such a state that the gap between the mover 36 and the groove portion 46 is extremely small. Therefore, even if the component s is small and placed on the bottom surface 50 of the groove 46, it is gripped by the opposing surface 36f of the mover 36 and the opposing surface 34f of the stator 34, and the electrical characteristics are measured. can be
  • the vertical position of the movable element 36 with respect to the main body 30, the widthwise position of the movable element 36, and the inclination about the axis X are adjustable, thereby The relative positional relationship between the placement portion 44 and the groove portion 46 is made adjustable.
  • the mover holder 56 consists of a holder body 78 fixed to a pair of mover sliders 70 and 71 and a width holder 78 attached to the holder body 78 by two bolts D1 and D2. It includes a directionally movable member 80, a rotating member 82 attached to the widthwisely movable member 80 by bolts E1 and E2, and a vertically movable member 84 attached to the rotating member 82 by bolts F1 and F2.
  • the mover 36 is attached to the vertically movable member 84 by a bolt N so as to be integrally movable.
  • the bolts D1 and D2 extend vertically, pass through the width direction movable member 80, and are screwed into the holding body main body 78.
  • the bolts F1 and F2 extend in the approaching/separating direction, pass through the rotating member 82, and are threadedly engaged with the vertically movable member 84. As shown in FIG. A state in which these bolts are tightened so that the two members cannot move relative to each other is referred to as a fixed state.
  • the bolts D1 and D2 are loosened.
  • the width direction movable member 80 , the rotating member 82 , the vertical direction movable member 84 and the mover 36 are integrally movable in the width direction of the mover 36 . Since the width direction movable member 80 and the holder main body 78 are provided with a gap R11 in the x direction, the width direction movable member 80 is allowed to move in the x direction with respect to the holder main body 78 .
  • the width direction movable member 80 and the like By moving the width direction movable member 80 and the like along the upper surface of the holder main body 78 in the width direction of the mover 36, the position of the mover 36 in the width direction is adjusted, and the bolts D1 and D2 are tightened.
  • the widthwise position of the mover 36 can be adjusted within the range of the clearance between the bolts D1 and D2 and the through hole of the widthwise movable member 80 .
  • the operation of the bolt D2 is performed using a through hole 86 provided in the vertically movable member 84 and penetrating vertically. A jig is passed through the through hole 86 and engaged with the head of the bolt D2 to loosen or tighten the bolt D2.
  • the widthwise movable member 80 is fixed to the holder main body 78 by the bolts D1 and D2, and the rotating member 82 is fixed to the widthwise movable member 80 by the bolts E1 and E2, and then the bolts F1 and F2 are loosened.
  • the vertically movable member 84 and the mover 36 can move vertically with respect to the widthwise movable member 80 and the rotating member 82 .
  • Vertical movement of the vertical movable member 84 is allowed by the vertical clearance R12 between the vertical movable member 84 and the width direction movable member 80 and the rotating member 82 .
  • the stepped surface 84a of the vertically movable member 84 and the inner surface 80a of the widthwise movable member 80 are in contact with each other, the movement of the vertically movable member 84 in the x direction is restricted. .
  • the vertically movable member 84 and the like are moved vertically along the widthwise movable member 80, the height of the movable element 36, which is the vertical position, is adjusted, and the bolts F1 and F2 are tightened.
  • the vertical position of the mover 36 can be adjusted within the range of the clearance between the bolts F1, F2 and the through hole of the rotating member 82. As shown in FIG.
  • the width direction movable member 80 fixed to the holder main body 78 by the bolts D1 and D2 and the vertical direction movable member 84 fixed to the rotating member 82 by the bolts F1 and F2, the bolts E1 and E2 are loosened.
  • the rotating member 82 , the vertically movable member 84 and the movable element 36 are rotatable about the axis X with respect to the widthwise movable member 80 . Due to the vertical gap R13 between the rotating member 82 and the holding body main body 78 and the vertical gap R12 between the rotating member 82 and the width direction movable member 80, the rotation of the rotating member 82 around the axis X is Rotation is allowed. Further, since the inner side surface 82a of the rotating member 82 and the outer side surface 80b of the width direction movable member 80 are in contact with each other, the movement of the rotating member 82 in the x direction is restricted.
  • the mover 36 is fixed to the vertically movable member 84 by bolts N, but as shown in FIGS. A vertically extending projection 36s provided on the side surface of the child 36 is fitted. Therefore, when the bolt N is loosened, the mover 36 can move vertically relative to the vertically movable member 84 .
  • the vertical position of the movable element 36 can also be adjusted by the vertical movement of the movable element 36 with respect to the vertical movable member 84 .
  • the gap between the mover 36 and the groove 46 is measured with a jig such as a dial gauge or a strain gauge while the mover 36 is inserted into the groove 46 of the mounting table 32.
  • a jig such as a dial gauge or a strain gauge
  • the width direction movable member 80, the rotating member 82, the vertical direction movable member 84, the bolt N, the bolts D1 and D2, the bolts E1 and E2, the bolts F1 and F2, and the protrusion provided on the mover 36 36s, a concave portion 84r provided in the vertically movable member 84, and the like constitute an adjusting mechanism 88. As shown in FIG.
  • the mounting machine includes a control device 200.
  • the control device 200 includes a computer-based controller 202 and a plurality of drive circuits 204, as shown in FIG.
  • the controller 202 is connected to the circuit board transporting/holding device 4, the component supply device 6, and the head moving device 8 via a drive circuit 204, respectively.
  • Devices 74, 76, etc. are connected.
  • the camera 20, the electrical property measuring section 42, the display 216, the mounting table position sensor 218, the mover position sensor 220, etc. are connected.
  • the electromagnetic valve devices 74 and 76 are controlled based on output signals from the mounting table position sensor 218 and the mover position sensor 220, and the like. Also, the measurement results of the electrical characteristics of the component s can be displayed on the display 216.
  • the measuring device 22 is always in the initial state shown in FIG. 11A.
  • the mover 36 is at the backward end position, and the mounting table 32 is at the forward end position.
  • the mounting head 16 is moved.
  • the component s is held by the suction nozzle 18 , moved, and placed in the groove 46 .
  • the mover 36 is advanced under the control of the electromagnetic valve device 76, and the part s is clamped by the mover 36 and the stator 34 as shown in FIG. 11B.
  • the mounting table 32 is retracted under the control of the solenoid valve device 74 .
  • the mounting table 32 is retracted to a position away from the component s and the pair of probes 37 , in other words, to a position where the projecting portion 36 b of the mover 36 is separated from the groove portion 46 .
  • the electrical characteristics of the component s are measured after the static elimination time, which is the set time, has elapsed since the component s was placed on the groove portion 46 .
  • the static elimination time is the time during which static electricity charged on the component s is eliminated, and is predetermined.
  • the mover 36 is further retracted, and the mounting table 32 is retracted. Since the space between the mover 36 and the stator 34 is communicated with the collection passage 28 , the parts s can be collected into the collection box 26 .
  • the mounting table 32 is moved forward and positioned between the pair of facing surfaces 34f and 36f. A space is provided above the groove 46 so that the component s can be placed thereon, and the measuring device 22 is returned to the initial state shown in FIG. 11A.
  • air containing ions is supplied to the facing surface 36f of the mover 36, so that the facing surface 36f can be neutralized.
  • the stator 34 is provided with recesses 54 that are open facing the ends of the grooves 46 .
  • the part s placed on the bottom surface 50 of the groove 46 is moved along the bottom surface 50 by the advance of the mover 36 and comes into contact with the bottom surface 54 b of the recess 54 .
  • the part s is gripped by the facing surface 36f of the mover 36 and the facing surface 34f of the stator 34 (the bottom surface 54b of the recess 54). Therefore, even if the component s is small, the component s can be satisfactorily gripped by the pair of facing surfaces 34f and 36f, and the electrical characteristics of the component s can be stably measured.
  • the electrical characteristics of the component s are measured while it is housed in the recess 54 and in contact with the bottom surface 54b. In this way, when measuring the electrical characteristics, the posture of the component s can be made substantially the same, and the position of the component s can be made substantially the same. The electrical characteristics can be measured while the part s is positioned in a fixed posture. As a result, the electrical characteristics of the component s can be measured more stably, and the measurement accuracy can be improved.
  • the depth of the concave portion 54 is less than half the length of the component s, the component s can be favorably dropped when the pair of facing surfaces 34f and 36f are separated from each other.
  • the cover portion 52 is located on both sides between the pair of facing surfaces 34f and 36f while the pair of facing surfaces 34f and 36f are separated from each other. Therefore, as the mover 36 retreats, the air blows out from the opening 93 and circulates inside the cover portion 52 . Thereby, the component s accommodated in the recessed part 54 can be dropped favorably.
  • the relative positional relationship of the mover 36 with respect to the main body 30 is adjustable, the relative positional relationship of the mover 36 with respect to the groove 46 of the part mounting portion 44 can be adjusted, and the projecting portion 36b of the mover 36 can be adjusted. and the groove 46 can be made small or close to zero.
  • the component s can be better gripped by the pair of facing surfaces 34f and 36f, and the electrical characteristics of the component s can be stably measured.
  • the component mounting section 44 is electrically connected to the main body 30 via the mounting section holder 45 and the guide rails 64 and 66, and the mover 36 is connected to the movable element holder 56 and the guide rails. It is in electrical communication with body 30 via 64 and 66 . Therefore, the static elimination of the component s and the static elimination of the mounting table 32, the mover 36, etc. are performed satisfactorily. In particular, it is possible to remove static electricity from the mounting table 32 and the mover 36 regardless of whether the mounting table 32 and the mover 36 (moving element holder 56) are in a stopped state or in a moving state. Therefore, the electrical characteristics of the component s can be stably measured. Even if the component s has a small impedance, the impedance of the component s can be measured with high accuracy.
  • the pair of probes are moved in the horizontal direction so as to approach or separate from each other. It can be made separable.
  • the relative positional relationship between the mover 36 and the component mounting portion 44 is adjusted by adjusting the relative positional relationship of the mover 36 with respect to the main body 30. By adjusting the relative positional relationship between the placement section 44 and the main body 30, the relative positional relationship between the mover 36 and the component placement section 44 can be adjusted.
  • the shape of the groove portion 46 does not matter.
  • the groove 146 can have a shape with a flat bottom surface 150 and a pair of inclined surfaces 152a, 152b.
  • the width of the opening of the recess 54 provided in the contact portion 34a of the stator 34 can be substantially the same as the width of the bottom surface 150 (corresponding to the width of the bottom portion).
  • the depth Ld of the recess 54 is such that when there are multiple types of parts s whose width Wp is smaller than the width of the bottom surface 50 of the groove 46 or the width of the bottom surface 150 of the groove 146, the length of the multiple types of parts s is intermediate. It can be less than 1/2 of the length Lp of the maximum or less than 1/2 of the length Lp of the maximum.
  • Measuring device 30 Main body 32: Mounting table 34: Stator 36: Movable element 36s: Convex part 42: Electrical characteristic measuring part 46: Groove part 56: Movable element holder 80: Width direction movable member 82: Rotating member 84: vertical movable member 84r: concave portion 86: through hole D1, D2, E1, E2, F1, F2, N: bolt

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Abstract

測定装置の改良であり、例えば、部品が小さくても、電気的特性を安定的に測定可能とすることである。　本測定装置においては、部品を把持する一対の測定子のうちの少なくとも一方に、部品の少なくとも一部を収容可能な凹部が設けられる。このように、凹部に部品の一部が収容されるため、部品を一対の測定子により良好に把持することが可能となること、一対の測定子により部品の決まった位置で把持することが可能となることとの少なくとも一方が得られる。その結果、部品の電気的特性を安定的に測定することが可能となる。

Description

測定装置
　本開示は、回路基板に装着される部品の電気的特性の測定を行う測定装置に関するものである。
　特許文献１には、部品供給装置によって供給された部品を回路基板に装着する装着機に搭載され、部品の電気的特性を測定する測定装置であって、部品が載せられる載置台と、互いに接近・離間可能に設けられた一対の測定子とを含む測定装置が記載されている。特許文献１に記載の測定装置において、載置台に載せられた部品が、一対の測定子により挟まれることによって部品の電気的特性が測定される。
国際公開第２０１７／９９８７号パンフレット
概要
課題
　本開示の課題は、測定装置の改良であり、例えば、部品が小さくても、電気的特性を安定的に測定可能とすることである。
課題を解決するための手段、作用および効果
　本開示に係る測定装置においては、部品を把持する一対の測定子のうちの少なくとも一方に、部品の少なくとも一部を収容可能な凹部が設けられる。このように、凹部に部品の少なくとも一部が収容されるため、部品を一対の測定子により良好に把持することが可能となること、一対の測定子により部品の決まった位置で把持することが可能となることとの少なくとも一方が得られる。その結果、部品の電気的特性を安定的に測定することが可能となる。
本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機の斜視図である。 上記測定装置の斜視図である。 上記測定装置の側面図である。 上記測定装置の平面図である。 上記測定装置の背面図である。 (6A)上記測定装置の載置台の溝部の断面図である。(6B)上記測定装置の可動子の正面図である。(6C)上記測定装置の載置台の溝部に可動子が進入した状態を示す図である。 上記測定装置の要部の斜視図である。 上記測定装置の要部の側面図（一部断面図）である。 上記測定装置に含まれるエア回路図である。 上記測定装置の制御装置の周辺を概念的に表すブロック図である。 上記測定装置の作動図である。(11A)初期状態を示す図である。(11B)クランプ状態を示す図である。(11C)測定状態を示す図である。(11D)廃棄状態を示す図である。 上記載置台に設けられた別の溝部の断面図である。 従来の測定装置の要部を示す図である。
実施形態
　以下、本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。
　図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
　回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向は装着機の前後方向であり、ｚ方向は上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。
　符号２２は測定装置を示す。測定装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定するものである。部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、測定装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。
　測定装置２２は、回収箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。回収箱２６と測定装置２２との間に回収通路２８が設けられ、電気的特性が測定された部品ｓが、回収通路２８を経て回収箱２６に収容される。
　測定装置２２は、図２－６に示すように、(i)本体３０、(ii)部品ｓが載せられる載置台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)載置台３２を移動させる載置台移動装置４０、(v)可動子３６を固定子３４に対して接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性取得部としての電気的特性測定部４２(図１０参照)等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端部に電極を有し、一対の測定子３７によって把持可能なものであり、例えば、角チップとすることができる。本体３０には、回収通路２８と連通可能な貫通穴３１が設けられる。また、本体３０はアースされている。
　測定装置２２は、例えば、可動子３６の固定子３４に対する接近・離間方向がｙ方向、接近・離間方向に直交する方向がｘ方向となるように、回路基板搬送保持装置４の本体に取り付けることができる。ｙ方向は、概して水平方向であり、可動子３６は水平方向の移動により、固定子３４に対して接近・離間させられる。以下、ｙ方向を、接近・離間方向、可動子３６や後述する載置台３２に形成された溝部４６の長手方向と称する場合がある。また、可動子３６が固定子３４に接近する方向の動きを前進と称し、可動子３６が固定子３４から離間する方向の動きを後退と称する場合がある。載置台３２の動きについても同様とする。さらに、ｘ方向を、可動子３６または溝部４６の幅方向と称する場合がある。
　載置台３２は、部品載置部４４と、部品載置部４４を保持する載置部保持体４５とを含む。部品載置部４４は、載置部保持体４５に、一体的に移動可能に保持され、載置部保持体４５は、本体３０に、ｙ方向（接近・離間方向）に移動可能に設けられる。
　部品載置部４４には接近・離間方向に延びた溝部４６が形成される。溝部４６は、概してＶ字形を成すものであり、図６Ａに示すように、一対の側面が傾斜した上溝部４６ａと、上溝部４６ａの下部に設けられ、断面が概して四角形を成す下溝部４６ｂとを含む。上溝部４６ａは、一対の傾斜面４８ａ、４８ｂを含み、下溝部４６ｂは、平坦面である底面５０と、底面５０の両側の一対の壁面５１ａ、５１ｂとを含む。
　部品載置部４４に載置される部品ｓは、下溝部４６ｂの底面５０の上に載置される場合や、上溝部４６ａの一対の傾斜面４８ａ、４８ｂに保持されて、載置される場合等がある。
　なお、載置台３２には接近・離間方向に延びたカバー部５２が取り付けられる。カバー部５２は、載置台３２の溝部４６の両側に位置する一対の側板５２ａ，５２ｂを含む。一対の側板５２ａ，５２ｂは、載置台３２と一体的に移動する。
　固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体３０に固定される。可動子３６は可動子保持体５６に一体的に移動可能に保持され、可動子保持体５６が本体３０に、ｙ方向（接近・離間方向）に移動可能に設けられる。固定子保持体５５、可動子保持体５６は、接近・離間方向において、載置部保持体４５の両側に位置する。なお、固定子３４と可動子３６とはそれぞれ銅線を介して電気的特性測定部４２に接続される。
　また、固定子３４は、本実施例においては、本体部３４ｈと、本体部３４ｈに対して着脱可能に設けられた凹部形成部としての当接部３４ａとを含む。当接部３４ａは、本体部３４ｈに固定装置としてのボルト３４ｂによって着脱可能に取り付けられる。本実施例において、当接部３４ａの可動子３６に対向する面が対向面３４ｆとされる。
　図７，８に示すように、当接部３４ａには、接近・離間方向において部品載置部４４の溝部４６に対向して開口する凹部５４が設けられる。凹部５４の底面５４ｂは平坦面であり、接近・離間方向に対して直交する方向に延びた面である。本実施例において、対向面３４ｆは凹部の底面５４ｂを含む。また、凹部５４の開口のｘ方向（溝部４６の幅方向）の長さＬａは、溝部４６の底面５０の幅（底部の幅に対応）の長さＷａに対応する。すなわち、凹部５４の開口の幅Ｌａは、底面５０の幅Ｗａとほぼ同じである（Ｌａ≒Ｗａ）。
　凹部５４の深さ（開口から底面５４ｂまでの接近・離間方向の長さ）Ｌｄは、部品ｓの長さＬｐの１／２未満（Ｌｄ＜Ｌｐ／２）とされている。部品ｓとは、部品ｓの幅Ｗｐが溝部４６の底面５０の幅Ｗａより小さい（Ｗｐ＜Ｗａ）部品ｓであり、幅Ｗｐが底面５０の幅Ｗａより小さい部品ｓが複数種類ある場合には、複数種類の部品ｓのうちの最も小さい部品ｓをいう。このように、深さＬｄを部品ｓの長さＬｐの１／２未満とすることにより、部品ｓの電気的特性の測定後、部品ｓを凹部５４から良好に落下させることができる。
　可動子３６は、概して直方体状を成した本体部３６ａと、本体部３６ａの前部において下方に突出した突出部３６ｂとを含む。可動子３６は、本体部３６ａの後部において可動子保持体５６に保持され、前部を構成する突出部３６ｂと本体部３６ａとが部品載置部４４の溝部４６に進入する。本実施例において、可動子３６の突出部３６ｂの前端面、または、突出部３６ｂの前端面と本体部３６ａの前端面（の一部）とが対向面３６ｆとされる。
　本体部３６ａは、直方体の長手方向が接近・離間方向に延びた姿勢で設けられる。
　突出部３６ｂは、図６Ｂ，図６Ｃに示すように、溝部４６に係合可能な大きさ、形状を成す。突出部３６ｂは、下溝部４６ｂに係合する下溝係合部５７と、上溝部４６ａの一部に係合する上溝係合部５８とを含む。上溝係合部５８は、溝部４６の一対の傾斜面４８ａ、４８ｂの一部に対向する一対の傾斜面５８ａ、５８ｂを有する。下溝係合部５７は、それぞれ、下溝部４６ｂの底面５０、一対の壁面５１a、５１ｂに対向する下端面５７ｄ、一対の側面５７ａ，５７ｂを有する。本体部３６aは、溝部４６の一対の傾斜面４８ａ、４８ｂから離間している。
　載置台移動装置４０、可動子移動装置４１は、それぞれ、図３に示すように、駆動源としてのエアシリンダ６０，６２、本体３０に設けられた一対のガイドレール６４，６６、ガイドレール６４，６６に移動可能に係合させられた一対の載置台スライダ６８，６９および一対の可動子スライダ７０，７１、電磁弁装置７４，７６（図９，１０参照）、エア源７７等を含む。
　一対のガイドレール６４，６６は、ｙ方向（接近・離間方向）に延びた姿勢で、ｘ方向（可動子３６の幅方向）に隔てて、本体３０に固定される。また、載置台スライダ６８，６９には載置部保持体４５が固定される。可動子スライダ７０，７１には可動子保持体５６がそれぞれ固定される。さらに、載置部保持体４５には、エアシリンダ６０のピストンロッド６０ｒ（図９参照）が取り付けられ、可動子保持体５６には、エアシリンダ６２のピストンロッド６２ｒが取り付けられる。エアシリンダ６０，６２は、ピストンロッド６０ｒ、６２ｒが接近・離間方向に延びた姿勢で設けられる。
　一方、固定子側の部材｛例えば、固定子３４の上部、固定子保持体５５等｝には、エア通路９２が設けられる。エア通路９２は、固定子側の部材の、可動子３６の対向面３６ｆに対向する部分に開口する開口９３を有する。また、エア通路９２にはイオナイザ９４が接続される。イオナイザ９４は、コロナ放電を生起させてエアをイオン化するものである。
　エアシリンダ６０の２つのエア室６０ａ，６０ｂ、エア源７７、エア通路９２、フィルタ（大気）の間に電磁弁装置７４が設けられる。電磁弁装置７４の制御により載置台３２の移動等が制御される。
　エアシリンダ６２のエア室６２ａ，６２ｂには、電磁弁装置７６を介して、エア源７７、エア通路９２、フィルタ（大気）が選択的に接続される。電磁弁装置７６の制御により、可動子保持体５６（可動子３６）の移動等が制御される。また、載置台３２の前進時、可動子３６の後退時には、エアシリンダ６０，６２からエア通路９２にエアが供給され、開口９３からエアが流出させられる。
　本実施例においては、エア通路９２、エア源７７、エアシリンダ６０，６２等によりエア供給装置９６が構成される。エア供給装置９６は、可動子移動装置４１、載置台移動装置４０と共通の構成要素を有する。
　本実施例において、可動子３６は、可動子保持体５６に、可動子３６の本体３０に対する、ｚ方向である上下方向の位置である高さと、ｘ方向である可動子３６の幅方向の位置と、ｘ方向に延びた軸線Ｘの周りの傾きとが調節可能に保持される。
　本実施例において、可動子３６の前部が、溝部４６に係合可能な形状、大きさを成す。また、可動子３６は、溝部４６との隙間が非常に小さくなる状態で可動子保持体５６に組み付けられる。そのため、たとえ、部品ｓが小さく、溝部４６の底面５０に載置された場合であっても、可動子３６の対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとによって把持され、電気的特性が測定され得る。
　しかし、可動子３６の可動子保持体５６に対する組付け誤差等に起因して、可動子３６が溝部４６に進入した場合に、図１３に示すように、可動子３６と溝部４６との間に隙間、例えば、可動子３６の下端面５７ｄと溝部４６の底面５０との間等に隙間が生じる場合がある。そのため、一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって、底面５０に載置された部品ｓを把持することができず、電気的特性を測定することができなかったり、部品ｓを良好に把持することができず、電気的特性を精度よく測定することができなかったりする。
　そこで、本実施例においては、可動子３６の、本体３０に対する上下方向の位置、可動子３６の幅方向の位置、軸線Ｘの周りの傾きを調節可能とすることにより、可動子３６と部品載置部４４の溝部４６との相対位置関係を調節可能としたのである。
　図２－５に示すように、可動子保持体５６は、一対の可動子スライダ７０，７１に固定された保持体本体７８と、保持体本体７８に２つのボルトＤ１，Ｄ２によって取り付けられた幅方向可動部材８０と、幅方向可動部材８０にボルトＥ１，Ｅ２によって取り付けられた回動部材８２と、回動部材８２にボルトＦ１，Ｆ２によって取り付けられた上下方向可動部材８４とを含む。可動子３６は、ボルトＮによって上下方向可動部材８４に一体的に移動可能に取り付けられる。
　ボルトＤ１，Ｄ２は、上下方向に延び、幅方向可動部材８０を貫通して、保持体本体７８において螺合し、ボルトＥ１，Ｅ２は、可動子３６の幅方向に延び、回動部材８２を貫通して幅方向可動部材８０において螺合し、ボルトＦ１，Ｆ２は、接近・離間方向に延び、回動部材８２を貫通して上下方向可動部材８４において螺合した状態で設けられる。なお、これらボルトが締められ、２つの部材が相対移動不能な状態を、固定された状態と称する。
　ボルトＥ１，Ｅ２によって回動部材８２が幅方向可動部材８０に固定され、ボルトＦ１，Ｆ２によって上下方向可動部材８４が回動部材８２に固定された状態で、ボルトＤ１，Ｄ２を緩める。幅方向可動部材８０、回動部材８２、上下方向可動部材８４および可動子３６は、一体的に、可動子３６の幅方向に移動可能となる。幅方向可動部材８０と保持体本体７８とはｘ方向において隙間Ｒ１１を隔てて設けられるため、幅方向可動部材８０の保持体本体７８に対するｘ方向の移動が許容される。
　幅方向可動部材８０等を保持体本体７８の上面に沿って可動子３６の幅方向に移動させることにより、可動子３６の幅方向の位置を調節し、ボルトＤ１，Ｄ２を締める。ボルトＤ１，Ｄ２と幅方向可動部材８０の貫通穴との隙間の範囲内において、可動子３６の幅方向の位置を調節することができる。なお、ボルトＤ２の操作は、上下方向可動部材８４に設けられた上下方向に貫通した貫通穴８６を利用して行われる。貫通穴８６から治具を通してボルトＤ２の頭部に係合し、ボルトＤ２を緩めたり締めたりする。
　ボルトＤ１，Ｄ２によって幅方向可動部材８０が保持体本体７８に固定され、ボルトＥ１，Ｅ２によって回動部材８２が幅方向可動部材８０に固定された状態で、ボルトＦ１，Ｆ２を緩める。それにより、上下方向可動部材８４および可動子３６が、幅方向可動部材８０、回動部材８２に対して上下方向に移動可能とされる。上下方向可動部材８４と幅方向可動部材８０、回動部材８２との上下方向の隙間Ｒ１２により、上下方向可動部材８４の上下方向の移動が許容される。また、図５に示すように、上下方向可動部材８４の段面８４ａと幅方向可動部材８０の内側面８０ａとが当接しているため、上下方向可動部材８４のｘ方向の移動が制限される。
　上下方向可動部材８４等を、幅方向可動部材８０に沿って上下方向に移動させ、可動子３６の上下方向の位置である高さを調節して、ボルトＦ１，Ｆ２を締める。ボルトＦ１，Ｆ２と回動部材８２の貫通穴との隙間の範囲内において、可動子３６の上下方向の位置を調節することができる。
　ボルトＤ１，Ｄ２によって幅方向可動部材８０が保持体本体７８に固定され、ボルトＦ１，Ｆ２によって上下方向可動部材８４が回動部材８２に固定された状態で、ボルトＥ１，Ｅ２が緩められる。それにより、回動部材８２、上下方向可動部材８４および可動子３６が幅方向可動部材８０に対して軸線Ｘの周りに回動可能とされる。回動部材８２と保持体本体７８との間の上下方向における隙間Ｒ１３、回動部材８２と幅方向可動部材８０との間の上下方向における隙間Ｒ１２等により、回動部材８２の軸線Ｘ周りの回動が許容される。また、回動部材８２の内側面８２ａと幅方向可動部材８０の外側面８０ｂとが当接しているため、回動部材８２のｘ方向の移動が制限される。
　回動部材８２（および上下方向可動部材８４、可動子３６）を軸線Ｘの周りに回動させることにより可動子３６のＸ軸の周りの傾きを調節してボルトＥ１，Ｅ２を締める。それにより、可動子３６のＸ軸の周りの傾きを調節することができる。
　なお、上下方向可動部材８４には可動子３６がボルトＮによって固定されているが、図２，４に示すように、上下方向可動部材８４に設けられた上下方向に延びた凹部８４ｒに、可動子３６の側面に設けられた上下方向に延びた凸部３６ｓが嵌合されている。そのため、ボルトＮが緩められた状態で、上下方向可動部材８４に対して可動子３６が上下方向に相対移動可能とされる。この上下方向可動部材８４に対する可動子３６の上下方向の移動によっても、可動子３６の上下方向の位置を調節することができる。
　これら作業は、例えば、可動子３６を載置台３２の溝部４６に進入させた状態で、その可動子３６と溝部４６との隙間をダイヤルゲージ、歪ゲージ等の治具を用いて測定し、これらが小さくなるように、作業者によって行われるようにすることができる。
　本実施例においては、幅方向可動部材８０、回動部材８２、上下方向可動部材８４、ボルトＮ、ボルトＤ１，Ｄ２、ボルトＥ１，Ｅ２、ボルトＦ１，Ｆ２、可動子３６に設けられた凸部３６ｓ、上下方向可動部材８４に設けられた凹部８４ｒ等により調節機構８８が構成される。
　当該装着機は制御装置２００を含む。制御装置２００は、図１０に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ２０２と、複数の駆動回路２０４とを含む。コントローラ２０２には、回路基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路２０４を介して接続されるとともに、載置台移動装置４０、可動子移動装置４１の電磁弁装置７４，７６等が接続される。また、カメラ２０、電気的特性測定部４２、ディスプレイ２１６、載置台位置センサ２１８、可動子位置センサ２２０等が接続される。電磁弁装置７４，７６は、載置台位置センサ２１８、可動子位置センサ２２０の出力信号等に基づいて制御される。また、部品ｓの電気的特性の測定結果は、ディスプレイ２１６に表示されるようにすることができる。
　以上のように構成された測定装置２２において、部品ｓの電気的特性が測定される場合の作動について説明する。
　測定装置２２は、常には、図１１Ａに示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、載置台３２は前進端位置にある。部品ｓの電気的特性の測定指令が出されると、装着ヘッド１６が移動させられる。吸着ノズル１８によって部品ｓが保持され、移動させられ、溝部４６に載置させられる。
　電磁弁装置７６の制御により可動子３６が前進させられ、図１１Ｂに示すように、可動子３６と固定子３４とにより部品ｓがクランプされる。次に、図１１Ｃに示すように、電磁弁装置７４の制御により載置台３２が後退させられる。載置台３２は、部品ｓおよび一対の測定子３７から離間した位置、換言すると、可動子３６の突出部３６ｂが、溝部４６から離間した位置に後退させられる。
　一方、部品ｓが溝部４６に載せられた時から、設定時間である除電時間が経過した後に、部品ｓの電気的特性が測定される。除電時間は、部品ｓに帯電していた静電気が除去される時間であり、予め決められている。部品ｓの電気的特性の測定が終了した後に、可動子３６が後退させられ、可動子３６と固定子３４との間に把持されていた部品ｓが開放される。また、可動子３６の後退に伴って、エアが開口９３から可動子３６の対向面３６ｆに斜め上方から供給される。
　次に、図１１Ｄが示すように、可動子３６がさらに後退させられ、載置台３２が後退させられる。可動子３６と固定子３４との間の空間は、回収通路２８に連通させられるため、部品ｓを回収箱２６へ回収することができる。その後、載置台３２が前進させられ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間に位置する。溝部４６の上方が空間とされ、部品ｓが載置可能とされ、測定装置２２が図１１Ａに示す初期状態に戻される。また、載置台３２の前進に伴って、イオンを含むエアが可動子３６の対向面３６ｆに供給されるため、対向面３６ｆの除電を図ることもできる。
　本実施例においては、固定子３４に、溝部４６の端部に対向して開口した凹部５４が設けられる。溝部４６の底面５０に載置された部品ｓは、可動子３６の前進により、底面５０に沿って移動させられ、凹部５４の底面５４ｂに当接する。部品ｓは、可動子３６の対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆ（凹部５４の底面５４ｂ）とによって把持される。そのため、部品ｓが小さくても、一対の対向面３４ｆ、３６ｆにより部品ｓを良好に把持することが可能となり、部品ｓの電気的特性を安定して測定することができ、
　また、部品ｓは凹部５４に収容されて、底面５４ｂに当接した状態で、電気的特性が測定される。このように、電気的特性の測定の際に、部品ｓの姿勢をほぼ同じすることができ、部品ｓの位置をほぼ同じにすることができる。部品ｓを、決まった姿勢で、位置決めした状態で電気的特性を測定することができるのである。その結果、部品ｓの電気的特性をより一層安定して測定することができ、測定精度を向上させることができる。
　さらに、凹部５４の深さが部品ｓの長さの１／２未満とされているため、一対の対向面３４ｆ、３６ｆが離間した場合に、部品ｓを良好に落下させることができる。
　また、一対の対向面３４ｆ、３６ｆが離間した状態で、カバー部５２は、一対の対向面３４ｆと対向面３６ｆとの間の両側に位置する。そのため、可動子３６の後退に伴って開口９３からエアが噴出し、カバー部５２の内部において循環する。それにより、凹部５４に収容された部品ｓを、良好に落下させることができる。
　さらに、可動子３６の本体３０に対する相対位置関係が調節可能とされているため、可動子３６の部品載置部４４の溝部４６に対する相対位置関係が調節可能とされ、可動子３６の突出部３６ｂと溝部４６との隙間を小さくまたは０に近づけることができる。その結果、より一層、部品ｓを一対の対向面３４ｆ、３６ｆにより良好に把持することができ、部品ｓの電気的特性を安定的に測定することができる。
　さらに、部品載置部４４は、載置部保持体４５、ガイドレール６４，６６を介して本体３０に電気的に導通された状態にあり、可動子３６は、可動子保持体５６、ガイドレール６４，６６を介して本体３０に電気的に導通された状態にある。そのため、部品ｓの除電、載置台３２、可動子３６等の除電が良好に行われる。特に、載置台３２、可動子３６の除電を、これら載置台３２、可動子３６(可動子保持体５６)が停止状態にあっても移動状態にあっても行うことが可能となる。そのため、部品ｓの電気的特性を安定的に測定することができる。インピーダンスが小さい部品ｓであっても、その部品ｓのインピーダンスを精度よく測定することができるのである。
　なお、上記実施例においては、一対の測定子が水平方向に移動させられて、接近・離間させられるようにされていたが、一対の測定子は、上下方向に移動させられることにより、接近・離間可能なものとすることができる。
　また、上記実施例において、可動子３６の本体３０に対する相対位置関係が調節されることにより前記可動子３６と部品載置部４４との相対位置関係が調節されるようにされていたが、部品載置部４４と本体３０との相対位置関係が調節されることにより、可動子３６と部品載置部４４との相対位置関係が調節されるようにすることができる。
　さらに、溝部４６の形状は問わない。例えば、図１２に示すように、溝部１４６を、平坦な底面１５０と一対の傾斜面１５２ａ、１５２ｂとを備えた形状を成すものとすることができる。この場合には、固定子３４の当接部３４ａに設けられた凹部５４の開口の幅は、底面１５０の幅（底部の幅に対応）とほぼ同じとすることができる。
　また、凹部５４の深さＬｄは、幅Ｗｐが溝部４６の底面５０または溝部１４６の底面１５０の幅より小さい複数種類の部品ｓがある場合に、複数種類の部品ｓのうちの長さが中間のものの長さＬｐの１／２未満としたり、最大のものの長さＬｐの１／２未満としたりすること等ができる。
　以上、実施形態に記載の態様の他、本開示は、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
　２２：測定装置　３０：本体　３２：載置台　３４：固定子　３６：可動子　３６ｓ：凸部　４２：電気的特性測定部　４６：溝部　５６：可動子保持体　８０：幅方向可動部材　８２：回動部材　８４：上下方向可動部材　８４ｒ：凹部　８６：貫通穴　Ｄ１，Ｄ２，Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２，Ｎ：ボルト

Claims (8)

  1. 　部品供給装置によって供給された部品を回路基板に装着する装着機に搭載され、接近・離間可能な一対の測定子を含み、前記一対の測定子が前記部品を把持して、前記部品の電気的特性を測定する測定装置であって、
    　前記一対の測定子のうちの少なくとも一方の前記部品を把持する部分にそれぞれ凹部が形成された測定装置。
  2. 　当該測定装置が、前記部品が載置される載置台を含み、
    　前記一対の測定子が、前記載置台に載置された前記部品を、概して水平方向に接近して把持するものである請求項１に記載の測定装置。
  3. 　前記載置台に、前記接近・離間する方向である接近・離間方向に延び、前記部品が載置される溝部が形成され、
    　前記凹部が、前記溝部に対向して開口するものであり、前記開口の幅方向の長さが、前記溝部の底部の幅に対応する長さである請求項２に記載の測定装置。
  4. 　前記溝部が、一対の側面が傾斜した上溝部と、前記上溝部の下部に設けられ、断面が概して四角形を成す下溝部とを含む請求項３に記載の測定装置。
  5. 　前記凹部の深さが、前記部品の長さの１／２未満とされた請求項１ないし４のいずれか１つに記載の測定装置。
  6. 　前記一対の測定子のうちの前記少なくとも一方が、それぞれ、本体部と、少なくとも前記凹部が形成された部分を有する凹部形成部とを含み、前記凹部形成部が前記本体部に対して着脱可能に設けられた請求項１ないし５のいずれか１つに記載の測定装置。
  7. 　前記一対の測定子が、固定子と、前記固定子に対して接近・離間可能に設けられた可動子とを含み、
    　前記凹部が、前記固定子の前記可動子に対向する部分に形成された請求項１ないし６のいずれか１つに記載の測定装置。
  8. 　当該測定装置が、前記部品が載置される溝部を備えた載置台を含み、
    　前記溝部が、前記接近・離間する方向である接近・離間方向に延びたものであり、
    　前記一対の測定子が、固定子と、前記固定子に対して接近・離間可能に設けられた可動子とを含み、
    　前記可動子の前部が、前記溝部の一部に係合可能な形状および大きさを成し、
    　当該測定装置が、前記可動子と前記載置台との相対位置関係を調節する調節機構を含む請求項１ないし７のいずれか１つに記載の測定装置。
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