CN107852856B - 检查装置 - Google Patents

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Abstract

在检查装置中，提高元件的电气特性的测定精度。检查装置包括：保持台(32)；一对测定件(34、36)，能够把持被该保持台(32)保持的元件(s)来测定电气特性；及相对移动装置，使保持台(32)与一对测定件(34、36)彼此地相对移动。在元件(s)被一对测定件(34、36)夹持的状态(b)下，通过使保持台(32)移动而使元件(s)离开保持台(32)设定值以上，并以该测定状态(c)测定电气特性。其结果是，即使保持台(32)是由导电材料制造而成的，也能够减少对元件(s)的影响，能够高精度地测定电气特性。

Description

检查装置
技术领域
本发明涉及一种进行安装于电路基板的元件的检查的检查装置。
背景技术
在专利文献2、3中记载有具备探测器并通过该探测器的接触来测定元件的电气特性的检查装置。在专利文献1中记载有从两端夹着载置于保持台的元件而测定电气特性的检查装置。在该检查装置中，从送风口部28沿着保持台的V槽供给空气，位于该V槽上的测定后的元件被向导入口部7′输送。并且，不合格品被废弃，合格品被用于向电路基板安装。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特公昭52-30703号公报
专利文献2：日本实开平1-76100号公报
专利文献3：国际公开第2014/155657小册子
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的课题为在能够自动地测定元件的电气特性的检查装置中提高电气特性的测定精度。
用于解决课题的技术方案、作用及效果
本发明的检查装置包括：保持台；一对测定件，把持被该保持台保持的元件来测定电气特性；及相对移动装置，使保持台与一对测定件彼此地相对移动，在元件离开保持台而被一对测定件夹持的状态下，测定电气特性。
由于电气特性是在元件离开保持台的状态下取得的，因此能够减少保持台对元件的影响，能够高精度地测定电气特性。
附图说明
图1是包括本发明的一实施方式的检查装置的安装机的立体图。
图2是上述检查装置的主要部分的立体图
图3是上述检查装置的主要部分的剖视图。
图4是上述检查装置的局部俯视图。
图5是上述检查装置所包含的空气电路图。
图6是概念性地表示上述安装机的控制装置的图。
图7的(a)是表示存储于上述控制装置的存储部的LCR测定程序的流程图。图7的(b)是在上述检查装置中测定LCR的情况下的时序图。
图8是表示存储于上述控制装置的存储部的元件合适与否判定程序的流程图。
图9是表示上述检查装置的工作的图。图9的(a)是表示初始状态的图，图9的(b)是表示夹持状态的图，图9的(c)是表示测定状态的图，图9的(d)是表示废弃状态的图。
图10是上述检查装置的从与图2不同的角度观察的立体图。
具体实施方式
以下，基于附图详细地说明包括本发明的一实施方式的检查装置的安装机。
图1所示的安装机是将元件向电路基板安装的装置，包括装置主体2、电路基板搬运保持装置4、元件供给装置6及头移动装置8等。
电路基板搬运保持装置4是以水平的姿势搬运并保持电路基板P(以下，简称为基板P)的装置，在图1中，将基板P的搬运方向设为x方向，将基板P的宽度方向设为y方向，将基板P的厚度方向设为z方向。y方向、z方向分别为安装机的前后方向、上下方向。上述x方向、y方向、z方向彼此正交。元件供给装置6是供给向基板P安装的电子元件(以下，简称为元件)s的装置，包括多个带式供料器14等。头移动装置8是保持安装头16并使其在x、y、z方向上移动的装置，安装头16具有吸附并保持元件s的吸嘴18。
另外，附图标记20表示相机。相机20是拍摄被吸嘴18保持的元件s的装置，基于由相机20拍摄到的图像，判定元件s是否为预定向电路基板P安装的元件。附图标记22表示检查装置。检查装置22是测定并检查元件s的电气特性的装置。测定元件s的电气特性，判定测定出的电气特性是否与JOB信息所包含的与元件s相关的信息(电气特性)一致、即是否与接下来的作业所使用的预定的元件s所具备的电气特性一致。
作为元件s的电气特性，相当于L(电感)、C(电容)、R(电阻)、Z′(阻抗)等，通过检查装置22测定这些中的一个以上。
检查装置22隔着垃圾箱26设于电路基板搬运保持装置4的主体。垃圾箱26与检查装置22通过废弃通道28连接，被测定了电气特性的元件s经由废弃通道28被收容于垃圾箱26。检查装置22以能够调整高度的方式设于垃圾箱26。如图2、图10所示，基部30能够升降地与垃圾箱26卡合，主体29被包括螺栓及螺母在内的紧固部31(参照图3、图4、图10)固定于基部30，这些基部30及主体29被保持为能够一体地升降。另外，在主体29、基部30分别设有能够与废弃通道28连通的开口29a、30a(参照图3、图4)。
如图2～图4、图10所示，检查装置22包括：(i)上述主体29及基部30；(ii)能够保持元件s的保持台32；(iii)由固定件34及可动件36构成的一对测定件37；(iv)使保持台32移动的保持台移动装置40；(v)使可动件36接近或离开固定件34的可动件移动装置41；及(vi)作为电气特性检测部的LCR检测部42等。在本实施例中，能够将元件s形成为在两端部具有电极并能够被一对测定件37把持的构造。作为元件s，例如，相当于称为方芯片的元件。
保持台32包括元件载置部44和保持元件载置部44的载置部保持体46。在元件载置部44的上表面形成有V槽44c，从而载置元件s。由于被形成为V形状，因此能够精度良好地确定元件s的位置。
元件载置部44具有导电性、耐磨损性，且能够由难以进行氧化的材料制造而成。元件载置部44经由多个具有导电性的部件而与基部30电连接，但是因基部30接地，元件载置部44也接地。在本实施例中，元件载置部44与载置部保持体46抵接，且被紧固部47固定，并且载置部保持体46隔着止动件80(参照图3)与主体29抵接，主体29被紧固部31固定于基部30。并且，载置部保持体46、止动件80、主体29、基部30、紧固部31、47等具有导电性。由此，元件载置部44接地。
这样，元件载置部44由具有导电性的材料制造而成，且接地，从而能够进行载置于元件载置部44的元件s的除电。另外，元件载置部44由具有耐磨损性的材料制造而成，从而能够抑制元件载置部44的磨损，能够提高耐久性。进而，由难以进行氧化的材料、即能够形成作为金属的氧化覆膜的钝态皮膜的材料制造而成，从而能够使元件载置部44难以生锈。由于能够使元件s难以生锈，因此能够抑制元件s的电气特性的测定精度的降低。例如，元件载置部44能够由铝合金或者不锈钢材料等制造而成。
固定件34、可动件36分别具有彼此相向的相向面34f、36f，通过这一对相向面34f、36f把持元件s。固定件34经由固定件保持体55固定于主体29。可动件36被可动件保持体56保持为能够一体地移动，且被形成为能够相对于固定件34接近或离开。在本实施例中，相向面36f的剖面形成为三角形状，被形成为能够沿V槽44c移动。换言之，可动件36的相向面36f的形状被形成为大致与V槽44c相对应的形状，可动件36的相向面36f、固定件34的相向面34f及保持台32的V槽44c大致位于相同高度。因此，无论元件s位于V槽44c内的哪个位置，都能够通过一对相向面34f、36f把持元件s。
另外，在本实施例中，可动件36是沿y方向(移动方向)延伸的纵长部件，在后退端被可动件保持体56保持。进而，包括相向面36f在内的前端部的后部形成为不具有比前端部在x方向上突出的部分的形状。其结果是，保持台32和可动件36被形成为能够彼此地相对移动，保持台32在V槽44的底部位于可动件36的下方的状态下能够向相向面36f的前方移动、或者向后方移动。
进而，形成有由可动件36和固定件34形成的一对测定件37、LCR检测部42、包括省略图示的电源装置等在内的电气电路58。向这些固定件34与可动件36之间供给电流，并且检测流动的电流，基于它们的关系通过LCR检测部42测定元件s的电气特性。LCR检测部42并不局限于检测L、C、R的检测部，可以是检测表示L、C、R、Z′等电气特性的物理量中的一个以上的装置。此外，图2～图4的附图标记58a、58b是一对测定件37向电气电路58的连接部。
在保持台32安装有罩部50。罩部50包括一对罩用板部52、54，该一对罩用板部52、54彼此在x方向上隔开间隔，并分别设于V槽44c的两侧。罩用板部52、54是分别设于保持台32的固定件34侧、且沿y方向及z方向、即保持台32、可动件36的移动方向及上下方向延伸的装置，形成为板状部件弯曲而成的形状。罩用板部52在俯视观察下形成为槽形，包括底板部52a和在该底板部52a的两侧沿x方向隔开间隔地设置的侧板部52b、52c。底板部52a形成为下部弯曲而成的形状，在侧视观察下形成为L字形，在上部安装于元件载置部44的固定件34侧的侧面。另外，在保持台32的前进端位置处，底板部52的下部位于固定件保持体55的上方，侧板部52b位于固定件34的外侧、且固定件保持体55的上方，侧板部52c位于比侧板部52b靠外侧的位置、且位于固定件保持体55的外侧。侧板部52c与侧板部52b相比，上下方向上的尺寸较大，下端部延伸至主体29的开口29a附近。罩用板部54安装于相对于V槽44c而与罩用板部52相反的一侧的载置部保持体46。罩用板部54在保持台32的前进端位置处位于固定件保持体55的外侧。罩用板部54形成为在上下方向上弯曲而成的形状，下端部延伸至主体29的开口29a附近。
另外，侧板部52c、罩用板部54的y方向上的尺寸被设为在使固定件34与可动件36彼此离开的情况下的至少一个时期内能够从x方向覆盖一对相向面34f、36f之间的大致全部空间的大小。
此外，如后所述，罩部50发挥防止空气扩散并且防止落下的元件s因空气的喷出而飞散的功能。
在固定件侧的部件{例如，固定件34的上部或者固定件保持体55的固定件34的上方的部分或者主体29}形成有与可动件36的相向面36f相向的空气通道60的开口60a。如图3所示，空气通道60包括大致沿y方向延伸的空气喷出通道60s和形成于主体29的内部通道60h等。空气喷出通道60s随着靠近可动件36而沿向下方行进的朝向倾斜地延伸，在可动件36位于离开固定件34的位置的情况下，延长线k以到达可动件36的相向面36f的部分R的上方或者部分R内的状态延伸。部分R是可动件36的相向面36f把持元件s的频度较高的部分，能够称为把持部。空气从斜上方碰撞于相向面36f的与延长线k交叉的部分。
在空气通道60连接有气缸64、70。另外，在空气通道60的气缸64、70的下游侧的部分设有电离器62。电离器62是发生电晕放电而将空气离子化的装置，能够向相向面36f供给被离子化了的空气。
保持台移动装置40包括固定地设于主体29或者基部30的作为驱动源的气缸64。在气缸64的活塞杆66(参照图5)连结有载置部保持体46。气缸64包括在缸壳体的内部被活塞分隔而成的两个空气室64a、64b，在两个空气室64a、64b与空气源68、空气通道60、过滤器(大气)之间设有电磁阀装置69。能够将电磁阀装置69形成为包括一个以上的电磁阀，例如，如图5所示包括方向切换阀和可变节流器。通过方向切换阀控制载置部保持体46的移动方向，通过可变节流器控制载置部保持体46的移动、停止。通过电磁阀装置69使空气室64b与空气源68连通并使空气室64a与空气通道60连通，从而使保持台32前进(图3的箭头F方向上的移动)，通过使空气室64b向大气开放并使空气室64a与空气源68连通而使保持台32后退(图3的箭头B方向上的移动)。
可动件移动装置41包括固定地设于主体29的作为驱动源的气缸70。在气缸70的活塞杆71连结有能够与可动件一体地移动的可动件保持体56。在气缸70的壳体的内部被活塞分隔而成的两个空气室70a、70b经由电磁阀装置72而与空气源68、空气通道60、过滤器(大气)连接。电磁阀装置72是包括一个以上的电磁阀的装置，例如，能够形成为包括方向切换阀、可变节流器等。通过电磁阀装置72使空气室70b与空气通道60连通，使空气室70a与空气源68连通，从而使可动件36后退，通过使空气室70a向大气开放并使空气室70b与空气源68连通，而使可动件36前进。
在本实施例中，由气缸64、70、空气通道60(包括空气喷出通道60s)、开口60a、罩部50、电离器62等构成空气供给装置73。空气供给装置73也是可动件供给部、驱动源联动型供给部。另外，相向面36f与供给对象面相对应。
此外，电磁阀装置69、72的构造并不局限于本实施例。例如，能够形成为包括一个三通阀的结构、或者包括多个开闭阀的结构等。另外，并不一定设置电离器62。
在可动件保持体56与主体29之间设有沿y方向延伸的一对引导杆74、75，在保持台32与可动件保持体56之间设有沿y方向延伸的一对引导杆76、77。引导杆74、75的一端部与可动件保持体56连结，另一端部能够滑动地与主体29卡合。引导杆76、77在一端部与载置部保持体46连结，并且能够滑动地与可动件保持体56卡合。通过这些引导杆74、75、76、77，保持台32和可动件36能够相对于主体29沿y方向彼此地相对移动，并且保持台32和可动件36能够沿y方向彼此地相对移动。
另外，如图3所示，在可动件保持体56的固定件侧设有止动件82，在主体29的保持固定件保持体55的部分设有止动件80。止动件82是规定可动件保持体56与保持台32(载置部保持体46)的接近限度的装置，止动件80是规定固定件34(主体29)与保持台32(载置部保持体46)的接近限度的装置。
在本实施例中，可以认为引导杆74～77在保持台移动装置40和可动件移动装置41中共用，止动件80、82是保持台移动装置40的构成要素。
此外，如图3所示，可动件36位于后退端位置的情况下的止动件82的前端部与保持台32位于前进端位置的情况下的载置部保持体46之间的间隙Ld是允许可动件36与保持台32的相对移动的距离。
该安装机包括控制装置100。如图6所示，控制装置100包括以计算机为主体的控制器102和多个驱动电路104。控制器102包括执行部110、存储部112及输入输出部114等，在输入输出部114，经由驱动电路104分别连接有基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8，并且连接有可动件移动装置41、保持台移动装置40的电磁阀装置69、72等。另外，连接有LCR检测部42、显示器116、可动件位置传感器118、保持台位置传感器120、检测吸嘴18的高度的吸嘴高度传感器122等。在存储部112存储有图7的(a)的流程图所表示的LCR检测程序等多个程序、表格。另外，通过设于控制器102的计时器124进行时间的计测。
此外，在本实施例中，说明了通过控制装置100控制安装机整体的情况，但是基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8等也可以分别被彼此独立的控制装置控制。
以下，说明安装机的工作。
在进行换产调整的情况下等、即进行新的带式供料器14的设置、带式供料器14的更换等的情况下等，测定被该带式供料器14保持的元件s的电气特性，检查该带式供料器14(或者元件s)是否恰当。另外，其检查结果显示于显示器116。在不恰当的情况下，替换带式供料器14。
元件s的电气特性是通过执行图7的(a)的流程图所表示的LCR测定程序来测定的。另外，在图7的(b)中示出保持台32、可动件36的移动、保持台位置传感器120、可动件位置传感器118的状态。
检查装置22通常处于图9的(a)所示的初始状态。可动件36处于后退端位置，保持台32处于前进端位置、即与止动件80抵接的位置。在该状态下，保持台32通过内部导通等处于接地的状态。在保持台32的V槽44c的上方不存在可动件36，处于能够载置元件s的状态。另外，罩部50位于固定件34的两侧(在x方向上隔开间隔)。可动件位置传感器118、保持台位置传感器120均处于接通状态。
在步骤1(以下，简称为S1。其它步骤也相同)中，判定是否发出元件s的电气特性的测定指令。在进行换产调整的情况下等，发出电气特性的测定指令。当发出测定指令时，在S2中，使安装头16移动，例如通过吸嘴18拾取被新安装的带式供料器14保持的元件s并载置于保持台32的V槽44c上。可知通过使吸嘴18下降并放开元件s而使元件s被载置于V槽44c上。
并且，当通过吸嘴高度传感器122检测到吸嘴18将元件s载置于V槽44c上并到达上升端时，在S3中，通过电磁阀装置72的控制使可动件36前进，可动件位置传感器118被从接通切换至断开。可动件36的前端的相向面36f沿元件载置部44的V槽44c前进，元件s被相向面36f与固定件34的相向面34f夹持{图9的(b)}。在本实施例中，从后退端位置至夹持元件s的可动件36的行程L1(参照图3)是由夹持的元件s的大小等来决定的，是预先决定的。在从可动件36开始前进时起经过了可动件36前进行程L1为止所需的时间即前进时间之后，通过可变节流器的控制等使可动件36的前进停止。前进时间是通过计时器124来计测的。该保持台32位于前进端位置，使可动件36前进并通过一对相向面34f、36f夹持元件s的状态为夹持状态。
在S4中，保持台32通过电磁阀装置69的控制而后退，保持台位置传感器120被从接通切换至断开。保持台32后退至与止动件82抵接为止{图9的(c)}，并在该位置被保持。其间的保持台32的行程为L2(参照图3)。
L2＝Ld-L1
在本实施例中，行程L2被设为设定值Lx以上的大小(L2≥Lx)，元件载置部44离开元件s设定值Lx以上。若具有导电性的部件(元件载置部44)在测定电气特性时位于元件s的附近，则会引起静电感应、或产生有涡电流等，无法精确地检测电气特性。与此相对，只要使元件载置部44离开元件s设定值Lx以上(将元件载置部44与元件s的最短距离设定为设定值Lx以上)，则能够缩小因元件载置部44位于元件s的附近而产生的电气特性的测定误差。这样，设定值Lx是元件载置部44难以对元件s的电气特性的测定造成影响的距离，是预先通过实验等取得的值。该状态为测定状态。
此外，在从保持台32开始后退时起经过了保持台32后退行程L2所需的时间即后退时间Ta之后，通过电磁阀装置69的控制来保持保持台32的位置。后退时间Ta是通过计时器124来计测的。
在S5中，从通过吸嘴18放开元件s并载置于V槽44c上时起至经过设定时间即除电时间为止待机。被带式供料器14保持的元件s分别基于因伴随着带式供料器14的搬运的振动、与物体的接触等而产生的静电而处于带电的状态。该带电的元件s由具有导电性的材料制造，且通过载置于接地的元件载置部44而被除电、或者通过向空气中的放电而被除电。除电时间是去除推定为具有元件s的容量的静电所需的时间，能够预先通过实验等求得、或者基于元件s的大小、特性等从理论上求得等。当元件s从载置于元件保持台44起的经过时间到达除电时间时，S5的判定为“是”，在S6中测定元件s的电气特性。
并且，当经过了测定电气特性所需的时间即测定时间时，执行S7，但是测定时间既可以作为根据元件s的种类等所决定的时间，也可以作为恒定的时间。无论哪一者均预先取得并进行存储。
当经过了测定时间而元件s的电气特性的测定结束时，在S7中，通过电磁阀装置72的控制而使可动件36后退。当到达后退端时，可动件位置传感器118形成为接通。在S8中，通过电磁阀装置69的控制而使保持台32后退{图9的(d)}。保持台32从测定状态至与处于后退端位置的可动件36的止动件82抵接为止的行程为L1。因此，可知保持台32在经过了后退行程L1所需的时间即后退时间Tb之后，与止动件82抵接。如图9的(d)所示，保持台32位于比可动件36的相向面36f靠后方的位置，并未存在于一对相向面34f、36f之间的下方。该状态为废弃状态。
当使保持台32后退至与止动件82抵接时，在S9中，通过电磁阀装置69的控制，在气缸64中使空气室64b与空气源68连通，使空气室64a与空气通道60连通。当使保持台32前进而与止动件80接触时保持台位置传感器120形成为接通。保持台32位于一对相向面34f、36f之间(V槽44位于相向面34f、36f之间的下方)，V槽44c的上方被作为空间。因此，能够载置元件s。该状态为初始状态。
通过使可动件36的相向面36f离开固定件34的相向面34f，在它们之间被把持的元件s被放开。另外，在可动件36后退时，使气缸70的空气室70a与空气通道60连通，罩用板部52、54分别位于一对相向面34f、36f之间的空间的x方向上的两侧。进而，通过使保持台32向可动件36的相向面36f的后方移动而未存在于一对相向面34f、36f之间的下方，使一对相向面34f、36f之间与开口29a、30a、废弃通道28连通。
伴随着可动件36的后退，从空气室70a流出的空气被从开口60a自斜上方向可动件36的相向面36f供给，但是被供给空气的空间、换言之一对相向面34f、36f之间的空间被罩部50从x方向覆盖。空气在主要与相向面36f接触之后，沿相向面36f向下方流动。因此，假设即使元件s未从相向面36f落下而是附着于部分R，也能够使其良好地落下。另外，由于空气在罩部50的内部呈涡状流动，因此假设即使元件s附着于固定件34的相向面34f也能够使其落下。进而，从相向面34f、36f落下而载置于保持台32上的元件s也能够因空气而落下，但假设即使在元件s载置于V槽44上而未因空气而落下的情况下，也能够通过可动件36的相向面36f伴随着保持台32的后退而前进，从而可靠地落下。这样，在本实施例中，能够认为废弃状态是使元件s良好地落下的状态。
此外，从一对相向面34f、36f落下的元件s经由开口29a、30a、废弃通道28被良好地向垃圾箱26收容。
另外，通过设置罩部50，也能够防止落下的元件s飞散。由于罩用板部52的侧板部52c、罩用板部54的下端部延伸至主体29的开口29a的附近，因此能够使元件s良好地从开口29a经由废弃通道28向垃圾箱26收容。另一方面，在供给有离子化后的空气的情况下，能够使可动件36、固定件34的相向面36f、34f电中和，能够提高下一个元件s的电气特性的测定精度。
进而，在气缸64中，在保持台32前进时(S9)使空气室64a与空气喷出通道60s连通。即使在从废弃状态向初始状态转移的情况下，也能够向可动件36的相向面36f供给空气，能够良好地进行可动件36的相向面36f的除电。
另一方面，比较测定出的电气特性与JOB信息所包含的电气特性，判定该元件s是否应用于此后进行的作业(JOB)，并将该判定结果显示于显示器116。
在S21中，取得该元件s的电气特性的测定值，在S22中，从下一个JOB的JOB信息读入相对应的信息。在S23中，比较这些信息，判定是否一致。无论是一致的情况还是不一致的情况，均将判定结果显示于显示器116。假设在不一致的情况下，进行更换为恰当的带式供料器等作业。
如上所述，在本实施例中，元件载置部44由具有导电性的材料制造并且接地。其结果是，能够在测定电气特性之前良好地进行载置于元件载置部44的元件s的除电。另一方面，若元件s带电，则难以测定元件s的阻抗。与此相对，在本实施例中，由于良好地进行了元件s的除电，因此能够良好地测定元件s的阻抗。
进而，能够与可动件36的后退同时地使元件s向废弃通道28落下，与通过不同的工序进行可动件的后退和元件s的送出的情况相比，能够缩短电气特性的测定所需的时间。
如上所述，在本实施例中，由控制器102的存储LCR测定程序的S4、S7、S8的部分、执行LCR测定程序的S4、S7、S8的部分、计时器124、可动件位置传感器118、保持台位置传感器120等构成移动控制装置、相对移动控制装置。另外，由其中的存储S4的部分、执行S4的部分等构成测定时控制部，由存储S8的部分、执行S8的部分等构成废弃时控制部，由存储S9的部分、执行S9的部分等构成准备时控制部。移动控制装置也是保持台移动控制装置、相对移动控制部。
另外，气缸70与可动件用缸相对应，气缸64与保持台用缸相对应。空气供给装置73也是可动件供给部、驱动源联动型供给部。进而，由包括一对测定件37、LCR检测部42在内的电气电路58、控制器102的存储S6的部分、执行S6的部分等构成电气特性取得装置。
进而，S3与夹持工序相对应，S4、S6与测定工序相对应，S7、S8与废弃工序相对应，S9与准备工序相对应。
此外，也可以将一对测定件双方形成为能够移动，将保持台固定于主体。即使在该情况下，也能够通过一对测定件把持载置于保持台上的元件s并使一对测定件移动，从而使保持台离开元件s设定值以上。
另外，能够将保持台形成为能够在上下方向上移动。在该情况下，也能够在元件s被一对测定件夹持的状态下使保持台离开元件s设定值以上。
进而，也能够在检查装置22的主体29的侧部以具有在大致x方向上开设的开口的状态设置空气喷出通道。换言之，能够省略罩用板部52、54中的任一方(例如，省略罩用板部54)，并在省略该罩用板部的一侧设置在x方向上具有开口的空气喷出通道。其结果是，空气被沿相向面34f、36f(沿xz方向延伸的面)向罩用板部52供给，由此，能够使附着于一对相向面34f、36f的元件s落下。
另外，也能够在测定了元件s的电气特性之后，使保持台32伴随着可动件36的后退而后退(例如，同时后退)。也能够将使该保持台32及可动件36后退的状态作为废弃状态。
进而，可动件位置传感器118、保持台位置传感器120并不是不可或缺的。例如，也能够通过基于计时器124的计测来控制电磁阀装置69、72。另外，空气供给装置也不是不可或缺等，本发明除了所述实施方式所记载的方式以外，还能够通过基于本领域技术人员的知识实施了各种变更、改进的形态来实施。
附图标记说明
22：检查装置 26：垃圾箱 28：废弃通道 29：主体 29a：开口 30：基部 30a：开口31：紧固部 32：保持台 34：固定件 36：可动件 34f：36f：相向面 40：保持台移动装置 41：可动件移动装置 42：LCR检测部 44：元件载置部 44c：V槽 50：罩部 72：空气供给装置100：控制装置 118：可动件位置传感器 118：保持台位置传感器 124：计时器
可申请专利保护的发明
(1)一种检查装置，包含于拾取由元件供给装置供给的元件并向电路基板安装的安装机，其特征在于，所述检查装置包括：保持台，能够保持元件；一对测定件，形成为能够彼此接近或离开，并且能够夹着所述元件来测定该元件的电气特性；保持台移动装置，使所述保持台移动；及保持台移动控制装置，控制该保持台移动装置，并且，所述保持台移动控制装置包括从所述一对测定件把持被所述保持台保持的所述元件的夹持状态使所述保持台离开所述元件设定值以上而处于能够测定所述元件的电气特性的测定状态的测定时控制部。
保持台既可以在与一对测定件的接近或离开方向平行的方向上移动，也可以在交叉的方向上移动。能够将设定值设为例如在保持台具有导电性的情况下保持台的影响难以波及到元件的电气特性的测定的距离。
(2)根据(1)项所述的检查装置，其中，将所述保持台设为具有导电性的装置。
(3)根据(1)项或(2)项所述的检查装置，其中，所述一对测定件包括彼此相向且能够与所述元件接触的一对相向面，通过使所述一对相向面彼此接近而保持所述元件，通过使它们彼此离开而放开所述元件，所述保持台移动装置包括从所述测定状态通过使所述保持台移动而处于在所述彼此离开的一对相向面之间的下方不存在所述保持台的废弃状态的废弃时控制部。
(4)根据(3)项所述的检查装置，其中，所述保持台移动控制装置包括从所述废弃状态使所述保持台向所述彼此离开的一对相向面之间的下方移动而处于所述保持台能够保持所述元件的初始状态的准备时控制部。
(5)根据(1)项～(4)项中任一项所述的检查装置，其中，所述安装机包括与所述检查装置连接的废弃通道，该检查装置的主体具有能够与所述废弃通道连通的开口。
能够以至少在废弃状态下在一对相向面之间的下方处于开口状态的方式决定开口的位置、大小。
(6)根据(1)项～(5)项中任一项所述的检查装置，其中，该检查装置包括电气特性取得装置，该电气特性取得装置向所述一对测定件之间供给电流，并且检测在所述一对测定件之间流动的电流而取得所述元件的所述电气特性，该电气特性取得装置包括延迟型测定部，该延迟型测定部在从使所述元件载置于所述保持台的时刻起经过了设定时间以上的情况下开始测定所述元件的所述电气特性。
能够将设定时间设为例如元件的除电所需的时间即除电时间。除电时间既可以是根据元件来决定的时间，也可以是与元件无关地预先设定的时间。
此外，也可以将使元件载置于保持台的时间设为除电时间。
(7)根据(1)项～(6)项中任一项所述的检查装置，其中，所述一对测定件包括：固定于主体的固定件及能够相对于所述固定件相对移动的可动件，该检查装置包括：可动件移动装置，使所述可动件相对于所述固定件移动；及可动件移动控制部，通过控制该可动件移动装置而使所述一对测定件彼此接近或离开。
(8)根据(7)项所述的检查装置，其中，该检查装置包括连结机构，该连结机构将所述可动件与所述保持台连结为能够彼此地相对移动。
例如，可动件能够形成为与该可动件的移动方向平行地延伸的纵长形状。另外，存在保持台位于可动件的前端的前方的情况及位于后方的情况。
(9)根据(1)项～(8)项中任一项所述的检查装置，其中，所述保持台具有横截面形成为V字状的槽即V槽，所述一对测定件的至少一方的前端部的横剖面形成为与所述V槽相对应的三角形。
(10)一种检查装置，包含于拾取由元件供给装置供给的元件并向电路基板安装的安装机，其特征在于，所述检查装置包括：保持台，能够保持元件；一对测定件，形成为能够彼此接近或离开，并且能够夹着所述元件来测定该元件的电气特性；相对移动装置，使所述一对测定件与所述保持台彼此地相对移动；及相对移动控制装置，控制该相对移动装置，并且，所述相对移动控制装置包括从所述一对测定件把持被所述保持台保持的所述元件的夹持状态使所述元件与所述保持台离开设定值以上而处于能够测定所述元件的电气特性的测定状态的测定时控制部。
在本项所述的检查装置中，能够采用(1)项～(9)项中任一项所述的技术特征。
能够将相对移动装置形成为(a)固定保持台并使一对测定件移动的装置或者(b)固定一对测定件中的一方并使一对测定件的另一方与保持台移动的装置等。作为(a)的情况，例如，相当于在通过一对测定件夹持被保持台保持的元件的状态下使一对测定件相对于保持台相对移动而使元件与保持台离开设定值以上的情况。
(11)一种检查方法，在检查装置中进行与元件的电气特性相关的检查，所述检查装置设于拾取由元件供给装置供给的元件并向电路基板安装的安装机，且包括(i)能够保持元件的保持台及(ii)形成为能够彼此接近或离开且能够夹着所述元件来测定该元件的电气特性的一对测定件，其特征在于，所述检查方法包括：夹持工序，一对测定件把持被所述保持台保持的元件；及测定工序，使所述保持台离开被所述一对测定件把持的所述元件设定值以上而测定所述元件的电气特性。
本项所述的检查方法能够在(1)项～(10)项中任一项所述的检查装置中被执行。
(12)根据(11)项所述的检查方法，其中，所述检查方法包括：废弃工序，在执行了所述测定工序之后，使所述一对测定件彼此离开，使所述保持台从所述一对测定件的彼此相向的相向面之间的下方退避；及准备工序，使所述保持台向所述一对测定件的彼此相向的相向面之间的下方进入而处于能够保持所述元件的初始状态。
在废弃工序中，既可以依次进行一对测定件的离开与保持台的退避，也可以同时进行。
(13)一种检查装置，包含于拾取由元件供给装置供给的元件并向电路基板安装的安装机，其特征在于，所述检查装置包括：保持台，具有导电性，并保持元件；及电气特性取得装置，把持被所述保持台保持的所述元件，并且在所述元件离开所述保持台的状态下取得所述元件的电气特性。
本项所述的检查装置能够采用(1)项～(12)项中任一项所述的技术特征。
(14)根据(1)项～(13)项中任一项所述的检查装置，其中，所述一对测定件通过彼此接近而使一对相向面夹着所述元件来测定该元件的电气特性，通过彼此离开而从所述一对相向面放开所述元件，该检查装置包括空气供给装置，该空气供给装置在所述一对测定件离开的情况下向所述一对相向面中的至少一方即供给对象面供给空气。
一对测定件离开的情况相当于彼此离开的过程、离开的过程的一部分或者全部行程、离开开始时、离开结束时等。
(15)根据(14)项所述的检查装置，其中，所述空气供给装置包括使所述空气离子化的电离器，并向所述供给对象面供给被离子化了的所述空气。
(16)根据(14)项或(15)项所述的检查装置，其中，所述空气供给装置包括空气通道，所述空气通道具有与所述供给对象面相向的开口。
在供给对象面为一对相向面的一方的情况下，设置一个与该一方的供给对象面相向的开口，在供给对象面为一对相向面的双方的情况下，以分别与该一对相向面的双方相向的方式设置两个开口。
(17)根据(16)项所述的检查装置，其中，所述空气通道包括空气喷出通道，所述空气喷出通道随着靠近所述供给对象面而沿向下方行进的朝向倾斜。
(18)根据(17)项所述的检查装置，其中，所述空气喷出通道的倾斜角度被设为使所述空气与所述供给对象面的把持所述元件的部分的上方接触的角度。
(19)根据(14)项～(18)项中任一项所述的检查装置，其中，所述一对测定件包括固定于主体的固定件和能够接近或离开该固定件的可动件，所述空气供给装置包括可动件供给部，该可动件供给部在所述可动件离开所述固定件的情况下向所述供给对象面即所述可动件的相向面供给所述空气。
(20)根据(19)项所述的检查装置，其中，该检查装置包括可动件移动装置，该可动件移动装置具备可动件用缸，且通过该可动件用缸的工作而使所述可动件接近或离开所述固定件，所述空气供给装置包括驱动源联动型供给部，该驱动源联动型供给部向所述可动件的相向面供给伴随着所述可动件离开所述固定件而从所述可动件用缸流出的空气。
(21)根据(1)项～(20)项中任一项所述的检查装置，其中，该检查装置包括在所述一对相向面离开的状态下覆盖该一对相向面之间的罩部。
罩部覆盖一对相向面之间的大部分，并不一定需要覆盖一对相向面之间的全部，也可以在存在少许间隙的状态下覆盖。期望在一对相向面彼此离开的情况下的至少一个时期从两侧覆盖一对相向面之间的全部。
(22)根据(21)项所述的检查装置，其中，所述罩部安装于所述保持台，在所述保持台位于后退端位置的状态下从侧部覆盖所述一对相向面之间的大部分。

Claims (7)

1.一种检查装置，其特征在于，
所述检查装置设于拾取由元件供给装置供给的元件并向电路基板安装的安装机，
所述检查装置包括：
保持台，能够保持元件；
一对测定件，形成为能够彼此接近或离开，并能够夹着所述元件来测定该元件的电气特性；
保持台移动装置，使所述保持台移动；及
保持台移动控制装置，控制该保持台移动装置，
并且，所述保持台移动控制装置包括从所述一对测定件把持被所述保持台保持的所述元件的夹持状态使所述保持台在所述一对测定件接近或离开的方向上从所述元件离开设定值以上而处于测定所述元件的电气特性的测定状态的测定时控制部。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
所述一对测定件包括彼此相向且能够与所述元件接触的一对相向面，通过使所述一对相向面彼此接近而保持所述元件，通过使所述一对相向面彼此离开而放开所述元件，
所述保持台移动装置包括从所述测定状态通过使所述保持台移动而处于在彼此离开的所述一对相向面之间的下方不存在所述保持台的废弃状态的废弃时控制部。
3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，
所述保持台移动控制装置包括从所述废弃状态使所述保持台向彼此离开的所述一对相向面之间的下方移动而处于所述保持台能够保持所述元件的初始状态的准备时控制部。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其中，
所述一对测定件包括固定于主体的固定件及能够相对于所述固定件相对移动的可动件，
该检查装置包括：
可动件移动装置，使所述可动件相对于所述固定件移动；及
连结机构，将所述可动件与所述保持台连结为能够向预先确定的方向彼此相对移动。
5.一种检查装置，其特征在于，
所述检查装置设于拾取由元件供给装置供给的元件并向电路基板安装的安装机，
所述检查装置包括：
保持台，能够保持元件；
一对测定件，形成为能够彼此接近或离开，并能够夹着所述元件来测定该元件的电气特性；
相对移动装置，使所述一对测定件与所述保持台彼此相对移动；及
相对移动控制装置，控制该相对移动装置，
并且，所述相对移动控制装置包括从所述一对测定件把持被所述保持台保持的所述元件的夹持状态使所述元件与所述保持台在所述一对测定件接近或离开的方向上离开设定值以上而处于测定所述元件的电气特性的测定状态的测定时控制部。
6.一种检查方法，是在检查装置中测定元件的电气特性的测定方法，该检查装置设于拾取由元件供给装置供给的所述元件并向电路基板安装的安装机，且包括(i)能够保持元件的保持台及(ii)形成为能够彼此接近或离开并能够夹着所述元件来测定该元件的电气特性的一对测定件，
所述检查方法的特征在于，包括：
夹持工序，一对测定件把持被所述保持台保持的元件；及
测定工序，使所述保持台在所述一对测定件接近或离开的方向上从被所述一对测定件把持的所述元件离开设定值以上而测定所述元件的电气特性。
7.根据权利要求6所述的检查方法，其中，
所述检查方法包括：
废弃工序，在执行了所述测定工序之后，使所述一对测定件彼此离开，并使所述保持台从所述一对测定件的彼此相向的相向面之间的下方退避；及
准备工序，使所述保持台向所述一对测定件的彼此相向的相向面之间的下方进入而处于能够保持所述元件的初始状态。
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