TWI386651B - 電源穩定化電路、電子元件以及測試裝置 - Google Patents

Description

電源穩定化電路、電子元件以及測試裝置

本發明是關於一種電源穩定化電路、電子元件以及測試裝置。本申請案與下述的日本申請案相關聯。對於允許以文獻參照的方式而併入的指定國，參照下述申請案中所記載的內容而併入本申請案中，作為本申請案的一部分。

日本專利特願2007-229463申請日2007年9月4日

作為使供給至半導體電路等的電子元件的動作電路的電源電壓穩定化的技術，將通路電容器(pass condenser)連接於電源配線的技術已為人所知(例如，參照專利文獻1)。一般而言，通路電容器在電子元件的晶片(chip)之外，設於用以將電源輸入至電子元件的電源配線與接地電位之間。

而且，將與電子元件的消耗電流的變動相對應的電流，經由電源輸入端子而供給至電子元件，由此來使流入至電源配線的電流的變動受到抑制。藉此，可以抑制由電流的變動所引起的電源電壓的變動。通路電容器的容量一般使用數十nF~數μF左右。

專利文獻1：日本專利特開平7-333249號公報

然而，在自電子元件的電源輸入端子至動作電路為止的配線中，電源電壓亦會對應於動作電路的消耗電流的變動而產生變動。在設於電子元件的晶片之外的通路電容器中，無法對上述電源電壓的變動進行補償。

針對上述問題，考慮亦在電子元件的晶片內設置同樣的通路電容器。考慮使用電晶體(transistor)的閘極電容來作為電子元件的晶片內的電容器。然而，一個電晶體的閘極電容為數fF左右，因此，當於晶片內設置通路電容器時，必須形成非常多的組件。

因此，本發明的目的在於提供一種可解決上述問題的電源穩定化電路、電子元件、以及測試裝置。藉由申請專利範圍中的獨立項所揭示的特徵的組合來達成上述目的。又，依附項用於規定本發明的更有利的具體例。

為了解決上述問題，於本發明的第1形態中提供一種電源穩定化電路，設於電子元件的晶片內，且使供給至電子元件的動作電路的電源電壓穩定化，該電源穩定化電路包括：放大器，對主電源配線中的電源電壓的變動成分進行檢測，且將所測得的變動成分放大並輸出，上述主電源配線用於將電源電壓供給至動作電路；以及穩定化電容器，設於放大器的輸出端及主電源配線之間，且根據放大器的輸出，來將用以抑制主電源配線中的電源電壓的變動的電流供給至主電源配線。

於本發明的第2形態中提供一種電子元件，包括動作電路與電源穩定化電路，該電源穩定化電路設於與動作電路相同的晶片內，且使供給至動作電路的電源電壓穩定化，電源穩定化電路包括：放大器，對主電源配線中的電源電壓的變動成分進行檢測，且將所測得的變動成分放大 並輸出，上述主電源配線用於將電源電壓供給至動作電路；以及穩定化電容器，設於放大器的輸出端及主電源配線之間，且根據放大器的輸出，來將用以抑制主電源配線中的電源電壓的變動的電流供給至主電源配線。

於本發明的第3形態中提供一種測試裝置，對被測試元件進行測試，其包括：信號輸入部，產生已預先確定的測試信號，並將該測試信號輸入至被測試元件；以及判定部，根據被測定信號來對被測試元件的良否進行判定，上述被測定信號是被測試元件對應於測試信號而輸出的信號；信號輸入部包括：動作電路，進行應產生測試信號的動作；以及電源穩定化電路，設於與動作電路相同的晶片內，且使供給至動作電路的電源電壓穩定化；電源穩定化電路包括：放大器，對主電源配線中的電源電壓的變動成分進行檢測，且將所測得的變動成分放大並輸出，上述主電源配線用於將電源電壓供給至動作電路；以及穩定化電容器，設於放大器的輸出端及主電源配線之間，且根據放大器的輸出，來將用以抑制主電源配線中的電源電壓的變動的電流供給至主電源配線。

再者，上述的發明概要並未列舉本發明的所有必要的特徵，這些特徵群的次組合(subcombination)亦可以成為發明。

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式詳細說明如下。

以下，透過發明的實施形態來對本發明進行說明，但以下的實施形態並不對申請專利範圍的發明進行限定，且實施形態中所說明的所有特徵組合並非發明的解決手段所必須。

圖1是表示本發明的一個實施形態的電子元件100的構成的一例的圖。電子元件100可為半導體晶片等的元件。電子元件100包括動作電路10、封裝(package)14、電源穩定化電路20、主電源配線12(高壓側電源配線12-H、低壓側電源配線12-L)、以及多個電源端子16(16-1~16-4)。

封裝14中容納著動作電路10、電源穩定化電路20、以及主電源配線12。例如，動作電路10、電源穩定化電路20、以及主電源配線12形成於半導體基板，封裝14可為以覆蓋上述半導體基板的方式而形成的樹脂、陶瓷(ceramic)等。又，在封裝14的表面上形成著端子，該端子在與電子元件100的晶片內外之間，對電源電力、信號等進行傳輸。在封裝14中除了設置著圖1所示的電源端子16之外，還可設置信號端子，該信號端子在與動作電路10之間對信號進行傳送。

動作電路10根據所供給的電源電壓以及所供給的信號而動作。動作電路10例如可為記憶體電路(memory circuit)、數位電路(digital circuit)、類比電路(analog circuit)、或者這些電路的組合。主電源配線12將經由電 源端子16-3及電源端子16-4而供給的電源電壓VDD及電源電壓VSS供給至動作電路10。

電源穩定化電路20設於與動作電路10相同的晶片內，且使供給至動作電路10的電源電壓穩定化。電源穩定化電路20可於動作電路10的附近，對在主電源配線12中傳送的電源電壓的變動進行檢測，並將與測得的電源電壓的變動相對應的電流供給至主電源配線12。

電源穩定化電路20具有交流(Alternating Current，AC)耦合電容器(coupling capacitor)26、放大器24、以及穩定化電容器22。AC耦合電容器26對供給至動作電路10的電源電壓的變動進行檢測。本例的AC耦合電容器26的一端連接於動作電路10的附近的高壓側電源配線12-H，而另一端連接於放大器24的輸入端子。藉由此種構成，AC耦合電容器26能夠將供給至動作電路10的電源電壓中的交流成分(變動成分)輸入至放大器24。

放大器24對主電源配線12中的電源電壓的變動成分進行檢測，將所測得的變動成分放大並輸出，其中，該主電源配線12用於將電源電壓供給至動作電路10。本例的放大器24經由AC耦合電容器26來對電源電壓的變動成分進行檢測。又，本例的放大器24可為反相放大器(inverting amplifier)，該反相放大器以規定的放大率來對電源電壓的變動成分進行反相放大。

又，放大器24自電源端子16-1以及電源端子16-2，經由與主電源配線12不同的配線來接收電源電壓VDDH 以及電源電壓VSSL。較佳的是，自與電源電壓VDD以及電源電壓VSS不同的電源系統來供給電源電壓VDDH以及電源電壓VSSL。又，電源電壓VDDH以及電源電壓VSSL相對於輸入至動作電路10的電源電壓VDD以及電源電壓VSS的變動成分，可具有與放大器24所應具有的放大率相乘後所得程度的電壓值。

穩定化電容器22設於放大器24的輸出端以及主電源配線12之間，且根據放大器24的輸出，來將用以抑制主電源配線12中的電源電壓的變動的電流供給至主電源配線12。本例的穩定化電容器22連接於高壓側電源配線12-H。放大器24將供給至動作電路10的電源電壓的變動成分放大並輸出，因此，當根據動作電路10來對電源穩定化電路20進行推斷時，就如同穩定化電容器22的容量已按照放大器24的放大率而經放大。

根據本例的電源穩定化電路20，能夠使用容量比較小的穩定化電容器22，來對供給至動作電路10的電源電壓的變動進行補償。因此，在電子元件100的晶片內，能夠容易地設置電源穩定化電路20，從而能夠對晶片內產生的電源電壓的變動進行補償。

再者，AC耦合電容器26的容量以大於放大器24的輸入容量為佳。又，AC耦合電容器26的容量可小於穩定化電容器22的容量。又，於本例中，利用與動作電路10不同的系統來提供放大器24的電源電壓，但於其他例中，亦可利用與動作電路10相同的系統來提供放大器24的電 源電壓。又，於本例中，AC耦合電容器26連接於高壓側電源配線12-H，但於其他例中，該AC耦合電容器26亦可連接於低壓側電源配線12-L。於該情形時，穩定化電容器22亦可連接於低壓側電源配線12-L。

圖2是表示電子元件100的其他構成例的圖。本例的電子元件100除了具備聯繫圖1所說明的電子元件100的構成之外，更具備旁路電容器(bypass condenser)18。該旁路電容器18設於主電源配線12與規定的電位之間。於本例中，旁路電容器18設於高壓側電源配線12-H與低壓側電源配線12-L之間。旁路電容器18較佳設於動作電路10的附近。

旁路電容器18將與主電源配線12中的電源電壓的變動相對應的電流供給至主電源配線12。旁路電容器18較佳為以高於放大器24的速度來追隨電源電壓的變動。放大器24由電晶體等形成，因此電晶體等的動作具有預定的延遲。在電晶體的動作發生延遲的期間，穩定化電容器22有時無法對主電源配線12中的電源電壓的變動進行補償。旁路電容器18在上述電晶體的動作發生延遲的期間，對電源電壓的變動進行補償。

更具體而言，旁路電容器18的時間常數(time constant)較佳為小於放大器24的時間常數。亦即，較佳的是以具有如下的容量的方式來形成旁路電容器18，該容量使得旁路電容器18的時間常數小於放大器24的時間常數。根據此種構成，能夠更高精度地來對電源電壓的變動 進行補償。

圖3是表示電源穩定化電路20的其他構成例的圖。本例的電源穩定化電路20包括放大器24以及穩定化電容器22。穩定化電容器22可與聯繫圖1所說明的穩定化電容器22相同。又，於本例中，使用差動放大器來作為放大器24。

放大器24的其中一個輸入端子(本例中為負輸入端子)連接於主電源配線12(本例中為高壓側電源配線12-H)，而於另一個輸入端子(本例為正輸入端子)上輸入有規定的基準電位Vref。放大器24的輸入端子可位於動作電路10的附近且連接於主電源配線12。又，可於封裝14中，進一步設置自外部接收基準電位Vref的電源端子16-5。又，於其他例中，亦可將電源端子16-3所接收的電源電壓VDD作為基準電位Vref而輸入至放大器24。

根據此種構成，亦可對電子元件100的晶片內產生的電源電壓的變動進行補償。又，根據本例的電源穩定化電路20，可將AC耦合電容器26省略。再者，本例的電源穩定化電路20可應用於聯繫圖1或圖2所說明的任一個電子元件100。

圖4是表示電源穩定化電路20的其他構成例的圖。本例的電源穩定化電路20包括穩定化電容器22、放大器24、以及基準電位產生部40。本例的穩定化電容器22以及放大器24可與聯繫圖3所說明的穩定化電容器22以及放大器24相同。於本例中，使用差動放大器來作為放大器24。

基準電位產生部40產生用以供給至放大器24的基準 電位Vref。因此，本例的電子元件100可不具有圖3所說明的電源端子16-5。基準電位產生部40具有電阻30以及電容器28。

電阻30設於放大器24的正輸入端子、與高壓側電源配線12-H之間。又，電容器28設於放大器24的正輸入端子、與低壓側電源配線12-L之間。根據此種構成，可產生已除去了電壓變動成分的基準電位Vref，該電壓變動成分是指在高壓側電源配線12-H中傳送的電源電壓VDD、與在低壓側電源配線12-L中傳送的電源電壓VSS之間的電壓變動成分。

根據此種構成，可對電子元件100的晶片內產生的電源電壓的變動進行補償。又，根據本例的電源穩定化電路20，由於在電子元件100的內部產生基準電位Vref，故而可防止基準電位Vref通過封裝14時，基準電位Vref的變動。再者，本例的電源穩定化電路20亦可應用於圖1或圖2所說明的任一個電子元件100。

圖5是表示電源穩定化電路20的其他構成例的圖。本例的電源穩定化電路20包括高壓側穩定化電容器22-H、高壓側放大器24-H、高壓側AC耦合電容器26-H、低壓側穩定化電容器22-L、低壓側放大器24-L、以及低壓側AC耦合電容器26-L。

高壓側穩定化電容器22-H以及低壓側穩定化電容器22-L可具有相同的特性。又，高壓側穩定化電容器22-H以及低壓側穩定化電容器22-L，可具有與圖1所說明的穩 定化電容器22相同的特性。

高壓側放大器24-H以及低壓側放大器24-L可具有相同的特性。又，高壓側放大器24-H以及低壓側放大器24-L，可具有與圖1所說明的放大器24相同的特性。

高壓側AC耦合電容器26-H以及低壓側AC耦合電容器26-L可具有相同的特性。又，高壓側AC耦合電容器26-H以及低壓側AC耦合電容器26-L，可具有與聯繫圖1所說明的AC耦合電容器26相同的特性。

高壓側AC耦合電容器26H對高壓側電源配線12-H所傳送的電源電壓的變動進行檢測。又，低壓側AC耦合電容器26-L對低壓側電源配線12-L所傳送的電源電壓的變動進行檢測。

高壓側放大器24-H經由高壓側AC耦合電容器26-H，來對高壓側電源配線12-H所傳送的電源電壓的變動成分進行檢測。低壓側放大器24-L經由低壓側AC耦合電容器26-L，來對低壓側電源配線12-L所傳送的電源電壓的變動成分進行檢測。又，高壓側放大器24-H以及低壓側放大器24-L可自共同的電源端子16-1以及電源端子16-2接收電源電壓VDDH以及電源電壓VSSL。

高壓側穩定化電容器22-H設於高壓側放大器24-H的輸出端以及高壓側電源配線12-H之間，且根據高壓側放大器24-H的輸出，來將用以抑制高壓側電源配線12-H中的電源電壓的變動的電流供給至高壓側電源配線12-H。低壓側穩定化電容器22-L設於低壓側放大器24-L的輸出端 以及低壓側電源配線12L之間，且根據低壓側放大器24-L的輸出，來將用以抑制低壓側電源配線12-L中的電源電壓的變動的電流供給至低壓側電源配線12-L。

根據此種構成，可使高壓側電源配線12-H以及低壓側電源配線12-L所傳送的各自的電源電壓穩定化。又，本例的電源穩定化電路20亦可應用於圖1或圖2所說明的任一個電子元件100。又，電子元件100於高壓側電源配線12-H與接地電位之間、以及於低壓側電源配線12-L與接地電位之間，亦可分別具有旁路電容器18。

圖6是表示電源穩定化電路20的其他構成例的圖。本例的電源穩定化電路20包括高壓側穩定化電容器22-H、低壓側穩定化電容器22-L、以及放大器24。於本例中，與圖3或者圖4中所說明的例相同地，使用差動放大器來作為放大器24。亦可利用圖3或圖4中所說明的任一個方法，來產生供給至放大器24的基準電位Vref。

高壓側穩定化電容器22-H以及低壓側穩定化電容器22-L可具有相同的特性。又，高壓側穩定化電容器22-H以及低壓側穩定化電容器22-L，可具有與圖1所說明的穩定化電容器22相同的特性。

高壓側穩定化電容器22-H，設於放大器24的正輸出端或負輸出端的其中一個輸出端(本例中為正輸出端)、與高壓側電源配線12-H之間。低壓側穩定化電容器22-L，設於放大器24的正輸出端或負輸出端的另一個輸出端(本例中為負輸出端)、與低壓側電源配線12-L之間。

根據此種構成，可利用簡單的構成，來使高壓側電源配線12-H及低壓側電源配線12-L所傳送的各自的電源電壓穩定化。又，與圖5中所說明的例相同地，本例的電子元件100可具有旁路電容器18。

圖7是表示測試裝置200的構成的一例的圖。測試裝置200是對半導體電路等的被測試元件300進行測試的裝置，且包括信號輸入部210以及判定部220。

信號輸入部210產生已預先確定的測試信號，並將該測試信號輸入至被測試元件300。為了使例如被測試元件300的邏輯電路動作，測試信號可為具有規定的邏輯圖案(logical pattern)的信號。又，測試信號可為用以指定例如被測試元件300的記憶體(memory)的位址(address)，以將資料(data)寫入至被測試元件300或者自被測試元件300讀出資料的信號。又，測試信號亦可為類比信號(analog signal)。

信號輸入部210可使用圖1至圖6所說明的任一個電子元件100來產生測試信號。例如信號輸入部210可自電子元件100的動作電路10將測試信號輸出。如上所述，電子元件100可使供給至動作電路10的電源電壓穩定化，因此，可高精度地產生測試信號。

判定部220根據被測定信號來對被測試元件300的良否進行判定，該被測定信號是被測試元件300對應於測試信號而輸出的信號。例如，根據被測定信號的邏輯圖案是否與已預先確定的預期值圖案一致，判定部220可對被測 試元件300的良否進行判定。根據本例的測試裝置200，可高精度地產生測試信號。因此，可高精度地對被測試元件300進行測試。

以上，已使用實施形態來對本發明進行了說明，但本發明的技術性範圍並不限定於上述實施形態所揭示的範圍。本領域技術人員顯然瞭解可對上述實施形態添加各種變更或改良。根據申請專利範圍的揭示，上述添加了各種變更或改良的形態顯然亦可包含於本發明的技術性範圍。因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

應當注意：申請專利範圍、說明書以及附圖中所示的裝置、系統、程式(program)以及方法中的動作、順序、步驟以及階段等的各處理的執行順序，並不特別明確地表示「更前」、「先」等，而且，只要並非將之前的處理的輸出用於之後的處理，則能夠以任意的順序來實現。關於申請專利範圍、說明書、以及附圖中的動作流程，為了方便起見而使用「首先，」、「其次，」等進行了說明，但即便如此，並不意味著必須按照上述順序來實施上述動作流程。

10‧‧‧動作電路

12‧‧‧主電源配線

12-H‧‧‧高壓側電源配線

12-L‧‧‧低壓側電源配線

14‧‧‧封裝

16、16-1、16-2、16-3、16-4、16-5‧‧‧電源端子

18‧‧‧旁路電容器

20‧‧‧電源穩定化電路

22‧‧‧穩定化電容器

22-H‧‧‧高壓側穩定化電容器

22-L‧‧‧低壓側穩定化電容器

24‧‧‧放大器

24-H‧‧‧高壓側放大器

24-L‧‧‧低壓側放大器

26‧‧‧AC耦合電容器

26-H‧‧‧高壓側AC耦合電容器

26-L‧‧‧低壓側AC耦合電容器

28‧‧‧電容器

30‧‧‧電阻

40‧‧‧基準電位產生部

100‧‧‧電子元件

200‧‧‧測試裝置

210‧‧‧信號輸入部

220‧‧‧判定部

300‧‧‧被測試元件

VDD、VSS、VDDH、VSSL‧‧‧電源電壓

Vref‧‧‧基準電位

圖1是表示本發明的一個實施形態的電子元件100的構成的一例的圖。

圖2是表示電子元件100的其他構成例的圖。

圖3是表示電源穩定化電路20的其他構成例的圖。

圖4是表示電源穩定化電路20的其他構成例的圖。

圖5是表示電源穩定化電路20的其他構成例的圖。

圖6是表示電源穩定化電路20的其他構成例的圖。

圖7是表示測試裝置200的構成的一例的圖。

12-H‧‧‧高壓側電源配線

12-L‧‧‧低壓側電源配線

14‧‧‧封裝

16-1、16-2、16-3、16-4‧‧‧電源端子

20‧‧‧電源穩定化電路

22‧‧‧穩定化電容器

24‧‧‧放大器

26‧‧‧AC耦合電容器

100‧‧‧電子元件

VDD、VSS、VDDH、VSSL‧‧‧電源電壓

Claims (13)

1. 一種電源穩定化電路，設於電子元件的晶片內，且使供給至上述電子元件的動作電路的電源電壓穩定化，上述電源穩定化電路包括：放大器，對主電源配線中的上述電源電壓的變動成分進行檢測，且將所測得的上述變動成分放大並輸出，上述主電源配線用於將上述電源電壓供給至上述動作電路；以及穩定化電容器，設於上述放大器的輸出端及上述主電源配線之間，且根據上述放大器的輸出，來將用以抑制上述主電源配線中的上述電源電壓的變動的電流，供給至上述主電源配線，其中上述主電源配線包括高壓側電源配線及低壓側電源配線，上述放大器包括：高壓側放大器，將上述高壓側電源配線中的上述電源電壓的變動成分放大並輸出；以及低壓側放大器，將上述低壓側電源配線中的上述電源電壓的變動成分放大並輸出；上述穩定化電容器包括：高壓側穩定化電容器，設於上述高壓側放大器的輸出端及上述高壓側電源配線之間；以及低壓側穩定化電容器，設於上述低壓側放大器的輸出端及上述低壓側電源配線之間。
2. 如申請專利範圍第1項所述的電源穩定化電路，更包括旁路電容器，設於上述主電源配線與規定的電位之間，且將與上述主電源配線中的上述電源電壓的變動相對應的電流，供給至上述主電源配線。
3. 如申請專利範圍第2項所述的電源穩定化電路，其中上述旁路電容器的時間常數，小於上述放大器的時間常數。
4. 如申請專利範圍第1項所述的電源穩定化電路，更包括AC耦合電容器，設於上述放大器的輸入端子及上述主電源配線之間，且將上述電源電壓的變動成分輸入至上述放大器。
5. 如申請專利範圍第4項所述的電源穩定化電路，其中上述放大器為反相放大器，將自上述AC耦合電容器輸入的上述電源電壓的變動成分反相放大而輸出。
6. 如申請專利範圍第1項所述的電源穩定化電路，其中上述放大器的電源電力，經由與上述主電源配線不同的配線而供給至上述放大器。
7. 如申請專利範圍第1項所述的電源穩定化電路，其中 上述放大器為差動放大器，且其中一個輸入端子連接於上述主電源配線，而於另一個輸入端子輸入規定的基準電位。
8. 如申請專利範圍第7項所述的電源穩定化電路，更包括用於產生上述基準電位的基準電位產生部，上述主電源配線包括高壓側電源配線及低壓側電源配線，上述基準電位產生部包括：電阻，設於上述放大器的上述另一個輸入端子與上述高壓側電源配線之間；以及電容器，設於上述放大器的上述另一個輸入端子與上述低壓側電源配線之間。
9. 一種電子元件，包括動作電路與電源穩定化電路，上述電源穩定化電路設於與上述動作電路相同的晶片內，且使供給至上述動作電路的電源電壓穩定化，上述電源穩定化電路包括：放大器，對主電源配線中的上述電源電壓的變動成分進行檢測，且將所測得的上述變動成分放大並輸出，上述主電源配線用於將上述電源電壓供給至上述動作電路；以及穩定化電容器，設於上述放大器的輸出端及上述主電源配線之間，且根據上述放大器的輸出，來將用以抑制上述主電源配線中的上述電源電壓的變動的電流供給至上述主電源配線， 其中上述主電源配線包括高壓側電源配線及低壓側電源配線，上述放大器包括：高壓側放大器，將上述高壓側電源配線中的上述電源電壓的變動成分放大並輸出；以及低壓側放大器，將上述低壓側電源配線中的上述電源電壓的變動成分放大並輸出；上述穩定化電容器包括：高壓側穩定化電容器，設於上述高壓側放大器的輸出端及上述高壓側電源配線之間；以及低壓側穩定化電容器，設於上述低壓側放大器的輸出端及上述低壓側電源配線之間。
10. 一種測試裝置，用以對被測試元件進行測試，其包括：信號輸入部，產生已預先確定的測試信號，並將上述測試信號輸入至上述被測試元件；以及判定部，根據被測定信號來對上述被測試元件的良否進行判定，上述被測定信號是上述被測試元件對應於上述測試信號而輸出的信號；上述信號輸入部包括：動作電路，進行應產生上述測試信號的動作；以及電源穩定化電路，設於與上述動作電路相同的晶片內，且使供給至上述動作電路的電源電壓穩定化；上述電源穩定化電路包括： 放大器，對主電源配線中的上述電源電壓的變動成分進行檢測，且將所測得的上述變動成分放大並輸出，上述主電源配線用於將上述電源電壓供給至上述動作電路；以及穩定化電容器，設於上述放大器的輸出端及上述主電源配線之間，且根據上述放大器的輸出，來將用以抑制上述主電源配線中的上述電源電壓的變動的電流供給至上述主電源配線，其中上述主電源配線包括高壓側電源配線及低壓側電源配線，上述放大器包括：高壓側放大器，將上述高壓側電源配線中的上述電源電壓的變動成分放大並輸出；以及低壓側放大器，將上述低壓側電源配線中的上述電源電壓的變動成分放大並輸出；上述穩定化電容器包括：高壓側穩定化電容器，設於上述高壓側放大器的輸出端及上述高壓側電源配線之間；以及低壓側穩定化電容器，設於上述低壓側放大器的輸出端及上述低壓側電源配線之間。
11. 一種電源穩定化電路，設於電子元件的晶片內，且使供給至上述電子元件的動作電路的電源電壓穩定化，上述電源穩定化電路包括：放大器，對主電源配線中的上述電源電壓的變動成分 進行檢測，且將所測得的上述變動成分放大並輸出，上述主電源配線用於將上述電源電壓供給至上述動作電路；以及穩定化電容器，設於上述放大器的輸出端及上述主電源配線之間，且根據上述放大器的輸出，來將用以抑制上述主電源配線中的上述電源電壓的變動的電流，供給至上述主電源配線，其中上述主電源配線包括高壓側電源配線及低壓側電源配線，上述放大器為差動放大器，且其中一個輸入端子連接於上述高壓側電源配線或上述低壓側電源配線中的一條電源配線，而於另一個輸入端子輸入規定的基準電位，上述穩定化電容器包括：高壓側穩定化電容器，設於上述放大器的正輸出端或負輸出端的其中一個輸出端與上述高壓側電源配線之間；以及低壓側穩定化電容器，設於上述放大器的正輸出端或負輸出端的另一個輸出端與上述低壓側電源配線之間。
12. 一種電子元件，包括動作電路與電源穩定化電路，上述電源穩定化電路設於與上述動作電路相同的晶片內，且使供給至上述動作電路的電源電壓穩定化，上述電源穩定化電路包括：放大器，對主電源配線中的上述電源電壓的變動成分進行檢測，且將所測得的上述變動成分放大並輸出，上述 主電源配線用於將上述電源電壓供給至上述動作電路；以及穩定化電容器，設於上述放大器的輸出端及上述主電源配線之間，且根據上述放大器的輸出，來將用以抑制上述主電源配線中的上述電源電壓的變動的電流供給至上述主電源配線，其中上述主電源配線包括高壓側電源配線及低壓側電源配線，上述放大器為差動放大器，且其中一個輸入端子連接於上述高壓側電源配線或上述低壓側電源配線中的一條電源配線，而於另一個輸入端子輸入規定的基準電位，上述穩定化電容器包括：高壓側穩定化電容器，設於上述放大器的正輸出端或負輸出端的其中一個輸出端與上述高壓側電源配線之間；以及低壓側穩定化電容器，設於上述放大器的正輸出端或負輸出端的另一個輸出端與上述低壓側電源配線之間。
13. 一種測試裝置，用以對被測試元件進行測試，其包括：信號輸入部，產生已預先確定的測試信號，並將上述測試信號輸入至上述被測試元件；以及判定部，根據被測定信號來對上述被測試元件的良否進行判定，上述被測定信號是上述被測試元件對應於上述測試信號而輸出的信號； 上述信號輸入部包括：動作電路，進行應產生上述測試信號的動作；以及電源穩定化電路，設於與上述動作電路相同的晶片內，且使供給至上述動作電路的電源電壓穩定化；上述電源穩定化電路包括：放大器，對主電源配線中的上述電源電壓的變動成分進行檢測，且將所測得的上述變動成分放大並輸出，上述主電源配線用於將上述電源電壓供給至上述動作電路；以及穩定化電容器，設於上述放大器的輸出端及上述主電源配線之間，且根據上述放大器的輸出，來將用以抑制上述主電源配線中的上述電源電壓的變動的電流供給至上述主電源配線，其中上述主電源配線包括高壓側電源配線及低壓側電源配線，上述放大器為差動放大器，且其中一個輸入端子連接於上述高壓側電源配線或上述低壓側電源配線中的一條電源配線，而於另一個輸入端子輸入規定的基準電位，上述穩定化電容器包括：高壓側穩定化電容器，設於上述放大器的正輸出端或負輸出端的其中一個輸出端與上述高壓側電源配線之間；以及低壓側穩定化電容器，設於上述放大器的正輸出端或負輸出端的另一個輸出端與上述低壓側電源配線之間。