JP2005315729A - 直流試験装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小さい回路規模で、電流検出の精度の温度補償を行う直流試験装置を提供する。
【解決手段】電子デバイスに直流電圧及び直流電流を印加して試験を行う直流試験装置であって、直流電圧及び直流電流を生成する電力生成部と、電力生成部と電子デバイスとの間に直列に設けられた電流検出抵抗と、電流検出抵抗の両端の電位差に基づいて直流電流の大きさを検出する電流検出部とを備え、電流検出部は、電流検出抵抗より温度係数の小さい基準抵抗と、電流検出抵抗の両端の電位差に、電流検出抵抗の抵抗値と、基準抵抗の抵抗値との比に応じた係数を乗じて直流電流の大きさを検出する温度補償部とを有する直流試験装置を提供する。
【選択図】図2
【解決手段】電子デバイスに直流電圧及び直流電流を印加して試験を行う直流試験装置であって、直流電圧及び直流電流を生成する電力生成部と、電力生成部と電子デバイスとの間に直列に設けられた電流検出抵抗と、電流検出抵抗の両端の電位差に基づいて直流電流の大きさを検出する電流検出部とを備え、電流検出部は、電流検出抵抗より温度係数の小さい基準抵抗と、電流検出抵抗の両端の電位差に、電流検出抵抗の抵抗値と、基準抵抗の抵抗値との比に応じた係数を乗じて直流電流の大きさを検出する温度補償部とを有する直流試験装置を提供する。
【選択図】図2
Description
本発明は、電子デバイスの直流試験を行う直流試験装置に関する。
従来、半導体回路等の電子デバイスの試験に、電子デバイスに所定の直流電圧を印加して、そのときに電子デバイスに供給される直流電圧を測定する電圧印加電流測定試験や、電子デバイスに所定の直流電流を印加して、そのときに電子デバイスに供給される直流電圧を測定する電流印加電圧測定試験等の直流試験がある。
図1は、従来の直流試験装置200の構成を示す図である。直流試験装置200は、電子デバイス300の電圧印加電流測定試験を行い、電源202、増幅器210、複数の電流検出抵抗(206−1〜206−n、但しnは2以上の整数)、増幅器212、及びアナログディジタルコンバータ204を備える。電源202は所定の電圧を発生し、増幅器210は、電源202が発生した電圧を増幅して出力する。また、複数の電流検出抵抗206はそれぞれ同一の抵抗であって、増幅器210と電子デバイス300との間に並列に設けられる。
また電子デバイス300に印加される電圧は、増幅器210にフィードバックされ、増幅器210に所定の直流電圧を生成させる。このとき増幅器212は、電流検出抵抗206の両端の電位差に応じた電圧を出力し、アナログディジタルコンバータ204は、増幅器212が出力する電圧に基づいて、電子デバイス300に供給される直流電流を測定する。
現在、関連する特許文献等は認識していないため、その記載を省略する。
従来の直流試験装置200では、増幅器210及び増幅器212は、同一の半導体チップ208上に形成され、複数の電流検出抵抗206は半導体チップ208外に形成される。このため、直流試験装置200が大きくなってしまう。例えば、直流電流の測定レンジを変更したい場合、複数の電流検出抵抗206と、それぞれの電流検出抵抗206を接続するか否かを切りかえるスイッチとを設け、それぞれのスイッチを切りかえることにより測定レンジを変更する必要があり、半導体チップ208の他に大規模の回路が必要となってしまう。
また、電流検出抵抗206を半導体チップ208上に形成する場合、半導体プロセスによって電流検出抵抗206を形成する必要がある。しかし、半導体プロセスでは、温度係数の小さい抵抗を形成することが困難であるため、半導体チップ208の温度変化によって電流検出抵抗206の抵抗値が変動し、電流測定精度が低下してしまう。
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、電子デバイスに直流電圧及び直流電流を印加して試験を行う直流試験装置であって、直流電圧及び直流電流を生成する電力生成部と、電力生成部と電子デバイスとの間に直列に設けられた電流検出抵抗と、電流検出抵抗の両端の電位差に基づいて直流電流の大きさを検出する電流検出部とを備え、電流検出部は、電流検出抵抗より温度係数の小さい基準抵抗と、電流検出抵抗の両端の電位差に、電流検出抵抗の抵抗値と、基準抵抗の抵抗値との比に応じた係数を乗じて直流電流の大きさを検出する温度補償部とを有する直流試験装置を提供する。
温度補償部は、電流検出抵抗の両端の電位差に応じた電圧を出力する電流検出増幅器と、電流検出増幅器の出力端に直列に接続され、電流検出抵抗と略同一の温度係数を有する模擬抵抗と、模擬抵抗の抵抗値と、基準抵抗の抵抗値との比に応じた増幅度で、電流検出増幅器が出力する電圧を増幅して出力する温度補償増幅器とを有してよい。
電流検出抵抗は、電力生成部と電子デバイスとの間に並列に複数設けられてよい。電力生成部、電流検出抵抗、電流検出増幅器、模擬抵抗、及び温度補償増幅器は、同一の半導体チップ上に形成され、基準抵抗は、半導体チップ外に形成されることが好ましい。電流検出抵抗及び模擬抵抗は、同一の半導体プロセスによって形成されてよい。
温度補償増幅器は、正入力端子が接地された差動増幅器であって、模擬抵抗は、温度補償増幅器の負入力端子と、電流検出増幅器の出力端子との間に直列に設けられ、基準抵抗は、温度補償増幅器の出力端子と負入力端子との間に直列に設けられてよい。
直流試験装置は、電子デバイスに印加される電圧を電力生成部にフィードバックして、電力生成部が生成する直流電圧を所定の電圧に制御するフィードバック部と、温度補償増幅器が出力する電圧に基づいて、直流電流を測定する測定部とを更に備えてよい。また、電力生成部は、温度補償部が出力する電圧に基づいて、直流電流を所定の電流に制御し、試験装置は、電子デバイスに印加される電圧を測定する測定部を更に備えてもよい。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図2は、本発明の実施形態に係る直流試験装置100の構成の一例を示す図である。直流試験装置100は、半導体回路等の電子デバイス300に直流電圧及び直流電流を印加して試験を行う装置であって、電源10、アナログディジタルコンバータ12、複数のスイッチ(22、24、26、28)、電力生成部30、複数の電流検出抵抗(32−1〜32−n、但しnは2以上の整数)、電流検出部40、及びフィードバック線48を備える。
まず、電子デバイス300に所定の直流電圧を印加し、そのときに電子デバイス300に供給される直流電流を測定する電圧印加電流測定試験を行う場合の動作の概要について説明する。この場合、スイッチ22及びスイッチ28が短絡され、スイッチ24及びスイッチ26が開放される。
電源10は所定の電圧を生成し、電力生成部30は、電源10から印加される電圧に応じた直流電圧を生成する。複数の直流検出抵抗32は、それぞれ電力生成部30の出力端子と電子デバイス300の入力端子との間に直列に設けられる。即ち、電流検出抵抗32は、電力生成部30と電子デバイス300との間に並列に複数設けられる。
フィードバック線48は、電子デバイス300に印加される電圧をスイッチ22を介して電力生成部30にフィードバックし、電力生成部30に所定の直流電圧を生成させる。つまり、フィードバック線48及びスイッチ22は、本発明におけるフィードバック部として機能する。また電力生成部30は、例えば差動増幅器であって、正入力端子に電源10が生成した電圧を受け取り、負入力端子にフィードバック部がフィードバックする電圧を受け取る。このような構成により、所定の直流電圧を電子デバイス300に印加する。
そして電流検出部40は、電流検出抵抗32の両端の電位差に基づいて、電子デバイス300に供給される直流電流の大きさを検出する。本例における電流検出部40は、当該電位差に基づいて一の電流検出抵抗32に流れる電流を検出する。この場合、電流検出部40が検出した電流に、電流検出抵抗32の並列数を乗じることにより、電子デバイス300に供給される直流電流の大きさを測定することができる。また、電流検出抵抗32の並列数を切りかえるためのスイッチを更に備えていてもよい。この場合、電流検出抵抗32の並列数を切りかえることにより、直流電流の測定レンジを切りかえることができる。
そして、アナログディジタルコンバータ12は、電流検出部40が、検出した電流に応じて出力する電圧をスイッチ28を介して受け取り、当該電圧をディジタル変換することにより、電子デバイス300に供給される直流電流を測定する。つまりアナログディジタルコンバータ12は、温度補償増幅器38が出力する電圧に基づいて、直流電流を測定する測定部として機能する。
次に、電子デバイス300に所定の直流電流を印加し、そのときに電子デバイス300に供給される直流電圧を測定する電流印加電圧測定試験を行う場合の動作の概要について説明する。この場合、スイッチ22及びスイッチ28が開放され、スイッチ24及びスイッチ26が短絡される。
電源10は所定の電圧を生成し、電力生成部30は、電源10から印加される電圧に応じた直流電流を生成する。このとき、電力生成部30の負入力端子には、電流検出部40が検出した電流に応じた電圧が印加される。このような構成により、所定の直流電流を電子デバイス300に供給することができる。また、アナログディジタルコンバータ12は、このときに電子デバイス300に印加される電圧をディジタル変換し、直流電圧を測定する。つまりアナログディジタルコンバータ12は、電子デバイス300に印加される直流電圧を測定する測定部として機能する。
次に、電流検出部40の構成について説明する。電流検出部40は、温度補償部50及び基準抵抗14を有する。基準抵抗14は、電流検出抵抗32より温度係数が小さい抵抗である。つまり基準抵抗14は、周囲温度が変化した場合の抵抗値の変化が、電流検出抵抗32より小さい。
温度補償部50は、電流検出抵抗32の両端の電位差に、電流検出抵抗32の抵抗値と、基準抵抗14の抵抗値との比に応じた係数を乗じて、電子デバイス300に供給される直流電流の大きさを検出する。例えば、基準抵抗14の抵抗値を、電流検出抵抗32の抵抗値で除算した係数を、電流検出抵抗32の両端の電位差に乗じることにより、周囲温度が変化して電流検出抵抗32の抵抗値が変化した場合であっても、当該抵抗値の変化による電流検出精度の低下を防ぐことができる。
本例において温度補償部50は、電流検出増幅器34、模擬抵抗36、及び温度補償増幅器38を有する。電流検出増幅器34は、電流検出抵抗32の両端の電位差に応じた電圧を出力する。また模擬抵抗36は、電流検出増幅器34の出力端に直列に接続され、電流検出抵抗32と略同一の温度係数を有する。
温度補償増幅器38は、模擬抵抗36の抵抗値と、基準抵抗14の抵抗値との比に応じた増幅度で、電流検出増幅器34が出力する電圧を増幅して出力する。例えば温度補償増幅器38は、正入力端子が接地された差動増幅器であって、模擬抵抗36は、温度補償増幅器38の負入力端子と、電流検出増幅器34の出力端子との間に直列に設けられ、基準抵抗14は、温度補償増幅器38の出力端子と負入力端子との間に直列に設けられる。
また、電力生成部30、複数の電流検出抵抗32、電流検出増幅器34、模擬抵抗36、温度補償増幅器38、複数のスイッチ(22、24、26、28)、フィードバック線48は、同一の半導体チップ20上に形成され、基準抵抗14は、半導体チップ20外に形成されることが好ましい。基準抵抗14を半導体チップ20外に設けることにより、温度係数の小さい基準抵抗14を容易に形成することができる。また、複数の電流検出抵抗32を設けた場合であっても、半導体チップ20外には、基準抵抗14を一つ設けることにより、温度補償を行うことができるため、小さい回路規模で温度補償を行うことができる。
また、電流検出抵抗32及び模擬抵抗36は、同一の半導体プロセスによって形成されてよい。同一の半導体プロセスによって形成することにより、電流検出抵抗32と模擬抵抗36の特性を容易に略同一とすることができる。また模擬抵抗36は、電流検出抵抗32の近傍に設けられることが好ましい。
以上説明したように、本例における電流検出部40によれば、電流検出抵抗32の抵抗値が温度変化により変化した場合であっても、当該抵抗値の変化を補償して精度よく電流値を検出することができる。このため、電圧印加電流測定試験においては、精度よく直流電流を測定することができ、電流印加電圧測定試験においては、精度よく直流電流を生成することができる。
図3は、直流試験装置100の構成の他の例を示す図である。本例における直流試験装置100は、図2において説明した直流試験装置100の構成に加え、抵抗42、抵抗44、及び増幅器46を更に備える。また、本例における電力生成部30は、負入力端子に抵抗42を介して電源10が生成する電圧を受け取り、正入力端子が接地された反転増幅型の差動増幅器である。
また、電圧印加電流測定試験を行う場合、フィードバック線48は、増幅器46、スイッチ22、及び抵抗44を介して、電力生成部30の負入力端子に直流電圧をフィードバックする。また、電流印加電圧測定試験を行う場合、電流検出部40は、スイッチ24及び抵抗44を介して、電力生成部30の負入力端子に直流電流をフィードバックする。
このような構成によっても、図2において説明した直流試験装置100と同様に、小さい回路規模で、温度補償を行うことができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
以上から明らかなように、本発明によれば、小さい回路規模で、電流検出の精度の温度補償を行う直流試験装置を提供することができる。
10・・電源、12・・アナログディジタルコンバータ、14・・基準抵抗、20・・半導体チップ、22、24、26、28・・スイッチ、30・・電力生成部、32・・電流検出抵抗、34・・電流検出増幅器、36・・模擬抵抗、38・・温度補償増幅器、40・・電流検出部、42、44・・抵抗、46・・増幅器、48・・フィードバック線、50・・温度補償部、100・・直流試験装置、200・・直流試験装置、202・・電源、204・・アナログディジタルコンバータ、206・・電流検出抵抗、208・・半導体チップ、210、212・・増幅器、300・・電子デバイス
Claims (8)
- 電子デバイスに直流電圧及び直流電流を印加して試験を行う直流試験装置であって、
前記直流電圧及び前記直流電流を生成する電力生成部と、
前記電力生成部と前記電子デバイスとの間に直列に設けられた電流検出抵抗と、
前記電流検出抵抗の両端の電位差に基づいて前記直流電流の大きさを検出する電流検出部と
を備え、
前記電流検出部は、
前記電流検出抵抗より温度係数の小さい基準抵抗と、
前記電流検出抵抗の両端の電位差に、前記電流検出抵抗の抵抗値と、前記基準抵抗の抵抗値との比に応じた係数を乗じて前記直流電流の大きさを検出する温度補償部と
を有する
直流試験装置。 - 前記温度補償部は、
前記電流検出抵抗の両端の電位差に応じた電圧を出力する電流検出増幅器と、
前記電流検出増幅器の出力端に直列に接続され、前記電流検出抵抗と略同一の温度係数を有する模擬抵抗と、
前記模擬抵抗の抵抗値と、前記基準抵抗の抵抗値との比に応じた増幅度で、前記電流検出増幅器が出力する電圧を増幅して出力する温度補償増幅器と
を有する
請求項1に記載の直流試験装置。 - 前記電流検出抵抗は、前記電力生成部と前記電子デバイスとの間に並列に複数設けられる
請求項2に記載の直流試験装置。 - 前記電力生成部、前記電流検出抵抗、前記電流検出増幅器、前記模擬抵抗、及び前記温度補償増幅器は、同一の半導体チップ上に形成され、
前記基準抵抗は、前記半導体チップ外に形成される
請求項2に記載の直流試験装置。 - 前記電流検出抵抗及び前記模擬抵抗は、同一の半導体プロセスによって形成される
請求項4に記載の直流試験装置。 - 前記温度補償増幅器は、正入力端子が接地された差動増幅器であって、
前記模擬抵抗は、前記温度補償増幅器の負入力端子と、前記電流検出増幅器の出力端子との間に直列に設けられ、
前記基準抵抗は、前記温度補償増幅器の出力端子と負入力端子との間に直列に設けられる
請求項4に記載の直流試験装置。 - 前記電子デバイスに印加される電圧を前記電力生成部にフィードバックして、前記電力生成部が生成する前記直流電圧を所定の電圧に制御するフィードバック部と、
前記温度補償増幅器が出力する電圧に基づいて、前記直流電流を測定する測定部と
を更に備える請求項6に記載の直流試験装置。 - 前記電力生成部は、前記温度補償部が出力する電圧に基づいて、前記直流電流を所定の電流に制御し、
前記試験装置は、前記電子デバイスに印加される電圧を測定する測定部を更に備える
請求項6に記載の直流試験装置。
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