JP2010054314A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のDUTに対して並列に直流試験を行うために複数の直流試験モジュールが設けられ、前記DUTの出力電位に関連した各直流試験モジュールのアナログ出力信号がマルチプレクサを介して選択的にA/D変換器に入力される半導体試験装置において、前記各DUTの出力電位を前記各直流試験モジュールを介することなく前記マルチプレクサに直接入力する複数のバイパス経路が設けられたことを特徴とするもの。
【選択図】 図1
Description
複数のDUTに対して並列に直流試験を行うために複数の直流試験モジュールが設けられ、前記DUTの出力電位に関連した各直流試験モジュールのアナログ出力信号がマルチプレクサを介して選択的にA/D変換器に入力される半導体試験装置において、
前記各DUTの出力電位を前記各直流試験モジュールを介することなく前記マルチプレクサに直接入力する複数のバイパス経路が設けられたことを特徴とする。
複数のDUTに対して並列に直流試験を行うために複数の直流試験モジュールが設けられ、前記DUTの出力電位に関連した各直流試験モジュールのアナログ出力信号がマルチプレクサを介して選択的にA/D変換器に入力される半導体試験装置において、
前記各DUTの出力電位を前記各直流試験モジュールを介することなく前記マルチプレクサに直接入力する複数のバイパス経路と、
前記マルチプレクサの選択動作に連動して前記A/D変換器の基準電位を切り換える基準切換部が設けられ、
前記マルチプレクサで前記直流試験モジュールのアナログ出力信号が選択されると前記基準切換部は前記直流試験モジュールの基準電位を出力し、前記マルチプレクサで前記バイパス経路が選択されると前記基準切換部は前記DUTの基準電位を出力することを特徴とする。
前記各バイパス経路には、バッファアンプが設けられたことを特徴とする。
20 マルチプレクサ
30 A/D変換器
40 制御部
50 基準切換部
601〜60n バイパス経路
701〜70n バッファアンプ
100 半導体試験装置
2001〜200n DUT
Claims (3)
- 複数のDUTに対して並列に直流試験を行うために複数の直流試験モジュールが設けられ、前記DUTの出力電位に関連した各直流試験モジュールのアナログ出力信号がマルチプレクサを介して選択的にA/D変換器に入力される半導体試験装置において、
前記各DUTの出力電位を前記各直流試験モジュールを介することなく前記マルチプレクサに直接入力する複数のバイパス経路が設けられたことを特徴とする半導体試験装置。 - 複数のDUTに対して並列に直流試験を行うために複数の直流試験モジュールが設けられ、前記DUTの出力電位に関連した各直流試験モジュールのアナログ出力信号がマルチプレクサを介して選択的にA/D変換器に入力される半導体試験装置において、
前記各DUTの出力電位を前記各直流試験モジュールを介することなく前記マルチプレクサに直接入力する複数のバイパス経路と、
前記マルチプレクサの選択動作に連動して前記A/D変換器の基準電位を切り換える基準切換部が設けられ、
前記マルチプレクサで前記直流試験モジュールのアナログ出力信号が選択されると前記基準切換部は前記直流試験モジュールの基準電位を出力し、前記マルチプレクサで前記バイパス経路が選択されると前記基準切換部は前記DUTの基準電位を出力することを特徴とする半導体試験装置。 - 前記各バイパス経路には、バッファアンプが設けられたことを特徴とする請求項1または2記載の半導体試験装置。
Priority Applications (1)
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JP2008218980A JP2010054314A (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | 半導体試験装置 |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2005106513A1 (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Advantest Corporation | 直流試験装置 |
JP2008096354A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Yokogawa Electric Corp | 半導体試験装置 |
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2008
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Patent Citations (2)
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WO2005106513A1 (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Advantest Corporation | 直流試験装置 |
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