JP2007201150A - Dacセトリング特性評価方法、dacセトリング特性評価装置及び電子線描画装置 - Google Patents
Dacセトリング特性評価方法、dacセトリング特性評価装置及び電子線描画装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明のDACセトリング特性評価方法は、第1のDACアンプ11aに第1の評価信号を入力して、第1のDACアンプ11aの出力側に接続された第1の測定抵抗素子12a及びこれと並列に接続された第1の遅延補償素子13aを介して第1の出力電圧を出力し、第2のDACアンプ11bに第1の評価信号の逆相となる第2の評価信号を入力して、第2のDACアンプ11bの出力側に接続された第2の測定抵抗素子12b及びこれと並列に接続された第2の遅延補償素子13bを介して第2の出力電圧を出力し、第1、第2の出力電圧を加算した値より、DACアンプのセトリング時間を測定することでDACセトリング特性を評価する。
【選択図】図2
Description
図1に本実施形態のDACセトリング特性評価装置が用いられる電子線描画装置を示す。図1に示すように、コラム1内に、マスク2が載置されるステージ3と、マスク2に電子線を照射する電子銃4の間に、電子線の位置を制御する複数対の偏向器5が設けられている。偏向器5には、夫々これを制御する制御回路6が接続されており、この制御回路6は、デジタルデータをアナログデータに変換するDA変換器と、その出力を増幅するアンプから構成されるDACアンプ11を備えている。
本実施形態においては、実施形態1と同様のセトリング特性評価装置が用いられるが、評価信号の入力タイミングに時間差が設けられる点において異なっている。
本実施形態においては、実施形態1と同様のセトリング特性評価装置が用いられるが、DACアンプ一対に対して夫々設けられるのではなく、複数対に対して設けられている点において異なっている。
2…マスク
3…ステージ
4…電子銃
5…偏向器
6…制御回路
7…DACセトリング評価装置
11、11a、11b、21a、21b、21c、21d、21e、21f、21g、21h…DACアンプ
12a、12b、22a、22b、22c、22d、22e、22f、22g、22h
…測定抵抗
13a、13b、23a、23b、23c、23d、23e、23f、23g、23h
…コンデンサ
14、24…プローブ
15、25…オシロスコープ
Claims (5)
- 第1のDACアンプに第1の評価信号を入力して、前記第1のDACアンプの出力側に接続された第1の測定抵抗素子及びこの第1の測定抵抗素子と並列に接続された第1の遅延補償素子を介して前記第1のDACアンプから第1の出力電圧を出力し、
第2のDACアンプに前記第1の評価信号の逆相となる第2の評価信号を入力して、前記第2のDACアンプの出力側に接続された第2の測定抵抗素子及びこの第2の測定抵抗素子と並列に接続された第2の遅延補償素子を介して前記第2のDACアンプから第2の出力電圧を出力し、
前記第1の出力電圧と、前記第2の出力電圧を加算した値から、第1のDACアンプ及び第2のDACアンプのセトリング時間を測定することにより、DACセトリング特性を評価することを特徴とするDACセトリング特性評価方法。 - 前記第1の評価信号と、前記第2の評価信号の入力タイミングに時間差を設けることを特徴とする請求項1に記載のDACセトリング特性評価方法。
- 前記第1のDACアンプと前記第2のDACアンプの対を複数対設け、これら複数対のDACアンプの出力電圧を加算することによりセトリング時間を測定することを特徴とする請求項1または2に記載のDACセトリング特性評価方法。
- 第1の評価信号が入力される第1のDACアンプの出力側に接続される第1の測定抵抗素子と、
前記第1の測定抵抗素子と並列に接続される第1の遅延補償素子と、
前記第1の評価信号と逆位相の第2の評価信号が入力される第2のDACアンプの出力側に接続される第2の測定抵抗素子と、
前記第2の測定抵抗素子と並列に接続される第2の遅延補償素子と、
前記第1の測定抵抗素子と前記第2の測定抵抗素子間に接続され、前記第1の測定抵抗素子と前記第2の測定抵抗素子からの出力電圧を加算して検出する手段を備えることを特徴とするDACセトリング特性評価装置。 - 請求項4に記載のDACセトリング特性評価装置を備えることを特徴とする電子線描画装置。
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