JP2002098738A - Icテスタ - Google Patents
IcテスタInfo
- Publication number
- JP2002098738A JP2002098738A JP2000293726A JP2000293726A JP2002098738A JP 2002098738 A JP2002098738 A JP 2002098738A JP 2000293726 A JP2000293726 A JP 2000293726A JP 2000293726 A JP2000293726 A JP 2000293726A JP 2002098738 A JP2002098738 A JP 2002098738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- converter
- output
- digital data
- tester
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
となく、高速で高精度に試験を行うことができるICテ
スタを実現することを目的にする。 【解決手段】 本発明は、複数ピンから多段階電圧を出
力する被試験対象を試験するICテスタに改良を加えた
ものである。本装置は、被試験対象の多段階電圧に対応
した期待値電圧を出力する電圧発生部と、被試験対象の
各ピン系統ごとに設けられ、被試験対象の多段階電圧と
電圧発生部の期待値電圧の差電圧を出力する差電圧発生
部と、被試験対象の各ピン系統ごとに設けられ、差電圧
発生部の差電圧を増幅する電圧増幅器と、被試験対象の
各ピン系統ごとに設けられ、電圧増幅器の出力をデジタ
ルデータに変換するA/Dコンバータとを有し、A/D
コンバータのデジタルデータにより、被試験対象の試験
を行うことを特徴とする装置である。
Description
階電圧を出力する被試験対象、例えば液晶駆動ドライバ
等を試験するICテスタに関し、高速高精度のA/Dコ
ンバータが不要なICテスタに関するものである。
階(多階調)電圧を出力し、液晶ディスプレイを駆動し
ている。このような液晶駆動ドライバを試験するICテ
スタを図2に示し説明する。
す)1は、複数ピンから多段階電圧を出力する。スイッ
チ2は、DUT1のピンを選択する。A/Dコンバータ
3は、スイッチ2からの出力を入力し、デジタルデータ
に変換する。メモリ4は、A/Dコンバータ3からのデ
ジタルデータを格納する。デジタル信号処理部(以下D
SPと略す)5は、メモリ4のデジタルデータにより、
DUT1の良否判定を行う。
DUT1は、多段階電圧を出力する。そして、スイッチ
2がDUT1のピンを順番に選択し、出力する。この出
力を、A/Dコンバータ3は、デジタルデータに変換
し、メモリ4に格納する。そして、DSP5は、メモリ
4のデジタルデータにより、各ピンの出力電圧の絶対値
の大きさ、ピン間の出力電圧のバラツキの大きさなどを
演算処理して、DUT1の良否の判定を行う。
来の構成によれば、DUT1の各ピンの出力電圧の測定
にあたり、DUT1の各ピンの出力電圧をスイッチ2で
切り換えて、A/Dコンバータ3に入力しているので、
かなりの測定時間を要する。
して、A/Dコンバータ3をDUT1のピンごとに設
け、並列にDUT1の各ピンの出力電圧を取込み方法も
考えられる。しかし、高価な高速高精度のA/Dコンバ
ータ3を多数必要とし、コスト増加の要因になってしま
う。
で、デジタルデータのビット数が多く、DSP5が演算
に時間を要するという問題点があった。
A/Dコンバータを用いることなく、高速で高精度に試
験を行うことができるICテスタを実現することにあ
る。
多段階電圧を出力する被試験対象を試験するICテスタ
において、前記被試験対象の多段階電圧に対応した期待
値電圧を出力する電圧発生部と、前記被試験対象の各ピ
ン系統ごとに設けられ、前記被試験対象の多段階電圧と
前記電圧発生部の期待値電圧の差電圧を出力する差電圧
発生部と、前記被試験対象の各ピン系統ごとに設けら
れ、前記差電圧発生部の差電圧を増幅する電圧増幅器
と、前記被試験対象の各ピン系統ごとに設けられ、前記
電圧増幅器の出力をデジタルデータに変換するA/Dコ
ンバータとを有し、前記A/Dコンバータのデジタルデ
ータにより、前記被試験対象の試験を行うことを特徴と
するものである。
形態を説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成
図である。ここで、図2と同一のものは、同一符号を付
し説明を省略する。
生部で、DUT1の多段階電圧に対応した期待値電圧を
出力する。差電圧発生部7は、DUT1のピンごとに設
けられ、DUT1の多段階電圧とD/Aコンバータ6の
期待値電圧の差電圧を出力する。電圧増幅器(以下PG
Aと略す)8は、差電圧発生部7の差電圧を、利得を可
変し増幅する。A/Dコンバータ9は、PGA8の出力
をデジタルデータに変換する。デジタルデータ比較部1
0は、A/Dコンバータ9のデジタルデータを入力し、
デジタルデータを比較し、デジタルデータの最大値、最
小値の出力、及び、期待値と比較し、パス/フェイルデ
ータを出力する。
まず、ピン間ばらつきの試験について説明する。ピン間
ばらつきの試験は、液晶駆動ドライバの場合、ばらつき
が許容範囲を越えると、表示むらなどが生じるため行わ
れている。
そして、DUT1の全ピンから電圧を出力し、D/Aコ
ンバータ6は期待値電圧を出力する。差電圧発生部7
が、DUT1の出力とD/Aコンバータ6の期待値電圧
との差電圧を出力する。この差電圧を、A/Dコンバー
タ9は、デジタルデータに変換する。この全デジタルデ
ータを、デジタルデータ比較器10は比較し、最大値/
最小値を出力する。
は、ピン間ばらつきを見るための測定精度が足りていな
い。つまり、DUT1ごとに、出力電圧の誤差があるの
で、最初から出力誤差個所に合わせることができない。
そこで、最大値、最小値から、D/Aコンバータ6の期
待値電圧の変更と、PGA8の利得を高くする。そし
て、上記の動作を行い、DUT1の出力誤差に合わせ
て、ピン間ばらつきを求める。
り、ピンごとに誤差が発生するので、補正することはい
うまでもない。また、ピン間ばらつきの最大値/最小値
は、PGA8の利得により、値が変化するので、デジタ
ルデータ比較器10の出力先で、PGA8の利得に基づ
いて、電圧を求めることはいうまでもない。
について説明する。PGA8の利得を設定する。そし
て、DUT1の全ピンから電圧を出力し、D/Aコンバ
ータ6は期待値電圧を出力する。差電圧発生部7が、D
UT1の出力とD/Aコンバータ6の期待値電圧との差
電圧を出力する。この差電圧を、A/Dコンバータ9
は、デジタルデータに変換する。デジタルデータ比較器
10は、期待値と比較し、パス/フェイルデータを出力
する。つまり、出力電圧が所定の範囲内に入っているか
で、パス/フェイルデータを出力する。
出力とD/Aコンバータ6の期待値電圧の差電圧を取
り、PGA8で増幅して、A/Dコンバータ9でデジタ
ルデータに変換するので、A/Dコンバータ9が低精度
でも、高速高精度に試験することができる。つまり、安
価にICテスタを実現することができる。
るので、A/Dコンバータ9が出力するデジタルデータ
のビット数が少なくてよく、デジタルデータ比較器10
のデータ処理量が少なくてよい。さらに、安価にICテ
スタを実現することができる。
に、D/Aコンバータ6の出力を変化させるので、DU
T1の出力誤差における出力ピン間ばらつきを、さらに
高速に求めることができる。
なく、デジタルデータ比較器10を設けた構成を示した
が、デジタルデータ比較器10の代わりに、メモリ、D
SPを設けて、データ処理を行う構成でもよい。
ために、PGA8の利得を変化させたが、最初から利得
を高くし、D/Aコンバータ6の出力を振って、DUT
1のピン間ばらつきを求める構成でもよい。
り、期待値電圧を複数の差電圧発生部7に出力する構成
を示したが、差電圧発生部7ごと、あるいはグループご
とに、D/Aコンバータ6を設ける構成にしてもよい。
電圧試験を行う構成を示したが、DUT1の出力電圧を
変化させたときに、同一ピンの出力が変化しているかを
試験するために、デジタルデータを保持し、次の変化さ
せたDUT1の出力電圧におけるデジタルデータと比較
する構成にしてもよい。
る。請求項1によれば、差電圧発生部で被試験対象の出
力と電圧発生部の期待値電圧の差電圧を取り、電圧増幅
器で増幅して、A/Dコンバータでデジタルデータに変
換するので、A/Dコンバータが低精度でも、高速高精
度に試験することができる。つまり、安価にICテスタ
を実現することができる。
るので、A/Dコンバータが出力するデジタルデータの
ビット数が少なくてよく、データ処理量が少なくてよ
い。さらに、安価にICテスタを実現することができ
る。
化させると共に、電圧発生部の出力を変化させるので、
被試験対象の出力誤差における出力ピン間ばらつきを、
さらに高速に求めることができる。
Claims (2)
- 【請求項1】 複数ピンから多段階電圧を出力する被試
験対象を試験するICテスタにおいて、 前記被試験対象の多段階電圧に対応した期待値電圧を出
力する電圧発生部と、 前記被試験対象の各ピン系統ごとに設けられ、前記被試
験対象の多段階電圧と前記電圧発生部の期待値電圧の差
電圧を出力する差電圧発生部と、 前記被試験対象の各ピン系統ごとに設けられ、前記差電
圧発生部の差電圧を増幅する電圧増幅器と、 前記被試験対象の各ピン系統ごとに設けられ、前記電圧
増幅器の出力をデジタルデータに変換するA/Dコンバ
ータとを有し、前記A/Dコンバータのデジタルデータ
により、前記被試験対象の試験を行うことを特徴とする
ICテスタ。 - 【請求項2】 電圧増幅器は利得を可変できることを特
徴とする請求項1記載のICテスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000293726A JP2002098738A (ja) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | Icテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000293726A JP2002098738A (ja) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | Icテスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002098738A true JP2002098738A (ja) | 2002-04-05 |
JP2002098738A5 JP2002098738A5 (ja) | 2005-12-08 |
Family
ID=18776470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000293726A Pending JP2002098738A (ja) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | Icテスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002098738A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007132905A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
JP2007147469A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
JP2007155538A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Kodai Hitec:Kk | 電流電圧印加・測定装置及び半導体検査装置 |
-
2000
- 2000-09-27 JP JP2000293726A patent/JP2002098738A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007132905A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
JP2007147469A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
JP2007155538A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Kodai Hitec:Kk | 電流電圧印加・測定装置及び半導体検査装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3983123B2 (ja) | 半導体検査装置及び半導体検査方法 | |
KR100573340B1 (ko) | 기준 전압 발생 장치 및 그것을 구비한 반도체 집적 회로와반도체 집적 회로의 검사 장치 및 그 검사 방법 | |
US7859268B2 (en) | Method of testing driving circuit and driving circuit for display device | |
US6255839B1 (en) | Voltage applied type current measuring circuit in an IC testing apparatus | |
KR20020025841A (ko) | 반도체 집적회로의 검사방법 및 그 검사장치 | |
JP3558964B2 (ja) | 半導体集積回路の検査装置及びその検査方法 | |
US8471599B2 (en) | Adjustable voltage comparing circuit and adjustable voltage examining device | |
KR100389560B1 (ko) | 반도체집적회로의 검사장치 및 그의 검사방법 및 그검사프로그램을 기록하는 기억매체 | |
JP2002098738A (ja) | Icテスタ | |
WO2012137708A1 (ja) | 半導体装置及びその検査方法 | |
US7957924B2 (en) | System and method for distortion analysis | |
JP4023085B2 (ja) | Icテスタ | |
US7091891B2 (en) | Calibration of analog to digital converter by means of multiplexed stages | |
JP3554767B2 (ja) | 半導体テスト装置 | |
JP2006138844A (ja) | Icテスタ | |
JP2007147469A (ja) | Icテスタ | |
JP2007132905A (ja) | Icテスタ | |
JP3874164B2 (ja) | Icテスタ | |
JP2005069970A (ja) | Icテスタ | |
JP2944307B2 (ja) | A/dコンバータの非直線性の検査方法 | |
JP2008096354A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP2003240821A (ja) | Icテスタ | |
KR20000007224A (ko) | 디지털/아날로그 변환기 테스트 장치 | |
JP3068504U (ja) | 半導体試験装置 | |
JPH102935A (ja) | Ic試験装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040329 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050304 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060929 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061228 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070207 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20070316 |