JP2006138844A - Icテスタ - Google Patents

Icテスタ Download PDF

Info

Publication number
JP2006138844A
JP2006138844A JP2005298459A JP2005298459A JP2006138844A JP 2006138844 A JP2006138844 A JP 2006138844A JP 2005298459 A JP2005298459 A JP 2005298459A JP 2005298459 A JP2005298459 A JP 2005298459A JP 2006138844 A JP2006138844 A JP 2006138844A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
converter
voltage
memory
data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005298459A
Other languages
English (en)
Inventor
Takuya Yokosuka
拓也 横須賀
Hideki Naganuma
英樹 永沼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2005298459A priority Critical patent/JP2006138844A/ja
Publication of JP2006138844A publication Critical patent/JP2006138844A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】試験時間を短縮できるICテスタを実現することを目的にする。
【解決手段】本発明は、多段階電圧を出力する被試験対象を試験するICテスタに改良を加えたものである。本装置は、被試験対象の出力を入力するA/D変換器と、このA/D変換器の出力を格納するメモリと、A/D変換器の出力と比較電圧データとを比較するデジタルコンパレータとを備えたことを特徴とする装置である。
【選択図】図1

Description

本発明は、多段階電圧を出力する被試験対象、例えば、液晶駆動ドライバを試験するICテスタに関し、試験時間を短縮できるICテスタに関するものである。
ICテスタは、液晶駆動ドライバに表示データを出力し、液晶駆動ドライバが出力する多段階(多階調)電圧により、液晶駆動ドライバの良否の判定を行うものである。このような装置は、例えば特許文献1,2等に記載されている。
特開2001−13218号公報 特開2001−99899号公報
以下図3を用いて説明する。図3において、被試験対象(以下DUT)1は、例えば液晶駆動ドライバで、出力階調、出力ピン情報等の表示データ(パターンデータ)を入力し、多段階電圧を出力する。コンパレータ2,3は、DUT1の出力を入力し、それぞれ比較電圧VH,VLと比較する。ここで、比較電圧VHはハイ側、比較電圧VLはロウ側である。判定回路4は、コンパレータ2,3の出力を入力し、期待値と比較し、パス、フェイルを判定する。フェイルメモリ5は、判定回路4の判定結果を格納する。
このような装置の動作を以下に説明する。DUT1が、図示しないドライバからパターンデータを入力し、多段階電圧をコンパレータ2,3に出力する。そして、コンパレータ2,3は、それぞれ比較電圧VH,VLと比較し、判定回路4に出力する。判定回路4は、コンパレータ2,3の比較結果により良否の判定を行い、比較結果をフェイルメモリ5に格納する。
判定結果がフェイルになった場合、特にデバック時、DUT1の出力値により解析する場合がある。この場合、コンパレータ2,3では、DUT1の出力値を求める場合、パスになるまで、比較電圧を動かし、DUT1の値を探索するので、試験時間がかかってしまう。
一方、コンパレータ2,3の代わりに、A/D変換器を設け、DUT1の出力をデジタルデータに変換して、DUT1の出力値を得る。この場合、階調電圧が期待値かどうか判定を行う場合、演算部を設けて、演算を行っているが、演算に時間がかかり、試験時間がかかってしまう。
そこで、本発明の目的は、試験時間を短縮できるICテスタを実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
多段階電圧を出力する被試験対象を試験するICテスタにおいて、
前記被試験対象の出力を入力するA/D変換器と、
このA/D変換器の出力を格納するメモリと、
前記A/D変換器の出力と比較電圧データとを比較するデジタルコンパレータと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、
被試験対象の出力と期待値電圧との差電圧を、A/D変換器に出力する差電圧出力部と、
A/D変換器の出力と前記期待値電圧のデータとを加算し、メモリに格納する加算部と
を設けたことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明において、
デジタルコンパレータと期待値パターンとを比較し、パス、フェイルを判定する判定回路と、
この判定回路の少なくともフェイルを格納するフェイルメモリと
を有することを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、
メモリのデータにより演算を行う演算部を設けたことを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、
被試験対象は液晶駆動ドライバであることを特徴とするものである。
本発明によれば、A/D変換器で、被試験対象の出力をデジタルデータに変換し、デジタルコンパレータで比較、または、メモリにデジタルデータの格納を行うので、測定経路を同一にでき、経路が異なることによる測定誤差を抑制しつつ、試験時間の短縮を図ることができる。
請求項2によれば、差電圧出力部が被試験対象の出力を期待値電圧で減算し、A/D変換器でデジタルデータに変換するので、高精度に試験が行えると共に、加算器により、A/D変換器の出力と期待値電圧データとを加算するので、被試験対象の出力も簡単に得ることができる。
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図3と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図1において、A/D変換器6は、DUT1の出力を入力する。メモリ7は、A/D変換器6の出力を格納する。演算部8は、メモリ7のデータにより演算を行う。デジタルコンパレータ9,10は、コンパレータ2,3の代わりに設けられ、A/D変換器6の出力と比較電圧データとを比較し、判定回路4に出力する。
このような装置の動作を以下に説明する。DUT1が、図示しないドライバからパターンデータを入力し、多段階電圧をA/D変換器6に出力する。そして、A/D変換器6は、多段階電圧をデジタルデータにして、デジタルコンパレータ9,10に出力する。デジタルコンパレータ9,10は、それぞれ、ハイ側、ロウ側の比較電圧データと比較し、判定回路4に出力する。判定回路4は、デジタルコンパレータ9,10の比較結果により良否の判定を行い、比較結果をフェイルメモリ5に格納する。
そして、比較結果がフェイル時に、再度、DUT1が、図示しないドライバからパターンデータを入力し、多段階電圧をA/D変換器6に出力する。そして、A/D変換器6は、多段階電圧をデジタルデータにして、メモリ7に格納する。そして、演算部8が、ピン間ばらつき、DUT1のピンごとの平均値、理想階調電圧からの差分、標準偏差等の各種演算を行う。
このように、A/D変換器6で、DUT1の出力をデジタルデータに変換し、デジタルコンパレータ9,10で比較、または、メモリ7にデジタルデータの格納を行うので、比較電圧の範囲に入っているかどうかの検査と、DUT1の出力値を得ることができ、試験時間の短縮を図ることができる。
また、A/D変換器とアナログコンパレータとを設けた構成に比較して、測定経路を同一にでき、経路が異なることによる測定誤差を抑制できる。
次に、他の実施例を図2に示し説明する。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。図2において、D/A変換器11は、期待値電圧データを入力する。減算器12は差電圧出力部で、DUT1の出力とD/A変換器11の期待値電圧との差電圧を出力する。アンプ13は、減算器12の出力を増幅し、A/D変換部6に出力する。加算部14は、A/D変換器6の出力と期待値電圧データとを加算し、メモリ8に格納する。
このような装置の動作は、図1に示す装置と同様で、異なる点は、減算器12により、DUT1の出力から期待値電圧を減算し、アンプ13により増幅し、A/D変換器6によりデジタルデータに変換し、デジタルコンパレータ9,10に出力する。そして、加算器14が、A/D変換器6の出力と期待値電圧データとを加算して、メモリ7に格納する。
このように、減算器12がDUT1の出力を期待値電圧で減算し、アンプ13で増幅し、A/D変換器6でデジタルデータに変換するので、高精度に試験が行えると共に、加算器14により、A/D変換器6の出力と期待値電圧データとを加算するので、DUT1の出力も簡単に得ることができる。
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、演算部8を設けた構成を示したが、DUT1の出力結果を得るのみなら、演算部8を設けない構成でもよい。しかし、A/D変換器6の出力を、実際の値に変換する必要があるので、通常、演算部は必要となる。
また、デジタルコンパレータ9,10により、比較電圧の範囲に入っているかどうかの検査を行う構成を示したが、ハイ側の比較電圧以上またはロウ側の比較電圧以下かどうかの検査を行う構成でもよい。
また、アンプ13とA/D変換器6とを別々の構成で示したが一体でもよい。
また、差電圧出力部は減算器12で示したが、期待値電圧をD/A変換器11で負出力させるなら、加算器でもよい。
本発明の一実施例を示した構成図である。 本発明の他の実施例を示した構成図である。 従来のICテスタの構成を示した図である。
符号の説明
1 DUT
4 判定回路
5 フェイルメモリ
6 A/D変換器
7 メモリ
8 演算部
9,10 デジタルコンパレータ
11 D/A変換器
12 減算器
13 アンプ
14 加算器

Claims (5)

  1. 多段階電圧を出力する被試験対象を試験するICテスタにおいて、
    前記被試験対象の出力を入力するA/D変換器と、
    このA/D変換器の出力を格納するメモリと、
    前記A/D変換器の出力と比較電圧データとを比較するデジタルコンパレータと
    を備えたことを特徴とするICテスタ。
  2. 被試験対象の出力と期待値電圧との差電圧を、A/D変換器に出力する差電圧出力部と、
    A/D変換器の出力と前記期待値電圧のデータとを加算し、メモリに格納する加算部と
    を設けたことを特徴とする請求項1記載のICテスタ。
  3. デジタルコンパレータと期待値パターンとを比較し、パス、フェイルを判定する判定回路と、
    この判定回路の少なくともフェイルを格納するフェイルメモリと
    を有することを特徴とする請求項1または2記載のICテスタ。
  4. メモリのデータにより演算を行う演算部を設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のICテスタ。
  5. 被試験対象は液晶駆動ドライバであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のICテスタ。
JP2005298459A 2004-10-14 2005-10-13 Icテスタ Withdrawn JP2006138844A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005298459A JP2006138844A (ja) 2004-10-14 2005-10-13 Icテスタ

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004299546 2004-10-14
JP2005298459A JP2006138844A (ja) 2004-10-14 2005-10-13 Icテスタ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006138844A true JP2006138844A (ja) 2006-06-01

Family

ID=36619754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005298459A Withdrawn JP2006138844A (ja) 2004-10-14 2005-10-13 Icテスタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006138844A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013193030A (ja) * 2012-03-21 2013-09-30 Seiko Npc Corp 周波数調整回路及び周波数調整方法
WO2016170678A1 (ja) * 2015-04-24 2016-10-27 株式会社日立製作所 半導体装置およびマルチチップモジュール

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013193030A (ja) * 2012-03-21 2013-09-30 Seiko Npc Corp 周波数調整回路及び周波数調整方法
WO2016170678A1 (ja) * 2015-04-24 2016-10-27 株式会社日立製作所 半導体装置およびマルチチップモジュール
JPWO2016170678A1 (ja) * 2015-04-24 2017-04-27 株式会社日立製作所 半導体装置およびマルチチップモジュール

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100491462B1 (ko) 시스템 온 칩 내에 내장된 아날로그/합성 신호 코어를테스트하는 방법 및 구조
JP4978779B2 (ja) 半導体集積回路の試験方法及びicテスタ
US8471599B2 (en) Adjustable voltage comparing circuit and adjustable voltage examining device
JP2009038770A (ja) 試験装置及び製造方法
KR100708329B1 (ko) Ic 테스터
JP2006138844A (ja) Icテスタ
WO2012137708A1 (ja) 半導体装置及びその検査方法
JP2007132905A (ja) Icテスタ
JP4025731B2 (ja) タイミング補正装置、タイミング補正方法及びデバイス評価装置
JP2009156580A (ja) 入力容量測定回路
KR100798837B1 (ko) Ic 테스터
JP2008076358A (ja) 半導体集積回路及び半導体検査装置
JP2010096606A (ja) 電圧印加電流測定回路とそれを用いた半導体試験装置
JP2002098738A (ja) Icテスタ
JP4023085B2 (ja) Icテスタ
JP2003240821A (ja) Icテスタ
JP4596264B2 (ja) Icテスタ
JP4924231B2 (ja) 半導体試験装置
JP2008096354A (ja) 半導体試験装置
JP2005300287A (ja) Icテスタ
JP5342486B2 (ja) A/d変換器用テスト回路
JP2010156628A (ja) 半導体試験装置
JP2008267841A (ja) 半導体試験装置
JP4207107B2 (ja) Icテスタ
JP4227815B2 (ja) 半導体集積回路装置およびその検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080702

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090716

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090721

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20090831