JP2010156628A - 半導体試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】正極アンプからの正極電圧と負極アンプからの負極電圧との差分に基づいての良否判定を高速に行なう半導体試験装置を実現することにある。
【解決手段】ピンごとに設けられる正極アンプ、負極アンプからの出力をピンに接続させるリレーを内蔵した液晶駆動ドライバの試験を行なう半導体試験装置に改良を加えたものである。本装置は、液晶駆動ドライバのリレーに対し、ｎ番目のピンに対応する正極アンプの出力をｎ番目のピンに接続させ、ｎ番目のピンに対応する負極アンプの出力を（ｎ＋１）番目のピンに接続させるリレー指示部を備えたことを特徴とするものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、ピンごとに設けられる正極アンプ、負極アンプからの出力をピンに接続させるリレーを内蔵した液晶駆動ドライバの試験を行なう半導体試験装置に関し、詳しくは、正極アンプからの正極電圧と負極アンプからの負極電圧との差分に基づいての良否判定を高速に行なう半導体試験装置に関するものである。

半導体試験装置の被試験対象である液晶駆動ドライバは、複数ピンから多段階（多階調）電圧を出力し、液晶ディスプレイを駆動している。図６は、このような液晶駆動ドライバを試験する従来の半導体試験装置の構成例を示した図である。

図６において、被試験対象（以下ＤＵＴと略す）１は例えば液晶駆動ドライバであり、複数ピンのそれぞれから多段階電圧を出力する。スイッチ２は、ＤＵＴ１のピンを選択する。Ａ／Ｄコンバータ３は、スイッチ２で選択されたピンからの出力電圧をデジタルデータに変換する。メモリ４は、Ａ／Ｄコンバータ３からのデジタルデータを格納する。デジタル信号処理部（以下ＤＳＰ（Digital Signal Processor）と略す）５は、演算部であり、メモリ４のデジタルデータにより、ＤＵＴ１の良否判定を行う。

このような装置の動作を以下に説明する。
ＤＵＴ１が、多段階電圧を出力する。そして、スイッチ２がＤＵＴ１のピンを順番に選択し、Ａ／Ｄコンバータ３に出力する。この出力を、Ａ／Ｄコンバータ３が、デジタルデータに変換し、メモリ４に格納する。

そして、ＤＳＰ５が、メモリ４のデジタルデータにより、各階調それぞれにおける各ピンの出力電圧の絶対値の大きさ（絶対値判定）、各階調内の全ピンの測定値の平均値、各階調内の全ピンの測定値の最大値と最小値との差、各階調内の全ピンの平均偏差、ピン間の出力電圧のバラツキの大きさ、最大値、最小値、総和などを演算処理して、ＤＵＴ１の良否の判定を行う。

このように、Ａ／Ｄコンバータ３によるデータの取り込み、メモリ４への転送、ＤＳＰ５による演算判定の順番でシーケンシャルな処理を行なうため、ＤＵＴ１のテスト時間を延ばす要因となっている。

続いて、図７は、従来の半導体試験装置のその他の構成例を示した図である。図７は、図６に示す従来装置の測定所要時間を短縮するものであり、絶対値判定をＤＳＰを用いることなく処理するものである（例えば、特許文献１、２参照）。

図７において、電圧発生部６は、例えば、複数個のＤ／Ａコンバータから構成され、ＤＵＴ１の多段階電圧に対応した期待値電圧を出力する。差電圧発生部７は、ＤＵＴ１のピンごとに設けられ、ＤＵＴ１の多段階電圧と電圧発生部６の期待値電圧の差電圧を出力する。

Ａ／Ｄコンバータ８は、ＤＵＴ１のピンごとに設けられ、差電圧発生部７からの差電圧をデジタルデータに変換する。比較回路９は、各ピンごとに複数個のデジタルコンパレータを有し、Ａ／Ｄコンバータ６それぞれからのデジタルデータに対して絶対値判定を行なう。

このような装置の動作を説明する。
ＤＵＴ１の全ピンから、例えば、最も階調が低い電圧が出力され、電圧発生部６がこの階調に対応する期待値電圧を出力する。そして、差電圧発生部７が、ＤＵＴ１の出力電圧と電圧発生部６の期待値電圧との差電圧を出力する。さらに、Ａ／Ｄコンバータ８が、差電圧をデジタルデータに変換し、比較回路９、メモリ４に出力する。

そして、比較回路９が、テスタコントローラ（図示せず）からあらかじめ設定された上限値、加減値を参照し、差電圧を変換してデジタルデータが、所定の範囲内に入っているかいなかの絶対値判定を行なう。

ここで、絶対値判定とは、差電圧値そのものが、上限値、下限値の間にはいっていることをチェックすることである。また、電圧発生部６が、階調に対応する電圧を出力しているので、ＤＵＴ１の出力電圧が階調によって変化しても、比較回路９の上限値、下限値を変更させる必要はない。

そして、最も階調の低い出力電圧の測定終了後、ＤＵＴ１の全ピンの出力電圧を次の階調に順次変更させていき、全ての階調に対するデジタルデータを取得する。

絶対値判定以外のその他の判定については、図６に示す装置同様に、ＤＳＰ５が、メモリ４のデジタルデータにより、各階調内の全ピンの測定値の平均値、各階調内の全ピンの測定値の最大値と最小値との差、各階調内の全ピンの平均偏差、ピン間の出力電圧のバラツキの大きさ、最大値、最小値、総和などを演算処理して、ＤＵＴ１の良否の判定を行う。

特開２００２−０９８７３８号公報 特開２００５−０６９９７０号公報

液晶駆動ドライバのＤＵＴ１は、多段階電圧を出力するが、駆動する液晶画面が焼きつかないように正極電圧と負極電圧（正極電圧と負極電圧との電圧レベルは異なる）を同一のピンから交互に出力している。さらに、隣り合ったピンの出力電圧は極性が異なる。つまり、奇数ピンの出力が正極の場合は、偶数ピンは負極である。そして、奇数ピンが負極の場合は、偶数ピンは正極である。

もちろん、正極電圧と負極電圧とを、ＤＵＴ１の異なるピンから出力させることも可能だが、近年、ＤＵＴ１の出力ピン数が３０００ピンを超える場合もあり、これ以上の増加は、半導体試験装置のテストヘッドとＤＵＴ１（例えば、ウェアから切り出す前のチップ状態）とを接続するためのプローブカード上の針立てが物理的に困難となる。

このような実用上の困難性により、同一のピンから正極電圧と負極電圧を出力するが、ＤＵＴ１のデバイス内に正極電圧を出力する正極アンプ、負極電圧を出力する負極アンプを各ピンごとに設け、組とした正極アンプ、負極アンプの出力をＤＵＴ１のデバイス内のリレーで切り替え、ピンそれぞれから多段階電圧を出力している。

このような正極電圧と負極電圧とを出力するＤＵＴ１の場合、メモリ４に格納したデジタルデータには、正極電圧をＡＤ変換したデジタルデータ(以下、正極データと呼ぶ)、負極電圧をＡＤ変換したデジタルデータ（以下、負極データと呼ぶ）とが存在する。

そして、比較回路９、ＤＳＰ５では正極データに対する良否判定、負極データに対する良否判定、さらには、正極データと負極データ間の差分に基づく良否判定を行なう必要がある。

しかしながら、同一ピンから正極電圧と負極電圧とを同時に出力することは不可能なため、例えば、０階調〜２５５階調まで変化させる場合、１順目の階調変化において奇数番号の出力ピンは正極電圧、偶数番号の出力ピンは負極電圧を出力させ、２順目において奇数番号の出力ピンは負極電圧、偶数番号の出力ピンは正極電圧を出力させている。ここで、図８は、各ピンからの出力の一例を示した図である。

そのため、正極データと負極データ間の差分に基づいて良否判定を行なうには、２順目の測定が終了するのを待ってから演算を開始するため、テスト時間がかかるという問題があった。

そこで本発明の目的は、正極アンプからの正極電圧と負極アンプからの負極電圧との差分に基づいての良否判定を高速に行なう半導体試験装置を実現することにある。

請求項１記載の発明は、
ピンごとに設けられる正極アンプ、負極アンプからの出力を前記ピンに接続させるリレーを内蔵した液晶駆動ドライバの試験を行なう半導体試験装置において、
前記液晶駆動ドライバのリレーに対し、ｎ番目のピンに対応する正極アンプの出力をｎ番目のピンに接続させ、ｎ番目のピンに対応する負極アンプの出力を（ｎ＋１）番目のピンに接続させるリレー指示部を備えたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
リレー指示部は、前記液晶駆動ドライバ内のリレーに対し、（ｎ＋１）番目のピンに対応する正極アンプの出力をｎ番目のピンに接続させ、（ｎ＋１）番目のピンに対応する負極アンプの出力を（ｎ＋１）番目のピンに接続させることを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、
前記正極アンプからの出力と前記負極アンプからの出力との差分によって前記液晶駆動ドライバの良否判定を行なう演算部を設けたことを特徴とするものである。

本発明によれば、以下のような効果がある。
リレー指示部が、液晶駆動ドライバのリレーに対し、ｎ番目のピンに対応する正極アンプの出力をｎ番目のピンに接続させ、ｎ番目のピンに対応する負極アンプの出力を（ｎ＋１）番目のピンに接続させるので、各階調値それぞれで正極アンプと負極アンプとの出力を同時に取り込むことができる。これにより、各階調値それぞれにおいて、正極アンプからの正極電圧と負極アンプからの負極電圧との差分も求めることができる。従って、２順目の測定終了を待たずに、ほぼリアルタイムに正極電圧と負極電圧との差分に基づく判定も行なえ、液晶駆動ドライバの良否判定を高速に行なうことができる。

以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図７と同一のものには同一符号を付し、説明を省略する。図１において、リレー指示部１１を有する制御部１０が新たに設けられる。また、ＤＵＴ１の代わりにＤＵＴ２０が被試験対象となる。そして、ＤＳＰ５の代わりにＤＳＰ３０が設けられる。

ここで、図２は、図１に示す液晶駆動ドライバであるＤＵＴ２０の構成の一部を詳細に示した図である。なお、ＤＵＴ２０の出力ピンは数十〜数千本あるが、ここでは４本分のみ図示している。。

図２において、出力ピンｐ（ｊ）は、多段階電圧を出力するためのピンである。ここで、ｊは自然数であり、例えば、ＤＵＴ２０の出力ピンの数が１０００本であれば、ｊ＝１〜１０００である。

アンプ２１（ｊ）は、ピンｐ（ｊ）ごとに設けられ、ｊ番目のピンｐ（ｊ）に対応している。また、アンプ２１（ｊ）は、正極アンプ２２（ｊ）、負極アンプ２３（ｊ）を有する。正極アンプ２２（ｊ）は、各階調に対応した正極電圧（多段階電圧）を出力する。負極アンプ２３（ｊ）は、各階調に対応した負極電圧（多段階電圧）を出力する。

リレー２４（ｊ）は、ピンｐ（ｊ）ごとに設けられ、ｊ番目のピンｐ（ｊ）に対応している。また、リレー２４（ｊ）は、制御部１０のリレー指示部１１からの指示により、自ピン用の正極アンプ２２（ｊ）、負極アンプ２３（ｊ）、隣のピン用の正極アンプ２２（ｊ±１）、負極アンプ２３（ｊ±１）の出力電圧を選択してピンｐ（ｊ）に接続する。

具体的には、ｎを奇数とし（ｎ＜ｊ）とした場合で説明する。
リレー２４（ｎ）（つまり、奇数番号の出力ピンに対応したリレー）は、自ピン用の正極アンプ２２（ｎ）、負極アンプ２３（ｎ）、隣のピン用の正極アンプ２２（ｎ＋１）の３個の中からいずれか一つを選択して、ピンｐ（ｎ）に接続する。

リレー２４（ｎ＋１）（つまり、偶数番号の出力ピンに対応したリレー）は、自ピン用の正極アンプ２２（ｎ＋１）、負極アンプ２３（ｎ＋１）、隣のピン用の負極アンプ２３（ｎ）の３個の中からいずれか一つを選択して、ピンｐ（ｎ＋１）に接続する。

続いて、図１に戻り、制御部１０の説明をする。
制御部１０は、リレー指示部１１を有し、半導体試験装置全体を統括的に制御すると共に、ＤＵＴ２０にも指示を行ない、各階調に対応した出力電圧を出力させる。

リレー指示部１１は、ＤＵＴ２０の制御ピン（図示せず）からＤＵＴ２０内のリレー２４（ｊ）に対し、ピン（ｊ）に所望の正極アンプ２２（ｊ）、２２（ｊ±１）、負極アンプ２３（ｊ）、２３（ｊ±１）の出力を接続させる指示を行なう。

具体的には、リレー指示部１１が、ＤＵＴ２０に下記の４種類のパターンの接続を行なわせる。図２〜図４を用いて説明する。ここで、図３、図４は、図１に示す液晶駆動ドライバであるＤＵＴ２０の構成の一部を詳細に示した図であり、図２と同一のものには同一符号を付している。

１個目のパターンは、ｎ番目のピンｐ（ｎ）に対応する正極アンプ２２（ｎ）の出力をｎ番目のピンｐ（ｎ）に接続させ、（ｎ＋１）番目のピンｐ（ｎ＋１）に対応する負極アンプ２３（ｎ＋１）の出力を（ｎ＋１）番目のピンｐ（ｎ＋１）に接続させる。図２に示す接続である。

２個目のパターンは、ｎ番目のピンｐ（ｎ）に対応する負極アンプ２３（ｎ）の出力をｎ番目のピンｐ（ｎ）に接続させ、（ｎ＋１）番目のピンｐ（ｎ＋１）に対応する正極アンプ２２（ｎ＋１）の出力を（ｎ＋１）番目のピンｐ（ｎ＋１）に接続させる。

３個目のパターンは、ｎ番目のピンに対応する正極アンプ２２（ｎ）の出力をｎ番目のピンｐ（ｎ）に接続させ、ｎ番目のピンに対応する負極アンプ２３（ｎ）の出力を（ｎ＋１）番目のピンｐ（ｎ＋１）に接続させる。図３に示す接続である。

４個目のパターンは、（ｎ＋１）番目のピンに対応する正極アンプ２２（ｎ＋１）の出力をｎ番目のピンｐ（ｎ）に接続させ、（ｎ＋１）番目のピンに対応する負極アンプ２３（ｎ＋１）の出力を（ｎ＋１）番目のピンｐ（ｎ＋１）に接続させる。図４に示す接続である。

ここで、１個目と２個目のパターンは、液晶ディスプレイを駆動する場合の一般的な出力パターンであるのに対し、リレー指示部１１が、デバイス２０に対して３個目と４個目のパターンの接続を行なわせ、ＤＵＴ２０の試験を実行する点が、本発明の特徴である。

ＤＳＰ３０は、演算部であり、メモリ４の正極データ、負極データを読み出し、正極データ、負極データ、正極データと負極データの差分等に基づいてＤＵＴ２０の良否判定を行なう。

このような装置の動作を説明する。
ここで、図５は、図１に示す装置のＤＵＴ２０の出力の流れの一例を示した図である。
良否判定の測定前の初期化として、制御部１０が、比較回路９に上限値、下限値を設定し、ＡＤＣ８に所定のサンプリング周期でＡＤ変換を開始させる。

そして、初期化終了後にリレー指示部１１が、図３に示すパターン（上述の３個目のパターン）の接続をＤＵＴ２０に行なわせ、例えば、２５６階調とすれば、制御部１０が、ＤＵＴ２０に対して階調値０〜２５５ｇｓ（gray scale）の順番に電圧を出力させ、電圧発生部６に対して各階調値での期待値電圧を出力させる。

すなわち、制御部１０からの指示により階調値０ｇｓで、ＤＵＴ２０の奇数番号の出力ピンｐ（ｎ）に対応した正極アンプ２２（ｎ）の正極電圧が、奇数番号の出力ピンｐ（ｎ）から出力され、奇数番号の出力ピンｐ（ｎ）に対応した負極アンプ２３（ｎ）の負極電圧が、偶数番号の出力ピンｐ（ｎ＋１）から出力される。

そして、差電圧発生部７が、ＤＵＴ２０から正極電圧、負極電圧それぞれと、電圧発生部６の期待値電圧との差電圧を出力する。さらに、Ａ／Ｄコンバータ８が、差電圧をデジタルデータ（正極データ、負極データ）に変換し、比較回路９、メモリ４に出力する。なお、電圧発生部６は、制御部１１からの指示のもと、奇数番号の出力ピンｐ（ｎ）のライン上の差電圧発生部７へは、階調値０ｇｓの正極側の期待値電圧を出力し、偶数番号の出力ピンｐ（ｎ＋１）のライン上の差電圧発生部７へは、階調値０ｇｓの負極側の期待値電圧を出力する。

そして、比較回路が正極アンプ２２（ｎ）、負極アンプ２３（ｎ）それぞれの出力電圧の絶対値判定を行なう。

一方、ＤＳＰ３０が、メモリ４から正極データ、負極データを読み出す。そして、ＤＳＰ３０が、奇数番号のピンｐ（ｎ）に対応した正極アンプ２２（ｎ）の正極データと負極アンプ２２（ｎ）の負極データとの差分値のデータ（以下、差分データ）を求め、演算用メモリ（図示せず）に正極データ、負極データ、差分データを格納する。

そして、演算用メモリ（図示せず）の正極データ、負極データ、差分データを読み出し、ＤＳＰ３０が、差分データの絶対値判定を行なう。差分データの絶対値判定用の判定値（上限値、下限値）は、あらかじめ制御部１０がＤＳＰ３０に設定しておく。

また、ＤＳＰ３０が、正極データ、負極データ、差分データそれぞれに対し、階調値０ｇｓにおける正極データのグループの最大値、最小値、平均値、負極データのグループの最大値、最小値、平均値、差分データのグループの最大値、最小値、平均値を求め、さらに各グループに対し、階調値０ｇｓ内で（最大値−最小値）、階調値０ｇｓ内での（最大値−平均値）、階調値０ｇｓ内での（最小値−平均値）を求める。

そして、ＤＳＰ３０が、階調値０ｇｓにおける最大値、最小値、平均値、（最大値−最小値）、（最大値−平均値）、（最大値−平均値）それぞれに対し、上限値、下限値内であるかを判定する。そして、ＤＳＰ３０、比較回路９が、それぞれの良否判定の結果（Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ）を判定結果メモリ（図示せず）に格納する。

なお、階調値０ｇｓにおける最大値、最小値、平均値、（最大値−最小値）、（最大値−平均値）、（最大値−平均値）それぞれの判定値（上限値、下限値）は、制御部１０がＤＵＴ２０に階調値０ｇｓの出力電圧を出力させると共に、制御部１０がＤＳＰ３０に出力するとよい。もちろん、階調値０ｇｓの判定値は、正極アンプ２２（ｎ）の正極電圧に対するもの（つまり、正極データ）、負極アンプ２３（ｎ）の負極電圧に対するもの（つまり、負極データ）、差分データに対するものである。

階調値０ｇｓの判定終了後、制御部１０が、ＤＵＴ２０に対して階調値１ｇｓの出力電圧を出力させ、電圧発生部６、ＤＳＰ３０に対しても階調値１ｇｓに対応した期待値電圧、判定値（上限値、下限値）を設定する。以下、同様に正極データ、負極データを取得し、ＤＳＰ３０が、差分データの演算、正極データ、負極データ、差分データに対する演算・判定を行なう。これらの動作を階調値２５５ｇｓまで繰り返し行ない１順目が終了する。

そして、２順目では、すなわち、１順目の終了後にリレー指示部１１が、図４に示すパターン（上述の４個目のパターン）の接続をＤＵＴ２０に行なわせ、例えば、２５６階調とすれば、制御部１０が、ＤＵＴ２０に対して０〜２５５ｇｓ（gray scale）の順番に電圧を出力させ、電圧発生部６に対して各階調値での期待値電圧を出力させる。

すなわち、制御部１０からの指示により階調値０ｇｓで、ＤＵＴ２０の偶数番号の出力ピンｐ（ｎ＋１）に対応した正極アンプ２２（ｎ＋１）の正極電圧が、奇数番号の出力ピンｐ（ｎ）から出力され、偶数番号の出力ピンｐ（ｎ＋１）に対応した負極アンプ２３（ｎ＋１）の負極電圧が、偶数番号の出力ピンｐ（ｎ＋１）から出力される。

そして、１順目と同様に、差電圧発生部７が、ＤＵＴ２０から正極電圧、負極電圧と電圧発生部６の期待値電圧との差電圧を出力し、Ａ／Ｄコンバータ８が、差電圧をデジタルデータ（正極データ、負極データ）に変換し、比較回路９、メモリ４に出力する。もちろん、電圧発生部６が、階調値０ｇｓに対応した期待値電圧を出力する。

そして、比較回路が正極アンプ２２（ｎ）、負極アンプ２３（ｎ）それぞれの絶対値判定を行なう。また、ＤＳＰ３０が、１順目と同様に正極データ、負極データを読み出し、差分データの演算、正極データ、負極データ、差分データに対する演算・判定を行なう。これらの動作を階調値２５５ｇｓまで繰り返し行ない２順目も終了する。

２順目の終了後、ＤＳＰ３０が、各階調における全ピンに対する平均値判定、各階調における全ピンに対する最大値と最小値の差の判定、各階調における全ピンに対する平均偏差判定を行なう。この際、１順目で既に求めた全アンプ２２（ｎ）、アンプ２３（ｎ）の正極データ、負極データ、差分データに対する最大値、最小値、平均値等の演算結果や、２順目で求めた全アンプ２２（ｎ＋１）、アンプ２３（ｎ＋１）の正極データ、負極データ、差分データに対する最大値、最小値、平均値等の演算結果を演算結果メモリ（図示せず）から読み出して演算してもよい。

このように、リレー指示部１１が、１順目の試験において図３に示す接続を行なわせ、２順目の試験において図４に示す接続を行なわせるので、各階調値０〜２５５ｇｓそれぞれで正極アンプ２２（ｎ）と負極アンプ２３（ｎ）（２順目は、正極アンプ２２（ｎ＋１）と負極アンプ２３（ｎ＋１））との出力を同時に取り込むことができる。これにより、各階調値それぞれにおいて、正極アンプからの正極電圧と負極アンプからの負極電圧との差分も求めることができる。従って、２順目の測定終了を待たずに、ほぼリアルタイムに差分データの判定も行なえ、液晶駆動ドライバ２０の良否判定を高速に行なうことができる。

なお、本発明はこれに限定されるものではなく、以下に示すようなものでもよい。
図１に示す装置において、図５に示すように、１順目で奇数番号のピンｐ（ｎ）用の正極アンプ２２（ｎ）、負極アンプ２３（ｎ）の測定、判定を行ない、２順目で偶数番号のピンｐ（ｎ＋１）用の正極アンプ２２（ｎ＋１）、負極アンプ２３（ｎ＋１）の測定、判定を行なう構成を示したが、逆の順番にしてもよい。

また、図１に示す装置において、比較回路９が、正極データ、負極データの絶対値判定を行なう構成を示したが、ＤＳＰ３０が、演算によって絶対値判定を行なってもよい。

本発明の一実施例を示した構成図である。 図１に示す装置によって試験される液晶駆動ドライバ２０内の接続例を示した図である。 図１に示す装置によって試験される液晶駆動ドライバ２０内のその他の接続例を示した図である。 図１に示す装置によって試験される液晶駆動ドライバ２０内のその他の接続例を示した図である。 図１に示す装置における液晶駆動ドライバの出力の流れを示した図である。 従来の半導体試験装置の構成例を示した図である。 従来の半導体試験装置のその他の構成例を示した図である。 図７に示す従来装置における液晶駆動ドライバの出力の流れを示した図である。

符号の説明

１１ リレー指示部
２０ 液晶駆動ドライバ
３０ ＤＳＰ（演算部）

Claims (3)

1. ピンごとに設けられる正極アンプ、負極アンプからの出力を前記ピンに接続させるリレーを内蔵した液晶駆動ドライバの試験を行なう半導体試験装置において、
   前記液晶駆動ドライバのリレーに対し、ｎ番目のピンに対応する正極アンプの出力をｎ番目のピンに接続させ、ｎ番目のピンに対応する負極アンプの出力を（ｎ＋１）番目のピンに接続させるリレー指示部を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
2. リレー指示部は、前記液晶駆動ドライバ内のリレーに対し、（ｎ＋１）番目のピンに対応する正極アンプの出力をｎ番目のピンに接続させ、（ｎ＋１）番目のピンに対応する負極アンプの出力を（ｎ＋１）番目のピンに接続させることを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
3. 前記正極アンプからの出力と前記負極アンプからの出力との差分によって前記液晶駆動ドライバの良否判定を行なう演算部を設けたことを特徴とする請求項１または２記載の半導体試験装置。

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