JP2007132905A - Icテスタ - Google Patents

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Abstract

【課題】オフセット電圧をテストプログラムで設定することなく、適切なオフセット電圧を与えることができ、オーバーレンジを抑制できるICテスタを実現することを目的にする。
【解決手段】本発明は、被試験対象の出力をオフセット電圧で減算して測定を行うICテスタに改良を加えたものである。本装置は、被試験対象の出力を測定する電圧測定部と、この電圧測定部の測定結果に基づいて、オフセット電圧を発生する電圧発生部とを備えたことを特徴とする装置である。
【選択図】図1

Description

本発明は、被試験対象、例えば液晶駆動ドライバ等の出力をオフセット電圧で減算して測定を行うICテスタに関し、オフセット電圧をテストプログラムで設定することなく、適切なオフセット電圧を与えることができ、オーバーレンジを抑制できるICテスタに関するものである。
液晶駆動ドライバは、複数ピンから多段階(多階調)電圧を出力し、液晶ディスプレイを駆動している。このような液晶駆動ドライバを試験するICテスタは、例えば、下記特許文献1等に記載されている。以下図5を用いて説明する。
特開2002−98738号公報
図5において、被試験対象(以下DUTと略す)1は液晶駆動ドライバで、複数ピンから多段階電圧を出力する。電圧発生部2は、DUT1の多段階電圧に対応したオフセット電圧を出力する。オフセット減算器3は、DUT1の出力ピンごとに設けられ、電圧発生部2の出力を入力し、DUT1の多段階電圧と電圧発生部2の電圧との差電圧を増幅し出力する。スイッチ4は、オフセット減算器3と並列に設けられる。A/Dコンバータ5は、オフセット減算器3またはスイッチ4の出力を入力する。
このような装置の動作を以下に説明する。DUT1の出力が、A/Dコンバータ5の入力レンジ内の場合、スイッチ4をオンとする。そして、DUT1が図示しない信号発生部から入力された入力パターンにより、階調電圧を出力し、スイッチ4を介して、A/Dコンバータ5に入力される。A/Dコンバータ5が、入力された電圧をデジタルデータにして、このデジタルデータにより、図示しない演算部がDUT1の良否判定を行う。
また、DUT1の出力が、A/Dコンバータ5の入力レンジ外の場合、スイッチ4をオフとし、電圧発生部2がオフセット電圧を出力する。そして、DUT1が、図示しない信号発生部から入力された入力パターンにより、階調電圧を出力する。オフセット減算器3が、DUT1の出力からオフセット電圧を減算し、A/Dコンバータ5に出力する。A/Dコンバータ5が、入力された電圧をデジタルデータにして、このデジタルデータ、オフセット電圧値により、図示しない演算部がDUT1の良否判定を行う。
このような装置では、DUT1の出力電圧値のおおよその値が既知である必要がある。適切なオフセット電圧設定等を行わなければ、A/Dコンバータ5の入力レンジより、測定電圧が飛び出してしまう。また、オフセット電圧値をテストプログラムにおいて、設定しなければならないという問題点があった。
そこで、本発明の目的は、オフセット電圧をテストプログラムで設定することなく、適切なオフセット電圧を与えることができ、オーバーレンジを抑制できるICテスタを実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
被試験対象の出力をオフセット電圧で減算して測定を行うICテスタにおいて、
前記被試験対象の出力を測定する電圧測定部と、
この電圧測定部の測定結果に基づいて、前記オフセット電圧を発生する電圧発生部と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、
被試験対象の出力をオフセット電圧で減算して測定を行うICテスタにおいて、
前記被試験対象の出力を測定する電圧測定部と、
前記オフセット電圧を発生する電圧発生部と、
前記電圧測定部の測定結果に基づいて、前記電圧発生部のオフセット電圧を設定する制御部と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明であって、
電圧測定部は、広い測定範囲で、被試験対象の出力を測定し、狭い測定範囲で、被試験対象の出力がオフセット電圧により減算された電圧を測定することを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、
被試験対象の出力をオフセット電圧で減算して、A/Dコンバータにより狭い測定範囲で測定を行うICテスタにおいて、
前記被試験対象の出力を広い測定範囲で測定する電圧測定部と、
前記オフセット電圧を発生する電圧発生部と、
前記電圧測定部の測定結果に基づいて、前記電圧発生部のオフセット電圧を設定する制御部と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明であって、
電圧測定部は、A/Dコンバータ、電圧発生部はD/Aコンバータであることを特徴とするものである。
請求項6記載の発明は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明であって、
被試験対象は、液晶駆動ドライバであることを特徴とするものである。
請求項7記載の発明は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明であって、
被試験対象の出力経路に電流を電圧に変換するI/V変換器を設けたことを特徴とするものである。
本発明によれば、電圧測定部が、被試験対象の出力を測定し、この測定結果により、電圧発生部がオフセット電圧を出力するので、オフセット電圧をテストプログラムで設定することなく、適切なオフセット電圧を与えることができ、オーバーレンジを抑制できる。
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図5と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図1において、電圧測定部6は、DUT1のピンごとの出力をA/Dコンバータ5と比較して、広い測定範囲で、粗く測定する。制御部7は、電圧測定部6の測定結果を入力し、電圧発生部2のオフセット電圧を設定し、A/Dコンバータ5の出力を入力する。
このような装置の動作を以下に説明する。高精度測定が必要でない場合、スイッチ4をオンとし、A/Dコンバータ5の入力範囲を広げ、測定範囲を広げる。A/Dコンバータ5の出力ビット数は、変わらないので、測定精度は下がる。そして、DUT1が図示しない信号発生部から入力された入力パターンにより、DUT1が階調電圧を出力し、スイッチ4を介して、A/Dコンバータ5に入力される。A/Dコンバータ5が、入力された電圧をデジタルデータにして、DUT1の良否判定を行う。良否判定には、所望の期待値範囲に、DUT1の出力が入っているかどうかの判定やピン間ばらつきの判定等を行っている。
高精度測定が必要な場合、スイッチ4をオフとし、A/Dコンバータ5の入力範囲を狭め、測定範囲を狭める。そして、DUT1が図示しない信号発生部から入力された入力パターンにより、DUT1が階調電圧を出力する。このDUT1の出力を、電圧測定部6が粗く測定し、制御部7に出力する。制御部7が、電圧測定部6の測定結果により、電圧発生部2にオフセット電圧を設定する。電圧発生部2がオフセット電圧を出力し、オフセット減算器3が、DUT1の出力からオフセット電圧を減算し、A/Dコンバータ5に出力する。A/Dコンバータ5が、入力された電圧をデジタルデータにして、このデジタルデータ、オフセット電圧値により、DUT1の出力を求め、制御部7がDUT1の良否判定を行う。
このように、電圧測定部6が、DUT1の出力を広い測定範囲で、粗く測定し、この測定結果により、制御部7がオフセット電圧を電圧発生部2に設定するので、オフセット電圧をテストプログラムで設定することなく、適切なオフセット電圧を与えることができ、オーバーレンジを抑制できる。
また、A/Dコンバータ5に求められる測定範囲を狭くすることができるので、低精度のA/Dコンバータ5でも高精度の測定ができる。
なお、DUT1の出力は、アナログ信号なので、セトリングタイムがかかる。従って、A/Dコンバータ5で測定する前に、電圧測定部6で電圧を測定し、電圧発生部2にオフセット電圧を出力させている。つまり、試験時間に影響を与えずに、オフセット電圧設定が行われている。
図2は第2の実施例を示した構成図である。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図2において、基準電圧源部21、マルチプレクサ22が、図1に示される電圧発生部2の代わりに、電圧発生部となる。基準電圧源部21は、複数の基準電圧源からなり、異なる基準電圧V1〜V3を出力する。マルチプレクサ22は、基準電圧源部21の異なる基準電圧V〜V3を選択して、オフセット減算器3にオフセット電圧として出力する。2つのコンパレータ61は、電圧測定部6の代わりに設けられ、電圧測定部となり、DUT1のピンごとの出力を比較電圧VH,VL(V3>VH>V2>VL>V1)のそれぞれと比較する。制御部71は、制御部7の代わりに設けられ、コンパレータ61の結果を入力し、マルチプレクサ22を切り換え、オフセット電圧を指示し、A/Dコンバータ5の出力を入力する。
このような装置の動作は、図1に示す装置とほぼ同様である。異なる点について、以下説明する。2つのコンパレータ61が、基準電圧V1〜V3を選択するための電圧範囲内にDUT1の出力が入っているかどうかを測定する。つまり、DUT1の出力が、コンパレータ61の比較電圧VH,VLの間の場合、制御部71がマルチプレクサ22に基準電圧源部21の基準電圧V2を選択させる。DUT1の出力が比較電圧VHより大きい場合、制御部71がマルチプレクサ22に基準電圧V3を選択させ、DUTU1の出力が比較電圧VLより小さい場合、制御部71がマルチプレクサ22に基準電圧V1を選択させる。そして、マルチプレクサ22がオフセット電圧をオフセット減算器3に出力する。
この例では、オフセット電圧が、基準電圧源による固定電圧であるため、ドリフトやセトリングなどの影響を受けにくく、比較的精度が出しやすい。
図3は第3の実施例を示した構成図である。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図3において、D/Aコンバータ23は、電圧発生部2の代わりに設けられ、オフセット電圧をオフセット減算器3に出力する。A/Dコンバータ62は、電圧測定部6の代わりに設けられ、DUT1のピンごとの出力を広い測定範囲、低精度で測定する。制御部72は、制御部7の代わりに設けられ、A/Dコンバータ5の測定結果を入力し、D/Aコンバータ23のオフセット電圧を設定し、A/Dコンバータ5の出力を入力する。
このような装置の動作は、電圧発生部2がD/Aコンバータ23、電圧測定部6がA/Dコンバータ62に変わっただけで、図1に示す装置と動作は同様なので説明を省略する。
図4は第4の実施例を示した構成図である。ここで、図1に示す装置と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図4において、図1と異なり、電圧測定部6が設けられず、制御部73が、制御部7の代わりに設けられ、スイッチ4、A/Dコンバータ5を制御し、A/Dコンバータ5の出力を入力すると共に、電圧発生部2のオフセット電圧を設定する。
このような装置の高精度測定が必要でない場合の動作は、図1に示す装置と同様なので説明を省略する。高精度測定が必要な場合、制御部73が、スイッチ4をオンにし、A/Dコンバータ5の入力範囲を広め、測定範囲を広める。そして、DUT1が図示しない信号発生部から入力された入力パターンにより、DUT1が階調電圧を出力する。このDUT1の出力を、スイッチ4を介して、A/Dコンバータ5が測定し、制御部73に出力し、制御部73が電圧発生部2にオフセット電圧を設定する。このとき、制御部73は、スイッチ4をオフにし、A/Dコンバータ5の入力範囲を狭め、測定範囲を狭める。電圧発生部2がオフセット電圧を出力し、オフセット減算器3が、DUT1の出力からオフセット電圧を減算し、A/Dコンバータ5に出力する。A/Dコンバータ5が、入力された電圧をデジタルデータにして、制御部73に出力する。
次に、DUT1に入力される入力パターンが変化した場合、再び、制御部73が、スイッチ4をオンにし、A/Dコンバータ5の入力範囲を広め、スイッチ4を介して、DUT1の出力を、A/Dコンバータ5が測定し、制御部73に出力する。制御部73が電圧発生部2にオフセット電圧を設定する。このとき、制御部73は、スイッチ4をオフにし、A/Dコンバータ5の入力範囲を狭める。電圧発生部2がオフセット電圧を出力し、オフセット減算器3が、DUT1の出力からオフセット電圧を減算し、A/Dコンバータ5に出力する。A/Dコンバータ5が、入力された電圧をデジタルデータにして、制御部73に出力する。このような動作を繰り返し、オフセット減算されたデジタルデータ、オフセット電圧値により、制御部73がDUT1の良否判定を行う。
この例では、A/Dコンバータ5が、オフセット電圧設定のための電圧測定も行うので、電圧測定部を設ける必要がない。つまり、安価に構成することができる。
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、DUT1の例として、電圧出力を行う液晶駆動ドライバを示したが、多段階電流出力を行う有機EL(Electronic Luminescent)ドライバでもよい。この場合、DUT1の出力段にI/V変換器を設けて、電流出力を電圧に変換する。
また、オフセット減算器3でオフセット電圧を減算する構成を示したが、オフセット電圧が負電圧なら、加算器で構成してもよい。
また、電圧測定部6がDUT1の出力を制御部7に出力し、制御部7が電圧発生部2にオフセット電圧を設定する構成を示したが、電圧測定部6が電圧発生部2に直接設定する構成でもよい。この場合、電圧測定部6は、制御部7がDUT1の出力値を得るために、測定結果を制御部7に出力する必要があることはいうまでもない。
また、2つのコンパレータ61で測定する構成を示したが、複数のコンパレータ61で構成してもよい。例えば、基準電圧源部21の基準電圧V1〜V3の数が増加すれば、一度に測定できるように、複数のコンパレータ61を設ける。
また、DUT1のピンごとに、オフセット減算器3、スイッチ4、A/Dコンバータ5、電圧測定部6を設けた構成を示したが、DUT1のピンを選択するスキャナを用いて、一組のオフセット減算器3、スイッチ4、A/Dコンバータ5、電圧測定部6により測定を行う構成でもよい。
また、制御部7,71〜73が、DUT1の良否の判定を行う構成を示したが、別の演算部やデジタルコンパレータにより良否の判定を行う構成でもよい。この場合、制御部は、電圧測定部の出力により、電圧発生部のオフセット電圧設定のみを行う。そして、デジタルコンパレータを用いた場合は、オフセット電圧値を加算した後、デジタルコンパレータで、期待値と比較を行う。
本発明の第1の実施例を示した構成図である。 本発明の第2の実施例を示した構成図である。 本発明の第3の実施例を示した構成図である。 本発明の第4の実施例を示した構成図である。 従来のICテスタの構成を示した図である。
符号の説明
1 DUT
2 電圧発生部
3 オフセット減算器
4 スイッチ
5,62 A/Dコンバータ
6 電圧測定部
7,71〜73 制御部
21 基準電圧源部
22 マルチプレクサ
61 コンパレータ

Claims (7)

  1. 被試験対象の出力をオフセット電圧で減算して測定を行うICテスタにおいて、
    前記被試験対象の出力を測定する電圧測定部と、
    この電圧測定部の測定結果に基づいて、前記オフセット電圧を発生する電圧発生部と
    を備えたことを特徴とするICテスタ。
  2. 被試験対象の出力をオフセット電圧で減算して測定を行うICテスタにおいて、
    前記被試験対象の出力を測定する電圧測定部と、
    前記オフセット電圧を発生する電圧発生部と、
    前記電圧測定部の測定結果に基づいて、前記電圧発生部のオフセット電圧を設定する制御部と
    を備えたことを特徴とするICテスタ。
  3. 電圧測定部は、広い測定範囲で、被試験対象の出力を測定し、狭い測定範囲で、被試験対象の出力がオフセット電圧により減算された電圧を測定することを特徴とする請求項1または2記載のICテスタ。
  4. 被試験対象の出力をオフセット電圧で減算して、A/Dコンバータにより狭い測定範囲で測定を行うICテスタにおいて、
    前記被試験対象の出力を広い測定範囲で測定する電圧測定部と、
    前記オフセット電圧を発生する電圧発生部と、
    前記電圧測定部の測定結果に基づいて、前記電圧発生部のオフセット電圧を設定する制御部と
    を備えたことを特徴とするICテスタ。
  5. 電圧測定部は、A/Dコンバータ、電圧発生部はD/Aコンバータであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のICテスタ。
  6. 被試験対象は、液晶駆動ドライバであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のICテスタ。
  7. 被試験対象の出力経路に電流を電圧に変換するI/V変換器を設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のICテスタ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009225324A (ja) * 2008-03-18 2009-10-01 Sony Corp Ad変換装置、ad変換方法、固体撮像素子、およびカメラシステム

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110728935B (zh) * 2019-09-29 2022-10-04 昆山国显光电有限公司 显示面板的检测方法及检测装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0568135U (ja) * 1992-02-20 1993-09-10 横河電機株式会社 Da変換器のテスト装置
JPH06213970A (ja) * 1992-11-30 1994-08-05 Yokogawa Electric Corp Icテスト装置
JP2002098738A (ja) * 2000-09-27 2002-04-05 Yokogawa Electric Corp Icテスタ
JP2004045223A (ja) * 2002-07-11 2004-02-12 Sharp Corp 半導体検査装置及び半導体検査方法
JP2004147326A (ja) * 2002-10-22 2004-05-20 Bei Technologies Inc アナログ・デジタル変換器のダイナミックレンジを拡張するためのシステム及び方法
JP2005229257A (ja) * 2004-02-12 2005-08-25 Toshiba Corp アナログ/デジタルコンバータおよびそれを搭載したマイクロコンピュータ
JP2005265612A (ja) * 2004-03-18 2005-09-29 Kawasaki Microelectronics Kk テスト回路
JP2005300287A (ja) * 2004-04-09 2005-10-27 Yokogawa Electric Corp Icテスタ

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11112344A (ja) * 1997-09-30 1999-04-23 Nec Corp 減算回路を備える低電圧a/d変換器

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0568135U (ja) * 1992-02-20 1993-09-10 横河電機株式会社 Da変換器のテスト装置
JPH06213970A (ja) * 1992-11-30 1994-08-05 Yokogawa Electric Corp Icテスト装置
JP2002098738A (ja) * 2000-09-27 2002-04-05 Yokogawa Electric Corp Icテスタ
JP2004045223A (ja) * 2002-07-11 2004-02-12 Sharp Corp 半導体検査装置及び半導体検査方法
JP2004147326A (ja) * 2002-10-22 2004-05-20 Bei Technologies Inc アナログ・デジタル変換器のダイナミックレンジを拡張するためのシステム及び方法
JP2005229257A (ja) * 2004-02-12 2005-08-25 Toshiba Corp アナログ/デジタルコンバータおよびそれを搭載したマイクロコンピュータ
JP2005265612A (ja) * 2004-03-18 2005-09-29 Kawasaki Microelectronics Kk テスト回路
JP2005300287A (ja) * 2004-04-09 2005-10-27 Yokogawa Electric Corp Icテスタ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009225324A (ja) * 2008-03-18 2009-10-01 Sony Corp Ad変換装置、ad変換方法、固体撮像素子、およびカメラシステム
JP4569647B2 (ja) * 2008-03-18 2010-10-27 ソニー株式会社 Ad変換装置、ad変換方法、固体撮像素子、およびカメラシステム
US8269872B2 (en) 2008-03-18 2012-09-18 Sony Corporation Analog-to-digital converter, analog-to-digital converting method, solid-state image pickup device, and camera system

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Publication number Publication date
KR20070051659A (ko) 2007-05-18
KR100827736B1 (ko) 2008-05-07
TWI310839B (en) 2009-06-11
CN1967277A (zh) 2007-05-23
TW200718958A (en) 2007-05-16

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