JP2007155538A - 電流電圧印加・測定装置及び半導体検査装置 - Google Patents
電流電圧印加・測定装置及び半導体検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007155538A JP2007155538A JP2005352128A JP2005352128A JP2007155538A JP 2007155538 A JP2007155538 A JP 2007155538A JP 2005352128 A JP2005352128 A JP 2005352128A JP 2005352128 A JP2005352128 A JP 2005352128A JP 2007155538 A JP2007155538 A JP 2007155538A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- reference voltage
- digital
- analog
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】印加部(2)は、基準電圧源(1)から基準電圧を選択する基準電圧切替器(22)と、アナログ電圧を出力するDAC(21)と、基準電圧切替器(22)で選択された基準電圧とDAC(21)の出力電圧を合成した信号を出力する合成回路(A1)を備え、測定部(3)は、入力切替及び計測増幅器(32)と、ADC(37)と、基準電圧選択回路(34)と、基準電圧切替器(31)と、基準電圧と入力切替及び計測増幅器(32)からの信号の差分を増幅する増幅回路(A2)と、基準電圧源(1)からの基準電圧(Vref_ad)を受け増幅回路(A2)の出力をデジタル信号に変換するADC(35)と、ADC(35)と基準電圧選択回路(34)からの信号を格納するメモリ装置(36)を備えている。
【選択図】図1
Description
Vf=−R3(Vdac/R1+Vref_x/R2)
=−(R3/R1){Vdac+(R1/R2)Vref_x}
となる。
Vdut=−Vf×R42/R41+dV
Vm2=Id×(R45×Am42)
となる。
Id=Vdut/Rstd
より、電流Idが求められ、双方から求めたIdを比較することにより、(R45×Am42)の補正量を得る。
(S1)図4に示すCal_2との差測定で真のDUT印加電圧、測定電圧を求める。
1b DA用の基準電圧
1c AD用の基準電圧
2、2a 印加部
3、3a 測定部
4 タイミング制御部
4a 時間制御部
5 校正用マルチメーター
21 デジタルアナログ変換器(DAC)
22、31 基準電圧切替器
32 入力切替と計測増幅器
33 CAL切替器
34 基準電圧選択器
35、37 アナログデジタル変換器(ADC)
36 メモリ装置
44 分圧器
A1、A2、A3、A41、A42、A43 増幅器
DUT 被試験デバイス
Id 印加電流
R1〜R6、R41〜R45 抵抗
Rstd 抵抗(標準抵抗)
Vdut 印加電圧
Vref_1〜Vref_n 基準電圧
Claims (21)
- 互いに異なる値の複数の基準電圧を出力する基準電圧発生器と、印加系回路と、測定系回路と、を備え、
前記印加系回路は、
前記基準電圧発生器から出力される複数の基準電圧の中から、出力すべき信号電圧近辺の基準電圧を選択する第1の基準電圧切替器と、
入力デジタル信号に対応したアナログ電圧を出力するデジタルアナログ変換器と、
前記第1の基準電圧切替器で選択された基準電圧と、前記デジタルアナログ変換器の出力電圧を合成した信号を出力する合成回路と、
を備え、
前記測定系回路は、
前記基準電圧発生器から出力される複数の基準電圧の中から、入力された被測定信号電圧近辺の基準電圧を選択する第2の基準電圧切替器と、
前記被測定信号電圧と前記第2の基準電圧切替器で選択された前記基準電圧との差に対応する電圧をデジタル信号に変換する第1のアナログデジタル変換器と、
を備え、
前記デジタルアナログ変換器及び前記第1のアナログデジタル変換器は、それぞれの基準電圧として、前記基準電圧発生器からの基準電圧又は該基準電圧に比例した電圧を受ける、ことを特徴とする電圧電流印加・測定装置。 - 前記印加系回路において、前記合成回路は、前記デジタルアナログ変換器の出力電圧と、前記第1の基準電圧切替器で選択された基準電圧の和に対応する出力信号を出力する、ことを特徴とする請求項1記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記測定系回路は、入力された被測定信号電圧をデジタル信号に変換する第2のアナログデジタル変換器と、
前記第2のアナログデジタル変換器からのデジタル信号を入力し、前記基準電圧発生器から出力される複数の基準電圧の中から1つの基準電圧を選択するための信号を生成する基準電圧選択回路と、
をさらに、備えている、ことを特徴とする請求項1記載の電圧電流印加・測定装置。 - 前記第2の基準電圧切替器は、前記基準電圧選択回路からの出力に基づき、前記基準電圧発生器から出力される複数の基準電圧の中から1つの基準電圧を選択する、ことを特徴とする請求項3記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記第2の基準電圧切替器は、予め予測された結果に応じて、前記基準電圧発生器から出力される複数の基準電圧の中から1つの基準電圧を選択する、ことを特徴とする請求項1記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記測定系回路は、複数の被測定入力信号の1つを選択する入力切替器と、前記入力切替器で選択された信号を増幅する増幅器を備えた入力切替及び増幅器と、
増幅回路と、
をさらに備え、
前記第2のアナログデジタル変換器は、前記入力切替及び増幅器からの信号を受けてデジタル信号に変換し、
前記増幅回路は、前記第2の基準電圧切替器で選択された基準電圧と、前記入力切替及び増幅器から出力される信号との差電圧を増幅出力し、
前記第1のアナログデジタル変換器は、前記増幅回路の出力を受け、デジタル信号に変換する、ことを特徴とする請求項3記載の電圧電流印加・測定装置。 - 前記測定系回路は、前記第1のアナログデジタル変換器及び前記基準電圧選択回路から出力されるデジタル信号を記憶保持する記憶回路をさらに備えている、ことを特徴とする請求項3記載の電圧電流印加・測定装置。
- 互いに異なる値の複数の基準電圧を出力する基準電圧発生器と、印加系回路と、測定系回路と、を備え、
前記印加系回路は、
前記基準電圧発生器から複数の基準電圧を入力し、前記複数の基準電圧の中から出力すべき所望の電圧に対応する1つの基準電圧を選択する第1の基準電圧切替器と、
前記入力デジタル信号に対応したアナログ電圧を出力するデジタルアナログ変換器と、
前記デジタルアナログ変換器の出力電圧と、前記基準電圧切替器で選択された基準電圧の電圧加算して出力する合成回路と、
を備え、
前記測定系回路は、
複数の被測定入力信号の1つを選択する入力切替器及び前記入力切替器で選択された被測定入力信号を増幅する増幅器を備えた入力切替及び増幅器と、
前記入力切替及び増幅器からの信号を受けデジタル信号に変換する第2のアナログデジタル変換器と、
前記第2のアナログデジタル変換器からのデジタル信号を受け、基準電圧を選択するためのデジタル信号を生成する基準電圧選択回路と、
前記基準電圧発生器からの複数の基準電圧を入力し、前記基準電圧選択回路からのデジタル信号を選択信号として受け、前記選択信号に基づき、前記複数の基準電圧の中から1つの基準電圧を選択する第2の基準電圧切替器と、
前記第2の基準電圧切替器で選択された基準電圧と前記入力切替及び増幅器からの信号との差に対応する電圧を出力する増幅回路と、
前記増幅回路の出力を、デジタル信号に変換する第1のアナログデジタル変換器と、
前記第1のアナログデジタル変換器及び前記基準電圧選択回路から出力されるデジタル信号を、選択された前記被測定入力信号の測定値として格納する記憶回路と、
を備え、
前記デジタルアナログ変換器及び前記第1のアナログデジタル変換器は、それぞれの基準電圧として、前記基準電圧発生器からの基準電圧又は該基準電圧に比例した電圧を受ける、ことを特徴とする電圧電流印加・測定装置。 - 前記基準電圧発生器の複数の基準電圧を給電する複数の給電線はバスを構成している、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記基準電圧発生器からの複数の基準電圧は、それぞれの温度特性が予め校正されており、温度変化に対して補正される、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記基準電圧発生器は、前記複数の基準電圧として、階段状に線形に区分された複数の基準電圧を出力する、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記被測定入力電圧を、前記第1のアナログデジタル変換器で粗に測定して基準電圧を選択するか、又は、予測により基準電圧を設定するかが選択自在とされる、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記入力切替及び増幅器には、前記被測定入力信号とともに校正信号が入力され、前記入力切替器によりいずれか1つが選択される、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記デジタルアナログ変換器及び前記第2のアナログデジタル変換器の少なくとも1つは、前記基準電圧で、ゲインの校正が行われる、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記印加系回路の前記デジタルアナログ変換器には、所望する出力電圧から、前記第1の基準電圧切替器で選択された基準電圧を差し引いた電圧に、補正値を加えた値に対応するデジタル信号が入力され、前記デジタル信号に対応したアナログ電圧が出力される、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 前記デジタルアナログ変換器の出力電圧範囲は、前記基準電圧の副尺として、前記副尺の区間は、前記基準電圧の少なくとも1区分にわたるものである、ことを特徴とする請求項1乃至15のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 半導体検査装置を構成し、電圧及び/又は電流の電圧電流印加・測定装置であって、
基準電圧発生器を備え、前記半導体検査装置の基準電圧のバスを構成し、温度特性が予め校正され、温度変化に対して、常時、補正自在に構成されたものであり、
前記基準電圧発生器は、リニアな階段状に区分された複数出力を有し、相対値を安定に保持可能な構成とされ、
印加系回路として、所望の値近辺の基準電圧との和を印加電圧とするデジタルアナログ変換器を備え、
測定系回路として、
被測定入力電圧に近辺の基準電圧と、被測定入力電圧との差分を測定するアナログデジタル変換器を備え、
前記被測定入力電圧を、前段で粗測定して基準電圧値を設定するか、あらかじめ予測して設定するかが選択自在とされ、
前記デジタルアナログ変換器及び前記アナログデジタル変換器の少なくとも一方は、前記基準電圧によりゲインが校正されるものとされ、
前記基準電圧に従属させた副尺として機能し、前記副尺の区間は、前記基準電圧の少なくとも1区分とし、
前記基準電圧発生器は、印加と測定時に、印加系回路と測定系回路の1部を成す、ことを特徴とする電圧電流印加・測定装置 - 電圧及び/又は電流の印加と測定とが、予め定められた周期で行われ、
印加及び測定が複数ある場合、前記周期内で順序が割り当てられるように制御し、前記周期内で、少なくとも1回測定され、
測定値を記憶する記憶装置を備え、
読み出し指示を受けると、前記記憶装置から読み出し、
校正用の測定も、前記周期内に割り当てられる、ことを特徴とする請求項1乃至8、17のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。 - 測定とテストのバックグラウンドで、校正が行われる、ことを特徴とする請求項1乃至8、17、18のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置。
- 請求項1乃至19のいずれか一に記載の電圧電流印加・測定装置を備えた半導体検査装置。
- 請求項1乃至19のいずれか一に記載の前記電圧電流印加・測定装置の出力電圧を受けて電圧、電流を被測定デバイスに供給する回路系を備え、前記被測定デバイスに印加する電圧又は電流を前記測定系で測定するための回路系を備え、電圧の校正は、前記電圧と前記電圧に対応する基準電圧との差分に基づき、行われる、ことを特徴とする半導体検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005352128A JP4745809B2 (ja) | 2005-12-06 | 2005-12-06 | 電流電圧印加・測定装置及び半導体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005352128A JP4745809B2 (ja) | 2005-12-06 | 2005-12-06 | 電流電圧印加・測定装置及び半導体検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007155538A true JP2007155538A (ja) | 2007-06-21 |
JP4745809B2 JP4745809B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=38240107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005352128A Expired - Fee Related JP4745809B2 (ja) | 2005-12-06 | 2005-12-06 | 電流電圧印加・測定装置及び半導体検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4745809B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008276702A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Famco:Kk | 基準電圧生成装置 |
CN108956074A (zh) * | 2018-07-24 | 2018-12-07 | 东南大学 | 实时混合动力试验方法 |
KR101994363B1 (ko) * | 2018-07-17 | 2019-06-28 | 울산과학기술원 | 가스 센싱용 계측 장치 |
CN111147001A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-12 | 株式会社捷太格特 | 电源电路以及电机控制装置 |
KR102225817B1 (ko) * | 2019-11-14 | 2021-03-11 | 고려대학교 산학협력단 | 반도체 소자의 주파수 출력 특성 및 기계 학습을 이용한 반도체 소자 테스트 장치 및 방법 |
CN117723800A (zh) * | 2024-02-18 | 2024-03-19 | 上海芯诣电子科技有限公司 | 半导体检测电路和方法、半导体检测设备和存储介质 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57170491U (ja) * | 1981-04-17 | 1982-10-27 | ||
JPS6447973A (en) * | 1987-08-18 | 1989-02-22 | Yokogawa Electric Corp | Device tester |
JPH0374593A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-29 | Daikin Ind Ltd | ロータリ式圧縮機 |
JPH044781A (ja) * | 1990-04-18 | 1992-01-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Dcモータ制御装置 |
JPH0522135A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Nidek Co Ltd | デジタル・アナログ変換回路 |
JPH0729934U (ja) * | 1993-10-22 | 1995-06-02 | 横河電機株式会社 | アナログ信号発生装置 |
JPH0915272A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Shinko Seisakusho Co Ltd | 電圧測定回路 |
JPH1188165A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-30 | Hitachi Ltd | アナログ信号の入力装置及びその入力方法ならびに記録媒体 |
JP2000031823A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-01-28 | Asahi Optical Co Ltd | A/d変換器 |
JP2000295102A (ja) * | 1999-02-03 | 2000-10-20 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ad変換器又はda変換器のためのデジタルキャリブレーション方法及び装置 |
JP2001174489A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-06-29 | Nec Miyagi Ltd | デジタル電圧計 |
JP2001281292A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-10 | Advantest Corp | Ic試験装置における電圧発生器の校正方法・電圧発生器の校正装置 |
JP2002098738A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-05 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
JP2002353550A (ja) * | 2001-05-22 | 2002-12-06 | Asahi Kasei Microsystems Kk | レーザモジュール温度制御回路 |
JP2003299349A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 電源回路 |
JP2004280063A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Boe Hydis Technology Co Ltd | 液晶表示装置の基準電圧発生回路 |
JP2005201786A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
-
2005
- 2005-12-06 JP JP2005352128A patent/JP4745809B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57170491U (ja) * | 1981-04-17 | 1982-10-27 | ||
JPS6447973A (en) * | 1987-08-18 | 1989-02-22 | Yokogawa Electric Corp | Device tester |
JPH0374593A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-29 | Daikin Ind Ltd | ロータリ式圧縮機 |
JPH044781A (ja) * | 1990-04-18 | 1992-01-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Dcモータ制御装置 |
JPH0522135A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Nidek Co Ltd | デジタル・アナログ変換回路 |
JPH0729934U (ja) * | 1993-10-22 | 1995-06-02 | 横河電機株式会社 | アナログ信号発生装置 |
JPH0915272A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Shinko Seisakusho Co Ltd | 電圧測定回路 |
JPH1188165A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-30 | Hitachi Ltd | アナログ信号の入力装置及びその入力方法ならびに記録媒体 |
JP2000031823A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-01-28 | Asahi Optical Co Ltd | A/d変換器 |
JP2000295102A (ja) * | 1999-02-03 | 2000-10-20 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ad変換器又はda変換器のためのデジタルキャリブレーション方法及び装置 |
JP2001174489A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-06-29 | Nec Miyagi Ltd | デジタル電圧計 |
JP2001281292A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-10 | Advantest Corp | Ic試験装置における電圧発生器の校正方法・電圧発生器の校正装置 |
JP2002098738A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-05 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
JP2002353550A (ja) * | 2001-05-22 | 2002-12-06 | Asahi Kasei Microsystems Kk | レーザモジュール温度制御回路 |
JP2003299349A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 電源回路 |
JP2004280063A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Boe Hydis Technology Co Ltd | 液晶表示装置の基準電圧発生回路 |
JP2005201786A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008276702A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Famco:Kk | 基準電圧生成装置 |
KR101994363B1 (ko) * | 2018-07-17 | 2019-06-28 | 울산과학기술원 | 가스 센싱용 계측 장치 |
CN108956074A (zh) * | 2018-07-24 | 2018-12-07 | 东南大学 | 实时混合动力试验方法 |
CN108956074B (zh) * | 2018-07-24 | 2019-09-03 | 东南大学 | 实时混合动力试验方法 |
CN111147001A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-12 | 株式会社捷太格特 | 电源电路以及电机控制装置 |
KR102225817B1 (ko) * | 2019-11-14 | 2021-03-11 | 고려대학교 산학협력단 | 반도체 소자의 주파수 출력 특성 및 기계 학습을 이용한 반도체 소자 테스트 장치 및 방법 |
WO2021096076A1 (ko) * | 2019-11-14 | 2021-05-20 | 고려대학교 산학협력단 | 반도체 소자의 주파수 출력 특성 및 기계 학습을 이용한 반도체 소자 테스트 장치 및 방법 |
CN117723800A (zh) * | 2024-02-18 | 2024-03-19 | 上海芯诣电子科技有限公司 | 半导体检测电路和方法、半导体检测设备和存储介质 |
CN117723800B (zh) * | 2024-02-18 | 2024-05-07 | 上海芯诣电子科技有限公司 | 半导体检测电路和方法、半导体检测设备和存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4745809B2 (ja) | 2011-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10579086B2 (en) | Current source calibration tracking temperature and bias current | |
US6452519B1 (en) | Analog to digital converter utilizing a highly stable resistor string | |
JP4152676B2 (ja) | 差動電圧測定装置、半導体試験装置 | |
JP4745809B2 (ja) | 電流電圧印加・測定装置及び半導体検査装置 | |
US7489123B2 (en) | Calibration control for pin electronics of automatic testing equipment | |
US20120032722A1 (en) | Offset Calibration for Amplifiers | |
US6310518B1 (en) | Programmable gain preamplifier | |
TW200403445A (en) | Semiconductor testing apparatus and semiconductor testing method | |
KR100242258B1 (ko) | 반도체 디바이스 시험장치 | |
KR20070114006A (ko) | 전원 장치 및 이것을 사용한 반도체 시험 시스템 | |
US7612698B2 (en) | Test apparatus, manufacturing method, and test method | |
US20070126618A1 (en) | Display device drive device, display device, and drive device or display device check method | |
JP2015128203A (ja) | 半導体装置 | |
KR100389560B1 (ko) | 반도체집적회로의 검사장치 및 그의 검사방법 및 그검사프로그램을 기록하는 기억매체 | |
US8723711B1 (en) | Stair-step voltage ramp module including programmable gain amplifier | |
US20210159907A1 (en) | Current steering digital to analog converter (dac) system to perform dac static linearity calibration | |
US8013589B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2008276702A (ja) | 基準電圧生成装置 | |
JPWO2005064586A1 (ja) | 表示装置の駆動装置、表示装置、駆動装置または表示装置の検査方法 | |
JP7065694B2 (ja) | 電流検出回路、電流計、及び、電流検出回路の制御方法 | |
KR100827736B1 (ko) | Ic 테스터 | |
JP4352401B2 (ja) | 電圧電流発生装置 | |
JP2008304426A (ja) | 任意波形発生器および半導体テスト装置 | |
EP4380059A1 (en) | Internally calibrated analog-to-digital converter | |
JP3303839B2 (ja) | 高精度d/a変換器とその制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100329 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110510 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110512 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4745809 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |