JP4352401B2 - 電圧電流発生装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 101100444142 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) dut-1 gene Proteins 0.000 description 33
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 101100117775 Arabidopsis thaliana DUT gene Proteins 0.000 description 1
- 101150091805 DUT1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
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Description
高精度基準電圧生成部5が、モジュール3内のグランドを基準電位とし、基準電圧を生成し、リファレンス電圧生成部6に出力する。そして、リファレンス電圧生成部6が、モジュール3内のグランドを基準電位とし、基準電圧からDA変換器7や図示しないその他の回路用のリファレンス電圧を各種生成する。さらに、DA変換器7が、リファレンス電圧に基づく出力範囲で、制御線からのデジタル信号をアナログ信号に変換し加算アンプ部9に出力する。
リファレンス電圧により出力範囲が決まるDA変換器を有するカードを複数枚設け、各カードのDA変換器の出力を被試験対象に与える電圧電流発生装置において、
前記被試験対象の基準電位を基準とした基準電圧を生成する基準電圧分配部と、
前記カードごとに設けられ、前記基準電圧分配部の基準電位を基準とし、前記基準電圧分配部の基準電圧から前記リファレンス電圧を生成し、前記DA変換器に出力するリファレンス電圧生成部と
を設け、
前記基準電圧分配部は、
前記被試験対象の基準電位が入力されるロウ側アンプ部と、
このロウ側アンプ部が出力する電位を基準として、基準電圧を生成する基準電圧生成部と
を有することを特徴とするものである。
前記DA変換器から被試験対象への経路の間に設けられ、経路にて発生する電圧降下分を補正するハイ側アンプ部を設けたことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明において、
前記DA変換器の出力に基づいて動作する被試験対象の試験を行なう半導体試験システムに用いたことを特徴とするものである。
請求項1〜3によれば、基準電圧分配部が、被試験対象の基準電位を基準として基準電圧を生成し、各カードに分配する。そして、各カードのリファレンス電圧生成部が、基準電圧分配部の基準電位を基準としてリファレンス電圧を生成する。これにより、各カードごとに基準電圧を生成する回路や、装置全体の基準電位と被試験対象の基準電位との誤差分を補正する加算アンプ部を設けなくとも、被試験対象の基準電位の変動に追従したリファレンス電圧を生成できる。従って、少ない部品点数で、被試験対象に高精度な電圧を出力することができる。さらに、部品点数が減少するので、各カードの小型化、部品配置の制約が緩和される。
図1は、本発明の一実施例を示す構成図である。ここで、図3と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。また、DA変換器7に接続される制御線の図示も省略する。図1において、基準電圧分配部11が、モジュール3とは別のモジュールとして、信号線Lsの経路上に新たに設けられる。基準電圧分配部11は、ロウ側アンプ部12、高精度基準電圧生成部13を有し、DUT1の基準電位を基準とした基準電圧を生成する。
信号線Lsを介してロウ側アンプ部12が、DUT1の基準電位(つまり、ピンPgの電圧)をセンシングする。そして、高精度基準電圧生成部13が、ロウ側アンプ部12が出力する電位を基準とした基準電圧を生成し、各カード4のリファレンス電圧生成部14に出力する。
図1に示す装置において、DA変換器7の出力をハイ側アンプ部10が補正して出力する構成を示したが、ハイ側アンプ部10を設けなくともよい。
4 カード
7 DA変換器
10 ハイ側アンプ部
11 基準電圧分配部
12 ロウ側アンプ部
13 高精度基準電圧生成部
Claims (3)
- リファレンス電圧により出力範囲が決まるDA変換器を有するカードを複数枚設け、各カードのDA変換器の出力を被試験対象に与える電圧電流発生装置において、
前記被試験対象の基準電位を基準とした基準電圧を生成する基準電圧分配部と、
前記カードごとに設けられ、前記基準電圧分配部の基準電位を基準とし、前記基準電圧分配部の基準電圧から前記リファレンス電圧を生成し、前記DA変換器に出力するリファレンス電圧生成部と
を設け、
前記基準電圧分配部は、
前記被試験対象の基準電位が入力されるロウ側アンプ部と、
このロウ側アンプ部が出力する電位を基準として、基準電圧を生成する基準電圧生成部と
を有することを特徴とする電圧電流発生装置。 - 前記DA変換器から被試験対象への経路の間に設けられ、経路にて発生する電圧降下分を補正するハイ側アンプ部を設けたことを特徴とする請求項1記載の電圧電流発生装置。
- 前記DA変換器の出力に基づいて動作する被試験対象の試験を行なう半導体試験システムに用いたことを特徴とする請求項1または2記載の電圧電流発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004214559A JP4352401B2 (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | 電圧電流発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004214559A JP4352401B2 (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | 電圧電流発生装置 |
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JP2006038484A JP2006038484A (ja) | 2006-02-09 |
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ID=35903646
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4352401B2 (ja) |
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- 2004-07-22 JP JP2004214559A patent/JP4352401B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006038484A (ja) | 2006-02-09 |
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