JP2016152387A - 電子線描画装置 - Google Patents

Abstract

【課題】偏向アンプの動作チェックを行うことが可能な時間を十分に確保する。【解決手段】電子線描画装置は、試料へ入射する電子線を偏向する偏向器と、入力信号に応じた電圧信号を出力端子から前記偏向器へ出力する第１のＤＡ変換器と、前記入力信号に応じた電圧信号を出力端子から出力する、前記第１のＤＡ変換器とは異なる第２のＤＡ変換器と、前記第１のＤＡ変換器の出力端子と前記偏向器とを接続する第１のケーブルと、一端が前記第２のＤＡ変換器の出力端子に接続され、前記第１のケーブルとインピーダンスがほぼ等しい第２のケーブルと、前記第１のＤＡ変換器からの電圧信号と、前記第２のＤＡ変換器からの電圧信号を比較した結果を出力する比較器と、前記比較器からの出力に基づいて、前記第１のＤＡ変換器の出力診断を行う診断装置と、を有する。【選択図】図３

Description

本発明は、電子線描画装置に関する。

フラッシュメモリなどの記録媒体や、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を構成する半導体素子のリソグラフィ工程では、マスクに形成された原画パターンが、半導体素子の基板となるウエハに転写される。近年、このマスクに形成される原画パターンは、電子線描画装置を用いて描画されるのが一般的になりつつある。

電子線描画装置を用いてパターンを描画する際には、偏向器に印加する電圧を制御することにより、電子線をマスク上の所望の位置に入射させる。このため、精度よく微細なパターンを描画するためには、偏向器に電圧を印加する偏向アンプの較正や、その機能の診断を事前に行っておく必要がある。

偏向アンプは、入力されるデジタル信号をＤＡ変換することにより生成した電圧信号を、偏向器へ出力する。この種の偏向アンプが備えるデジタル回路の出力信号については、パリティチェックやサムチェックなどをリアルタイムに行うことができる。このため、デジタル回路に起因する描画エラーを、高い確率で未然に防止することができる。

一方、偏向アンプのアナログ回路を短時間のうちに正確にチェックするのは、比較的困難である。そこで、この種のアンプのアナログ回路を、精度よくチェックする技術が種々提案されている（例えば特許文献１及び２参照）。

特開２００１−１４４６１４号公報 特開２００９−２４６７２６号公報

特許文献１及び２に開示される装置は、外部機器へアナログ信号を出力するＤＡＣアンプと、このＤＡＣアンプと同等の構成を有するモニタ用アンプからの出力信号とをサンプリングして比較する。そして、双方の出力信号の差に基づいて、ＤＡＣアンプの動作チェックを行う。

しかしながら、ＤＡＣアンプには、外部機器につながるケーブルが接続されているが、モニタ用アンプにはケーブルが接続されていない。そのため、ＤＡＣアンプが高速に動作したときには、ＤＡＣアンプからの出力信号にのみ、ケーブルからの反射波が重畳されてしまう。この場合には、ＤＡＣアンプの出力信号の値と、モニタ用アンプの出力信号の値の差が大きくなってしまうため、反射波が減衰するまでの間、ＤＡＣアンプの動作を正確にチェックすることが困難になる。したがって、ＤＡＣアンプの動作チェックに長時間を要する結果となる。

また、ＤＡＣアンプには、セトリング時間が存在する。そのため、ＤＡＣアンプを描画装置の偏向アンプとして用いた場合には、ＤＡＣアンプからの出力信号の値が一定に落ち着くまでのセトリング時間においては、パターンの描画ができないうえに、上述したＤＡＣアンプの動作チェックもできなくなる。

以上のことから、描画装置の偏向アンプでは、セトリング時間と減衰時間が経過してからのわずかな時間で、動作チェックを行わなければならない。また、偏向アンプからの出力信号の値が変動する周期に比べて、減衰時間が著しく長くなると、動作チェック自体ができなくなることも考えられる。この減衰時間は、一般に、セトリング時間よりも長いため、偏向アンプを精度よく高速動作させるためには、偏向アンプの動作チェックを行う時間を十分に確保するための処置が必要になる。

本発明は、上述の事情の下になされたもので、偏向アンプの動作チェックを行うことが可能な時間を十分に確保することを目的とする。

上記課題を解決するため、本実施形態に係る電子線描画装置は、試料へ入射する電子線を偏向する偏向器と、入力信号に応じた電圧信号を出力端子から前記偏向器へ出力する第１のＤＡ変換器と、前記入力信号に応じた電圧信号を出力端子から出力する、前記第１のＤＡ変換器とは異なる第２のＤＡ変換器と、前記第１のＤＡ変換器の出力端子と前記偏向器とを接続する第１のケーブルと、一端が前記第２のＤＡ変換器の出力端子に接続され、前記第１のケーブルとインピーダンスがほぼ等しい第２のケーブルと、前記第１のＤＡ変換器からの電圧信号と、前記第２のＤＡ変換器からの電圧信号を比較した結果を出力する比較器と、前記比較器からの出力に基づいて、前記第１のＤＡ変換器の出力診断を行う診断装置と、を有する。

本発明によれば、第１のＤＡ変換器と第２のＤＡ変換器の出力側のインピーダンスがほぼ等しくなる。このため、第１のＤＡ変換器からの出力信号と、第２のＤＡ変換器からの出力信号の双方に、波高値がほぼ等しい反射波が、ほぼ同じタイミングで重畳される。その結果、双方の出力信号を正確に比較することが可能な時間が長くなる。したがって、偏向アンプの動作チェックを行うことが可能な時間を十分に確保することができる。

本実施形態に係る電子線描画装置のブロック図である。 制御装置のブロック図である。 偏向アンプのブロック図である。 制御装置が実行する動作チェック処理を示すフローチャートである。 ＤＡ変換器からの出力を示す図である。 ＤＡ変換器からの出力を示す図である。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本実施形態に係る電子線描画装置１０の概略構成を示す図である。電子線描画装置１０は、例えば真空度が１０^−７Ｐａ程度の環境下において、レジスト材がコーティングされたマスクやレチクルなどの試料１２０に、パターンを描画する装置である。

図１に示されるように、電子線描画装置１０は、電子線を試料１２０に照射する照射装置２０、試料１２０が載置されるステージ装置６１、ステージ装置６１を収容するライティングチャンバ６０、照射装置２０及びステージ装置６１を制御する制御系１００を備えている。

照射装置２０は、長手方向を鉛直軸方向とする鏡筒２１と、鏡筒２１の内部上方から下方に向かって配置される電子銃２２、偏向器３１，３２、レンズ４１，４２，４３、アパーチャ５１，５２，５３を有している。

鏡筒２１は、下方が開放された円筒状のケーシングである。鏡筒２１は、ステンレスからなり、接地されている。この鏡筒２１は、ライティングチャンバ６０の上方に設置され、ライティングチャンバ６０内部に位置する部分は、その直径が下方（−Ｚ方向）に向かって小さくなるテーパー形状となっている。

電子銃２２は、鏡筒２１の内部上方に配置されている。電子銃２２は、例えば熱陰極型の電子銃である。電子銃２２は、陰極と、陰極を包囲するように設けられるウェネルト電極と、陰極の下方に配置される陽極などから構成されている。電子銃２２は、高電圧が印加されると下方へ電子線を射出する。

偏向器３１は、電子銃２２の下方に配置されている。偏向器３１は、相互に対向するように配置された電極を有している。そして、ブランキングアンプ１０３によって印加される電圧に応じて、電子銃２２から射出された電子線を偏向する。

例えば、偏向器３１には、描画パターンに基づいた電圧信号（ハイレベルとローレベルの２値の電圧信号）が入力される。偏向器３１では、一方の電極に入力された電圧信号がハイレベルの時に、電極間に電界が生じ、電子線が偏向される。これにより、電子線は、アパーチャ５１によってブランキングされる。そのため、描画パターンに基づいて変調した電圧信号を、偏向器３１に入力することで、試料１２０に所望のパターンを描画することができる。また、ハイレベルに維持された電圧信号を偏向器３１に入力することで、電子線がブランキングされた状態を継続することができる。

レンズ４１は、偏向器３１を包囲するように配置された環状のレンズである。レンズ４１は、偏向器３１を通過する電子線を、アパーチャ５１の中心近傍に集束させる。

アパーチャ５１，５２は、中央に電子線が通過する開口が設けられた板状の部材である。アパーチャ５１，５２は、レンズ４１を通過した電子線の集束点近傍に配置されている。電子線がアパーチャ５１，５２の開口を通過することで、電子線のショットの形状が整形される。また、電子線が偏向器３１によって偏向されたときには、電子線は、アパーチャ５１によって遮蔽される。これにより、電子線がブランキングされる。

レンズ４２は、アパーチャ５２の下方に配置された環状のレンズである。レンズ４２は、電子線を、アパーチャ５３の中心近傍に集束させる。

アパーチャ５３は、偏向器３２の下方に配置されている。アパーチャ５３も、アパーチャ５１，５２と同様に構成されている。電子線がアパーチャ５３の開口を通過することで、電子線のショットの形状が整形される。

偏向器３２は、アパーチャ５３の下方に配置されている。偏向器３２は、対向して配置される複数対の電極を有している。偏向器３２は、電極に印加される電圧に応じて、アパーチャ５３を通過した電子線を偏向する。

レンズ４３は、偏向器３２を包囲するように配置された環状のレンズである。レンズ４３は、偏向器３２と協働することにより、ステージ装置６１に載置された試料１２０の所望の位置に、偏向器３２を通過する電子線を集束させる。

ライティングチャンバ６０は、直方体状の中空部材であり上面には円形の開口が形成されている。上述した照射装置２０の鏡筒２１は、ライティングチャンバ６０の上面に形成された開口に挿入されている。

ステージ装置６１は、ライティングチャンバ６０の内部に配置されている。ステージ装置６１は、パターンが描画される試料１２０をほぼ水平に保持した状態で、少なくとも水平面内を移動する。

制御系１００は、照射装置２０及びステージ装置６１を制御するためのシステムである。この制御系１００は、制御装置１０１、電源装置１０２、ブランキングアンプ１０３、レンズ駆動装置１０４、偏向アンプ２００、及びステージ駆動装置１０７を有している。

図２は、制御装置１０１のブロック図である。図２に示されるように、制御装置１０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１０１ａ、主記憶部１０１ｂ、補助記憶部１０１ｃ、入力部１０１ｄ、表示部１０１ｅ、インタフェース部１０１ｆ、及び上記各部を接続するシステムバス１０１ｇを有するコンピュータである。

ＣＰＵ１０１ａは、補助記憶部１０１ｃに記憶されたプログラムを読み出して実行する。そして、プログラムに応じて、制御系１００を構成する機器を統括的に制御する。

主記憶部１０１ｂは、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の揮発性メモリを有している。主記憶部１０１ｂは、ＣＰＵ１０１ａの作業領域として用いられる。

補助記憶部１０１ｃは、ＲＯＭ（Read Only Memory）、磁気ディスク、半導体メモリなどの不揮発性メモリを有している。補助記憶部１０１ｃは、ＣＰＵ１０１ａが実行するプログラム、及び各種パラメータなどを記憶している。また、ＣＰＵ１０１ａによる処理結果などを含む情報を順次記憶する。

入力部１０１ｄは、キーボードや、マウスなどのポインティングデバイスを有している。ユーザの指示は、入力部１０１ｄを介して入力され、システムバス１０１ｇを経由してＣＰＵ１０１ａに通知される。

表示部１０１ｅは、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）などの表示ユニットを有している。表示部１０１ｅは、例えば、電子線描画装置１０のステータスや、描画パターンなどに関する情報を表示する。

インタフェース部１０１ｆは、ＬＡＮインタフェース、シリアルインタフェース、パラレルインタフェース、アナログインタフェースなどを備えている。電源装置１０２、ブランキングアンプ１０３、レンズ駆動装置１０４、偏向アンプ２００、及びステージ駆動装置１０７は、インタフェース部１０１ｆを介して、制御装置１０１に接続される。

上述のように構成される制御装置１０１は、電源装置１０２、ブランキングアンプ１０３、レンズ駆動装置１０４、偏向アンプ２００、及びステージ駆動装置１０７に、上記各部を駆動するための駆動信号Ｓ１〜Ｓ５を出力する。これらの駆動信号Ｓ１〜Ｓ５は、デジタルデータからなる。

図１に戻り、電源装置１０２は、制御装置１０１からの駆動信号Ｓ１に基づいて、電子銃２２に電圧を印加する。これにより、電子銃２２から試料１２０へ向かって、電子線が射出される。

ブランキングアンプ１０３は、制御装置１０１から出力される駆動信号Ｓ２に基づいてブランキング信号を生成する。そして、生成したブランキング信号を偏向器３１へ出力する。例えば、ブランキング信号は、ハイレベルが５００ｍＶで、ローレベルが０Ｖの２値の信号である。偏向器３１へ出力されるブランキング信号がハイレベルのときに、電子線がブランキングされる。

レンズ駆動装置１０４は、駆動信号Ｓ３に基づいて、電子線に対するレンズ４１，４２のパワー（屈折力）を制御して、電子線をアパーチャ５１〜５３の中心に向けて集束させる。また、レンズ４３のパワーを制御して、電子線を試料１２０の上面に集束させる。

ステージ駆動装置１０７は、駆動信号Ｓ５に基づいて、ステージ装置６１を駆動し、試料１２０の移動や位置決めなどを行う。

偏向アンプ２００は、駆動信号Ｓ４に基づいて電圧信号を生成し、偏向器３２を構成する電極へ出力する。偏向器３２を構成する電極間には、電位差が生じる。これにより、偏向器３２を通過する電子線は、電位差に応じた量だけ偏向する。

図３は、偏向アンプ２００のブロック図である。図３に示されるように、偏向アンプ２００は、駆動回路２０１、ＤＡ変換器２０２、診断用ＤＡ変換器２０３、コンパレータ２０４を有している。

駆動回路２０１には、制御装置１０１から出力される例えば２０ビットの駆動信号Ｓ４が入力される。駆動回路２０１は、駆動信号Ｓ４に基づいて、ＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３を駆動するためのデジタルデータＤ１を生成する。そして、生成したデジタルデータＤ１をＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３へ出力する。このデジタルデータＤ１は、試料に描画される各ショットパターンに基づいた入力信号であり、ＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３に対応するビット数のデータからなる。

ＤＡ変換器２０２は、デジタルデータＤ１の値に対してリニアな特性を有する変換器である。ＤＡ変換器２０２は、デジタルデータＤ１を変換してアナログ信号を生成する。そして、生成したアナログ信号を電圧信号ＳＶ１として、出力端子Ｐ１から出力する。

ＤＡ変換器２０２の出力端子Ｐ１と偏向器３２は、例えばインピーダンスが５０Ωの同軸ケーブルＣ１によって接続されている。同軸ケーブルＣ１は、内部導体と、内部導体を包囲するように絶縁体を介して設けられる外部導体からなる。ＤＡ変換器２０２の出力端子Ｐ１と偏向器３２は、内部導体によって電気的に接続される。また、外部導体は接地され、内部導体のシールドとして機能する。

診断用ＤＡ変換器２０３は、ＤＡ変換器２０２の動作チェックにのみ用いられる変換器である。診断用ＤＡ変換器２０３も、デジタルデータＤ１を変換してアナログ信号を生成する。そして、電圧信号ＳＶ２として、出力端子Ｐ２から出力する。診断用ＤＡ変換器２０３は、ＤＡ変換器２０２と同等の構成を有している。そのため、ＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３が正常に動作している場合には、ＤＡ変換器２０２、診断用ＤＡ変換器２０３から出力される電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２は、値がほぼ等しいアナログ信号となる。

診断用ＤＡ変換器２０３の出力端子には、同軸ケーブルＣ１と仕様及び長さが等しい同軸ケーブルＣ２が接続されている。同軸ケーブルＣ２の外部導体は接地されている。そして、同軸ケーブルＣ２の内部導体と外部導体は、コンデンサ３００を介して接続されている。コンデンサ３００の静電容量は、偏向器３２の電極と対地間の静電容量にほぼ等しい。

コンパレータ２０４は、ＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３それぞれの出力端子Ｐ１，Ｐ２に、同軸ケーブルＣ３，Ｃ４を介して接続されている。同軸ケーブルＣ３，Ｃ４は、相互に仕様及び長さが等しい。コンパレータ２０４は、ＤＡ変換器２０２、診断用ＤＡ変換器２０３から出力される電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２を、同軸ケーブルＣ３，Ｃ４を介してサンプリングする。そして、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２を比較した結果を示す比較信号ＡＳ１を出力する。

例えば、比較信号ＡＳ１は、電圧信号ＳＶ１の値ｖ１と電圧信号ＳＶ２の値ｖ２の差ΔＶ（＝ｖ１−ｖ２）を示す信号である。ＤＡ変換器２０２と診断用ＤＡ変換器２０３は同等の構成を有しており、入力されるデジタルデータが共通である。このため、ＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３が安定して動作しているときには、電圧信号ＳＶ１の値ｖ１と、電圧信号ＳＶ２の値ｖ２との差Δｖは、ほぼ零になる。

制御装置１０１は、比較信号ＡＳ１をモニタすることにより、偏向アンプ２００の動作チェックを行う。図４は、偏向アンプ２００の動作チェックを行う際に、制御装置１０１が実行する一連の処理を示すフローチャートである。また、図５は、偏向アンプ２００を構成するＤＡ変換器２０２、診断用ＤＡ変換器２０３から出力される電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２を示す図である。以下、制御装置１０１の動作について、図４及び図５を参照して説明する。

図５は、時刻ａにおいて、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２の値をＶ１からＶ２へ変更する指示が、制御装置１０１から偏向アンプ２００へ出力されたときに観察される電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２の波形を示す図である。

図５に示されるように、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２は、時刻ａから立ち上がりはじめる。そして、時刻ｂにおいて値がほぼＶ２に収束する。時刻ａから時刻ｂまでの時間が、ＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３の固有の特性に依存するセトリング時間ＳＴとなる。このセトリング時間ＳＴは、ＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３の特性によって増減するが、制御装置１０１は、時刻ａから、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２双方の値が一定の値Ｖ２に収束するまでの時刻ｂまでの時間を、偏向アンプ２００のセトリング時間ＳＴ（制定時間）として取り扱う。

また、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２には、ＤＡ変換器２０２、診断用ＤＡ変換器２０３から出力された後に、偏向器３２で反射した反射波が重畳される。図５に示される電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２では、時刻ｃから時刻ｅまでの間の時間に、波高値ｈの反射波が重畳されている。この反射波による成分は、時刻ｃから一旦増加した後、時刻ｅまでに徐々に減少する。時刻ｅを過ぎた後は、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２の値は、ほぼ一定に維持される。

反射波が現れる時間帯は同軸ケーブルＣ１，Ｃ２の長さに依存し、反射波の波高値ｈの大きさは、変更前の電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２の電圧Ｖ１と、変更後の電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２の電圧Ｖ２の差ｄＶに依存する。このため、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２に、反射波による成分が現れる時間帯は予め特定しておくことができる。

そこで、制御装置１０１は、時刻ａから、時刻ｂまでのセトリング時間ＳＴと、時刻ｂから、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２の値が閾値Ｔｈ１まで低下する時刻ｄまでの減衰時間ＡＴと、時刻ｄから、余裕時間ＭＴが経過したときの時刻ｆ以降に、電圧信号ＳＶ１を用いて、試料に入射する電子線の偏向制御を行う。一方、制御装置１０１は、時刻ａから時刻ｆまでの休止時間ＤＴには、電子線をブランキングさせることにより、電圧信号ＳＶ１を用いた電子線の制御を休止する。

制御装置１０１は、電圧信号ＳＶ１を用いた電子線の制御が行われない休止時間ＤＴが経過する前に、コンパレータ２０４からの比較信号ＡＳ１に基づいて、偏向アンプ２００の動作チェックを行う。

具体的には、制御装置１０１は、偏向アンプ２００へ、電圧信号ＳＶ１の値をＶ１からＶ２へ変更するための指示を駆動信号Ｓ４として出力する（ステップＳ１０１）。制御装置１０１は、上記指示を出力した時刻ａから、セトリング時間ＳＴ及び減衰時間ＡＴが経過したら（ステップＳ１０２：Ｙｅｓ）、比較信号ＡＳ１のサンプリングを開始する（ステップＳ１０３）。これにより、休止時間ＤＴのうち、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２の値が比較的安定する余裕時間ＭＴが経過する間に出力される比較信号ＡＳ１がサンプリングされる。

次に、制御装置１０１は、比較信号ＡＳ１に示される差Δｖと、予め設定された基準値ＲＶとを比較する（ステップＳ１０４）。そして、差Δｖと基準値ＲＶとの差ｄｆの絶対値Ａｄｆが所定の閾値Ｔｈ２以下である場合には（ステップＳ１０５：Ｙｅｓ）、偏向アンプ２００が正常に動作していると判断してステップＳ１０１へ戻り、ステップＳ１０１以降の処理を繰り返し実行する。

一方、制御装置１０１は、絶対値Ａｄｆが所定の閾値Ｔｈ２より大きい場合には（ステップＳ１０５：Ｎｏ）、偏向アンプ２００が正常に動作していないと判断して、描画処理を終了する（ステップＳ１０６）。これにより、試料に対する描画エラーを未然に防止するとともに、偏向アンプ２００の故障を実描画中にリアルタイムに検出することができる。

以上説明したように、本実施形態では、図３に示されるように、ＤＡ変換器２０２の動作チェックに用いられる診断用ＤＡ変換器２０３の出力端子Ｐ２に、ＤＡ変換器２０２と偏向器３２とを接続する同軸ケーブルＣ１と同等の同軸ケーブルＣ２が接続されている。また、同軸ケーブルＣ２には、偏向器３２と対地間の静電容量と同等の静電容量を有するコンデンサ３００が接続されている。このため、ＤＡ変換器２０２の出力側のインピーダンスと、診断用ＤＡ変換器２０３の出力側のインピーダンスが等しくなる。

これにより、図５に示されるように、ＤＡ変換器２０２から出力される電圧信号ＳＶ１の波形と、診断用ＤＡ変換器２０３から出力される電圧信号ＳＶ２の波形がほぼ等しくなる。したがって、偏向アンプ２００の動作チェックを行う時間を十分に確保することが可能となる。

例えば、診断用ＤＡ変換器２０３に同軸ケーブルＣ２が接続されていない場合には、診断用ＤＡ変換器２０３の電圧信号ＳＶ２には、反射波による成分が含まれない。この場合には、図６に示されるように、反射波による成分を含む電圧信号ＳＶ１の波形と、反射波による成分を含まない電圧信号ＳＶ２の波形は、セトリング時間ＳＴと、余裕時間ＭＴの後半では同等の形状となるが、減衰時間ＡＴでは異なった形状となる。そのため、減衰時間ＡＴでは、電圧信号ＳＶ１と電圧信号ＳＶ２を比較することによっては、偏向アンプ２００の動作チェックを正確に行うことができない。また、セトリング時間ＳＴでは、電圧信号ＳＶ１の波形と、電圧信号ＳＶ２の波形が同形状となり得るが、このセトリング時間ＳＴでは、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２が、ＤＡ変換器２０２と診断用ＤＡ変換器２０３の個体差の影響を強く受ける。そのため、偏向アンプ２００の動作チェックが可能になるのは、余裕時間ＭＴに含まれる時間帯Ｒのみとなる。

一方、ＤＡ変換器２０２及び診断用ＤＡ変換器２０３の双方に、同軸ケーブルＣ１，Ｃ２が接続されている場合には、電圧信号ＳＶ１の波形と、電圧信号ＳＶ２の波形がほぼ同等の形状となる。この場合には、セトリング時間ＳＴと、電圧信号ＳＶ１，ＳＶ２が急峻に変化する時間帯を除いた余裕時間ＭＴにおいて、偏向アンプ２００の動作チェックが可能になる。したがって、偏向アンプ２００の動作チェックを行うことが可能な時間を十分に確保することができる。

図５においては、時刻ｅから時刻ｆまでは約２０ｎｓｅｃであるため、従来は２０ｎｓｅｃの間に動作チェックを完結する必要があった。しかしながら、上記実施形態では、動作チェックのために３０ｎｓｅｃ〜５０ｎｓｅｃ程度の時間を確保することが可能になる。

また、上記実施形態では、偏向アンプ２００が正常に動作していないと判断された場合には、描画処理が終了する（ステップＳ１０６）。これにより、試料に対する描画エラーを未然に防止することが可能となる。その結果、マスクへの実描画中に発生するエラーにより、当該マスクをスクラップにすることが回避され、結果的に商品の歩留まりを向上することができる。

また、偏向アンプ２００の故障をリアルタイムに特定することができるので、電子線描画装置１０の稼働率を向上することが可能となる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態によって限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、同軸ケーブルＣ２にコンデンサ３００が接続されている場合について説明した。これに限らず、同軸ケーブルＣ２は一端が開放端になっていてもよい。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施しうるものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０ 電子線描画装置
２０ 照射装置
２１ 鏡筒
２２ 電子銃
３１，３２ 偏向器
４１〜４３ レンズ
５１〜５３ アパーチャ
６０ ライティングチャンバ
６１ ステージ装置
１００ 制御系
１０１ 制御装置
１０１ａ ＣＰＵ
１０１ｂ 主記憶部
１０１ｃ 補助記憶部
１０１ｄ 入力部
１０１ｅ 表示部
１０１ｆ インタフェース部
１０１ｇ システムバス
１０２ 電源装置
１０３ ブランキングアンプ
１０４ レンズ駆動装置
１０７ ステージ駆動装置
１２０ 試料
２００ 偏向アンプ
２０１ 駆動回路
２０２ ＤＡ変換器
２０３ 診断用ＤＡ変換器
２０４ コンパレータ
３００ コンデンサ
Ｃ１〜Ｃ４ 同軸ケーブル
Ｄ１ デジタルデータ
Ｐ１，Ｐ２ 出力端子
Ｓ１〜Ｓ４ 駆動信号

Claims (5)

1. 試料へ入射する電子線を偏向する偏向器と、
   入力信号に応じた電圧信号を出力端子から前記偏向器へ出力する第１のＤＡ変換器と、
   前記入力信号に応じた電圧信号を出力端子から出力する、前記第１のＤＡ変換器とは異なる第２のＤＡ変換器と、
   前記第１のＤＡ変換器の出力端子と前記偏向器とを接続する第１のケーブルと、
   一端が前記第２のＤＡ変換器の出力端子に接続され、前記第１のケーブルとインピーダンスがほぼ等しい第２のケーブルと、
   前記第１のＤＡ変換器からの出力電圧と、前記第２のＤＡ変換器からの出力電圧を比較した結果を出力する比較器と、
   前記比較器からの出力に基づいて、前記第１のＤＡ変換器の診断を行う制御装置と、
   を有する電子線描画装置。
2. 前記第１のケーブルと前記第２のケーブルは、長さが相互に等しく、同等の構造を有している請求項１に記載の電子線描画装置。
3. 前記第２のケーブルの他端は開放端である請求項１又は２に記載の電子線描画装置。
4. 前記第２のケーブルの他端は、前記偏向器の静電容量と等しいコンデンサが接続されている請求項１に記載の電子線描画装置。
5. 前記ケーブルは、接地された外部導体と、前記外部導体に囲まれる内部導体からなる同軸ケーブルであり、
   前記コンデンサは、前記外部導体と前記内部導体とにわたって接続される請求項４に記載の電子線描画装置。

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