JP2007271919A - 荷電粒子ビーム装置、da変換装置の異常検出方法、荷電粒子ビーム描画方法及びマスク - Google Patents
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Abstract
【構成】本発明の一態様の描画装置100は、電子ビーム200を静電偏向させる対物偏向器208と、電子ビーム200を静電偏向させるためのデジタル信号を入力して第1のアナログ値に変換し、対物偏向器208に第1のアナログ値を増幅して第1の電圧値として出力するDACアンプユニット165と、上述したデジタル信号と同期してデジタル信号の正負を反転させた逆相信号を入力して第2のアナログ値に変換し、第2のアナログ値を増幅して第2の電圧値として出力するDACアンプユニット166と、第1の電圧値と第2の電圧値とを用いてDACアンプユニット165とDACアンプユニット166の少なくとも一方が異常であると判定する比較回路276と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、異常発生時にDACアンプユニットの異常を検出することができる。
【選択図】 図1
Description
可変成形型電子線描画装置(EB(Electron beam)描画装置)における第1のアパーチャ410には、電子線330を成形するための矩形例えば長方形の開口411が形成されている。また、第2のアパーチャ420には、第1のアパーチャ410の開口411を通過した電子線330を所望の矩形形状に成形するための可変成形開口421が形成されている。荷電粒子ソース430から照射され、第1のアパーチャ410の開口411を通過した電子線330は、偏向器により偏向され、第2のアパーチャ420の可変成形開口421の一部を通過して、所定の一方向(例えば、X方向とする)に連続的に移動するステージ上に搭載された試料340に照射される。すなわち、第1のアパーチャ410の開口411と第2のアパーチャ420の可変成形開口421との両方を通過できる矩形形状が、X方向に連続的に移動するステージ上に搭載された試料340の描画領域に描画される。第1のアパーチャ410の開口411と第2のアパーチャ420の可変成形開口421との両方を通過させ、任意形状を作成する方式を可変成形方式という。
デジタル信号を入力してアナログ値に変換し、アナログ値を増幅して出力する複数のDA(デジタル・アナログ)変換部と、
複数のDA変換部により出力された複数のアナログ値のうちの少なくとも1つのアナログ値を入力して荷電粒子ビームを偏向させる偏向器と、
複数のDA変換部により出力された複数のアナログ値を用いて複数のDA変換部の少なくとも1つが異常であると判定する判定部と、
を備えたことを特徴とする。
荷電粒子ビームを偏向させるためのデジタル信号を入力して第1のアナログ値に変換し、偏向器に第1のアナログ値を増幅して出力する第1のDA(デジタル・アナログ)変換部と、
デジタル信号と同期してデジタル信号の正負を反転させた逆相信号を入力して第2のアナログ値に変換し、第2のアナログ値を増幅して出力する第2のDA変換部と、
を備え、
判定部は、出力された前記第1のアナログ値と前記第2のアナログ値とを用いて前記第1と第2のDA変換部の少なくとも一方が異常であると判定すると好適である。
第2のDA変換部の出力側を偏向器の対となる2極の他方に接続すればよい。
上述したデジタル信号と同期して同じデジタル信号を入力して第3のアナログ値に変換し、第3のアナログ値を増幅して出力する第3のDA変換部と、
出力された第3のアナログ値と第2のアナログ値との加算値が所定の閾値を越えた場合に第3と第2のDA変換部の少なくとも一方が異常であると判定する第2の判定部と、
を備えても好適である。
荷電粒子ビームを偏向させるためのデジタル信号を入力して第1のアナログ値に変換し、偏向器に第1のアナログ値を増幅して出力する第1のDA(デジタル・アナログ)変換部と、
第1のDA変換部への入力と同期して上述したデジタル信号を入力して第2のアナログ値に変換し、第2のアナログ値を正負を反転させ増幅して出力する第2のDA変換部と、
を備え、
判定部は、出力された第1のアナログ値と第2のアナログ値とを用いて第1と第2のDA変換部の少なくとも一方が異常であると判定するようにしても好適である。
荷電粒子ビームを偏向させる偏向器にアナログ信号を出力するDA(デジタル・アナログ)変換装置の異常を検出する検出方法であって、
第1と第2のDA変換装置を用いて、第1のDA変換装置の出力と正負が反転する反転出力を第2のDA変換装置から同期して出力させ、
第1のDA変換装置の出力値と第2のDA変換装置の反転出力値との加算値が所定の閾値を越えた場合に第1と第2のDA変換装置の少なくとも一方の異常を検出することを特徴とする。
第1のDA(デジタル・アナログ)変換装置の出力値が印加された偏向器により偏向させられる荷電粒子ビームを用いて試料に描画する描画工程と、
第1のDA変換装置の出力値と正負が反転する反転出力値を第2のDA変換装置から同期して出力させ、第1のDA変換装置の出力値と第2のDA変換装置の反転出力値との加算値が所定の閾値を越えた場合に第1と第2のDA変換装置の少なくとも一方が異常であると判定する判定工程と、
を備えたことを特徴とする。
荷電粒子ビームを偏向させる偏向器と、
荷電粒子ビームを偏向させるためのデジタル信号に補正値が加算された信号を入力して第1のアナログ値に変換し、偏向器に第1のアナログ値を増幅して第1の電圧値として出力する第1のDA(デジタル・アナログ)変換部と、
上述したデジタル信号と同期してデジタル信号の正負を反転させた逆相信号を入力して第2のアナログ値に変換し、第2のアナログ値を増幅して第2の電圧値として出力する第2のDA変換部と、
上述した補正値を入力して第3のアナログ値に変換し、第3のアナログ値を正負を反転させ増幅して第3の電圧値として出力する第3のDA変換部と、
第1の電圧値と第2の電圧値と第3の電圧値との加算値が所定の閾値を越えた場合に第1と第2のDA変換部の少なくとも一方が異常であると判定する判定部と、
を備えた構成にしても好適である。
ガラス基板と、
ガラス基板上に形成され、第1のDA(デジタル・アナログ)変換装置の出力値と第1のDA変換装置の出力値と同期して出力される正負が反転した第2のDA変換装置の反転出力値との加算値が所定の閾値を越えた場合に第1と第2のDA変換装置の少なくとも一方が異常であると判定される描画装置を用いて、第1のDA変換装置の出力値が印加された偏向器により偏向させられる荷電粒子ビームにより描画されてパターン形成された遮光膜と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1における描画装置の構成を示す概念図である。
図1において、荷電粒子ビーム描画装置の一例である可変成形型の描画装置100は、描画部150を構成する電子鏡筒102、描画室103、XYステージ105、電子銃201、照明レンズ202、ブランキング(BLK)偏向器212、BLKアパーチャ214、第1の成形アパーチャ203、投影レンズ204、成形偏向器205、第2の成形アパーチャ206、対物レンズ207、対物偏向器208、ミラー209を備え、制御部160として、制御計算機120、メモリ122、パターンデータ処理回路130、BLK偏向制御回路142、分配回路152、DAC(デジタル・アナログコンバータ)アンプユニット161、DACアンプユニット162、異常検出機構192、成形偏向制御回路144、分配回路154、DACアンプユニット163、DACアンプユニット164、異常検出機構194、位置偏向制御回路146、分配回路156、DACアンプユニット165、DACアンプユニット166、異常検出機構196、レーザ測長系132、駆動回路114を備えている。そして、異常検出機構192として、比較回路272、判定回路182、抵抗241、抵抗242、コンデンサ251、コンデンサ252、増幅器262を備えている。異常検出機構194として、比較回路274、判定回路184、抵抗243、抵抗244、コンデンサ253、コンデンサ254、増幅器264を備えている。異常検出機構196として、比較回路276、判定回路186、抵抗245、抵抗246、コンデンサ255、コンデンサ256、増幅器266を備えている。
図2では、成形偏向器205或いは対物偏向器208の例を示している。ここでは、一例として、8極の静電偏向器を用いる。図2に示すように、例えば、XY方向の所定の方向に偏向させるため、電極(1)には、y、電極(1)の対極となる電極(5)には、−y、電極(2)には、(x+y)/√2、電極(2)の対極となる電極(6)には、(−x−y)/√2、電極(3)には、x、電極(3)の対極となる電極(7)には、−x、電極(4)には、(x−y)/√2、電極(4)対極となる電極(8)には、(−x+y)/√2といった電圧を印加する。このように、対となる対極同士で正負が逆転した電圧を印加することで高速かつ高精度なビーム偏向を実現することができる。ここでは、8極の静電偏向器を一例として用いたが、これに限るものではない。2極以上の複数極であれば構わない。BLK偏向器212も同様である。図1では、対となる1組の偏向器についての回路構成を示しているが、複数組(例えば、8極の場合は4組)で構成される場合には、その分だけ、同様の回路が組まれていることは言うまでもない。すなわち、例えば、成形偏向器205が8極で構成される場合には、DACアンプユニット163、DACアンプユニット164、比較回路274、判定回路184、抵抗243、抵抗244、コンデンサ253、コンデンサ254、増幅器264が4組分用意され、分配回路154が各組の正負の各DACアンプユニットにそれぞれ必要なデジタル信号を分配すればよい。また、対物偏向器208が8極で構成される場合には、DACアンプユニット165、DACアンプユニット166、比較回路276、判定回路186、抵抗245、抵抗246、コンデンサ255、コンデンサ256、増幅器266が4組分用意され、分配回路156が各組の正負の各DACアンプユニットにそれぞれ必要なデジタル信号を分配すればよい。BLK偏向器212についても同様である。
実施の形態1では、DACアンプユニット161(第1のDA変換部及び第1のDA変換装置の一例)が電子ビーム200を静電偏向させるための(+)側のデジタル信号を分配回路152から入力してアナログ値(第1のアナログ値)に変換し、BLK偏向器212にアナログ値を増幅して(+)側電圧値(第1の電圧値)として出力する際に、比較回路272側に(+)側電圧値の信号を分岐させている。同様に、DACアンプユニット162(第2のDA変換部及び第2のDA変換装置の一例)が電子ビーム200を静電偏向させるための(−)側のデジタル信号を分配回路152から入力してアナログ値(第2のアナログ値)に変換し、BLK偏向器212にアナログ値を増幅して(−)側電圧値(第2の電圧値)として出力する際に、比較回路272側に(−)側電圧値の信号を分岐させている。そして、それらの電圧値を加算して比較回路272に出力する。正負を反転させた2方向のデジタル信号をそれぞれのDACアンプユニットに入力することで、各DACアンプユニットの出力値は同じDACアンプユニットであれば理想的には正反対の波形のアナログ値となる。よって、2つの出力値を加算することで、理想的には加算値が0となる。一方、DACアンプユニット161とDACアンプユニット162の少なくとも一方が異常である場合には、加算値の値が0にならない。そこで、判定部の一例となる比較回路272で加算値を所定の閾値(基準電圧)と比較する。そして、例えば、比較の結果、加算値が所定の閾値を越えている場合はHレベル信号、超えていない場合はLレベル信号を判定回路182に出力する。そして、判定部の一例となる判定回路182は、比較回路272の出力値を処理して正常/異常を判定する。具体的には判定回路182で、比較回路272の出力値を処理して加算値が所定の閾値を越えたかどうかを判定する。加算値が所定の閾値を越えた場合にDACアンプユニット161とDACアンプユニット162の少なくとも一方が異常であると判定して、制御計算機120にデジタル信号として出力する。このように構成することで、DACアンプユニット161とDACアンプユニット162の少なくとも一方が異常である場合を異常時に即座に検出することができる。また、アナログ値には図3に示すように通常ノイズが乗っているので、判定する際に所定の閾値を用いることで誤判定を低減することができる。ノイズが小さい或いは無視できるような場合には、閾値を0或いは略0にしてもよい。以上のように、判定部となる比較回路272と判定回路182とでかかる加算値の値を判定することでDACアンプユニット161とDACアンプユニット162の少なくとも一方が異常であると判定することができる。
実施の形態1では、対極同士のDACアンプのうち、少なくとも一方が異常であることを検出できる構成としたが、実施の形態2では、対極同士のDACアンプのうちどのDACアンプが異常であるか、個別に特定可能な構成について説明する。以下、実施の形態2では、ビーム偏向をおこなうBLK偏向器212と成形偏向器205と対物偏向器208との3つの偏向器うち、代表して対物偏向器208用のDACアンプ異常を検出する場合について説明する。BLK偏向器212と成形偏向器205についても以下に説明する対物偏向器208と同様に構成することで同様に異常DACアンプを個別に特定することができる。よって、ここでは、BLK偏向器212用のDACアンプ異常を検出する場合と成形偏向器205用のDACアンプ異常を検出する場合とについては説明を省略する。
図4では、BLK偏向器212と成形偏向器205と対物偏向器208とのうち、代表して対物偏向器208を示している。そして、実施の形態2における描画装置100は、対物偏向器208、分配回路156、DACアンプユニット165、DACアンプユニット166の他に、対物偏向器208の異常検出に関連した異常検出機構196とテスト用異常検出機構198を備えている。実施の形態2における描画装置100は、さらに、テスト用に異常検出機構198を備えた点以外は、図1の構成と同様である。描画装置100は、テスト用の異常検出機構198として、DACアンプユニット167、比較回路278、判定回路188、抵抗247、抵抗248、コンデンサ257、コンデンサ258、増幅器268を備えている。また、異常検出機構196としては、比較回路276、判定回路186、抵抗245、抵抗246、コンデンサ255、コンデンサ256、増幅器266を備えている。図4では、図1における対物偏向器208、分配回路156、DACアンプユニット165、DACアンプユニット166、比較回路276、判定回路186、抵抗245、抵抗246、コンデンサ255、コンデンサ256、増幅器266以外の構成については記載を省略している。また、図4では、本実施の形態2を説明する上で必要な構成部分以外については記載を省略している。描画装置100にとって、通常、必要なその他の構成が含まれることは言うまでもない。
図5は、実施の形態3における偏向器の各極に印加する電圧を説明するための図である。
図5では、図2と同様、成形偏向器205或いは対物偏向器208の例を示している。ここでは、図2と同様、一例として、8極の静電偏向器について説明する。図2において説明したように、例えば、XY方向の所定の方向に偏向させるためには、電極(1)に、y、電極(1)の対極となる電極(5)に、−y、電極(2)に、(x+y)/√2、電極(2)の対極となる電極(6)に、(−x−y)/√2、電極(3)に、x、電極(3)の対極となる電極(7)に、−x、電極(4)に、(x−y)/√2、電極(4)対極となる電極(8)に、(−x+y)/√2といった電圧を印加する。すなわち、対となる対極同士で正負が逆転した電圧を印加することで高速かつ高精度なビーム偏向を実現することができる。ここで、電子ビーム200の非点や焦点(フォーカス)を補正するために、上述した電圧以外にさらに補正電圧を印加する場合がある。図5では、電極(1)と対極の電極(5)に−V1を、電極(3)と対極の電極(7)に+V1を印加する例を示している。
実施の形態3では、ビーム偏向をおこなうBLK偏向器212と成形偏向器205と対物偏向器208との3つの偏向器うち、代表して対物偏向器208用のDACアンプ異常を検出する場合について説明する。BLK偏向器212と成形偏向器205についても以下に説明する対物偏向器208と同様に構成することで同様に異常DACアンプを特定することができる。よって、ここでは、BLK偏向器212用のDACアンプ異常を検出する場合と成形偏向器205用のDACアンプ異常を検出する場合とについては説明を省略する。さらに、対物偏向器208用のDACアンプ異常を検出する場合についても、対物偏向器208のある1つの電極に電圧を印加するDACアンプユニット165について説明し、その他の電極に電圧を印加するDACアンプユニットについてはDACアンプユニット165と同様に構成することで同様に異常DACアンプユニットを特定することができるので説明を省略する。
実施の形態3では、I/F回路510で(+)信号及び(−)信号を生成しているが、実施の形態4では、I/F回路510で同じ(+)信号を分岐させる構成について説明する。
図7では、異常検出機構596内の増幅器532の代わりに反転増幅器534を備えた点以外は、図6と同様である。実施の形態4でも、ビーム偏向をおこなうBLK偏向器212と成形偏向器205と対物偏向器208との3つの偏向器うち、代表して対物偏向器208用のDACアンプ異常を検出する場合について説明する。BLK偏向器212と成形偏向器205についても以下に説明する対物偏向器208と同様に構成することで同様に異常DACアンプを特定することができる。よって、ここでは、BLK偏向器212用のDACアンプ異常を検出する場合と成形偏向器205用のDACアンプ異常を検出する場合とについては説明を省略する。さらに、対物偏向器208用のDACアンプ異常を検出する場合についても、対物偏向器208のある1つの電極に電圧を印加するDACアンプユニット165について説明し、その他の電極に電圧を印加するDACアンプユニットについてはDACアンプユニット165と同様に構成することで同様に異常DACアンプを特定することができるので説明を省略する。
各偏向器における対となる2極間で印加される電圧が正負を反転させた値ではない場合に、実施の形態3,4では個別のDACアンプユニット毎に異常を検出する構成で対応しているが、実施の形態5では、実施の形態1のように、対となる各電極用のDACアンプユニット双方を使って異常を検出する場合について説明する。
図8では、異常検出機構196の代わりに異常検出機構199を備えた点以外は、図1と同様である。実施の形態5でも、ビーム偏向をおこなうBLK偏向器212と成形偏向器205と対物偏向器208との3つの偏向器うち、代表して対物偏向器208用のDACアンプ異常を検出する場合について説明する。BLK偏向器212と成形偏向器205についても以下に説明する対物偏向器208と同様に構成することで同様に異常DACアンプを特定することができる。よって、ここでは、BLK偏向器212用のDACアンプ異常を検出する場合と成形偏向器205用のDACアンプ異常を検出する場合とについては説明を省略する。
上述した各実施の形態では、比較回路において各DACアンプユニット(或いはDAC)の出力の加算値を所定の閾値(基準値)と比較していたが、これに限るものではない。
図9は、実施の形態6における描画装置の構成を示す概念図である。
図9において、荷電粒子ビーム描画装置の一例である可変成形型の描画装置100は、描画部150を構成する電子鏡筒102、描画室103、XYステージ105、電子銃201、照明レンズ202、ブランキング(BLK)偏向器212、BLKアパーチャ214、第1の成形アパーチャ203、投影レンズ204、成形偏向器205、第2の成形アパーチャ206、対物レンズ207、対物偏向器208、ミラー209を備え、制御部160として、制御計算機120、メモリ122、パターンデータ処理回路130、BLK偏向制御回路142、分配回路152、DACアンプユニット161、DACアンプユニット162、比較回路172、判定回路182、成形偏向制御回路144、分配回路154、DACアンプユニット163、DACアンプユニット164、比較回路174、判定回路184、位置偏向制御回路146、分配回路156、DACアンプユニット165、DACアンプユニット166、比較回路176、判定回路186、レーザ測長系132、駆動回路114を備えている。
101,340 試料
102 電子鏡筒
103 描画室
105 XYステージ
114 駆動回路
120 制御計算機
122 メモリ
130 パターンデータ処理回路
132 レーザ測長系
142 BLK偏向制御回路
144 成形偏向制御回路
146 位置偏向制御回路
150 描画部
152,154,156 分配回路
160 制御部
161,162,163,164 DACアンプユニット
165,166,167,168 DACアンプユニット
172,174,176,272,274,276,278,576 比較回路
182,184,186,188,586 判定回路
192,194,196,198,199,596 異常検出機構
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203 第1の成形アパーチャ
204 投影レンズ
205 成形偏向器
206 第2の成形アパーチャ
207 対物レンズ
208 対物偏向器
209 ミラー
212 BLK偏向器
214 BLKアパーチャ
241,242,243,244,245,246 抵抗
247,248,249,545,546 抵抗
251,252,253,254,255,256 コンデンサ
257,258,259,555,556 コンデンサ
262,264,266,268,530,532,566 増幅器
330 電子線
410 第1のアパーチャ
411 開口
420 第2のアパーチャ
421 可変成形開口
430 荷電粒子ソース
510,511 I/F回路
520,521,522 DAC
531,534 反転増幅器
Claims (6)
- デジタル信号を入力してアナログ値に変換し、前記アナログ値を増幅して出力する複数のDA(デジタル・アナログ)変換部と、
前記複数のDA変換部により出力された複数のアナログ値のうちの少なくとも1つのアナログ値を入力して荷電粒子ビームを偏向させる偏向器と、
前記複数のDA変換部により出力された複数のアナログ値を用いて前記複数のDA変換部の少なくとも1つが異常であると判定する判定部と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 前記判定部は、出力された前記複数のアナログ値の加算値が所定の閾値を越えた場合に前記複数のDA変換部の少なくとも1つが異常であると判定することを特徴とする請求項1記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記荷電粒子ビーム装置は、前記複数のDA変換部として、
前記荷電粒子ビームを偏向させるためのデジタル信号を入力して第1のアナログ値に変換し、前記偏向器に前記第1のアナログ値を増幅して出力する第1のDA(デジタル・アナログ)変換部と、
前記デジタル信号と同期して前記デジタル信号の正負を反転させた逆相信号を入力して第2のアナログ値に変換し、前記第2のアナログ値を増幅して出力する第2のDA変換部と、
を備え、
前記判定部は、出力された前記第1のアナログ値と前記第2のアナログ値とを用いて前記第1と第2のDA変換部の少なくとも一方が異常であると判定することを特徴とする請求項1記載の荷電粒子ビーム装置。 - 荷電粒子ビームを偏向させる偏向器にアナログ信号を出力するDA(デジタル・アナログ)変換装置の異常を検出する検出方法であって、
第1と第2のDA変換装置を用いて、第1のDA変換装置の出力と正負が反転する反転出力を第2のDA変換装置から同期して出力させ、
前記第1のDA変換装置の出力値と前記第2のDA変換装置の反転出力値との加算値が所定の閾値を越えた場合に前記第1と第2のDA変換装置の少なくとも一方の異常を検出することを特徴とするDA変換装置の異常検出方法。 - 第1のDA(デジタル・アナログ)変換装置の出力値が印加された偏向器により偏向させられる荷電粒子ビームを用いて試料に描画する描画工程と、
前記第1のDA変換装置の出力値と正負が反転する反転出力値を第2のDA変換装置から同期して出力させ、前記第1のDA変換装置の出力値と前記第2のDA変換装置の反転出力値との加算値が所定の閾値を越えた場合に前記第1と第2のDA変換装置の少なくとも一方が異常であると判定する判定工程と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。 - ガラス基板と、
前記ガラス基板上に形成され、第1のDA(デジタル・アナログ)変換装置の出力値と前記第1のDA変換装置の出力値と同期して出力される正負が反転した第2のDA変換装置の反転出力値との加算値が所定の閾値を越えた場合に前記第1と第2のDA変換装置の少なくとも一方が異常であると判定される描画装置を用いて、前記第1のDA変換装置の出力値が印加された偏向器により偏向させられる荷電粒子ビームにより描画されてパターン形成された遮光膜と、
を備えたことを特徴とするマスク。
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