JP2006324569A - 電子ビーム電流計測方法及びそれを用いた電子ビーム応用装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】要求精度を保障する最短時間で計測可能な計測パラメータの一覧を参照データとして作り、この参照データを用いて、計測パラメータを決定し504、効率の良い電流計測を行う506。また、事前に計測された個々のビームごとの電流値や計測ばらつきを履歴データとして保存しておき、これを参照することで、計測パラメータの決定を正確に行う。さらに、履歴データからビーム電流条件の変化をチェックすることで、不良ビームの判定を行う512。これらにより、多様な計測モードにおいて、常に最短時間で計測を実現する。
【選択図】 図5
Description
図1は、本発明をマルチ電子ビーム描画装置に適用した際の電流計測方法の手順を示す一例である。以下、図3に示すマルチ電子ビーム描画装置を例にして、説明する。
計測精度=(計測値の平均電流値)/(実際に照射された電流値)×100[%]
で定義される。計測精度は、照射量補正計測、エラーチェック計測などの計測モードごとにあらかじめ設定しておくことも可能である。
図4は、本発明をマルチ電子ビーム描画装置に適用した際の電流計測方法の手順を示す別の一例である。以下、図3に示すマルチ電子ビーム描画装置を例にして、説明する。
図5は、本発明をマルチ電子ビーム描画装置に適用した際の電流計測方法の手順を示すさらに別の一例である。以下、図3に示すマルチ電子ビーム描画装置を例にして、説明する。
複数ビームのクロストークによる描画エラーを評価する場合、例えば、図5において、ステップ501で1本以上の特定の電子ビームを入力する。
図6は、本発明をマルチ電子ビーム描画装置に適用した際の装置構成の一例を示す。
Claims (8)
- 1本もしくは複数本の電子ビームを用いる電子ビーム応用装置における電子ビーム電流値を電子ビーム検出器と計測回路とを用いて計測する電子ビーム電流計測方法において、測定するビームを特定基準に基づき指定する工程と、指定された特定の電子ビーム以外をブランキングし、前記特定の電子ビームのみを前記電子ビーム検出器に照射する工程と、指定された前記特定基準に基づき計測パラメータを決定する工程と、前記計測パラメータをもとに電子ビーム照射条件と前記計測回路の動作条件を設定して計測する工程とを有することを特徴とする電子ビーム電流計測方法。
- 請求項1に記載の電子ビーム電流計測方法において、前記特定基準は、予め設計した電子ビーム面積もしくは電子ビームの位置、および電子ビーム本数と、電子ビーム電流値の計測精度により指定されることを特徴とする電子ビーム電流計測方法。
- 請求項1に記載の電子ビーム電流計測方法において、前記計測パラメータは、前記計測回路の増倍率と積分時間、および計測回数であることを特徴とする電子ビーム電流計測方法。
- 請求項1に記載の電子ビーム電流計測方法において、前記計測回路により特定の電子ビームの本数から推定される推定電流値を算出する工程を有し、前記推定電流値と計測精度に対する計測パラメータを参照データとし、前記参照データより計測パラメータを決定して、計測するようにしたことを特徴とする電子ビーム電流計測方法。
- 請求項4に記載の電子ビーム電流計測方法において、各々の電子ビームについて事前に計測されたビーム電流値を保存した履歴データと前記参照データとにより、計測パラメータを決定して、計測するようにしたことを特徴とする電子ビーム電流計測方法。
- 請求項5に記載の電子ビーム電流計測方法において、前記特定のビームの前記履歴データと計測結果との差を求め、該差と所定の許容値とを比較することにより、前記電子ビームの描画エラーを評価し、該差が許容値外である場合には、描画エラーを表示するようにしたことを特徴とする電子ビーム電流計測方法。
- 1本もしくは複数本の電子ビームを発生する手段と、前記電子ビームの照射量を制御する手段と、前記電子ビームを個々にON/OFFする手段と、前記電子ビームを検出する電子ビーム検出器と、前記電子ビーム検出器からの信号を処理する計測回路と、これらの各機能を制御する制御装置とを備えた電子ビーム応用装置において、測定する電子ビームを特定基準に基づき指定し、指定された特定の電子ビームについて前記特定基準に基づき計測パラメータを設定する手段と、前記計測パラメータの参照データファイルと各々の電子ビームについて予め計測された履歴データとを蓄積するメモリとを有することを特徴とする電子ビーム応用装置。
- 請求項7に記載の電子ビーム応用装置において、前記制御装置は、前記履歴データと計測結果との差を求める機能を有し、一定の許容値と比較して、該許容値を超える場合には、エラー信号を表示する状態表示部を有することを特徴とする電子ビーム応用装置。
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