JP6632863B2 - 電子ビーム検査・測長装置用の電子ビーム径制御方法及び電子ビーム径制御装置、並びに電子ビーム検査・測長装置 - Google Patents
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Description
d=√(dd 2+ds 2+dc 2)・・・(1)
dd=0.61λ/α・・・(2)
ds=(1/2)Csα3・・・(3)
dc=Cc(ΔV/V)α・・・(4)
I0=B(πα0d0)2/4・・・(5)
Claims (5)
- 電子ビーム検査・測長装置用の電子ビーム径を制御する方法であって、
電子ビームの収束半値角に応じたサイズで複数のアパーチャが開設されたアパーチャ板を電子ビームの光路に設け、電子銃から放出された電子ビームを偏向器により偏向して、前記複数のアパーチャの中から前記電子ビームが通過するアパーチャを選択するものにおいて、
前記偏向器は、電子ビームを光軸から外れるように偏向する第1の偏向器と、第1の偏向器で偏向された電子ビームを振り戻してアパーチャに照射する第2の偏向器と、アパーチャを通過した電子ビームを振り戻す第3の偏向器と、第3の偏向器で降り戻した電子ビームの角度を調整して光軸と一致させる第4の偏向器とを有し、
前記第1の偏向器の偏向中心にクロスオーバ像を結像し、前記複数のアパーチャの中から選択されるアパーチャを電子ビームが通過するように、前記第1〜第4の偏向器を夫々あるいは複数の偏向器を連動して制御することを特徴とする電子ビーム検査・測長装置用の電子ビーム径制御方法。 - 電子銃から放出された電子ビームを偏向する偏向器と、電子ビームの光路に設けられて複数のアパーチャが開設されたアパーチャ板と、前記アパーチャを電子ビームが通過するように前記偏向器を制御する制御手段とを備えた電子ビーム検査・測長装置用の電子ビーム径制御装置であって、
前記アパーチャ板は、電子ビームの収束半値角に応じたサイズで前記複数のアパーチャが開設されており、前記制御手段は、前記複数のアパーチャの中から選択されるアパーチャを電子ビームが通過するように、前記偏向器を制御するものにおいて、
前記偏向器は、電子ビームを光軸から外れるように偏向する第1の偏向器と、第1の偏向器で偏向された電子ビームを振り戻してアパーチャに照射する第2の偏向器と、アパーチャを通過した電子ビームを振り戻す第3の偏向器と、第3の偏向器で降り戻した電子ビームの角度を調整して光軸と一致させる第4の偏向器とを有し、前記制御手段は、前記第1〜第4の偏向器を夫々あるいは複数の偏向器を連動して制御し、
前記第1の偏向器の偏向中心にクロスオーバ像を結像することを特徴とする電子ビーム検査・測長装置用の電子ビーム径制御装置。 - 前記制御手段は、ピクセルサイズを入力する入力手段と、入力されたピクセルサイズに応じたアパーチャを選択する選択手段とを有することを特徴とする請求項2記載の電子ビーム検査・測長装置用の電子ビーム径制御装置。
- 請求項2または請求項3記載の電子ビーム径制御装置を備える電子ビーム検査・測長装置において、検査・測長される試料と対物レンズとの間のワーキングディスタンスを変更可能なワーキングディスタンス可変手段を更に備え、
前記アパーチャ板には、異なるワーキングディスタンスに対応する複数のアパーチャが開設されていることを特徴とする電子ビーム検査・測長装置。 - 請求項2または請求項3記載の電子ビーム径制御装置を備える電子ビーム検査・測長装置において、アパーチャ板の下方に設けられるダイナミックフォーカスレンズと、前記電子ビームが通過するアパーチャを切り換えたときのビーム電流変動による試料面における焦点位置変動を、前記ダイナミックフォーカスレンズのレンズ強度を制御することで補正するレンズ強度制御手段とを更に備えることを特徴とする電子ビーム検査・測長装置。
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