JP5896870B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
Claims (7)
- 電子源から放出された電子線を対物レンズにより集束し、走査偏向器により試料上を走査させ、これにより試料から発生する被検出電子を検出する走査電子顕微鏡であって、レンズギャップが電子源側に向いている第1のコンデンサレンズとレンズギャップが対物レンズ側に向いている第2のコンデンサレンズが電子源と対物レンズとの間に設置され、第1のコンデンサレンズの電子線通過開口内に第1の偏向手段が配置されるとともに、第2のコンデンサレンズの電子線通過開口内に第2の偏向手段が配置されており、口径の異なる複数の孔を有する絞り部材が第1の偏向手段と第2の偏向手段との間に設けられ、電子線通過孔を有する電子検出器が第2の偏向手段と対物レンズとの間に設けられており、第1のコンデンサレンズによるレンズ作用を受けた電子線が第1の偏向手段の駆動に応じて偏向され、これにより絞り部材の複数の孔のうち選択された孔を該電子線が通過し、該孔を通過した電子線が、第2の偏向手段の駆動に応じて偏向されるとともに第2のコンデンサレンズによるレンズ作用を受け、これにより該電子線が電子検出器の電子線通過孔を通過して試料に到達することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 第1の偏向手段及び第2の偏向手段は、それぞれ2段の偏向器から構成されることを特徴とする請求項1記載の走査電子顕微鏡。
- 電子検出器は、第2コンデンサレンズの主面近傍に配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載の走査電子顕微鏡。
- 第2の偏向手段と電子検出器との間に、電子線通過孔が形成された制限絞り部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3何れか記載の走査電子顕微鏡。
- 制限絞り部材は、第2コンデンサレンズの主面近傍に配置されていることを特徴とする請求項4記載の走査電子顕微鏡。
- 第1のコンデンサレンズによるレンズ場は、電子線に対して虚像結像となるように作用するとともに、第2のコンデンサレンズによるレンズ場は、電子線に対して実像結像となるように作用することを特徴とする請求項1乃至5何れか記載の走査電子顕微鏡。
- 第1のコンデンサレンズによるレンズ場は、電子線に対して実像結像となるように作用するとともに、第2のコンデンサレンズによるレンズ場は、電子線に対して虚像結像となるように作用することを特徴とする請求項1乃至5何れか記載の走査電子顕微鏡。
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