JPH06325719A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置Info
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- JPH06325719A JPH06325719A JP5112884A JP11288493A JPH06325719A JP H06325719 A JPH06325719 A JP H06325719A JP 5112884 A JP5112884 A JP 5112884A JP 11288493 A JP11288493 A JP 11288493A JP H06325719 A JPH06325719 A JP H06325719A
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- Japan
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- lens
- electrode
- sample
- secondary electrons
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 効率良く２次電子を検出する事のできる荷電
粒子線装置を得る。 【構成】 上極（２ｂ）の内径より下極（２ａ）の内径
を大きくすると共に、上極（２ｂ）と下極（２ａ）との
間のギャップが下方を向いている電磁レンズ（対物レン
ズ）２の上方に二次電子検出用の電極（５）を設けて、
試料（３）から得られた二次電子を電磁レンズ（２）の
開口を通して検出すると共に、収束型の静電レンズ（７
…７Ａ、７Ｂ、７Ｃ）を、電極（５）より下方でかつそ
の少くとも一部が下極（２ａ）より上方にあるように、
上極（２ｂ）の付近に設けた走査型の荷電粒子線装置で
ある。
粒子線装置を得る。 【構成】 上極（２ｂ）の内径より下極（２ａ）の内径
を大きくすると共に、上極（２ｂ）と下極（２ａ）との
間のギャップが下方を向いている電磁レンズ（対物レン
ズ）２の上方に二次電子検出用の電極（５）を設けて、
試料（３）から得られた二次電子を電磁レンズ（２）の
開口を通して検出すると共に、収束型の静電レンズ（７
…７Ａ、７Ｂ、７Ｃ）を、電極（５）より下方でかつそ
の少くとも一部が下極（２ａ）より上方にあるように、
上極（２ｂ）の付近に設けた走査型の荷電粒子線装置で
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、荷電粒子線装置に関す
るものである。
るものである。
【０００２】
【従来の技術】荷電粒子線装置としての走査型電子顕微
鏡を例にして、以下説明する。従来のこの種の装置の対
物レンズの付近は、図７の様な構造であった。図７に於
て、１は電子線、２は電磁レンズ、３は試料、４は２次
電子の軌跡、５は２次電子検出器、６はコンタクトホー
ル等から電子を引き出す２次電子引き上げ電極である。
鏡を例にして、以下説明する。従来のこの種の装置の対
物レンズの付近は、図７の様な構造であった。図７に於
て、１は電子線、２は電磁レンズ、３は試料、４は２次
電子の軌跡、５は２次電子検出器、６はコンタクトホー
ル等から電子を引き出す２次電子引き上げ電極である。
【０００３】電子線１は図示されていない電子銃から放
出され、これも図示されていない照射レンズにより一旦
収束された後、対物レンズとしての電磁レンズ２により
試料３上に収束される。この間、電子線１は照射レンズ
通過後、これも図示されていない偏向器により試料３上
を２次元的に走査される。
出され、これも図示されていない照射レンズにより一旦
収束された後、対物レンズとしての電磁レンズ２により
試料３上に収束される。この間、電子線１は照射レンズ
通過後、これも図示されていない偏向器により試料３上
を２次元的に走査される。
【０００４】試料３に入射した電子線１は、試料３と相
互作用して、その一部が反射電子となり、また、試料３
から２次電子等を放出させる。走査型電子顕微鏡の場合
には、試料３の表面の情報を観察したい場合が多いた
め、表面近くから放出される２次電子４を信号として検
出することが多い。２次電子４は検出器５によって検出
され、画像信号として表示される。
互作用して、その一部が反射電子となり、また、試料３
から２次電子等を放出させる。走査型電子顕微鏡の場合
には、試料３の表面の情報を観察したい場合が多いた
め、表面近くから放出される２次電子４を信号として検
出することが多い。２次電子４は検出器５によって検出
され、画像信号として表示される。
【０００５】さて、半導体装置製造に於て露光又はエッ
チングされたパターンの線幅を測定する場合、非破壊検
査の為、観察される試料３は金属を蒸着していないもの
になる。この為、電子ビームの加速電圧は１ｋＶ以下の
低加速電圧でないと、試料３に入射する電子ビームによ
る電流と、試料３から流出する、反射電子、２次電子、
アースに流れる電流等による電流との平衡が崩れ、帯電
現象が発生し、画像の観察がしにくくなる。
チングされたパターンの線幅を測定する場合、非破壊検
査の為、観察される試料３は金属を蒸着していないもの
になる。この為、電子ビームの加速電圧は１ｋＶ以下の
低加速電圧でないと、試料３に入射する電子ビームによ
る電流と、試料３から流出する、反射電子、２次電子、
アースに流れる電流等による電流との平衡が崩れ、帯電
現象が発生し、画像の観察がしにくくなる。
【０００６】一方、走査型電子顕微鏡で、分解能に影響
するのは、主に回折収差、球面収差、色収差であり、加
速電圧が低い場合は、色収差が最も影響してくる。色収
差係数は、ほぼ対物レンズ２の主面から試料までの距離
に一致しているので、色収差を小さくするためには、試
料３を対物レンズ２に出来るだけ近づける必要があっ
た。
するのは、主に回折収差、球面収差、色収差であり、加
速電圧が低い場合は、色収差が最も影響してくる。色収
差係数は、ほぼ対物レンズ２の主面から試料までの距離
に一致しているので、色収差を小さくするためには、試
料３を対物レンズ２に出来るだけ近づける必要があっ
た。
【０００７】すると、対物レンズ２と試料３との間には
２次電子検出器５をおけなくなり、対物レンズ２の上側
から２次電子を検出する事になる。この方式は、２次電
子４が対物レンズ２を通過する事から、スルー・ザ・レ
ンズ（ＴＴＬ）方式と呼ばれている。ＴＴＬ方式では、
検出器５の方向による非対称性が対物レンズ２を通過す
る時に緩和され、対称性の良い信号が得られる。
２次電子検出器５をおけなくなり、対物レンズ２の上側
から２次電子を検出する事になる。この方式は、２次電
子４が対物レンズ２を通過する事から、スルー・ザ・レ
ンズ（ＴＴＬ）方式と呼ばれている。ＴＴＬ方式では、
検出器５の方向による非対称性が対物レンズ２を通過す
る時に緩和され、対称性の良い信号が得られる。
【０００８】さらに、分解能を上げるために、対物レン
ズ２の主面を試料３に近づけるようになってきている。
この為には、対物レンズ２の磁極の間に試料を入れる形
（インレンズ型）や、図７のように下極の内径を広げる
方法が取られるようになった。図７の場合、対物レンズ
２を通過する２次電子の量が少なくなるため、２次電子
が対物レンズ２を通過しやすくするように、２次電子引
き上げ用の電極６を取付け、正の電位を与えている。
ズ２の主面を試料３に近づけるようになってきている。
この為には、対物レンズ２の磁極の間に試料を入れる形
（インレンズ型）や、図７のように下極の内径を広げる
方法が取られるようになった。図７の場合、対物レンズ
２を通過する２次電子の量が少なくなるため、２次電子
が対物レンズ２を通過しやすくするように、２次電子引
き上げ用の電極６を取付け、正の電位を与えている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記の様な従来の技術
においては以下の様な問題点があった。インレンズ型や
下極の内径を大きくすると、磁力線が図８の破線の様に
なる。低倍率で観察する時は、高倍率の場合に比して走
査領域が広くなるので、１次電子ビームの走査位置が走
査領域の周辺部で電子光学系の軸から離れてくるから、
その場合には、２次電子も電子光学系の軸を外れた位置
から放出される。
においては以下の様な問題点があった。インレンズ型や
下極の内径を大きくすると、磁力線が図８の破線の様に
なる。低倍率で観察する時は、高倍率の場合に比して走
査領域が広くなるので、１次電子ビームの走査位置が走
査領域の周辺部で電子光学系の軸から離れてくるから、
その場合には、２次電子も電子光学系の軸を外れた位置
から放出される。
【００１０】２次電子の様なエネルギーの小さい電子
は、磁力線に絡まるように動くので、電子光学系の軸か
ら外れた位置から放出された２次電子は、図８の様に、
磁力線に沿って移動し、対物レンズ２の磁極に当たって
しまう場合がある。この効果は強く、１次電子ビームが
大きく偏向した時は、試料からの２次電子は対物レンズ
２の磁極間を全く通過できない。
は、磁力線に絡まるように動くので、電子光学系の軸か
ら外れた位置から放出された２次電子は、図８の様に、
磁力線に沿って移動し、対物レンズ２の磁極に当たって
しまう場合がある。この効果は強く、１次電子ビームが
大きく偏向した時は、試料からの２次電子は対物レンズ
２の磁極間を全く通過できない。
【００１１】２次電子を引き出すためだけの電極６で
は、等電位面が図８の実線の様になってしまい、試料か
らの電子は発散され、更に磁極に当たり易くなってしま
う。本発明は、この様な従来技術の問題点に鑑みて為さ
れたもので効率良く２次電子を検出する事を目的とす
る。
は、等電位面が図８の実線の様になってしまい、試料か
らの電子は発散され、更に磁極に当たり易くなってしま
う。本発明は、この様な従来技術の問題点に鑑みて為さ
れたもので効率良く２次電子を検出する事を目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決する為の手段】上記の問題点の解決のため
に本発明では、上極の内径より下極の内径を大きくする
と共に、上極と下極との間のギャップが下方を向いてい
る電磁レンズから構成された対物レンズ又は、上極と下
極との間に試料を設置できる電磁レンズから構成された
インレンズ型対物レンズを有し、前記電磁レンズの上方
に二次電子検出用の電極を設けて、試料から得られた二
次電子を前記電磁レンズの開口を通して検出する走査型
の荷電粒子線装置において、収束型の静電レンズを、前
記電極より下方でかつその少なくとも一部が前記下極よ
り上方にあるように、前記上極の付近に設けた。
に本発明では、上極の内径より下極の内径を大きくする
と共に、上極と下極との間のギャップが下方を向いてい
る電磁レンズから構成された対物レンズ又は、上極と下
極との間に試料を設置できる電磁レンズから構成された
インレンズ型対物レンズを有し、前記電磁レンズの上方
に二次電子検出用の電極を設けて、試料から得られた二
次電子を前記電磁レンズの開口を通して検出する走査型
の荷電粒子線装置において、収束型の静電レンズを、前
記電極より下方でかつその少なくとも一部が前記下極よ
り上方にあるように、前記上極の付近に設けた。
【００１３】この静電レンズは多段に構成したり、一部
を電磁レンズの磁極の兼用により構成することができ
る。
を電磁レンズの磁極の兼用により構成することができ
る。
【００１４】
【作用】本発明では、静電レンズの収束作用により電子
光学系の軸対象に収束電界ができるので、２次電子が磁
力線に絡まるように移動しても、静電レンズの収束電界
によって２次電子を磁力線の作用から解き放ち、対物レ
ンズの磁極に２次電子があたるのを防ぎ、効果的に２次
電子を検出用電極に導くことが出来る。
光学系の軸対象に収束電界ができるので、２次電子が磁
力線に絡まるように移動しても、静電レンズの収束電界
によって２次電子を磁力線の作用から解き放ち、対物レ
ンズの磁極に２次電子があたるのを防ぎ、効果的に２次
電子を検出用電極に導くことが出来る。
【００１５】また、静電レンズを多段に構成することに
よって、上述の如き収束作用により磁極に２次電子があ
たるのを防ぎ、効果的に２次電子を収束させる事が出来
るばかりでなく、１個の静電レンズに与える電圧は低く
出来るため、色収差に影響する静電レンズの安定度を低
く出来る。さらに、磁極を静電レンズの一部とすること
によって、対物レンズを構成する電磁レンズの内径を変
える必要がなくなり、収差を低く保てる。
よって、上述の如き収束作用により磁極に２次電子があ
たるのを防ぎ、効果的に２次電子を収束させる事が出来
るばかりでなく、１個の静電レンズに与える電圧は低く
出来るため、色収差に影響する静電レンズの安定度を低
く出来る。さらに、磁極を静電レンズの一部とすること
によって、対物レンズを構成する電磁レンズの内径を変
える必要がなくなり、収差を低く保てる。
【００１６】なお、本発明によれば、電極や磁極にあた
る２次電子の量を少なく出来るため、炭化物等による汚
染も軽減できる。
る２次電子の量を少なく出来るため、炭化物等による汚
染も軽減できる。
【００１７】
【実施例】図１は、本発明の第１実施例で、走査型電子
顕微鏡の対物レンズの付近の情報を示したものであり、
その他の構成は従来と同じであるため図には示していな
い。図１において、１は１次電子線の軌跡、２は対物レ
ンズとしての電磁レンズ、３は試料、４は２次電子線の
軌跡、５は２次電子検出器、７は収束型静電レンズであ
る。収束型静電レンズ７は円筒状の電極７Ａ、７Ｂ、７
Ｃからなり、電極７Ａ、７Ｃはアース、７Ｂには正の電
位を与え、２次電子検出器５の下方でかつアース電極７
Ｃと正電極７Ｂとが電磁レンズ２の下極２ａより上方に
あるように、電磁レンズ２の上極２ｂ付近に設置され
る。
顕微鏡の対物レンズの付近の情報を示したものであり、
その他の構成は従来と同じであるため図には示していな
い。図１において、１は１次電子線の軌跡、２は対物レ
ンズとしての電磁レンズ、３は試料、４は２次電子線の
軌跡、５は２次電子検出器、７は収束型静電レンズであ
る。収束型静電レンズ７は円筒状の電極７Ａ、７Ｂ、７
Ｃからなり、電極７Ａ、７Ｃはアース、７Ｂには正の電
位を与え、２次電子検出器５の下方でかつアース電極７
Ｃと正電極７Ｂとが電磁レンズ２の下極２ａより上方に
あるように、電磁レンズ２の上極２ｂ付近に設置され
る。
【００１８】次に、図２を用いて第１実施例の動作を説
明する図２の実線は図１の静電レンズによる電位分布を
示すもので、破線は電磁レンズ２による磁力線を示すも
のである。光軸Ｏから離れた試料３上の位置から放出さ
れた２次電子は、磁力線の影響で電磁レンズ２の磁極の
方向に移動してゆくが、収束型静電レンズの７Ａ、７
Ｂ、７Ｃの電場によって、光軸Ｏ方向に力を受けて方向
を変え、磁場の影響がほとんど無い場所まで移動し、２
次電子検出器５に入射して検出される。
明する図２の実線は図１の静電レンズによる電位分布を
示すもので、破線は電磁レンズ２による磁力線を示すも
のである。光軸Ｏから離れた試料３上の位置から放出さ
れた２次電子は、磁力線の影響で電磁レンズ２の磁極の
方向に移動してゆくが、収束型静電レンズの７Ａ、７
Ｂ、７Ｃの電場によって、光軸Ｏ方向に力を受けて方向
を変え、磁場の影響がほとんど無い場所まで移動し、２
次電子検出器５に入射して検出される。
【００１９】図３は本発明の第２実施例で、１は１次電
子線の軌跡、２は対物レンズとしての電磁レンズ、３は
試料、４は２次電子線の軌跡、５は２次電子検出器、８
Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８Ｄ、８Ｅは多段静電レンズを構成す
る円筒状電極である。多段静電レンズを構成する円筒状
電極のうち、電極８Ａ、８Ｃ、８Ｅはアース、電極８
Ｂ、８Ｄは正の電位を与え、２次電子検出器５の下方で
かつ正電極８Ｂ、８Ｄ、アース電極８Ｃ、８Ｅは電磁レ
ンズ２の下極２ａより上方にあるように電磁レンズ２の
上極２ｂ付近に設置される。
子線の軌跡、２は対物レンズとしての電磁レンズ、３は
試料、４は２次電子線の軌跡、５は２次電子検出器、８
Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８Ｄ、８Ｅは多段静電レンズを構成す
る円筒状電極である。多段静電レンズを構成する円筒状
電極のうち、電極８Ａ、８Ｃ、８Ｅはアース、電極８
Ｂ、８Ｄは正の電位を与え、２次電子検出器５の下方で
かつ正電極８Ｂ、８Ｄ、アース電極８Ｃ、８Ｅは電磁レ
ンズ２の下極２ａより上方にあるように電磁レンズ２の
上極２ｂ付近に設置される。
【００２０】次に、図４を用いて第２実施例の動作を説
明する。図４の実線は図３の多段静電レンズによる電位
分布で、破線は電磁レンズ２による磁力線である。光軸
Ｏから離れた試料３上の位置から放出された２次電子は
磁力線の影響で電磁レンズ２の磁極の方向に移動してゆ
くが、収束型静電レンズ（電極７Ａ、７Ｂ、７Ｃ）の電
場によって、光軸Ｏ方向に力を受け方向を変えるが、、
まだ電磁レンズ１２の磁極と衝突する角度の為、もう一
度静電レンズ（電極７Ｃ、７Ｄ、７Ｅ）の電場によっ
て、光軸Ｏ方向に力を受け方向を変え、磁場の影響がほ
とんど無い場所まで移動し、２次電子検出器５に入射し
て検出される。図５は本発明の第３実施例で、１は１次
電子線の軌跡、２は電磁レンズ、３は試料、４は２次電
子線の軌跡、５は２次電子検出器、７Ａ、７Ｂ、７Ｃは
収束型静電レンズを構成する電極である。アース電極７
Ａは電磁レンズ２の上極２ｂの一部を兼用しており、電
極７Ｃはアース、電極７Ｂには正の電位を与え、２次電
子検出器５の下方でかつアース電極７Ｃと正電極７Ｂと
が電磁レンズ２の下極２ａより上方にあるように電磁レ
ンズ２の上極２ｂ付近に設置される。
明する。図４の実線は図３の多段静電レンズによる電位
分布で、破線は電磁レンズ２による磁力線である。光軸
Ｏから離れた試料３上の位置から放出された２次電子は
磁力線の影響で電磁レンズ２の磁極の方向に移動してゆ
くが、収束型静電レンズ（電極７Ａ、７Ｂ、７Ｃ）の電
場によって、光軸Ｏ方向に力を受け方向を変えるが、、
まだ電磁レンズ１２の磁極と衝突する角度の為、もう一
度静電レンズ（電極７Ｃ、７Ｄ、７Ｅ）の電場によっ
て、光軸Ｏ方向に力を受け方向を変え、磁場の影響がほ
とんど無い場所まで移動し、２次電子検出器５に入射し
て検出される。図５は本発明の第３実施例で、１は１次
電子線の軌跡、２は電磁レンズ、３は試料、４は２次電
子線の軌跡、５は２次電子検出器、７Ａ、７Ｂ、７Ｃは
収束型静電レンズを構成する電極である。アース電極７
Ａは電磁レンズ２の上極２ｂの一部を兼用しており、電
極７Ｃはアース、電極７Ｂには正の電位を与え、２次電
子検出器５の下方でかつアース電極７Ｃと正電極７Ｂと
が電磁レンズ２の下極２ａより上方にあるように電磁レ
ンズ２の上極２ｂ付近に設置される。
【００２１】次に、図６を用いて第３実施例の動作を説
明する。図６の実線は図５の静電レンズ（電極７Ａ、７
Ｂ、７Ｃ）による電位分布で、破線は電磁レンズ２によ
る磁力線である。光軸Ｏから離れた試料３上の位置から
放出された２次電子は、磁力線の影響で電磁レンズ２の
磁極の方向に移動してゆくが、収束型静電レンズ７Ａ、
７Ｂ、７Ｃの電場によって、光軸Ｏ方向に力を受けて方
向を変え、磁場の影響がほとんど無い場所まで移動し、
２次電子検出器５に入射して検出される。
明する。図６の実線は図５の静電レンズ（電極７Ａ、７
Ｂ、７Ｃ）による電位分布で、破線は電磁レンズ２によ
る磁力線である。光軸Ｏから離れた試料３上の位置から
放出された２次電子は、磁力線の影響で電磁レンズ２の
磁極の方向に移動してゆくが、収束型静電レンズ７Ａ、
７Ｂ、７Ｃの電場によって、光軸Ｏ方向に力を受けて方
向を変え、磁場の影響がほとんど無い場所まで移動し、
２次電子検出器５に入射して検出される。
【００２２】以上のように、いずれの実施例でも、磁力
線に束縛されそうな２次電子を収束型静電レンズの電界
により光軸Ｏに沿うように移動させることができるの
で、２次電子検出器５で確実に補促することができる。
なお、以上の実施例では多段静電レンズは正の電位とア
ース電位の電極により構成されていたが、その他の構成
でも収束型の静電レンズになればよい。具体的には、例
えばアース電極であったものに２次電子引出作用を持た
せるために弱い正電圧を印加したり、例えばアース電極
であったものに２次電子収束作用を強めるために弱い負
電圧を印加したり、例えばアース電極であったものを分
割して、それぞれに電圧を印加出来るようにして、アラ
イナー、スティグメータとして使用したりしてもよい。
線に束縛されそうな２次電子を収束型静電レンズの電界
により光軸Ｏに沿うように移動させることができるの
で、２次電子検出器５で確実に補促することができる。
なお、以上の実施例では多段静電レンズは正の電位とア
ース電位の電極により構成されていたが、その他の構成
でも収束型の静電レンズになればよい。具体的には、例
えばアース電極であったものに２次電子引出作用を持た
せるために弱い正電圧を印加したり、例えばアース電極
であったものに２次電子収束作用を強めるために弱い負
電圧を印加したり、例えばアース電極であったものを分
割して、それぞれに電圧を印加出来るようにして、アラ
イナー、スティグメータとして使用したりしてもよい。
【００２３】また、本発明は、上極の内径より下極の内
径を大きくすると共に、上極と下極との間のギャップが
下方に向いている電磁レンズから構成された対物レンズ
の他に、上極と下極との間に試料を設置できる電磁レン
ズから構成されたレンズ型対物レンズを用いた場合にも
同様に適用できることは当然である。さらに、以上の実
施例は走査型電子顕微鏡を例にして説明したが、イオン
ビーム等他の荷電粒子を用いた装置でも二次電子を検出
できるものであるならば、同様に適用できる。
径を大きくすると共に、上極と下極との間のギャップが
下方に向いている電磁レンズから構成された対物レンズ
の他に、上極と下極との間に試料を設置できる電磁レン
ズから構成されたレンズ型対物レンズを用いた場合にも
同様に適用できることは当然である。さらに、以上の実
施例は走査型電子顕微鏡を例にして説明したが、イオン
ビーム等他の荷電粒子を用いた装置でも二次電子を検出
できるものであるならば、同様に適用できる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、低倍率
での観察でも、２次電子信号を充分検出出来る為、観察
位置の決定が容易になり、操作性が向上する。また、鏡
筒内の汚染も軽減される。
での観察でも、２次電子信号を充分検出出来る為、観察
位置の決定が容易になり、操作性が向上する。また、鏡
筒内の汚染も軽減される。
【図１】本発明の第１実施例の主要部を示す図である。
【図２】第１実施例の電位分布と磁力線と２次電子軌道
とを表す図である。
とを表す図である。
【図３】本発明の第２実施例の主要部を示す図である。
【図４】第２実施例の電位分布と磁力線と２次電子軌道
とを表す図である。
とを表す図である。
【図５】本発明の第３実施例の主要部を示す図である。
【図６】第３実施例の電位分布と磁力線と２次電子軌道
とを表す図である。
とを表す図である。
【図７】従来技術の主要部を示す図である。
【図８】従来技術による電位分布と磁力線と２次電子軌
道とを表す図である。
道とを表す図である。
１ １次電子線の軌道 ２ 電磁レンズ ３ 試料 ４ ２次電子線の軌道 ５ ２次電子検出器 ７ 収束型静電レンズ ７Ａ、７Ｂ、７Ｃ 電極 ８Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８Ｄ、８Ｅ 電極
Claims (3)
- 【請求項１】 上極の内径より下極の内径を大きくする
と共に、上極と下極との間のギャップが下方を向いてい
る電磁レンズから構成された対物レンズ又は、上極と下
極との間に試料を設置できる電磁レンズから構成された
インレンズ型対物レンズを有し、前記電磁レンズの上方
に二次電子検出用の電極を設けて、試料から得られた二
次電子を前記電磁レンズの開口を通して検出する走査型
の荷電粒子線装置において、 収束型の静電レンズを、前記電極より下方でかつその少
なくとも一部が前記下極より上方にあるように、前記上
極の付近に設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 【請求項２】 前記静電レンズを多段に構成したことを
特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線装置。 - 【請求項３】 前記静電レンズの一部に、前記電磁レン
ズの磁極の一部を兼用したことを特徴とする請求項１も
しくは請求項２記載の荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5112884A JPH06325719A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5112884A JPH06325719A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 荷電粒子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06325719A true JPH06325719A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=14597938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5112884A Pending JPH06325719A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06325719A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002097851A1 (en) * | 2001-05-31 | 2002-12-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray generator |
| KR100406895B1 (ko) * | 1995-06-26 | 2004-04-13 | 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 | 주사형전자현미경 |
| WO2007012817A1 (en) * | 2005-07-28 | 2007-02-01 | Dage Precision Industries Ltd. | Improvements in x-ray tubes |
| JP2007534124A (ja) * | 2004-04-23 | 2007-11-22 | ヴィステック エレクトロン ビーム ゲーエムべーハー | 粒子光学照的射系用の照射コンデンサー |
| JP2014063640A (ja) * | 2012-09-21 | 2014-04-10 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
| KR20200005443A (ko) * | 2018-07-05 | 2020-01-15 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 멀티 전자 빔 조사 장치, 멀티 전자 빔 조사 방법, 및 멀티 전자 빔 검사 장치 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP5112884A patent/JPH06325719A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100406895B1 (ko) * | 1995-06-26 | 2004-04-13 | 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 | 주사형전자현미경 |
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| US7046767B2 (en) | 2001-05-31 | 2006-05-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray generator |
| CN100405525C (zh) * | 2001-05-31 | 2008-07-23 | 浜松光子学株式会社 | X射线发生器件 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |