JP5553489B2 - 走査形電子顕微鏡、および走査形電子顕微鏡を用いた撮像方法 - Google Patents
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- 電子源から放出された電子線を集束するための第1の集束レンズと、
前記第1の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第1の電極と、
前記電子線源から放出され前記第1の集束レンズを通過した電子線を集束するための第2の集束レンズと、
前記第2の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第2の電極と、
前記第1の集束レンズと前記第2の集束レンズとの間の光軸を含む領域に配置された絞り板と、
前記集束された電子線を試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、
前記電子線を前記試料上で走査する走査コイルと、
前記電子線の照射によって前記試料から発生した試料信号を検出する検出器と、
前記対物レンズに設けられ、前記電子源から到達した一次電子線を加速させるための加速電極とを備え、
前記第1の集束レンズ内の電極に所定の電圧を印加することにより、前記絞り板を通過する前記一次電子線の電子線量を制御し、
前記第1の電極および前記第2の電極に対する印加電圧の変化量に基づいて求められた電圧分前記加速電極の電圧を変化させることにより、前記対物レンズのフォーカスを変更することなく、前記第2の集束レンズと前記対物レンズとの間にある前記第2の集束レンズの結像位置を変化させることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 電子源から放出された電子線を集束するための第1の集束レンズと、
前記第1の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第1の電極と、
前記電子源から放出され前記第1の集束レンズを通過した電子線を集束するための第2の集束レンズと、
前記第2の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第2の電極と、
前記第1の集束レンズと前記第2の集束レンズとの間の光軸を含む領域に配置された絞り板と、
前記集束された電子線を前記試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、
前記電子線を試料上で走査する走査コイルと、
前記電子線の照射によって前記試料から発生した試料信号を検出する検出器と、
前記試料または該試料を保持する試料保持部に、前記一次電子線を減速させるための負電圧を印加する手段とを備え、
前記第1の集束レンズ内の電極に所定の電圧を印加することにより、前記絞り板を通過する前記一次電子線の電子線量を制御し、
前記第1の電極および前記第2の電極に対する印加電圧の変化量に基づいて求められた電圧分前記試料または前記試料保持部へ印加される負電圧を変化させることにより、前記対物レンズのフォーカスを変更することなく、前記第2の集束レンズと前記対物レンズとの間にある前記第2の集束レンズの結像位置を変化させることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項1または2において、
前記検出器により検出された前記試料信号を画像として表示する表示部とを備えることを特徴とする走査形電子顕微鏡。
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