JP2010015921A - マルチプレクサスイッチの試験方法とその装置および多点測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数のスイッチで構成され、複数の入力の１つを選択して出力するマルチプレクサスイッチの試験では、スイッチがオフしているかどうかを確実に試験することができない。確実にオフを試験するためには、１つのスイッチをオンにし、他のスイッチをオン、オフする動作を繰り返さなければならず、時間がかかってしまうという課題を解決する。
【解決手段】 全入力端子にテスト電圧を印加し、マルチプレクサスイッチ内の全スイッチをオフにしてその出力電圧が規定値でないことを確認した後、個々のスイッチを順番にオンにして出力電圧が規定値内であることをチェックする。全てのスイッチをオフにしたときにオフになっていないスイッチがあると、このスイッチを経由してテスト電圧が出力されるので、出力電圧が規定値内にないことで全スイッチのオフを確認できる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、マルチプレクサスイッチの試験を行う方法および装置に関し、特にレコーダ、データロガーなどの多点測定に用いて好適なマルチプレクサスイッチの試験方法とその装置、およびこのマルチプレクサスイッチを用いた多点測定装置に関するものである。

複数の測定部を用いて低速で多チャンネルの測定を行う装置では、測定部毎にアンプやＡＤコンバータ、電源などを用いると装置の構成が複雑になり、コストアップの要因になる。そのため、マルチプレクサスイッチを用いて複数の測定部を順次スキャンし、測定部のデータを時分割でＡＤコンバータに入力してデジタル値に変換する構成を用いることが多い。スキャンする測定部の数は、製品によって数点から数十点になることがある。

このような構成にすることにより、チャンネル当たりの測定周期は長くなるが、ＡＤコンバータ等を共用することができるので、低コストで多チャンネルの測定を行うことができる。

図３に、このような多点測定装置の構成を示す。図３において、１０ａ、１０ｂ〜１０ｎは測定部であり、温度、電流などの物理量を電圧信号に変換し、内部に取り込んでいる様子を概念的に表している。２０はマルチプレクサスイッチであり、スイッチ２１ａ１、２１ａ２、２１ｂ１、２１ｂ２〜２１ｎ１、２１ｎ２で構成される。スイッチ２１ａｘ（ｘ＝１、２）の一端は測定部１０ａの出力端子に接続される。同様にして、スイッチ２１ｂｘ〜２１ｎｘの一端はそれぞれ測定部１０ｂ〜１０ｎの出力端子に接続される。スイッチ２１ａ１〜２１ｎ１の他端、スイッチ２１ａ２〜２１ｎ２の他端はそれぞれ共通接続される。

マルチプレクサスイッチ２０は、複数の入力端子と１つの出力端子を有し、内部のスイッチを操作して、入力端子に印加されている信号の１つを選択して出力端子に出力する機能を備えている。図３では、入力端子はスイッチ２１ａ１〜２１ｎ１、２１ａ２〜２１ｎ２の一端であり、測定部１０ａ〜１０ｎが接続されている。出力端子はスイッチ２１ａ１〜２１ｎ１の共通接続点と２１ａ２〜２１ｎ２の共通接続点であり、後述する分圧器が接続されている。

３０は分圧器であり、スイッチ３１〜３４、および抵抗３５、３６で構成される。スイッチ３１と３２の一端はスイッチ２１ａ１〜２１ｎ１の共通接続点に接続され、スイッチ３１の他端はスイッチ３３の一端に接続される。

抵抗３５と３６は直列接続され、この直列回路の一端はスイッチ３２の他端に、他端はスイッチ２１ａ２〜２１ｎ２の共通接続点に接続される。スイッチ３４の一端は抵抗３５と３６の接続点に接続される。また、スイッチ３３、３４の他端は共通接続される。

４０はＡＤコンバータであり、その入力端子はスイッチ３３と３４の共通接続点、およびスイッチ２１ａ２〜２１ｎ２の共通接続点に接続される。ＡＤコンバータ４０は入力された電圧信号をデジタル値に変換し、データ処理部４１に出力する。データ処理部４１は入力されたデータを処理し、また表示、記録する。

なお、マルチプレクサスイッチ２０を構成するスイッチとしては電磁リレーや半導体スイッチを用いることができるが、寿命や信頼性の観点から、最近では半導体スイッチが多く用いられる。

このような構成において、マルチプレクサスイッチ２０を操作することにより、測定部１０ａ〜１０ｎの出力信号を選択することができる。例えば、スイッチ２１ａ１、２１ａ２をオンにし、他のスイッチをオフにすることにより、測定部１０ａの出力信号を選択することができる。

分圧器３０は、マルチプレクサスイッチ２０が選択した電圧信号を適正なレベルに分圧してＡＤコンバータ４０に出力する。例えば、スイッチ３１、３３をオン、スイッチ３２、３４をオフにするとマルチプレクサスイッチ２０で選択された電圧信号がそのままＡＤコンバータ４０に入力され、スイッチ３１、３３をオフ、スイッチ３２、３４をオンにすると、抵抗３５、３６で分圧された電圧信号がＡＤコンバータに入力される。分圧器３０を用いることにより、ＡＤコンバータ４０の入力レンジより高い電圧を測定することができる。また、ＡＤコンバータ４０の前にアンプを挿入して増幅することにより、低電圧を高感度で測定することができる。

このようにマルチプレクサスイッチ２０を用いて測定部１０ａ〜１０ｎをスキャンすることにより、分圧器３０、ＡＤコンバータ４０、データ処理部４１を測定部１０ａ〜１０ｎで共用することができるので、コストを削減することができる。

なお、図３では分圧器３０は２つの分圧比を選択できるようになっているが、３つ以上の分圧比を選択するようにすることもできる。また、ＡＤコンバータ４０の前に利得を設定できるプログラマブルゲインアンプを用いることにより、測定レンジを更に増やすこともできる。

図４に、マルチプレクサスイッチ２０の試験方法を示す。なお、図３と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。この試験は、マルチプレクサスイッチを使用したスキャナタイプのデータロガーやレコーダの出荷検査、受け入れ検査、あるいはユーザが現場で行う検査で実施される。特に、半導体スイッチはオフ時の抵抗が数十ＭΩになるという中途半端な故障が発生する場合があるので、正確な試験は必須である。

図４において、５０は信号源であり、所定の電圧信号を出力する。この信号源５０の出力は、測定部１０ａ〜１０ｎの代わりに、マルチプレクサスイッチ２０に入力される。測定部１０ａ〜１０ｎ毎に異なった信号源を用いるとコストがかかるので、全てのチャンネルで信号源を共用する。また、各チャンネルの測定毎に信号源をつなぎ替えると手間がかかるので、信号源を全チャンネル並列に接続する。

試験を行うときは、分圧器３０内のスイッチ３１、３３をオンにし、スイッチ３２、３４をオフにする。すなわち、信号源５０の出力信号がそのままＡＤコンバータ４０に入力されるようにする。そして、マルチプレクサスイッチ２０内のスイッチを順番にオンにする。図４では、スイッチ２１ｂ１と２１ｂ２がオンになっている状態を示している。

そして、そのときのＡＤコンバータ４０の出力をチェックする。スイッチが正しくオンになっていると、ＡＤコンバータ４０の出力は信号源５０の出力電圧に対応した値になり、スイッチが正常にオンになっていないと、ＡＤコンバータ４０の出力値がふらつくか、誤差が大きくなる。このようにすることにより、１つの信号源でマルチプレクサスイッチ２０内の全てのスイッチを短時間でチェックすることができる。
特開平１１−８８１７６

しかしながら、図４の測定方法ではマルチプレクサスイッチ２０内のスイッチのうち、１つが正常にオフにならないと、正確な試験を行うことができないという課題があった。図４で、スイッチ２１ａ１が正常にオフにならないとする。図ではこのことを表すために、スイッチ２１ａ１に並列に抵抗５１が接続されているように記載している。

スイッチ２１ａ１、２１ａ２の試験を行うときは、これらのスイッチをオンに、マルチプレクサスイッチ２０内の他の全てのスイッチをオフにする。ＡＤコンバータ４０には信号源５０の出力電圧が入力されるので、スイッチ２１ａ１、２１ａ２は正常にオンになっていることが確認できる。

次に、スイッチ２１ｂ１、２１ｂ２の試験を行うために、これらのスイッチをオン、他のスイッチをオフにする。しかし、スイッチ２１ａ１は正常にオフせず、抵抗５１が接続された状態になっているので、たとえスイッチ２１ｂ１がオンにならなくても、信号源５０の出力信号が抵抗５１を経由してＡＤコンバータ４０に入力されるので、スイッチ２１ｂ１、２１ｂ２が正常であると判定してしまう。同様にして、他のスイッチについても同じように誤判定してしまう。

図４のようにマルチプレクサスイッチ２０の入力側に１つの信号源５０から並列に信号を入力しないで、各チャンネル毎に個別に信号源５０の出力を接続して試験するようにすると、スイッチのオン状態を試験することはできるが、オフ状態を試験することができない。

スイッチ２１ａ１、２１ａ２のみに信号源５０の出力信号を入力してこれらのスイッチをオンにすると、ＡＤコンバータ４０には信号源５０の出力信号が入力されるので、これらのスイッチのオンを確認できる。

次に、スイッチ２１ｂ１、２１ｂ２に信号源５０の出力信号を入力してこれらのスイッチをオン、スイッチ２１ａ１、２１ａ２をオフにする。信号源５０の出力信号はスイッチ２１ｂ１、２１ｂ２を経由してＡＤコンバータ４０に入力されるので、これらのスイッチのオンを確認できる。このとき、スイッチ２１ａ１が正常にオフになっていなくても、このスイッチには信号が入力されていないのでスイッチ２１ｂ１、２１ｂ２の測定には影響を与えない。従って、スイッチ２１ａ１の異状を検出することができない。

全てのスイッチのオン、オフを試験するためには、図４の接続状態にして試験するスイッチをオンにし、その状態で他のスイッチをオン、オフしてＡＤコンバータ４０の出力値をチェックし、さらに試験するスイッチをオンにし、その状態で他のスイッチをオン、オフしてＡＤコンバータ４０の出力値をチェックしなければならない。すなわち全てのスイッチのオン/オフの組み合わせで試験をする必要があるため、スイッチの数（チャネル数）が多いほど試験に長い時間を必要とする、という課題もあった。

従って本発明の目的は、マルチプレクサスイッチのオン、オフ状態を短時間で試験することができる、マルチプレクサスイッチの試験方法とその装置、およびこのマルチプレクサスイッチを用いた多点測定装置を提供することにある。

このような課題を解決するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
スイッチを内蔵し、少なくとも２つの入力端子と１つの出力端子を具備して、前記入力端子に印可された信号の１つを選択して前記出力端子に出力するマルチプレクサスイッチを試験する試験方法であって、
信号源から前記マルチプレクサスイッチの全ての入力端子に電圧信号を与える工程と、
前記マルチプレクサスイッチ内のスイッチを全てオフにして、このマルチプレクサスイッチの出力電圧が第１の規定値内に入っていないことをチェックする工程と、
前記マルチプレクサスイッチを操作して前記入力端子を順番に選択し、このマルチプレクサスイッチの出力信号が第２の規定値内に入っていることをチェックする工程と、
を具備したものである。短時間でマルチプレクサスイッチ内のスイッチが正常にオン、オフされることを試験できる。

請求項２記載の発明は、
スイッチを内蔵し、複数の入力端子と１つの出力端子を具備して、前記複数の入力端子に印可された信号の１つを選択して出力するマルチプレクサスイッチを試験する試験装置であって、
前記マルチプレクサスイッチの全ての入力端子に電圧信号を与える信号源と、
前記マルチプレクサスイッチの出力信号の電圧を測定する電圧測定部と、
前記電圧測定部の出力が入力され、前記マルチプレクサスイッチ内の全てのスイッチをオフにして前記電圧測定部の出力が第１の規定値内に入っていないかどうかをチェックし、その後前記入力端子を順番に選択して、前記電圧測定部の出力が第２の規定値内に入っているかどうかをチェックする制御部と、
を具備したものである。短時間でマルチプレクサスイッチ内のスイッチが正常にオン、オフされることを試験できる。

請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明において、
前記マルチプレクサスイッチ内のスイッチのオフ抵抗と、前記電圧測定部の入力抵抗、および前記信号源の出力信号の電圧に基づいて、前記第１および／または第２の規定値を決定するようにしたものである。正常であるオフ抵抗の範囲を選択できる。

請求項４記載の発明は、
スイッチが内蔵され、複数の入力端子と１つの出力端子を具備して、これらの入力端子に印可された信号の１つを選択して出力端子に出力するマルチプレクサスイッチと、
物理量を測定して電圧信号に変換し、その出力端子が前記マルチプレクサスイッチの入力端子の各々に接続される複数の測定部と、
前記マルチプレクサスイッチが選択した信号が入力され、その電圧を測定する電圧測定部と、
前記電圧測定部が測定した測定値が入力され、この測定値を処理するデータ処理部と、
前記電圧測定部の出力が入力され、前記マルチプレクサスイッチ内の全てのスイッチをオフにして前記電圧測定部の出力が第１の規定値内に入っていないかどうかをチェックし、その後前記入力端子を順番に選択して、前記電圧測定部の出力が第２の規定値内に入っているかどうかをチェックする制御部と、
を具備したものである。短時間でマルチプレクサスイッチ内のスイッチが正常にオン、オフされることを試験できる。

請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、
前記マルチプレクサスイッチ内のスイッチのオフ抵抗と、前記電圧測定部の入力抵抗、および前記マルチプレクサスイッチに入力する信号の電圧に基づいて、前記第１および／または第２の規定値を決定するようにしたものである。正常であるオフ抵抗の範囲を選択できる。

請求項６記載の発明は、請求項４若しくは請求項５記載の発明において、
前記マルチプレクサスイッチを試験する際に、信号源から前記マルチプレクサスイッチの全ての入力端子に電圧信号を与えるようにしたものである。正確な試験ができる。

請求項７記載の発明は、請求項４若しくは請求項５記載の発明において、
前記測定部の出力信号を用いて前記マルチプレクサスイッチを試験するようにしたものである。信号源が不要であり、かつマルチプレクサスイッチの入力信号を切り替える必要がない。

以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２、３、４、５、６および７の発明によれば、マルチプレクサスイッチの全入力端子に信号を与え、このマルチプレクサスイッチ内の全スイッチをオフにしてその出力電圧が第１の規定値に入っていないことをチェックし、その後順番に入力端子を選択して、その出力電圧が第２の規定値に入っていることを確認するようにした。

全スイッチをオフにする試験で全てのスイッチが正常にオフできることを確認することができるので、マルチプレクサスイッチの正常、異常を確実に試験することができるという効果がある。また、従来の試験に全スイッチオフの試験を追加するだけなので、短時間で試験を行うことができるという効果もある。

また、マルチプレクサスイッチの入力信号を切り替えるだけで試験を行うことができるので、簡単な試験装置で試験を行うことができるという効果がある。従って、簡単な構成で多点測定装置等このマルチプレクサスイッチを用いた機器に、自己診断機能を持たせることができ、またユーザが簡単に試験を行うことができる。

また、通常電圧測定部の入力抵抗は１ＭΩ以上と高いので、スイッチのオフ時にスイッチ抵抗が１０〜１００ＭΩになるという中途半端な故障をも検出することができるという効果もある。

さらに、多点測定装置等では、測定信号を用いてマルチプレクサスイッチの試験を行うようにすることができるので、配線をつなぎ替えることなく試験を行うことができるという効果もある。

以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係るマルチプレクサスイッチを用いた多点測定装置の一実施例を示す構成図である。なお、図３、図４と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。

図１において、６０は制御部であり、マルチプレクサスイッチ２０および分圧器３０内のスイッチを制御し、またＡＤコンバータ４０の出力値が入力される。制御部６０は、ＡＤコンバータ４０の出力からマルチプレクサスイッチ２０内のスイッチが正常であるかどうかを試験し、試験結果を出力する。この試験結果は、データ処理部４１あるいは図示しない表示器に表示される。

なお、マルチプレクサスイッチ２０を試験するときは、図４に示すように信号源５０からマルチプレクサスイッチ２０の入力端子に電圧信号を印加する。また、分圧器３０とＡＤコンバータ４０は電圧測定部を構成している。

次に、図２フローチャートに基づいて、この実施例の動作を説明する。なお、工程（Ｐ２−５）の規定値は第１の規定値に相当し、工程（Ｐ２−７）の規定値は第２の規定値に相当する。

図２において、工程（Ｐ２−１）でマルチプレクサスイッチ２０の全入力端子に、信号源５０からテスト信号を入力する。すなわち、図４に示すように、スイッチ２１ａ１〜２１ｎ１の一端に信号源５０のプラス側を、スイッチ２１ａ２〜２１ｎ２の一端に信号源５０のマイナス側を接続する。

そして、工程（Ｐ２−２）で分圧器３０を操作して、マルチプレクサスイッチの出力が、分圧器の抵抗で終端されつつ、そのまま分圧されずにＡＤコンバータ４０に入力されるようにする。具体的には、スイッチ３１〜３３をオンにし、スイッチ３４をオフにする。これによって、信号源５０の出力信号が分圧されないで直接ＡＤコンバータ４０に入力される。

次に、工程（Ｐ２−３）でマルチプレクサスイッチ２０内の全スイッチをオフにし、ＡＤコンバータ４０で入力電圧をデジタル値に変換する（工程（Ｐ２−４））。このデジタル値は制御部６０に入力され、評価される。

工程（Ｐ２−５）で、ＡＤコンバータ４０が変換したデジタル値が規定値内であるかどうかを評価する。ここで言う規定値内とは、信号源５０の出力信号がＡＤコンバータ４０に入力されたときに得られるであろう値の範囲とする。この範囲は、信号源５０の出力信号の誤差やＡＤコンバータ４０の変換誤差、マルチプレクサスイッチ２０と分圧器３０内のスイッチのオン、オフ抵抗等を考慮して決定する。

工程（Ｐ２−３）でマルチプレクサスイッチ２０内の全スイッチをオフにしているので、これらのスイッチが全て正常にオフになっていると、ＡＤコンバータ４０には信号源５０の出力信号が入力されない。従って、ＡＤコンバータの出力デジタル値は大きくばらつくか、あるいは誤差が大きくなる、いずれにしても、工程（Ｐ２−５）の規定値に入らない。

マルチプレクサスイッチ２０内のスイッチのどれかがオフになっていないと、信号源５０の出力信号がこのスイッチを経由してＡＤコンバータ４０に入力されるので、ＡＤコンバータ４０の出力は規定値内になる。すなわち、工程（Ｐ２−３）〜（Ｐ２−５）で、マルチプレクサスイッチ２０内のスイッチが全てオフになっていることをチェックすることができる。

工程（Ｐ２−５）で規定値内でないと（ＮＯ）、工程（Ｐ２−６）〜（Ｐ２−８）でマルチプレクサスイッチ２０内のスイッチを順番にオンにし、ＡＤコンバータ４０で入力電圧をデジタル値に変換して、で規定値であるかどうかをチェックする工程を繰り返す。この工程によって、マルチプレクサスイッチ２０内のスイッチが正常にオンできることを確認することができる。なお、（Ｐ２−６）〜（Ｐ２−８）の工程は、図４で説明した従来の試験方法と同じである。

全てのスイッチについて、工程（Ｐ２−７）で規定値内であると、マルチプレクサスイッチ２０は正常であると判定する。工程（Ｐ２−５）で規定内である（ＹＥＳ）か、工程（Ｐ２−７）で規定値外（ＮＯ）であると、マルチプレクサスイッチ２０は故障していると判定できる。

以上説明したように、この試験方法ではマルチプレクサスイッチ２０内の全スイッチが正常にオン、オフしているかどうかを判定することができる。また、この試験方法は従来の試験方法に工程（Ｐ２−３）〜（Ｐ２−５）を追加するだけである。これらの工程は１度実行されるだけなので、試験時間の増加はわずかである。

次に、工程（Ｐ２−５）、（Ｐ２−７）の規定値の算出手法について説明する。図１では試験時にスイッチ３２がオンになっているので、ＡＤコンバータ４０の入力抵抗は抵抗３５と３６の抵抗値を加算した値になる。従って、マルチプレクサスイッチ２０内のスイッチが中途半端にオフになると、信号源５０の出力信号がこれらの抵抗で分圧されるので、ＡＤコンバータ４０の入力電圧が低下する。

抵抗３５と３６の抵抗値の加算値をＲｉｎ、マルチプレクサスイッチ２０内のスイッチのオフ抵抗をＲｏｆｆ、信号源５０の出力信号の電圧をＶｏとすると、ＡＤコンバータ４０の入力電圧Ｖｉｎは下記（１）式になる。
Ｖｉｎ＝Ｖｏ×Ｒｉｎ／（Ｒｉｎ＋Ｒｏｆｆ） ・・・・・・ （１）
この（１）式を考慮して、許容できるオフ抵抗ＲｏｆｆからＶｉｎを算出し、規定値を決定する。例えば、Ｒｉｎ＝１ＭΩ、許容できるオフ抵抗Ｒｏｆｆ＝９ＭΩとすると、
Ｖｉｎ＝０．９×Ｖｏ
となる。従って、規定値としてＶｏ〜０．９Ｖｏを用いればよい。通常、分圧器３０の入力抵抗は１ＭΩ程度なので、Ｒｏｆｆが１０〜１００ＭΩとなる中途半端な故障であっても、確実に検出することができる。

なお、工程（Ｐ２−５）と（Ｐ２−７）の規定値は同じ値を用いることもできるが、異ならせることもできる。

また、この実施例ではマルチプレクサスイッチ２０の試験時は信号源５０からテスト信号を与えるようにしたが、測定部１０ａ〜１０ｎが出力する測定値を用いてもよい。この場合、前記（１）式のＶｏとして直前の測定値を用いる。測定値は変化するが、本実施例による試験は短時間で行うことができ、かつ電圧測定値は概略値でよいので、試験中に測定値は変化しないとしてよい。

また、分圧器３０はなくてもよい。通常、ＡＤコンバータ４０の入力インピーダンスは高いので、分圧器３０がないと前記（１）式のＲｉｎが高くなりすぎ、試験に支障を来す場合がある。この場合は、ＡＤコンバータ４０の前に抵抗を挿入し、見かけの入力抵抗を下げればよい。

また、本実施例では電圧測定部としてＡＤコンバータを用いたが、電圧を測定できるものであれば、他の構成を用いてもよい。

また、制御部６０は、多点測定を行うためにマルチプレクサスイッチを操作する制御部の機能の一部として実現することもでき、分圧器３０とＡＤコンバータ４０で構成される電圧測定部は、測定部１０ａ〜１０ｎの出力電圧を測定する電圧測定部と共用することもできる。

さらに、本実施例では多点測定装置に内蔵されているマルチプレクサスイッチを試験するとして説明したが、他の装置であってもよい。また、マルチプレクサスイッチ単体の試験装置とすることもできる。

本発明の一実施例を示す構成図である。 本発明の動作を説明するためのフローチャートである。 多点測定装置の構成図である。 マルチプレクサスイッチの試験を説明するための図である。

符号の説明

１０ａ〜１０ｎ 測定部
２０ マルチプレクサスイッチ
２１ａ１〜２１ｎ１、２１ａ２〜２１ｎ２、３１〜３４ スイッチ
３０ 分圧器
３５、３６ 抵抗
４０ ＡＤコンバータ
４１ データ処理部
５０ 信号源
６０ 制御部

Claims (7)

1. スイッチを内蔵し、少なくとも２つの入力端子と１つの出力端子を具備して、前記入力端子に印可された信号の１つを選択して前記出力端子に出力するマルチプレクサスイッチを試験する試験方法であって、
   信号源から前記マルチプレクサスイッチの全ての入力端子に電圧信号を与える工程と、
   前記マルチプレクサスイッチ内のスイッチを全てオフにして、このマルチプレクサスイッチの出力電圧が第１の規定値内に入っていないことをチェックする工程と、
   前記マルチプレクサスイッチを操作して前記入力端子を順番に選択し、このマルチプレクサスイッチの出力信号が第２の規定値内に入っていることをチェックする工程と、
   を具備したことを特徴とするマルチプレクサスイッチの試験方法。
2. スイッチを内蔵し、複数の入力端子と１つの出力端子を具備して、前記複数の入力端子に印可された信号の１つを選択して出力するマルチプレクサスイッチを試験する試験装置であって、
   前記マルチプレクサスイッチの全ての入力端子に電圧信号を与える信号源と、
   前記マルチプレクサスイッチの出力信号の電圧を測定する電圧測定部と、
   前記電圧測定部の出力が入力され、前記マルチプレクサスイッチ内の全てのスイッチをオフにして前記電圧測定部の出力が第１の規定値内に入っていないかどうかをチェックし、その後前記入力端子を順番に選択して、前記電圧測定部の出力が第２の規定値内に入っているかどうかをチェックする制御部と、
   を具備したことを特徴とするマルチプレクサスイッチの試験装置。
3. 前記マルチプレクサスイッチ内のスイッチのオフ抵抗と、前記電圧測定部の入力抵抗、および前記信号源の出力信号の電圧に基づいて、前記第１および／または第２の規定値を決定するようにしたことを特徴とする請求項２記載のマルチプレクサスイッチの試験装置。
4. スイッチが内蔵され、複数の入力端子と１つの出力端子を具備して、これらの入力端子に印可された信号の１つを選択して出力端子に出力するマルチプレクサスイッチと、
   物理量を測定して電圧信号に変換し、その出力端子が前記マルチプレクサスイッチの入力端子の各々に接続される複数の測定部と、
   前記マルチプレクサスイッチが選択した信号が入力され、その電圧を測定する電圧測定部と、
   前記電圧測定部が測定した測定値が入力され、この測定値を処理するデータ処理部と、
   前記電圧測定部の出力が入力され、前記マルチプレクサスイッチ内の全てのスイッチをオフにして前記電圧測定部の出力が第１の規定値内に入っていないかどうかをチェックし、その後前記入力端子を順番に選択して、前記電圧測定部の出力が第２の規定値内に入っているかどうかをチェックする制御部と、
   を具備したことを特徴とする多点測定装置。
5. 前記マルチプレクサスイッチ内のスイッチのオフ抵抗と、前記電圧測定部の入力抵抗、および前記マルチプレクサスイッチに入力する信号の電圧に基づいて、前記第１および／または第２の規定値を決定するようにしたことを特徴とする請求項４記載の多点測定装置。
6. 前記マルチプレクサスイッチを試験する際に、信号源から前記マルチプレクサスイッチの全ての入力端子に電圧信号を与えるようにしたことを特徴とする請求項４若しくは請求項５記載の多点測定装置。
7. 前記測定部の出力信号を用いて前記マルチプレクサスイッチを試験するようにしたことを特徴とする請求項４若しくは請求項５記載の多点測定装置。

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