JP2005192141A - 電流増幅回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】 従来の電流出力回路は構成が複雑であり、かつ電圧制御信号と制限電流制御信号の2つの制御信号が必要であったという課題を解決する。
【解決手段】 非反転入力端子と反転入力端子の2つの入力端子を有する増幅器の非反転入力端子と出力端子の間に第1の抵抗を配置し、反転入力端子と出力端子との間に第2の抵抗を配置しするようにした。簡単な構成で電流範囲の拡大、変換ができる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、電流を増幅あるいは減衰する電流増幅回路に関し、特にLSIテスタや電流電圧測定器に用いて好適な電流増幅回路に関するものである。
出力電圧を制御して、電流出力を行う装置が、例えば特許文献1等に記載されている。以下、図面を用いて説明する。
特開2002−286808号公報
図4に、出力電流の制限値および出力電圧を制御できる電流出力回路の構成を示す。図4において、電圧出力制御端子31および制限電流制御端子32には、それぞれ電圧制御信号Vvc、制限電流制御信号Vicが印可される。増幅器Q11,Q12、Q13で利得(−Rf/Rs)の増幅器が構成され、電圧制御信号Vvcはこの利得だけ増幅される。
出力端子33から出力される電流の値は抵抗Roで検出され、増幅器Q14でA倍に増幅される。出力電流の値が小さいときは増幅器Q14の出力も小さくなり、増幅器Q15の出力は高くなる。そのため、ダイオードD11によって増幅器Q15は切り離されるので、出力端子33の電圧Voは下記(1)式の値になる。
Vo=(−Rf/Rs)×Vvc ・・・・・・・・・・ (1)
出力電流の値が大きくなるに従って、増幅器Q15の出力電圧が低下していく。増幅器Q15の出力が増幅器Q11の非反転入力端子の電圧より小さくなるとダイオードD11がオンになり、増幅器Q11の非反転入力端子はマイナス側に引かれる。そのため、出力電流Voは低下する。すなわち、出力電流が制限される。
制限電流制御信号Vicは抵抗R12を介して増幅器Q15の反転入力端子に入力されているので、増幅器Q15の出力電圧はこの制限電流制御信号によって制御することができる。抵抗Ro、R12,R13の抵抗値を同じRo、R12,R13で、制限電流制御信号Vicの電圧を同じVicで表し、増幅器Q14の利得をAとすると、制限された出力電流Ioは下記(2)式になる。
Io=(R13×Vic)/(R12×Ro×A) ・・・・・ (2)
すなわち、この電流出力回路は出力電圧と出力電流の制限値の両方を独立に制御することができる。
しかし、このような電流出力回路は増幅器が5個必要なために回路構成が複雑であり、また電圧制御信号Vvcと制限電流制御信号Vicの2つの信号が必要であるという課題があった。また、LSIテスタの構造上、数、大きさ、より近くに置く必要なものとのスペースの取り合いにより、被測定ICの近くには置くことができない。そのため、大電流通電用では、経路抵抗、インダクタンスによる不十分な電流応答、微小電流域では浮遊容量によるセトリング時間の遅れとなり、高速、高精度測定を阻害している。
従って本発明が解決しようとする課題は、簡単な構成で出力電流の範囲を可変することができる電流増幅回路を提供することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
反転入力端子と非反転入力端子の2つの入力端子と1つの出力端子を有し、前記非反転入力端子に入力信号が入力される増幅器と、
前記非反転入力端子と前記出力端子にその両端が接続される第1の抵抗と、
前記出力端子と前記反転入力端子にその両端が接続される第2の抵抗と、
を備え、前記第2の抵抗と前記反転入力端子の接続点から出力信号を得るようにしたものである。構成が簡単になる。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、
入力信号が入力される第1の前記電流増幅回路と、
前記第1の電流増幅回路の出力が入力される第2の前記電流増幅回路で構成するようにしたものである。電流制限機能を付加できる。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、
前記第2の増幅回路の出力を前記第1の電流増幅回路の入力に帰還する位相補償回路を具備したものである。安定度が増加する。
本発明によれば次のような効果がある。
請求項1記載の発明によれば、増幅器の非反転入力端子と出力端子の間に第1の抵抗を配置し、反転入力端子と出力端子の間に第2の抵抗を配置するようにした。
簡単な構成で出力電流の範囲を数pAから100A程度にまで拡大し、また逆に減衰することができる。従って、通常の電圧・電流制限回路の出力側に挿入することで、電流範囲の拡大、変換が簡単にできるという効果がある。
また、ICテスタでは、ICテスタ本体と被測定ICを結ぶケーブルに流す電流の変化範囲を小さくし、被測定IC側に配置した本発明の電流増幅回路で電流範囲の拡大、変換を行うことにより、より高精度の測定が可能になるという効果がある。
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明において、電流増幅回路を2個直列に接続するようにした。請求項1記載の発明では、電流制限を受けた信号が入力されると出力電圧が発散するという欠点があるが、本発明では出力電圧が上昇することがない電流制限回路を実現することができるという効果がある。
請求項3記載の発明によれば、請求項2記載の発明において、位相補償回路を介して出力信号を入力側に帰還するようにした。容量性の負荷が接続されても動作が不安定になることがないという効果がある。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明に係る電流増幅回路の一実施例を示す構成図である。
図1において、Q1は反転入力端子と非反転入力端子の2つの入力端子および1つの出力端子を有する増幅器である。INは入力端子であり、入力信号が印可される。また、この入力端子INは増幅器Q1の非反転入力端子に接続される。
R1は抵抗であり、その一端は増幅器Q1の非反転入力端子に、他端は増幅器Q1の出力端子に接続される。R2は抵抗であり、その一端は増幅器Q1の出力端子に、他端は増幅器Q1の反転入力端子に接続される。OUTは出力端子であり、増幅器Q1の反転入力端子と抵抗R2の接続点に接続され、出力信号を出力する。
このような構成において、入力端子INに印可される入力信号の電圧をVi、この入力端子INから流入する電流をIi、抵抗R1,R2の抵抗値を同じ記号のR1,R2とし、出力端子OUTの電圧をVo、この出力端子OUTから流れ出る電流をIoとする。
増幅器Q1の非反転入力端子および反転入力端子には電流が流れず、かつこれら2つの入力端子間には電位差が発生しないことから、下記(3)、(4)式が成立する。
Vo=Vi ・・・・・・・・・・・・・・・・・ (3)
Vo=R2×Io+R1×Ii+Vi ・・・・・ (4)
前記(3)、(4)式から、下記(5)式を導出することができる。
Io=−(R1/R2)×Ii ・・・・・ (5)
すなわち、増幅器1つと抵抗2本のみで、電圧が変化せず、かつ電流のみを増幅することができる電流増幅回路を構成することができる。
前記(5)式からわかるように、入力電流と出力電流の関係は抵抗R1,R2の抵抗比を変えることによって任意の値に設定することができる。R2をR1より大きくすると、電流減衰器として使用することが出来る。
図2に本発明の他の実施例を示す。図2(A)は図1の電流増幅回路を2つ直列に接続して、電流制限機能を付加したものである。図2において、11,12は図1に示した電流増幅回路であり、この実施例ではこの電流増幅回路11,12を直列に接続している。
図1の電流増幅回路は、入力信号Viが電流制限を受けると帰還がかかり、出力端子OUTから更に電流を流そうとして出力電圧が上昇する。この実施例では図1の電流増幅回路を2つ直列に接続することによりこの出力電圧の上昇を回避し、通常の電圧・電流制限回路として動作させるようにしたものである。
図2(B)の実施例は、図2(A)の実施例に位相補償回路を付加したものである。なお、図2(A)と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。図2(B)において、13は図1実施例と同様構成の電流増幅回路である。R3は抵抗であり、入力端子INと増幅器Q1の非反転入力端子間に接続されている。抵抗R1の一端は、抵抗R3と入力端子INとの接続点に接続される。
図1実施例で説明したように、増幅器Q1の入力端子には電流が流れることはない。従って、抵抗R3を挿入しても、電流増幅回路としての動作は図1実施例と同じになる。
C1はコンデンサであり、電流増幅回路12の出力側と増幅器Q1の非反転入力端子との入力側の間に接続される。抵抗R3とコンデンサC1で位相補償回路を構成しており、この位相補償回路を介して、出力を入力側に帰還するようにしている。
図2(A)の実施例は容量性の負荷が接続されると動作が不安定になりやすい。そのため、出力をコンデンサC1と抵抗R1からなる位相補償回路を介して入力に帰還することにより位相補償を施して、安定性を高めるようにしたものである。なお、位相補償回路の構成は図3だけでなく、種々のものを用いることができる。
図3に、ICテスタの構成を示す。図3において、2はICテスタ本体、3は被測定ICが搭載されているテストロードである。ICテスタ本体2にはDUT電源やDCパラメトリック測定器が内蔵されている。
ICテスタでは、その構成上ICテスタ本体2とテストロード3間の距離は5〜10mと長くなることが多い。また、ICテスタ本体2からテストロード3に供給する電流は数μAの微少電流から数十Aの大電流まで幅があり、かつ急激に変動する場合が多い。
例えば、正常状態では数μAの電流で動作している被測定ICが動作不良になると、急激な電圧降下が発生して数十Aの電流が流れる。この電流のために被測定ICが破壊されると、電流値は数μAに急激に減少する。
ICテスタ本体2からテストロード3に微少電流を流すと、この間のケーブルの容量のために静定時間が長くなる。また、急激に変化する大電流を流すと、ケーブルのインダクタンスのためにテストロード3端での電圧の変化が緩やかになってしまう。
そのため、ICテスタ本体2からはケーブルの容量やインダクタンスの影響を受けにくい大きさの電流で供給し、テストロード3に本発明の電流増幅回路を搭載し、増幅あるいは減衰して被測定ICに供給するようにすると、高精度な測定が可能になる。
本発明の一実施例を示す構成図である。 本発明の他の実施例を示す構成図である。 本発明の応用を説明するための構成図である。 従来の電流出力回路の構成図である。
符号の説明
Q1 演算増幅器
R1,R2、R3 抵抗
IN 入力端子
OUT 出力端子
Vi、Vo 電圧
Ii、Io 電流
11,12、13 電流増幅回路
C1 コンデンサ

Claims (3)

  1. 反転入力端子と非反転入力端子の2つの入力端子と1つの出力端子を有し、前記非反転入力端子に入力信号が入力される増幅器と、
    前記非反転入力端子と前記出力端子にその両端が接続される第1の抵抗と、
    前記出力端子と前記反転入力端子にその両端が接続される第2の抵抗と、
    を備え、前記第2の抵抗と前記反転入力端子の接続点から出力信号を得るようにしたことを特徴とする電流増幅回路。
  2. 入力信号が入力される第1の前記電流増幅回路と、
    前記第1の電流増幅回路の出力が入力される第2の前記電流増幅回路を備えたことを特徴とする請求項1記載の電流増幅回路。
  3. 前記第2の増幅回路の出力を前記第1の電流増幅回路の入力に帰還する位相補償回路を具備したことを特徴とする請求項2記載の電流増幅回路。
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JP2008167118A (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Yokogawa Electric Corp 電流電圧増幅回路および半導体試験装置

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