JP5500333B2 - 直流試験装置及び半導体試験装置 - Google Patents
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Description
この発明によると、切替器によって増幅器の出力端と半導体デバイスとの間が遮断されると、増幅器の出力端と切替器との間に設けられた電圧保持回路の出力側に、半導体デバイスに現れる電圧が保持されつつ、電圧保持回路の入力側と出力側との間が遮断状態にされる。
また、本発明の第1の態様による直流試験装置は、前記電圧保持回路が、入力側と出力側との間に設けられて入力側と出力側との間を接続又は遮断するスイッチ(26、32)と、出力側に接続されたコンデンサ(14、33)とを備えることを特徴としている。
また、本発明の第1の態様による直流試験装置は、出力端が前記切替器に接続された補助増幅器(13)を備えることを特徴としている。
上記課題を解決するために、本発明の第2の態様による直流試験装置は、ディジタル/アナログ変換器(11)が出力する目標信号に基づいて半導体デバイス(30)に印加すべき直流信号を出力する増幅器(21)と、当該増幅器の出力端に接続される補助増幅器(13)と、前記増幅器と前記補助増幅器との間を接続又は遮断する第1切替器(26)と、前記補助増幅器の出力端と前記半導体デバイスとの間を接続又は遮断する第2切替器(16)とを備える直流試験装置(3)において、前記半導体デバイスと前記補助増幅器の入力端とを電気的に接続して前記半導体デバイスに現れる電圧を前記補助増幅器の入力端に帰還させる帰還回路(17、18、31)と、前記帰還回路によって電気的に接続される前記半導体デバイスと前記補助増幅器の入力端との間に設けられ、前記第1切替器によって前記増幅器と前記補助増幅器との間が遮断され、且つ前記第2切替器によって前記補助増幅器の出力端と前記半導体デバイスとの間が遮断されている場合に前記半導体デバイスに現れる電圧を出力側に保持しつつ、入力側と出力側との間を遮断状態にする電圧保持回路(41〜43)とを備えることを特徴としている。
この発明によると、第2切替器によって補助増幅器の出力端と半導体デバイスとの間が遮断されると、第1切替器によって増幅器と補助増幅器との間が遮断され、帰還回路によって電気的に接続される半導体デバイスと補助増幅器の入力端との間に設けられた電圧保持回路の出力側に、半導体デバイスに現れる電圧が保持されつつ、電圧保持回路の入力側と出力側との間が遮断状態にされる。
また、本発明の第2の態様による直流試験装置は、前記電圧保持回路が、入力側と出力側との間に設けられて入力側と出力側との間を接続又は遮断する第1スイッチ(41)と、出力側に接続されたコンデンサ(43)と、前記コンデンサを出力側から電気的に切り離す第2スイッチ(42)とを備えることを特徴としている。
本発明の半導体試験装置は、半導体デバイス(30)に試験信号を印加して得られる信号を用いて前記半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、前記直流信号を前記試験信号として前記半導体デバイスに印加する上記の何れかに記載の直流試験装置を備えることを特徴としている。
図1は、本発明の第1実施形態による直流試験装置の要部構成を示すブロック図である。図1に示す通り、本実施形態の直流試験装置1は、ディジタル/アナログ変換器(DAC)11、DC測定部12、アンプ13(補助増幅器)、コンデンサ14(電圧保持回路)、抵抗15、スイッチ16(切替器)、抵抗17(帰還回路)、スイッチ18(帰還回路)、スイッチ19、及びアナログ/ディジタル変換器(ADC)20を備えており、DUT30(半導体デバイス)に対するIFVM試験及びVFIM試験が可能である。
図3は、本発明の第2実施形態による直流試験装置の要部構成を示すブロック図である。図3に示す通り、本実施形態の直流試験装置2は、図1に示す直流試験装置1が備えるスイッチ18,19とアンプ23との間にアンプ31(帰還回路)、スイッチ32(電圧保持回路)、及びコンデンサ33(電圧保持回路)を新たに設け、アンプ21とアンプ13との間のコンデンサ14を省略した構成である。尚、本実施形態の直流試験装置2もDUT30に対するIFVM試験及びVFIM試験が可能である。
図5は、本発明の第3実施形態による直流試験装置の要部構成を示すブロック図である。図5に示す通り、本実施形態の直流試験装置3は、図2に示す直流試験装置2が備えるDC測定部12に代えてDC測定部40を設け、スイッチ32及びコンデンサ33に代えてスイッチ41(電圧保持回路、第1スイッチ)、スイッチ42(電圧保持回路、第2スイッチ)、及びコンデンサ43(電圧保持回路)を設けた構成である。尚、本実施形態の直流試験装置3もDUT30に対するIFVM試験及びVFIM試験が可能である。
前述した第1,第2実施形態では、アンプ21とスイッチ16との間に、アンプ21の電流供給能力を補強するアンプ13を設けていたが、アンプ21の電流供給能力に問題がなければ、アンプ13を省略することができる。アンプ13を省略した場合でも、第1,第2実施形態の各々において前述した手順と同様の手順でIFVM試験を実施することができる。尚、第3実施形態においても、アンプ13を省略することが可能である。
13 アンプ
14 コンデンサ
16 スイッチ
17 抵抗
18 スイッチ
21 アンプ
24 スイッチ
26 スイッチ
30 DUT
31 アンプ
32 スイッチ
33 コンデンサ
41,42 スイッチ
43 コンデンサ
Claims (6)
- ディジタル/アナログ変換器が出力する目標信号に基づいて半導体デバイスに印加すべき直流信号を出力する増幅器と、前記増幅器の出力端と前記半導体デバイスとの間を接続又は遮断する切替器とを備える直流試験装置において、
前記半導体デバイスと前記増幅器の入力端とを電気的に接続して前記半導体デバイスに現れる電圧を前記増幅器の入力端に帰還させる帰還回路と、
前記増幅器の出力端と前記切替器との間に設けられ、前記切替器によって前記増幅器の出力端と前記半導体デバイスとの間が遮断されている場合に前記半導体デバイスに現れる電圧を出力側に保持しつつ、入力側と出力側との間を遮断状態にする電圧保持回路と
を備えることを特徴とする直流試験装置。 - 前記電圧保持回路は、入力側と出力側との間に設けられて入力側と出力側との間を接続又は遮断するスイッチと、
出力側に接続されたコンデンサと
を備えることを特徴とする請求項1記載の直流試験装置。 - 出力端が前記切替器に接続された補助増幅器を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の直流試験装置。
- ディジタル/アナログ変換器が出力する目標信号に基づいて半導体デバイスに印加すべき直流信号を出力する増幅器と、当該増幅器の出力端に接続される補助増幅器と、前記増幅器と前記補助増幅器との間を接続又は遮断する第1切替器と、前記補助増幅器の出力端と前記半導体デバイスとの間を接続又は遮断する第2切替器とを備える直流試験装置において、
前記半導体デバイスと前記補助増幅器の入力端とを電気的に接続して前記半導体デバイスに現れる電圧を前記補助増幅器の入力端に帰還させる帰還回路と、
前記帰還回路によって電気的に接続される前記半導体デバイスと前記補助増幅器の入力端との間に設けられ、前記第1切替器によって前記増幅器と前記補助増幅器との間が遮断され、且つ前記第2切替器によって前記補助増幅器の出力端と前記半導体デバイスとの間が遮断されている場合に前記半導体デバイスに現れる電圧を出力側に保持しつつ、入力側と出力側との間を遮断状態にする電圧保持回路と
を備えることを特徴とする直流試験装置。 - 前記電圧保持回路は、入力側と出力側との間に設けられて入力側と出力側との間を接続又は遮断する第1スイッチと、
出力側に接続されたコンデンサと、
前記コンデンサを出力側から電気的に切り離す第2スイッチと
を備えることを特徴とする請求項4記載の直流試験装置。 - 半導体デバイスに試験信号を印加して得られる信号を用いて前記半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
前記直流信号を前記試験信号として前記半導体デバイスに印加する請求項1から請求項5の何れか一項に記載の直流試験装置を備えることを特徴とする半導体試験装置。
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