TWI336216B - Neutralization device - Google Patents

Description

1336216 Ο) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 . ’ 本發明是關於用來將已帶電的工件之靜電 裝置，特別是關於能夠對於該工件，進行在設 之狀態的除電之除電裝置。 【先前技術】 做爲用來除去已帶電之工件的靜電之裝置 放電方式之除電裝置爲眾所皆知，其中，脈衝 除電裝置，比起其另一方式，離子釋出量也多 連接予單一之高電壓產生電路之複數個放電針 方式’桿式的除電裝置等被多數利用。 但，使用脈衝DC方式之除電裝置，是由 量多，故在對於除電對象工件，設置於近ί 100mm以下）之情況時，會有過大的離子朝該 因此，會有工件之瞬間的表面電位對於目標之 地上升至500 V附近之情事產生。因此，在必 置對於工件設置於近距離之情況時，需要考量 電位的上昇。 又，由於高電壓被以脈衝方式施加至放電 於除電對象工件，將除電裝置設置於近距離之 有受到放電針的介電作用，造成工件之表面電 題。 且，在以望的除電裝置，由於從噴嘴朝工 除去之除電 置於近距離 ，利用電暈 DC方式之 ，且能夠以 產生離子之 於離子產生 巨離（例如 工件釋出， .0V，相反 須將除電裝 工件之表面 針，故在對 情況時，會 位上升之問 件直接噴出 -5- (5) (5)1336216 上述離子釋出頭2是如圖4所示，具有適用於對放置 在近距離（例如100 mm以下）之工件W進行除電者，具 備：以合成樹脂等之絕緣材所構成，呈延伸於該頭2之長 方向的細長之板狀之放電針用保持構件4;被此保持構件 4保持於底端部，針端由該保持構件4的下面4a向下突出 之複數個上述放電針5;安裝於上述保持構件4的下面4a ’用來覆蓋這些放電針5全體，由導電性多孔材所構成之 斷面呈U字形之放電針蓋8;安裝於上述保持構件4的上 面4b側，斷面呈U字形之上部蓋9;及安裝於上述保持 構件4的長方向之両端，用以關閉上述放電針蓋8及上部 蓋9之開放的両端部之端板11、12。 上述放電針5是將正負放電針5a' 5b做爲一對而設 有複数對，這些複数對之放電針是在將正負放電針5a、5b 配置於上述保持構件4的寬度方向之狀態，該呈列狀地排 列設置於保持構件4之長方向。因此，正的放電針5a與 負的放電針5b是形成相互平行之2列。 又，在上述保持構件4，設有：開口於上述各放電針 5之附近，沿著該放電針5噴出氣體之複數個氣體噴出口 6;與在該保持構件4的內部，延伸於長方向而連通於上 述各氣體噴出口 6之氣體流路7。在圖示的例子，上述氣 體噴出口 6設置成分別包圍正負放電針5a、5b的周圍， 並且2個氣體流路7、7被平行地設置著，一方之氣體流 路7連通於正的放電針5a側之所有的氣體噴出口 6，另一 方的氣體流路7連通於負的放電針5b側之所有的氣體噴 -9- (7) (7)1336216 藉由做成稍高之程度的正壓，氣體會較和緩地朝：r件w 釋出。 .· 又，由於上述空間10是以來自於上述氣體噴出口 6 之氣體，進行氣體沖洗，故，例如將以氣體過濾器等加以 清潔後之氣體供給至該空間10等，藉由管理透過氣體流 路7所供給之氣體的質，能夠防止放電針5受到污染。由 於上述放電針5被設置於細長之保持構件4，這些放電針 5全體受到上述蓋8所覆蓋，故具有優良之安全性，改善 了放電針5之設置自由度。 圖6及圖7顯示關於上述除電裝置1之電氣連接之示 意斷面圖 '與電氣電路圖》再者，在圖6，正負複数對之 放電針5 a、5b，爲了方便，而排列成一列加以表示，但， 実際上是如圖2所示，配設成2列。由這些圖可知，被收 納於上述收納箱3內之正負高電壓產生電路20a、20b，均 由自激振盪電路23、與經由升壓變壓器24連接於此自激 振盪電路23之倍壓整流電路25所構成，正的高電壓產生 電路20a，被共通地連接於所有的正的放電針5a，負的高 電壓產生電路2 0b被共通地連接於所有的負的放電針5b。 又，藉由在上述倍壓整流電路2所產生的正及負的脈衝狀 高電壓被交互地施加於上述正及負的放電針5a、5b，以由 這些的放電針5a、5b交互地釋出正及負的離子。此時， 未施加有脈衝狀高電壓之側的放電針，是經由上述倍壓整 流電路25連接於電路接地線。 又，上述放電針蓋8，是除了上述金屬燒結體以外， -11 - (8) (8)1336216 亦可藉由導電性合成樹脂等來形成，此放電針蓋8可因應 需要，經由密封手段來安裝於上述保持構件4。此放電針 蓋8之細孔8b，亦可該蓋之內外呈直線地連結，亦可連結 成折彎狀態，，又，亦可呈規則地分佈於該蓋全體，亦可 呈不規則地分布。 另外，上述收納箱3或端板11、12及上部蓋9，能以 合成樹脂來構成。 又，上述放電針蓋8被連接於上述控制電路21，並且 經由此控制電路2 1中之檢測阻抗R來與電路接地線導通 ，此檢測阻抗R的両端之電位差V被輸入至上述MPU22 。又，受到吸收由上述放電針5a、5b交互地釋出之正負 離子所產生的放電針蓋8之電位變化是做爲上述檢測阻抗 R的両端之電位差V的變化，被控制電路21檢測出來， 根據此電位變化，以此控制電路2 1控制上述正負高電壓 產生電路20a、2 0b，控制離子之產生量，藉此自動地調整 離子平衡。 上述放電針蓋8與上部蓋9是藉由以螺絲等的安裝手 段，將延伸於其長方向的両側壁端8a、9a安裝於上述保 持構件4的側壁4b，對於該保持構件4可自由裝卸，，但 亦可使用接著劑等，將至少其中一方的蓋予以固定。當上 述放電針蓋8爲可自由裝卸時’藉由將之取下來使用’能 夠使已離子化之氣體噴射至較具有該蓋8之情況時更遠， 因此，可將配置於較遠距離之工件加以除電。 如此，具有上述結構之除電裝置1藉由上述放電針蓋 -12- (9) (9)1336216 8調整離子之釋出量的結果，即使在將此除電裝置1對於 工件W設置於近距離進行除電之情況，該工件W之表面 電位也不會極端地上升。又，藉由上述放電針蓋8，使得 離子化氣體之流速在離子釋出頭2全體範圍被均等化，防 止了氣體之流速不均或離子之分布不均等產生，使得不會 產生除電不均，而可該工件全體予以均等且確實地除電， 具有優良之除電性能。並且，由於上述放電針5全體受到 上述放電針蓋8所覆蓋，故亦具有優良之安全性。且，藉 由上述放電針蓋8，可防止因介電所產生之工件的表面電 位極端上升。 圖5是顯示在本發明之除電裝置1，以離子釋出頭2 ，將連続之薄膜狀的工件W，一邊進行方向轉換，一邊使 其相對地移動來進行除電之情況的例子。，此時，上述工 件W是藉由從放電針蓋8的全面所噴射之氣體的介裝， 被保持成與該放電蓋8呈非接觸狀態、或低摩擦接觸狀態 。因此，上述離子釋出頭具備做爲改變上述工件W的方 向之方向轉換導引的功能。 再者，將除電裝置如此進行使用之情況時，上述放電 針蓋8之表面，除了設置用來噴出氣體之細孔8b以外， 尙期望儘可能地形成平滑之面。 本發明之除電裝置，不限於上述實施例，在不超出發 明之精神的範圍，可進行各種變更。 例如，上述保持構件4若爲可保持複数對放電針之細 長的構造的話，其斷面形狀並不一定需要大致呈長方體狀 -13- (10) (10)1336216 。又，亦可藉由絕緣材，構成僅欲設置上述放電針5之必 要部位。 · 又，上述上部蓋9，並非斷面一定呈U字形，或亦可 省略。 【圖式簡單說明】 圖1是顯示本發明之除電裝置的一實施例之斜視圖。 圖2是顯示將圖1的蓋取下之狀態的斜視圖。 圖3是在圖1的A-A位置的斷面圖。 圖4是顯示藉由本發明之除電裝置，在近距離將平面 狀之工件進行除電的形態之斜視圖。 圖5是顯示利用本發明之除電裝置，一邊將連続之薄 膜等的工件予以方向轉換，一邊進行除電之形態的斜視圖 〇 圖6是關於本發明之除電裝置的電氣連接之示意的斷 面圖。 圖7是本發明之除電裝置的電氣電路圖。 【主要元件符號說明】 1 :除電裝置 2 ·‘離子釋出頭 3 :收納箱 4 :保持構件 4a :下面 • 14 - (11) (11)1336216 4b :上面 5 a、5 b :放電針 6 :氣體噴出口 7 :氣體流路 8 :放電針蓋 8 a :側端壁 8b :細孔 9 :上部蓋 9a :側端壁 1 0 :空間 1 1、12 :端板 1 5 :氣體流路 1 6 :連接埠 1 7 =氣體供給源 20a、20b :高電壓產生電路 2 1 :控制電路

22 ： MPU 23 :自激振盪電路 24 :升壓變壓器 2 5 :倍壓整流電路 W :工件 R :檢測阻抗 -15 -

Claims (1)

1336216 ~· _ 妒I.0日3修正替換頁 • i 十、申請專利範園 雙貝蔚印 第95 1 20974號專利申'請案 中文申請專利範圍修正本 民國98年9月8日修正 1. 一種除電裝置，其特徵爲： 具有：

具備藉由電暈放電來釋出離子之複數個放電針及在接 近這些放電針之位置來噴射氣體之氣體噴出口的離子釋出 頭；與用來對上述放電針施加高電壓之高電壓產生電路； 及用來控制此高電壓產生電路之控制電路， 上述離子釋出頭具有用來覆蓋上述複數個放電針全體 • 及氣體噴出口之由導電性多孔材所構成之放電針蓋，此放 電針蓋在表面全體具有用來噴射氣體的細孔，藉由以透過 該細孔將已離子化之氣體釋出至外部來將該放電針蓋的內 φ 壓提高成較外部的壓力高，使得在該離子釋出頭全體範圍 ，將離子釋出予以均等化，並且使該放電針蓋吸收所產生 之離子的一部分，來調整離子之釋出量。 2. 如申請專利範圍第1項之除電裝置，其中，藉由 - 在上述放電針之先端與放電針蓋之間介設有空間，在此空 - 間內使氣體擴散，由該放電針蓋全體將氣體釋出。 3. 如申請專利範圍第1或2項之除電裝置，其中， 上述離子釋出頭呈細長之桿狀，並且具有將正負之放電針 做成一對之複数對放電針，這些放電針是在正負之放電針 1336216 配置於該頭之寬度方向之狀態下，排列配設於該頭之長度 方向，又，在該離子_出頭的長度方向之一端，安裝著收 納箱，在此收納箱之內部，內裝有正負之上述高電壓產生 電路與控制電路。 4.如申請專利範圍第3項之除電裝置，其中，上述 放電針蓋是由斷面呈U字形之構件所構成，延伸於上述離 子釋出頭的長度方向之大致全長範圍，該放電針蓋之表面 是形成用來使薄膜狀之除電對象工件進行方向轉換之導引 面，藉由從該導引面所噴出之氣體，能將上述除電對象工 件在非接觸或低摩擦接觸之狀態加以導引》 5. 如申請專利範圍第1或2項之除電裝置，其中， 上述放電針蓋連接於控制電路，藉由根據因離子之吸收所 產生之該放電針蓋的電位變化，以此控制電路控制上述高 電壓產生電路，來調整離子平衡。 6. 如申請專利範圍第3項之除電裝置，其中，上述 放電針蓋連接於控制電路，藉由根據因離子之吸收所產生 之該放電針蓋的電位變化，以此控制電路控制上述高電壓 產生電路，來調整離子平衡。 7. 如申請專利範圍第4項之除電裝置，其中，上述 放電針蓋連接於控制電路，藉由根據因離子之吸收所產生 之該放電針蓋的電位變化，以此控制電路控制上述高電壓 產生電路，來調整離子平衡。