KR101737894B1 - 에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 방전 전극이 탑재된 방전 전극 소켓 코아부 및 이와 결합되는 소켓 베이스부간의 결합 깊이를 선택적으로 조절함으로써 방전 전극 소켓 코아부에서 소켓 베이스부로 이동하는 에어의 유출량을 선택적으로 조절할 수 있는 "에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓"에 관한 것이다.
본 발명에 따른 에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓은 원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극과, 상기 방전 전극이 삽입되어 안착되는 방전 전극 소켓 코어부와, 상기 방전 전극 소켓 코어부가 삽입되어 결합되는 관통 중공부를 가지며 상기 원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극이 노출되는 개구부를 갖는 소켓 베이스부를 구비하며, 제전 거리 또는 제전 영역에 맞추어 원추형 첨두부를 갖는 상기 방전 전극과 상기 개구부 사이의 공극 크기가 가변되도록 상기 소켓 베이스부와 결합되는 상기 방전 전극 소켓 코어부의 체결 깊이를 조절함으로써 상기 방전 전극 소켓 코어부에서 상기 소켓 베이스부로 이동하여 유출되는 에어의 유출량을 제어할 수 있다.
본 발명에 따른 방전 전극 소켓을 사용하는 경우 코로나 방전형 이오너이저에 장착되는 방전 전극 소켓마다 에어의 유출량에 차이를 둘 수 있으므로 제전 대상의 거리 내지 범위(또는 영역)에 맞추어 최적화된 제전 효율을 기대할 수 있다는 이점이 있다.

Description

에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓{Discharge needle socket for detachable in the ionizer for corona discharge}
본 발명은 코로나 방전 이오나이저에 탈부착 가능하도록 사용됨과 아울러 에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 방전 전극이 탑재된 방전 전극 소켓 코아부 및 이와 결합되는 소켓 베이스부간의 결합 깊이를 선택적으로 조절함으로써 방전 전극 소켓 코아부에서 소켓 베이스부로 이동하는 에어의 유출량을 선택적으로 조절할 수 있는 "에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓"에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기EL, 다중레이어 세라믹 콘덴서(MLCC; Multi-Layer Ceramic Condenser)등을 제작함에 있어서는 고도의 청정한 작업공간을 요하는데, 이들에 대한 인쇄, 도포 및 세정 공정시 정전기로 인한 먼지 등의 이물질 부착 등으로 인하여 수율의 저하, 패턴의 파괴, 인쇄불량 등의 문제가 빈번하게 발생한다.
따라서, 반도체 등의 공정 수행시에는 대전체의 주변의 정전기 제거가 필수적이며, 이러한 정전기를 제거하기 위한 장치 중의 하나로 코로나 방전식 정전기 제거장치(이오너이저라고도 한다)가 사용되고 있다.
알려진 바와 같이, 코로나 방전식 정전기 제거장치는 교류 또는 직류 고전압을 방전침에 인가하여 방전침의 끝부분에서 코로나 방전을 일으켜서 주위 공기중의 산소 및 질소 등을 전리하여 양이온 및 음이온을 생성한 후 팬에 의한 강제대류로 이들 양이온 및 음이온을 정전기 제거 대상물체로 송풍하여 정전기를 제거한다.
이러한 코로나방전식 정전기 제거장치는 인가되는 전압방식에 따라 크게 교류고전압을 이용하는 방식과 직류고전압을 이용하는 방식의 2가지로 나눌 수 있는데, 교류고전압 코로나방전식 정전기제거장치는 주로 상용 주파수(60Hz) 및 고주파(약 10kHz~18kHz)를 사용하며, 직류고전압 방식은 (± 7kV)정도의 직류고전압을 사용한다.
교류고전압 방식은 대전체(정전기 제거 대상물체)로부터 근거리(약 50mm ~ 300mm 정도)에서 정전기를 제거함에 적합한 반면 멀리 떨어진 대전체의 정전기를 제거하기에는 부적합하다. 또한 고주파를 이용하는 경우 고속으로 이동하는 대전물체(charged body)의 정전기를 제거하는데 효과적이지만, 이 역시 +이온과 -이온의 발생량의 차이로 인해 정전기제거장치로부터 생성되는 +이온의 이온량과 -이온의 이온량간의 불균형(Unbalance) 문제가 발생하고, 이에 따라 잔류 정전기를 완벽히 제거할 수 없는 단점이 있다.
한편, 직류고전압 방식은 정전기 제거 대상물체로부터 1,000mm 이상의 원거리에 설치하여 정전기를 제거할 수 있어 설치거리가 원거리인 경우에 주로 사용되고 근거리의 설치거리에서는 적합하지 않다고 알려져 있다.
이러한 코로나 방전식 정전기 제거장치에 대한 선행특허문헌으로는 특허출원번호 제10-2007-0089914호(발명의 명칭: 출력전압 조절이 가능한 막대형 이오나이저), 특허출원번호 제10-2011-0037660호(발명의 명칭: 방전전극소켓), 특허출원번호 제10-2008-0019426호(발명의 명칭: 세라믹스를 이용한 노즐형 이오나이저) 등이 개시되어 있다.
이러한 선행특허문헌 등에 개시된 정전기 제거장치의 경우, 제전효율을 증가시키기 위해서는 최적화된 에어량으로 방전전극에서 발생된 이온을 원하는 제전거리까지 전달할 수 있는 기능이 요구되고 있다.
도 1a에는 이러한 종래의 방전전극소켓(10)의 일예가 도시되어 있다.
도시된 종래 방전전극소켓(10)은 소켓의 중앙에 방전전극(20)이 삽입 고정되고, 그 주위에는 에어를 통과시키는 노즐(30)이 구비된 구조이다.
이와 같은 종래의 방전전극소켓(10)은 도 1b에 도시된 바와 같이, 방전전극(20)의 주위 양측에 인접하여 복수의 에어 출구(32)를 구비한 구조이다.
또는 도 1c에 도시된 바와 같이, 방전전극(20)의 주위 양측에 인접하여 4방향으로 에어 출구(34)를 구비한 구조이다.
그런데, 기존에 개시되어 있는 대부분의 방전전극소켓의 경우 제전 거리 또는 제전 범위에 따라 에어의 유출량을 조절할 필요가 있는 경우 이오나이저에서 공급하는 에어의 압력을 선택적으로 조정하는 방식을 사용하였다.
그러나, 이러한 에어 조정 방식을 사용하는 경우 복수개의 방전 전극 소켓이 장착된 코로나 방전형 이오나이저에 모두 동일한 압력을 공급하여야 하는데, 최근 들어 하나의 코로나 방전형 이오나이저에 장착되는 방전 전극 소켓의 경우에도 에어의 유출량을 선택적으로 조정하여 제전 거리 또는 제적 범위를 선택적으로 제어할 필요성이 일부 대두되고 있다.
이러한 필요성은 일정한 압력의 에어 펌프를 사용하는 이오나이저에 있어서 제전 상황에 따라 방전 전극 소켓에서 유출되는 에어의 양을 선택적으로 조절해야 하는 경우도 마찬가지일 것이다.
1. 특허출원번호 : 제10-2008-0019426호, 발명의 명칭: 세라믹스를 이용한 노즐형 이오나이저, 출원인 : 선재하이테크 2. 특허출원번호 : 제10-2011-0037660호, 발명의 명칭 : 방전전극소켓, 출원인 : 선재하이테크 3. 특허출원번호 : 제10-2004-0099805호, 발명의 명칭 : 이온화 장치 및 이에 내장되는 방전 전극 조립체, 출원인 : 가부시키가이샤 키엔스
본 발명은 이러한 필요성에 착안하여 제안된 것으로 방전 전극 소켓 각각에서 유출되는 에어의 유출량을 개별적으로 조절할 수 있는 방전 전극 소켓 구조를 제안하고자 한다.
본 발명에 따른 코로나 방전 이오나이저에 사용하기 위한 에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓은 원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극과, 상기 방전 전극이 삽입되어 안착되는 방전 전극 소켓 코어부와, 상기 방전 전극 소켓 코어부가 삽입되어 결합되는 관통 중공부를 가지며 상기 원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극이 노출되는 개구부를 갖는 소켓 베이스부를 구비하며, 제전 거리 또는 제전 영역에 맞추어 원추형 첨두부를 갖는 상기 방전 전극과 상기 개구부 사이의 공극 크기가 가변되도록 상기 소켓 베이스부와 결합되는 상기 방전 전극 소켓 코어부의 체결 깊이를 조절함으로써 상기 방전 전극 소켓 코어부에서 상기 소켓 베이스부로 이동하여 유출되는 에어의 유출량을 제어할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 방전 전극 소켓 코아부는 제 1 원통형 바디와 상기 제 1 원통형 바디의 외주면에 120도 간격으로 이격되어 위치하는 3개의 날개부(21, 22, 23)를 구비하며, 상기 소켓 베이스부의 상기 관통 중공부 내주면에는 상기 3 개의 날개부가 선택적으로 안착될 수 있는 제 1 내지 제 3 안착부가 형성되어 있으며, 상기 제 1 내지 제 3 안착부 각각은 상기 방전 전극 소켓 코아부와 상기 소켓 베이스간의 체결 깊이를 조절하기 위한 제 1 내지 제 3 받침턱부가 형성되어 있다.
본 발명에 있어서, 상기 소켓 베이스는 제 2 원통형 바디부를 구비하며, 상기 제 2 원통형 바디부의 내부에는 상기 관통 중공부가 형성되어 있으며 상기 관통 중공부의 일측은 상기 개구부 방향을 따라 점차 좁아지는 원추형 형상을 가지며, 상기 원추형 형상의 종단부에 상기 개구부가 형성되어 있다.
본 발명에 따른 방전 전극 소켓을 사용하는 경우 코로나 방전형 이오너이저에 장착되는 방전 전극 소켓마다 에어의 유출량에 차이를 둘 수 있으므로 제전 대상의 거리 내지 범위(또는 영역)에 맞추어 최적화된 제전 효율을 기대할 수 있다는 이점이 있다.
도 1a 내지 도 1c는 종래 방전 전극 소켓의 일예이다.
도 2는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 일 실시예이다.
도 3은 본 발명에 따른 소켓 베이스의 내주면에 형성된 받침턱부의 기능을 설명하는 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 방전 전극 소켓 코아부에 방전 전극이 삽입 체결된 상태의 사시도이다.
도 5는 도 2 및 도 4에서 설명한 본 발명에 따른 방전 전극 소켓의 평면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 방전 전극 소켓의 저면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 방전 전극 소켓의 단면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 소켓 베이스의 내부 구조를 개념적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 방전 전극 전단부가 소켓 베이스의 개구부로 노출된 정도를 설명하는 도면이다.
도 10는 도 9의 상부측에서 바라 보았을 때 방전 전극과 소켓 베이스의 개구부간의 공극의 크기 차이를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에서 제안하는 코로나 방전 이오나이저에 사용되는 방전 전극 소켓에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 일 실시예이고, 도 3은 본 발명에 따른 소켓 베이스의 내주면에 형성된 받침턱부의 기능을 설명하는 도면이고, 도 4는 도 2에 도시된 방전 전극 소켓 코아부에 방전 전극이 삽입 체결된 상태의 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에서 제안하는 방전 전극 소켓(200)은 원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극(210: dicharge needle)과, 방전 전극 소켓 코아부(220)와, 소켓 베이스부(230)로 이루어진다. 참고로, 본 발명에서 사용된 방전 전극의 재질은 도전성 도체이고, 방전 전극 소켓 코아부와 소켓 베이스부의 재질은 비도전성의 난연 ABS 또는 합성 수지 등으로 선택 가능하다.
도시된 바와 같이, 방전 전극 소켓 코아부(220)는 중심축을 따라 중공부가 형성되어 있는 원통형의 바디와 상기 바디의 외주면에 120도 간격으로 이격되어 위치하는 직육면체 형상의 날개부(21, 22, 23)가 중공부의 중심축을 기준으로 방사상으로 형성되어 있다. 따라서, 상호 이격되어 있는 날개부(21, 22, 23) 사이 사이에는 빈 공간이 형성되며 이 공간은 후술하겠지만 에어가 이동하는 통로 역할을 수행한다.
본 발명에 있어서, 상기와 같은 구조를 갖는 방전 전극 소켓 코아부(220)의 중공부에는 도전성의 방전 전극(210)이 삽입되어 안착 체결되어 사용된다.
다음, 소켓 베이스(230)는 방전 전극 소켓 코아부(220)가 삽입 안착될 수 있는 관통 중공부(31)가 형성되어 있는 바디를 갖는 형상을 갖추고 있다.
참고로 본 발명에서 설명하는 소켓 베이스(230)의 외형은 다양하게 설계 변경할 수 있으나 관통 중공부(31)는 방전 전극 소켓 코아부(220)가 삽입 안착, 보다 구체적으로는 압입 체결 가능한 구조를 갖는 것이 바람직하다.
소켓 베이스(230)의 관통 중공부(31) 내주면에는 도면에서 알 수 있듯이 방전 전극 소켓 코아부(220)의 날개부(21, 22, 23)의 형상에 대응하는 안착부(a~i)가 형성되어 있다.
안착부(a~i)의 하단부에는 날개부(21, 22, 23)의 삽입 정도(삽입 깊이)를 조절하기 위한 받침턱부가 형성되어 있다.
받침턱부의 위치는 안착부(a~i)에 따라 차이가 있다.
도 3은 본 발명에 따른 소켓 베이스의 내주면에 형성된 받침턱부의 기능을 설명하는 도면이다.
도 2에 중공이 형성된 원통형의 소켓 베이스 내주면에 형성된 받침턱부를 평면으로 전개시키면 도 3에서와 같이 상이한 높이의 받침턱부가 형성되는 것을 알 수 있다.
도 3에서 알 수 있듯이, 제 1 안착부(a, d, g)에 형성되는 받침턱부의 위치와 제 2 안착부(b, e, h)에 형성되는 받침턱부의 위치와 제 3 안착부(c, f, i)에 형성되는 받침턱부의 위치 관계는 다음과 같다.
제 1 안착부(a, d, g)에 형성되는 받침턱부의 위치 > 제 2 안착부(b, e, h)에 형성되는 받침턱부의 위치 > 제 3 안착부(c, f, i)에 형성되는 받침턱부의 위치
여기서, 받침턱부의 위치란 방전 전극 소켓 코아부(220)가 소켓 베이스(230)의 관통 중공부(31)로 삽입되는 길이의 깊은 정도를 의미한다.
따라서, 제 1 안착부(a, d, g)에 형성되는 받침턱부는 제 2 안착부(b, e, h)에 형성되는 받침턱부보다 상대적으로 깊은 곳에 위치하고, 제 2 안착부(b, e, h)에 형성되는 받침턱부는 제 3 안착부(c, f, i)에 형성되는 받침턱부보다 상대적으로 더 깊은 곳에 위치한다.
따라서, 방전 전극 소켓 코아부(220)가 소켓 베이스(230)의 관통 중공부(31)에 삽입되는 깊이는 날개부(23, 21, 22)가 안착부(a~i)의 어느 위치에 삽입되는지 여부에 따라 차이가 나게된다.
즉, 방전 전극 소켓 코아부(220)의 날개부(23, 21, 22)를 제 1 안착부(a, d, g)에 대응하여 삽입하는 경우, 날개부(23, 21, 22)를 제 2 안착부(b, e, h)에 대응하여 삽입하는 경우, 날개부(23, 21, 22)를 제 3 안착부(c, f, i)에 대응하여 삽입하는 3 가지의 삽입 방식에 따라 방전 전극 소켓 코아부(220)가 소켓 베이스(230)의 관통 중공부(31)에 삽입되는 깊이에 차이가 있으며 그 깊이의 정도는 각각의 안착부(a~i) 하단부에 형성된 받침턱부의 위치에 따라 다르다.
도 5는 도 2 및 도 4에서 설명한 본 발명에 따른 방전 전극 소켓의 평면도로 방전 전극 소켓 코아부(220)의 날개부(23, 21, 22)가 제 1 안착부에 삽입된 상태를 나타내며, 도 6은 본 발명에 따른 방전 전극 소켓의 저면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 방전 전극 소켓의 단면도(도 5의 A-A 라인 단면)이다.
도 2 내지 도 7에서 알 수 있듯이, 소켓 베이스(230)는 관통 중공부를 갖는 원통형 바디부에 방전 전극이 노출되는 개구부 방향으로 점차 좁아지는 원추형 형상으로 이루어져 있으며, 도 8은 도 7에 도시된 소켓 베이스의 이러한 내부 구조를 개념적으로 설명하기 위한 도면이다. 도시된 바와 같이, 원추형 형상의 단부는 소정 직경의 개구부가 형성되어 있으며 상기 개구부를 통하여 방전 전극이 노출되는 구조이다.
도 9의 (a), (b), 및 (c)는 방전 전극(210)이 삽입된 방전 전극 소켓 코아부(220)의 날개부(23, 21, 22)가 제 1 안착부, 제 2 안착부, 및 제 3 안착부에 각각 압입 체결된 경우 방전 전극(210) 전단부가 소켓 베이스(230)의 개구부로 노출된 정도를 설명하는 도면이고, 도 10의 (a), (b), 및 (c)는 도 9의 (a), (b), 및 (c)에 각각 대응하는 도면으로 도 9의 상부측에서 바라 보았을 때 방전 전극(210)과 소켓 베이스(230)의 개구부간의 공극의 정도를 보여주는 도면이다.
도 2 내지 도 10에서 알 수 있듯이, 코로나 방전형 이오나이저에 본 발명에 따른 방전 전극 소켓을 장착하여 사용함에 있어서, 방전 전극 소켓 코아부(220)의 날개부(23, 21, 22)가 제 1 안착부, 제 2 안착부, 또는 제 3 안착부에 체결되는 경우 이오나이저에서 유입되는 에어가 방전 전극 소켓 코아부의 날개부 사이 사이의 공간을 경유하여 소켓 베이스(230)의 개구부로 유출되는 되고 에어의 유출량은 개구부와 방전 전극간의 공극이 큰 순서 즉 제 3 안착부> 제 2 안착부> 제 1 안착부 순이라는 것을 알 수 있다.
따라서, 본 발명에서 제안하는 방전 전극 소켓을 코로나 방전형 이오나이저에 사용하는 경우 제전 거리 또는 제전 면적을 고려하여 상황에 맞추어 에어의 유출량을 선택적으로 제어할 수 있다는 이점이 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 방전 전극 소켓별로 에어의 유출량을 조정할 수 있도록 한 본원 발명의 이러한 기술적 사상은 방전 전극 소켓 코아 또는 소켓 베이스의 형상과 무관하게 방전 전극이 노출되는 정도를 조정하여 소켓 베이스의 개구부에서 토출되는 에어의 유출량을 제어하고자 하는 것에 있으므로 이러한 기술적 특징은 포함하는 경우 본 발명에서 보호받고자 하는 범주에 포함되는 것으로 해석하여야 할 것이다.
예를 들어, 기설명한 바와 같이, 본 발명에 있어서 방전 전극 소켓 코아부는 원통형 바디와, 원통형 바디의 외주면에 120도 간격으로 이격되어 위치하는 3개의 날개부를 구비한다고 설명되었지만 이는 일예에 불과한 것으로 필요에 따라서는 N개(N는 2, 4, 5, 6...)의 날개부로 설계하는 변형도 가능하다,
이 경우 N 개의 날개부에 대응하는 안착부와 받침턱부 또한 그에 비례하여 증가될 수 있다.
따라서 날개부 및 그에 대응하는 안착부 및 받침턱부의 갯수를 변형시킴으로써 방전 전극 소켓 코어부에서 소켓 베이스부로 이동하여 유출되는 에어 유출량의 단계를 다양하게 조절할 수 있을 것이다.

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 코로나 방전 이오나이저에 사용하기 위한 방전 전극 소켓으로서,
    원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극과,
    상기 방전 전극이 삽입되어 안착되는 방전 전극 소켓 코어부와,
    상기 방전 전극 소켓 코어부가 삽입되어 결합되는 관통 중공부를 가지며 상기 원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극이 노출되는 개구부를 갖는 소켓 베이스부를 구비하며,
    제전 거리 또는 제전 영역에 맞추어 원추형 첨두부를 갖는 상기 방전 전극과 상기 개구부 사이의 공극 크기가 가변되도록 상기 소켓 베이스부와 결합되는 상기 방전 전극 소켓 코어부의 체결 깊이를 조절함으로써 상기 방전 전극 소켓 코어부에서 상기 소켓 베이스부로 이동하여 유출되는 에어의 유출량을 제어할 수 있으며,
    상기 방전 전극 소켓 코아부는 제 1 원통형 바디와 상기 제 1 원통형 바디의 외주면에 소정 간격으로 상호 이격되어 위치하는 N(N는 2 이상의 자연수)개의 날개부를 구비하며,
    상기 소켓 베이스부의 상기 관통 중공부 내주면에는 상기 N개의 날개부가 선택적으로 안착될 수 있는 제 1 내지 제 N 안착부가 형성되어 있으며,
    상기 제 1 내지 제 N 안착부 각각은 상기 방전 전극 소켓 코아부와 상기 소켓 베이스간의 체결 깊이를 조절하기 위한 제 1 내지 제 N 받침턱부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓.
  3. 코로나 방전 이오나이저에 사용하기 위한 방전 전극 소켓으로서,
    원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극과,
    상기 방전 전극이 삽입되어 안착되는 방전 전극 소켓 코어부와,
    상기 방전 전극 소켓 코어부가 삽입되어 결합되는 관통 중공부를 가지며 상기 원추형의 첨두부를 갖는 방전 전극이 노출되는 개구부를 갖는 소켓 베이스부를 구비하며,
    제전 거리 또는 제전 영역에 맞추어 원추형 첨두부를 갖는 상기 방전 전극과 상기 개구부 사이의 공극 크기가 가변되도록 상기 소켓 베이스부와 결합되는 상기 방전 전극 소켓 코어부의 체결 깊이를 조절함으로써 상기 방전 전극 소켓 코어부에서 상기 소켓 베이스부로 이동하여 유출되는 에어의 유출량을 제어할 수 있으며,
    상기 방전 전극 소켓 코아부는 제 1 원통형 바디와 상기 제 1 원통형 바디의 외주면에 120도 간격으로 이격되어 위치하는 3개의 날개부를 구비하며,
    상기 소켓 베이스부의 상기 관통 중공부 내주면에는 상기 3 개의 날개부가 선택적으로 안착될 수 있는 제 1 내지 제 3 안착부가 형성되어 있으며,
    상기 제 1 내지 제 3 안착부 각각은 상기 방전 전극 소켓 코아부와 상기 소켓 베이스간의 체결 깊이를 조절하기 위한 제 1 내지 제 3 받침턱부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 소켓 베이스는 제 2 원통형 바디부를 구비하며,
    상기 제 2 원통형 바디부의 내부에는 상기 관통 중공부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 관통 중공부의 일측은 상기 개구부 방향을 따라 점차 좁아지는 원추형 형상을 가지며, 상기 원추형 형상의 종단부에 상기 개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓.
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