TWI281708B - Vacuum chamber for vacuum processing appartaus - Google Patents

Description

(2) 1281708 而獲得大型真空室，卻不需要擴大機器工具，此乃藉由將 一框狀內室主體分割成多數零件，然後將這些多數零件予 以焊接與連接（請參閱日本先行公開專利第H 8 - 64 5 42號 案一專利文件一）。 順便一提，上述專利文件一所揭示的製造方法在製造 之後並無法再次移除每個零件，這是因爲真空室的側壁均 藉由焊接零件而成。因此，在製造之後，無法改變真空室 的側壁之尺寸與形狀。 此外，由於安裝到真空室的側壁之上下表面的頂板與 底板在上述專利文件一中是一體的，無法分割，所以其尺 寸仍舊大而沉重。 因此，需要一大型吊車設備來吊起頂板與底板，因此 製造成本也會變得很高。而且，由於頂板與底板的尺寸仍 舊很大，所以當欲以成品或組裝前的產品之狀態將真空室 運送至一安裝地點時，則需要特殊的大型拖車。 因此，本發明的目的是要提供一種真空處理用的真空 室，在製造之後，其尺寸與形狀仍然可以輕易改變。 此外，本發明的目的是要提供一種真空處理設備所用 的真空室，不需要大型吊車設備，即使在組裝後的尺寸很 大，但是在運送時仍不需要大型特殊拖車。 【發明內容】 爲了達成上述目的，本發明的特徵在於：在真空處理 設備所用之真空室內，真空室可以自由地分割成一框狀多 -6- (3) 1281708 角形內室主體；一多角形側框架，其具有一開口且可拆卸 地緊密連結至具開口的內室主體之至少一側上；每一頂板 ’係連結到內室主體的每一頂面及具有一開口的側框架上 ;及每一底板，係連接到內室主體的每一底面及具有一開 口的側框架上。 此外’本發明的特徵在於內室主體中安裝有一基底運 送機器人’可將一基底從設置於機器人外部的多數真空處 理室中拿進拿出。 【實施方式】 以下將根據顯示的實施例來說明本發明。 (第一實施例） 圖1是一立體圖，顯示本發明第一實施例的真空室， 而圖2是其分解立體圖。在此實施例中真空處理設備所用 之真空處理室（以下稱爲真空室），例如，可作爲一運送 室’其中具有一基底運送機器人，此機器人係設置在具有 六個處理室的多室單基板型濺射沉澱設備（以下稱爲沉殿 設備）之中心部位內。 如圖1所示，本發明第一實施例的真空室1藉由連結 一剖面爲矩形的中央內室主體2及剖面爲三角形的側框架 3a’ 3b’在內室主體2的兩邊上形成六角形。用以將〜基 底（未顯不）拿進拿出之開口 4是形成於內室主體2與俱|j 框架3 a ’ 3 b的每一側面上（總共六面）。內室主體2與 (4) 1281708 側框架3 a，3 b是由鋁與不銹鋼等金屬材質製成。 安裝有基底運送機器人的頂板5與底板7，其中連接 的開口是分別形成於框架狀矩形內室主體2之頂面與底面 上。此外，也在作爲長邊且連結到側框架3 a，3 b上的內 室主體2之兩側面內形成開口。而且，用以將基底（未顯 示）拿進拿出的開口會形成在作爲短邊的內室主體2之兩 側面上。 此外’頂板8與底板9相連的開口分別形成於框架狀 三角側框架的頂面與下面中。而且，連接到內室主體2的 側面之開口是形成於作爲長邊的側框架3 a與3 b之兩側邊 上。而且，用以將基底（未顯示）拿進拿出的開口會形成 在作爲短邊的內室主體2之兩側面上。， 其次，將說明上述實施例的真空室內1之製造方法。 底板7分別以螺栓（未顯示）透過〇環（未顯示） 而連接到內室主體2的底部，且底板9分別以螺栓（未顯 示）透過〇環（未顯示）而連接到側框架3 a與3 b的底部 。然後，這些側框架3 a，3 b分別以螺栓1 1 a，1 1 b透過〇 環1 0a，1 Ob而連接到內室主體2的兩側面上。 然後，基底運送機器人6是被安裝於連接至內室主體 2的底板7上，之後頂板5是藉由螺栓lie透過〇環i〇c 而連接到內室主體2的上部。然後，圖1所示的六角真空 室1是分別藉由螺栓lid，lie透過0環l〇d，10e而連接 到側框架3 a，3 b的每一上部。 根據上述製成的真空室1是被安裝於具六個處理室的 -8- (5) 1281708 沉澱設備之中心部位內，以便作爲設置有基底運送機器人 6的一運送室。未顯示的六個處理室（載入/載出室、預 熱室、膜形成室、基底冷卻室等）則是安裝於每個開口 4 的周圍，且經由閘閥（未顯示）而安裝於真空室1的側面 中 〇 因此，在本實施例中，真空室是藉螺栓來組裝個別的 三個零件（安裝有基底運送機器人的內室主體2，以及在 其兩側上的側框架3 a，3 b )。因此，即使製造出來的真 空室1已經安裝好了之後，當基底上的沉澱作用產生修改 時，仍可以改變真空室（運送室）的形狀，可根據處理室 的增加或減少，藉由將三角形側框架3 a，3 b與其他形狀 的側框架執行交換，從內室主體2旋開螺栓1 1 a，1 1 b而 得。因此，本案的彈性可對應於使用者的需求。 此外，由於能將內裝有基底運送機器人6的內室主體 2當成共同零件，此共同零件也可以作爲其他真空室的內 室主體，可事先執行大量製造，因此，可減少生產成本。 此外，在此實施例中，真空室是藉由組裝個別的三個 零件（安裝有基底運送機器人的內室主體2，以及在其兩 側上的側框架3 a，3 b )。因此，即使當使用大型基底來 製造大型真空室時，也仍然可以使內室主體2與側框架 3 a，3 b的尺寸保持得很小。因此，由於藉習知機器工具 不需要使用大型定製機器工具，就能輕易產生大型真空室 ，因此能減少生產成本。 而且，即使當使用大型基底來製造大型真空室時，也 -9- (6) 1281708 可以抑制頂板5的尺寸，其中頂板係連接到分 主體2上。因此，可以減輕頂板5的重量，也 一塊金屬來製作頂板5。 此外，在此實施例中，真空室1是以分割 (安裝有基底運送機器人的內室主體2，以及 的側框架3 a，3 b )而製成的。因此，即使當 底來製造大型真空室時，也仍然可以使個別零 體2與側框架3 a，3 b )的尺寸保持得很小。 一正常拖車輕易運送這些分割好的零件到安裝 可輕易在安裝場所予以組裝。 (第二實施例） 在第一實施例中，具有六角形真空室結構 藉由螺栓將三角形側框架3 a，3 b裝配於連接 主體2的兩邊上，且使矩形內室主體2作爲中 。然而，在此實施例中，如圖3所示，具有正 結構之真空室13是藉由螺栓將矩形側框架12: 於連接至矩形內室主體2的兩邊上，且使矩形 作爲中心而製成的。由於此真空室與第一實施 是相同的，除了使用矩形側框架1 2 a，1 2 b而 省略重複的說明。 在此實施例中的正方形真空室1 3在個別 有開口，在這些開口周圍總共可以安裝四個處 示）。 割好的內室 可以輕易從 成三個零件 在其兩側上 使用大型基 件（內室主 因此，可以 場所，所以 之真空室是 至矩形內室 心而製成的 方形真空室 a ， 12b裝配 內室主體2 例的真空室 已，因此遂 側面上均具 理室（未顯 -10- (9) 1281708 邊形內室主體2的側面上，其中內室主體安裝有基底運送 器人。因此，即使基底很大，本發明亦能提出快速對應措 施。 如上所述，本發明的真空室可以自由地分割成一框狀 多角形內室主體；一多角形側框架，其具有一開口且可拆 卸地緊密連結至具開口的內室主體之至少一側上；每一頂 板，係連結到內室主體的每一頂面及具有一開口的側框架 上；及每一底板，係連接到內室主體的每一底面及具有一 開口的側框架上。因此，即使在真空室已經組裝與安裝完 成織後，由於可根據使用者的要求輕易地將側框架替換成 其他多角形側框架，所以能改變真空室的形狀。 此外，根據本發明，可以藉由組裝一內室主體、一側 框架、一頂板及一底板而獲得一真空室。因此，即使當使 用大型基底製造大型真空室時，仍可以保持小巧質輕，這 是因爲內室主體、側框架、頂板與底板是個別分割的。因 此，由於藉習知機器工具不需要使用大型定製機器工具， 就能輕易產生大型真空室，因此能減少生產成本。 而且，即使當使用大型基底來製造大型真空室時，仍 可以保持小巧質輕，這是因爲內室主體、側框架、頂板與 底板是個別分割的。因此，可以一普通拖車輕易運送這些 分割好的零件到安裝場所，所以可輕易在安裝場所組裝起 來。 [圖式簡單說明】 -13- (10) 1281708 圖1是一立體圖，顯示本發明 圖2是一槪略立體圖，顯示本 室； 圖3顯示本發明第二實施例的 圖4顯示本發明第三實施例的 圖5顯示本發明第四實施例的 圖6顯示本發明第五實施例的 圖7顯示本發明第六實施例的 圖8是一槪略平面圖，顯示習 理設備； 圖9是一槪略平面圖，顯示習 理設備。 元件符號對照表 1 ， 13 ， 15 ， 17 ， 20 ， 22 真空 2，2a，2b，2c內室主體

3a， 3b， 12a， 12b， 14a， 14b， H 2 1 a，2 1 b，2 1 c，2 1 d 側框 5，8 頂板 6 基底運送機器人 7，9 底板 第一實施例的真空室； - 發明第一實施例的真空 真空室之製造程序； 真空室之製造程序； 真空室之形狀； 真空室之形狀； 真空室之形狀； Φ 知範例中的多室真空處 知範例中的多室真空處 室 c， 14d， 16， 18， 19， 架 . -14-

Claims (1)

1. (1) 1281708 拾、申請專利範圍 1 . 一種用於真空處理設備之真空室，其中該真空室 可以自由地分割成一框狀多角形內室主體；一多角形側框 架，其具有一開口且可拆卸地緊密連結至具開口的內室主 體之至少一側上；每一頂板，係連結到內室主體的每一頂 面及具有一開口的側框架上；及每一底板，係連接到內室 主體的每一底面及具有一開口的側框架上。 2 .如申請專利範圍第1項之真空室，其中該內室主體 中安裝有一基底運送機器人，可將一基底從設置於機器人 外部的多數真空處理室中拿進拿出。