KR100981099B1 - 평면 표시소자 제조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평면 표시소자 제조장치에 관한 것으로, 그 구성은 다수개의 평판을 결합시켜 형성되되 상하부가 개방된 형태의 하부챔버와; 상기 하부챔버의 하부에 적어도 하나 이상의 플레이트를 가로열과 세로열로 배열하여 다수개의 개구부를 형성시킨 모듈부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 하부챔버의 구조를 간소화시켜 한 종류의 진공챔버로 여러 가지 모듈에 대해 다양하게 대응할 수 있도록 함으로써 작업시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

하부전극, 플레이트, 개구부, 진공챔버

Description

평면 표시소자 제조장치{Flat-panel Display making Apparatus}

도 1은 종래기술에 따른 진공챔버의 하부구조를 나타내는 저면 사시도.

도 2는 본 발명에 따른 진공챔버의 하부구조를 나타내는 저면 사시도.

도 3은 도 2에 도시된 진공챔버의 하부구조를 나타내는 저면도.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 하부챔버 110 : 플레이트

112 : 관통공 114 : 플랜지

120 : 모듈부

본 발명은 평면 표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 하부챔버의 구조를 간소화시켜 한 종류의 진공챔버로 여러 가지 모듈에 대해 다양하게 대응할 수 있도록 함으로써 작업시간을 단축할 수 있는 평면 표시소자 제조장치에 관한 것이다.

일반적으로 진공챔버는 외부로부터 반입된 피처리 기판을 공정 실시를 위해 대기하거나 공정이 끝난 기판에 반출시키기 위해 대기하는 역할을 하는 로드락 챔 버와, 상기 로드락 챔버로부터 기판을 반입시켜 공정을 실시를 위해 공정 챔버로 반출하거나 공정이 끝난 기판을 다시 로드락 챔버로 반출시키기 위한 다수개의 개폐구를 구비하고 있는 반송 챔버와, 상기 반송 챔버로부터 피처리 기판을 공급받아 기판상에 소정 공정을 실시하도록 하는 공정 챔버로 구분할 수 있다.

그리고, 상기 각각의 챔버는 진공압과 대기압을 병행할 수 있으며, 기판의 반입, 반출을 할 수 있게 하는 여러 가지 장치들을 하부에 구비하고 있게 된다.

또한, 상기 각각의 챔버는 기밀을 유지하며, 그 내부에 여러 가지 장치를 구비할 수 있도록 도 1에 도시된 바와 같이, 하부챔버(10)의 저면 상에 다수개의 개구부(11)를 관통 형성시켜 상기 개구부를 통해 여러 가지 장치를 상기 챔버 내부로 반입시킬 수 있도록 하고 있다.

한편, 상기 개구부는 장치의 위치 변경이나 테스트를 위한 장치 변경 등으로 인해 그 관통 위치를 변경하게 되는데, 기존에 가공되었던 개구부(11)를 판체 등을 이용해 밀폐시킨 후 변경된 위치에 다시 가동홀(12)을 개구하게 된다.

그러나 상기 개구부를 다수개 개구한 후 다시 다른 위치 변경 개구하는 것은 작업시간이 오래 걸린다는 문제점이 있으며, 이로 인해 업무 효율이 저하되는 문제점이 발생하고 있다.

또한, 다수개의 판체를 결합시켜 4개의 측벽과 하나의 하부면을 구성하는데, 이때 4개의 측벽에 하나의 하부면을 결합시 작업이 난해해 작업시간이 오래 걸리는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 하부챔버의 구조를 간소화시켜 한 종류의 진공챔버로 여러 가지 모듈에 대해 다양하게 대응할 수 있도록 함으로써 작업시간을 단축할 수 있는 평면 표시소자 제조장치를 제공함에 있다.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.

본 발명의 평면 표시소자 제조장치는, 다수개의 평판을 결합시켜 형성되되 상하부가 개방된 형태의 하부챔버와; 상기 하부챔버의 하부에 적어도 하나 이상의 플레이트를 가로열과 세로열로 배열하여 다수개의 개구부를 형성시킨 모듈부;를 포함하여 이루어진다.

또한, 상기 하부챔버는 상기 모듈부와 개구부의 결합 위치에 따라 상기 개구부의 개폐 위치를 변경 가능하도록 하는 플랜지;를 더 구비하며, 상기 플랜지는 상기 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되도록 하고, 상기 플랜지를 상기 플레이트 상에 결합시 기밀유지를 위한 패킹;을 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 평면 표시소자 제조장치는, 다수개의 평판을 결합시켜 형성되되, 상하부가 개방된 형태를 갖는 하부챔버와; 상기 하부챔버 하부의 개방된 부분에 격자 형태로 가로열과 세로열로 등간격 배열되어, 격자 사이사이에 다수 개의 개구부를 형성하는 복수의 플레이트와; 상기 복수의 플레이트에 결합되어 상기 플레이트 사이에 형성되는 개구부들을 각각 개폐하는 복수의 플랜지와; 상기 각 플랜지를 상기 플레이트에 결합시키는 결합부재를 포함하여 구성되어, 공정을 위해 개방된 상태의 개구부에 개구부를 차단한 플랜지를 위치 변경시켜 차단하게 함으로써 하부챔버의 하부에 설치되는 챔버부속장치들의 설치 위치 변경에 따른 개구부의 개폐 위치를 변경 가능도록 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

도 2 또는 도 3에 도시된 바에 의하면, 진공챔버는 상부챔버(미도시)와 하부챔버(100)를 결합시켜 구성된다.

상기 하부챔버(100)는 4개의 판체를 이용해 측벽을 구성시키고, 상하부는 개방된 형태로 구성된다. 그리고 상기 하부챔버(100) 하부의 개방된 것에 플레이트(110)를 가로열과 세로열로 등간격 배열시켜 결합하게 된다. 상기 플레이트(110)가 격자 형태로 결합되며, 격자 사이사이에 개구부(112)를 다수개 형성하게 되는데, 이때 형성된 개구부 상에 진공챔버의 진공상태와 가스의 배출, 기판을 얼라인시키기 위한 챔버부속장치(이하 '모듈부(120'라 함)를 다수개 배치하게 되고 상기 모듈부가 구비된 나머지를 플랜지(114)를 이용해 밀폐시킨다. 또한 작업 조건에 따라 상기 모듈부의 위치를 변경하거나 진공챔버를 설치한 후 모듈부의 교체로 인한 모듈부의 위치를 변경할 경우에는 새로이 교체되는 모듈부의 위치에 맞게 개구부에 결합된 플랜지(114)를 제거한 후 제거된 개구부에 교체되는 모듈부를 결합시키고, 상기 모듈부가 제거된 개구부에는 다시 플랜지를 이용해 밀폐시키는 것이다. 이렇게 함으로써 진공챔버의 사용 조건에 따라 다양한 장치를 구성시킬 수 있을 뿐만 아니라 사용중인 진공챔버의 장치를 교체시에도 장치 교체시간을 단축할 수 있게 되어 작업 효율을 증대시킬 수 있게 되는 것이다. 즉, 미리 형성된 다수개의 개구부를 필요에 따라 플랜지의 위치 변경만으로 모듈부의 위치를 자유롭게 변경할 수 있게 함으로써 작업시간을 단축할 수 있게 된다.

여기서 상기 플랜지의 결합은 상기 플레이트에 탈착 가능하게 결합되는 것이 바람직하며, 이때 플랜지는 상기 플레이트에 볼트나 클램프 등의 결합부재를 이용하여 결합시킬 수 있다.

또한 도면상에 기재하고 있지는 않지만 상기 플랜지와 플레이트의 결합시 진공챔버의 기밀유지를 하기 위해 패킹을 구비하는 것이 바람직하다.

이상의 본 발명은 상기에 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 고안의 취지와 범위에 포함된다.

본 발명은 앞서 본 구성에 의해 다음과 같은 효과를 가진다.

본 발명은 하부챔버의 구조를 간소화시켜 한 종류의 진공챔버로 여러 가지 모듈에 대해 다양하게 대응할 수 있도록 함으로써 작업시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 평면 표시소자 제조장치에 있어서,

   다수개의 평판을 결합시켜 형성되되, 상하부가 개방된 형태를 갖는 하부챔버와;

   상기 하부챔버 하부의 개방된 부분에 격자 형태로 가로열과 세로열로 등간격 배열되어, 격자 사이사이에 다수 개의 개구부를 형성하는 복수의 플레이트와;

   상기 복수의 플레이트에 결합되어 상기 플레이트 사이에 형성되는 개구부들을 각각 개폐하는 복수의 플랜지와;

   상기 각 플랜지를 상기 플레이트에 결합시키는 결합부재를 포함하여 구성되어,

   공정을 위해 개방된 상태의 개구부에 개구부를 차단한 플랜지를 위치 변경시켜 차단하게 함으로써 하부챔버의 하부에 설치되는 챔버부속장치들의 설치 위치 변경에 따른 개구부의 개폐 위치를 변경 가능도록 구성된 것을 특징으로 하는 평면 표시소자 제조장치.
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