CN219998179U - 设备前端模块 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种设备前端模块，包括：输送室，具有腔室；和压力调节机构，与所述输送室连接，所述压力调节机构包括层叠设置的第一板件与第二板件，所述第一板件和所述第二板件上均设置有一个或多个排气孔，所述第一板件配置成可以在开启位置与闭合位置之间移动；其中，当所述第一板件在开启位置，所述第一板件上的排气孔与所述第二板件上的排气孔对齐；当所述第一板件在闭合位置，所述第一板件上的排气孔与所述第二板件上的排气孔错开。通过将设置有排气孔的第一板件、第二板件层叠设置，并将第一板件配置成可以在开启位置与闭合位置之间移动的，使得用户无须更换零部件，便可对设备前端模块的内外力压差进行调整，方便快捷。

Description

设备前端模块

技术领域

本实用新型大致涉及半导体制备技术领域，尤其是一种设备前端模块。

背景技术

设备前端模块(EFEM，Equipment Front End Module)主要用于实现半导体设备晶圆的自动供给和卸载，降低生产成本，提高生产效率，同时保证工艺精度和净化要求。根据工艺需求，在设备前端模块上需要设置风扇过滤单元，风扇过滤单元可以将外部空气过滤并导入设备前端模块内部，使设备前端模块内部压力增大，设备前端模块内部产生的微粒(Particle)则因压差条件从设备前端模块底部的排气口向外排出，进而保持设备内工艺环境洁净度。设备前端模块的排气孔一般设置在可更换的板件上，当工艺需求需要改变设备前端模块的内外力压差时，一般通过调整风扇转速来满足相应需求，当转速到达极限高速时，则需更换不同开孔大小的板件，较为不便。

背景技术部分的内容仅仅是发明人所知晓的技术，并不当然代表本领域的现有技术。

实用新型内容

针对现有技术中的一个或多个缺陷，本实用新型提供一种设备前端模块，包括：

输送室，具有腔室；和

压力调节机构，与所述输送室连接，所述压力调节机构包括层叠设置的第一板件与第二板件，所述第一板件和所述第二板件上均设置有一个或多个排气孔，所述第一板件配置成可以在开启位置与闭合位置之间移动；

其中，当所述第一板件在开启位置，所述第一板件上的排气孔与所述第二板件上的排气孔对齐；当所述第一板件在闭合位置，所述第一板件上的排气孔与所述第二板件上的排气孔错开。

根据本实用新型的一个方面，所述压力调节机构还包括紧固螺丝，所述第一板件上设置有条形孔，所述紧固螺丝穿过条形孔与所述输送室连接。

根据本实用新型的一个方面，所述输送室设置有多根横梁，多根横梁大致平行，所述横梁上设置有螺纹孔；

所述第一板件设置在两根横梁之间，所述第一板件靠近横梁的侧边设置有翻边，所述条形孔设置在所述翻边上，所述紧固螺丝旋拧在所述螺纹孔中。

根据本实用新型的一个方面，所述第一板件设置在所述第二板件之上，所述翻边由所述第一板件的侧边向上翻折。

根据本实用新型的一个方面，所述压力调节机构设置有一个或多个。

根据本实用新型的一个方面，所述设备前端模块还包括风扇过滤单元，所述风扇过滤单元配置成可以向输送室内输送气体。

根据本实用新型的一个方面，所述压力调节机构设置在所述输送室的底部，所述风扇过滤单元设置在所述输送室的顶部。

根据本实用新型的一个方面，所述设备前端模块还包括压差计，所述压差计配置成检测并显示所述输送室的内外压力差。

根据本实用新型的一个方面，所述输送室设置有箱门，所述箱门配置成可以开启与闭合。

与现有技术相比，本实用新型的实施例提供了一种设备前端模块，通过将设置有排气孔的第一板件、第二板件层叠设置，并将第一板件配置成可以在开启位置与闭合位置之间移动的，使得用户无须更换零部件，便可对设备前端模块的内外力压差进行调整，方便快捷。具体的，用户可以通过在开启位置与闭合位置之间移动第一板件，以改变第一板件上的排气孔与第二板件上的排气孔的重叠面积，进而可以对输送室的内外力压差进行调整。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的设备前端模块的示意图；

图2示出了根据本实用新型的一个实施例的设备前端模块的部分结构示意图；

图3和图4分别示出了根据本实用新型的一个实施例的第一板件与第二板件的示意图；

图5a-图5c分别示出了第一板件处于开启位置、开启位置与闭合位置之间、闭合位置的示意图；

图6示出了根据本实用新型的一个实施例的设备前端模块的内部气流流向示意图。

图中：100、设备前端模块；110、输送室；111、腔室；112、骨架；1121、横梁；113、箱门；120、压力调节机构；121、第一板件；122、第二板件；123、排气孔；124、紧固螺丝；125、条形孔；126、翻边；130、风扇过滤单元；140、压差计。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、"相连"、"连接"应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接:可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之"上"或之"下"可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征"之上"、"上方"和"上面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征"之下"、"下方"和"下面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的设备前端模块100的示意图，图2示出了根据本实用新型的一个实施例的设备前端模块100的部分结构示意图，图3和图4分别示出了根据本实用新型的一个实施例的第一板件121与第二板件122的示意图，下面结合图1至图4进行详细描述。

如图1和图2所示，设备前端模块100包括输送室110和压力调节机构120，其中，输送室110具有腔室111，腔室111可用于为晶圆传送提供洁净空间。具体地，输送室110可以包括骨架112和外包围结构，骨架112用于为其它零部件提供安装位置和支持，外包围结构安装在所述骨架112外围，所述骨架112和所述外包围结构共同限定所述腔室111。参照图2至图4所示，压力调节机构120可以设置在输送室110的底部，用于调节输送室110的内外力压差。具体地，压力调节机构120包括第一板件121与第二板件122，第一板件121与第二板件122上均设置有一个或多个排气孔123(本实施例以第一板件121和第二板件122均设置有多个排气孔123为例)，第一板件121与第二板件122层叠设置，第一板件121上的排气孔123与第二板件122上的排气孔123一一对应，其中，第一板件121配置成可以在开启位置与闭合位置之间移动。第二板件122可以与输送室110固定连接，也可以与输送室110活动连接，本实用新型并不以此为限。

图5a-图5c分别示出了第一板件121处于开启位置、开启位置与闭合位置之间、闭合位置的示意图，如图5a所示，当第一板件121在开启位置时，第一板件121上的排气孔123与第二板件122上的排气孔123对齐，排气孔123处于全开状态。如图5b所示，当第一板件121在开启位置与闭合位置之间时，第一板件121上的排气孔123与第二板件122上的排气孔123部分重叠，排气孔123处于部分开启状态。如图5c所示，当第一板件121在闭合位置时，第一板件121上的排气孔123与第二板件122上的排气孔123错开，排气孔123处于封闭状态(第一板件121上的排气孔123被第二板件122封闭，第二板件122上的排气孔123被第一板件121封闭)，腔室111中的空气无法通过排气孔123排出。通过将第一板件121在开启位置与闭合位置之间移动，可以改变第一板件121上的排气孔123与第二板件122上的排气孔123的重叠面积，进而可以改变腔室111中的空气的外排效率，实现对输送室110的内外力压差的调整。

根据本实用新型的一个实施例，如图5a所示，压力调节机构120还可以包括紧固螺丝124，在第一板件121上设置有条形孔125，紧固螺丝124经由条形孔125穿过第一板件121并与输送室110连接，其中紧固螺丝124和条形孔125可以相应的设置一个或多个。在需要调整输送室110的内外力压差时，用户可以拧松紧固螺丝124，然后便可对第一板件121的位置进行调整，以将输送室110的内外力压差调整至适宜程度，调整完成后将紧固螺丝124重新锁紧即可。

根据本实用新型的一个实施例，如图2和图5a所示，输送室110的底部可以设置多根横梁1121，多根横梁1121大致平行，相邻的横梁1121之间具有一定间隔，在横梁1121的侧面设置有螺纹孔(图中未示出)。第一板件121设置在两根横梁1121之间，第一板件121靠近横梁1121的侧边设置有翻边126，所述条形孔125设置在翻边126上，所述紧固螺丝124穿过条形孔125后旋拧在相应的螺纹孔中。优选地，第一板件121设置在第二板件122之上，所述翻边126由第一板件121的侧边向上翻折。

根据本实用新型的一个实施例，如图2所示，压力调节机构120可以设置有一个或多个。在一些实施例中，多个压力调节机构120可以分别独立设置。在另一些实施例中，多个压力调节机构120可以并列设置，并且多个压力调节机构120中的第一板件121相连接(例如一体成型)，或者多个压力调节机构120中的第二板件122相连接(例如一体成型)。

图6示出了根据本实用新型的一个实施例的设备前端模块100的内部气流流向示意图，如图6所示，设备前端模块100还可以包括风扇过滤单元130，风扇过滤单元130配置成可以向输送室110内输送气体。优选地，风扇过滤单元130设置在输送室110的顶部，以使进入输送室110的气体可以顺畅流动，并携带更多的微粒离开输送室110。风扇过滤单元130可以包括风扇和过滤网，其中风扇用于向输送室110内排风，过滤网用于对进入输送室110内的气体进行过滤，以防气体中的杂质进入输送室110。

根据本实用新型的一个实施例，如图6所示，设备前端模块100还包括压差计140，压差计140配置成检测并显示输送室110的内外压力差。压差计140的设置会使设备前端模块100的内外力压差的调节更加便捷，具体地，用户在调节设备前端模块100的内外力压差时，可以根据压差计140的反馈值来调整第一板件121的位置，以使第一板件121上的排气孔123与第二板件122上的排气孔123的重叠面积增大或减小，进而可以快速的将设备前端模块100的内外力压差调至适宜值。

根据本实用新型的一个实施例，如图1所示，输送室110可以设置有箱门113，箱门113为上述外包围结构的一部分，所述箱门113与所述骨架112可以通过铰链连接，以使箱门113可以通过绕铰链转动而开启或关闭。优选地，可以在箱门113上设置门锁，通过门锁可以将箱门113锁定在闭合状态，以免箱门113被误开启。

与现有技术相比，本实用新型的实施例提供了一种设备前端模块100，通过将设置有排气孔123的第一板件121、第二板件122层叠设置，并将第一板件121配置成可以在开启位置与闭合位置之间移动的，使得用户无须更换零部件，便可对设备前端模块100的内外力压差进行调整，方便快捷。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种设备前端模块，其特征在于，包括：

输送室，具有腔室；和

压力调节机构，与所述输送室连接，所述压力调节机构包括层叠设置的第一板件与第二板件，所述第一板件和所述第二板件上均设置有一个或多个排气孔，所述第一板件配置成可以在开启位置与闭合位置之间移动；

其中，当所述第一板件在开启位置，所述第一板件上的排气孔与所述第二板件上的排气孔对齐；当所述第一板件在闭合位置，所述第一板件上的排气孔与所述第二板件上的排气孔错开。

2.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，所述压力调节机构还包括紧固螺丝，所述第一板件上设置有条形孔，所述紧固螺丝穿过条形孔与所述输送室连接。

3.根据权利要求2所述的设备前端模块，其特征在于，所述输送室设置有多根横梁，多根横梁大致平行，所述横梁上设置有螺纹孔；

所述第一板件设置在两根横梁之间，所述第一板件靠近横梁的侧边设置有翻边，所述条形孔设置在所述翻边上，所述紧固螺丝旋拧在所述螺纹孔中。

4.根据权利要求3所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一板件设置在所述第二板件之上，所述翻边由所述第一板件的侧边向上翻折。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的设备前端模块，其特征在于，所述压力调节机构设置有一个或多个。

6.根据权利要求1-4中任意一项所述的设备前端模块，其特征在于，所述设备前端模块还包括风扇过滤单元，所述风扇过滤单元配置成可以向输送室内输送气体。

7.根据权利要求6所述的设备前端模块，其特征在于，所述压力调节机构设置在所述输送室的底部，所述风扇过滤单元设置在所述输送室的顶部。

8.根据权利要求6所述的设备前端模块，其特征在于，所述设备前端模块还包括压差计，所述压差计配置成检测并显示所述输送室的内外压力差。

9.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，所述输送室设置有箱门，所述箱门配置成可以开启与闭合。