TWI242646B - Electric connecting device - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 221
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 73
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 35
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 35
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 16
- 206010011469 Crying Diseases 0.000 claims 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000008267 milk Substances 0.000 description 1
- 210000004080 milk Anatomy 0.000 description 1
- 235000013336 milk Nutrition 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052704 radon Inorganic materials 0.000 description 1
- SYUHGPGVQRZVTB-UHFFFAOYSA-N radon atom Chemical compound [Rn] SYUHGPGVQRZVTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
- H01R13/02—Contact members
- H01R13/193—Means for increasing contact pressure at the end of engagement of coupling part, e.g. zero insertion force or no friction
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Description
^646 九、發明說明: 【^月所屬之技術領域】 本發明,伤μ μ 檢查裝置之命’、纟用以將作為被檢查體之積體電路和其 電氣連接裝=路予以電氣連接之探針卡(pr°be card)型之 與各的說明,將各基板的厚度方向當作上下方向, 方,〜 接觸件的針頭側(半導體晶圓側)當作下 向。惟订^各基板之直角座標的2方向當作X方向及Y方 向可為傾斜=連接I置之實際使㈣,各基板的厚度方 '…5 R方向,並將上下方向反過來使用亦可。 【先前技術】 就此種電氣連接裝置而言,例如具備:陶竟製之陶竟 二::及配置於嶋板一面側之樹脂層,並將複數個接 *形成於樹脂層者(專利文獻i及2 )。 專利文獻1曰本專利特開平6_14〇484號公報 專利文獻2日本專利特開平1 1-1 60356號公報 在專利文獻1所記載之發明,樹脂層係利用微影技術 將配線或接觸件等形成於陶竞基板之多層配線層,因此樹 脂層係接合於陶瓷基板。 在專利文獻2所記載之發明,陶瓷基板係具有多數配 線之多層配線基板’·在積層樹脂薄膜與銅薄膜而成之薄膜 鑽設複數孔,並利用電鍍將金屬材料填入於該等孔而當作 接觸件,將銅薄膜之無用部位以蝕刻去除,藉此製作樹脂 層。樹脂層係藉由異向導電性橡膠接合於陶瓷基板。 1242646 另一方面,作為 功能、大小、配置間 然而,上述任一 板依積體電路的種類 的成本昂貴。 被檢查體之積體電路,其電極位置、 距等係依積體電路的種類而有不同。 習知技術皆必須將不易製造之陶瓷基 別來製造、準備,導致陶瓷基板本身 【發明内容】 可使陶竟基板標準化,以獲得低 本發明之目的在於, 成本之陶瓷基板。 本發明之電氣連接裝置,係具有·· 瓷基板,在一面設有複數個第1導電性部,在另一 、酋2人口亥複數個帛1導電性部形成冑氣連接的複數個第 V电|±邛,亚設有與該複數個第2導電性部形成電氣連 接且從該另一面突出之複數支銷; 樹脂基板,係配置於該陶瓷基板之一面的絕緣性樹脂 基板,其在該陶瓷基板側之面設有與該第}導電性部接觸 之複數個f 3導電性部,且在該陶究基板側相反侧之面設 有與遺複數個帛3導電性部形成電氣連接的複數個第4導 電性部; 複數個接觸件,以與被檢查體的電極接觸的方式安裝 於該第4導電性部; 插座裝置,係配置於該陶瓷基板另一面的板狀插座裝 置,其設有··供收容各銷且開口於該陶瓷基板側之面之複 數個凹部;及複數對把持構件,分別配置於該凹部,且以 能解除的方式來把持對應之凹部所收容之該銷;及 1242646 配線基板,係配置於該插座裝置另一面,設有與一方 之4把持構件形成電氣連接的複數個第5導電性部。 在上述電氣連接裝置,可將藉插座裝置所把持之陶瓷 基板之銷予以解除,並將陶瓷基板與樹脂基板一起從插座 基板及配線基板分離,並且,將陶瓷基板之銷插入插座裝 置之凹部,亚將該等銷把持於插座裝置,藉此,能使陶瓷 基板與樹脂基板一起結合於插座基板及配線基板。 因此,可事先將陶瓷基板之第丨及第2導電性部之排 歹J圖木及連接圖案共通化,按照積體電路的種類來製作樹 脂基板,藉此將陶瓷基板標準化。 :經標準化之陶究基板,來大量生產陶究基板,藉此 可&付低成纟之陶兗基才反,並將按照積體電4的種類製成 之樹脂基板形成於在庫之陶究基板,藉此可縮短電氣連接 裝置之生產工時。 各該銷可具備:安裝於該第2導電性部之凸緣部、以 及以收容於該凹部的方式從該凸緣部延伸之銷狀主體部。 由於可將鎖之凸緣部藉由焊料般之導電性接合材接 口方;弟2導電性部’故銷對第2導電性部連接作業容 又,相較於未具備凸緣部的情形, 八 '^ ^ 由於可擴大銷對第2導 電性部的接合面積,故可將銷堅固地連接於第2導電性部: 該第1及第2導電性部,亦可係藉由形成於該陶莞基 板的配線或導電性的貫穿孔(其兩端當作該第!及第2導: 性部)形成電氣連接。 、电 該樹脂基板可進-步具備多層配置之複數配線,俾將 1242646 该弟3及帛4導電性部形成電氣連接。藉此 於㈣基板之配線數量,或不必將配線形成於m2 故可谷易製造陶瓷基板’且使陶瓷基板之成本降低。 立亡該接觸件能以懸樑狀的方式安裝於該第4導電性 ::二:’當產生過度驅料’由於接觸件會撓曲,而將 二度位置偏差吸收’可使所有的接觸件確實接觸於 積體電路的電極。 各該接觸件係可設成板狀接觸件,其包含:安裝部, 以從該第4導電性部起朝該陶究基板的厚度方向延伸的狀 恶安裳於該第4導電性部;臂部,從該安裝部之一端部起 朝與該厚度方向交又的方向 一 71甲,及針頭部,從該臂部之 =端側起朝與該安裝部相反側的方向延伸。藉此,可利用 電鍍般之電鑄法容易且低成本地製造接觸件。 該臂部可具備:於該厚度方向隔著間隔之第i及第2 臂二以及分別與各該第1及帛2臂之前端部及基端部連結 之第1及第2連結部;又,該基端部係、被該安裝部支持, 且该別端部係支持該針頭部。 該插座裝置具備··位於該配線基板側之插座基板;可 動^板,位於該陶竞基板側,且可相對於該插座基板朝與 。亥厚度方向父叉之一方向移動;彈性體,用以對該可動基 板朝其移動方向之一方側施加彈壓力;凸#,抵抗該彈性 體之弹壓力而將可動基板以可解除的方式推壓於另一方 側,及#作構件,用以使該凸輪以既定角度旋轉,·該插座 基板及可動基板係共同形成於該凹部,各對一方之把持構 1242646 件安裝於该插座基板,各對另一方之把持構件安裝於哕可 動基板。藉此,相較於將陶瓷基板之銷嵌合於插座裝置的 凹部之情形,由於陶瓷基板對插座裝置的裝拆所需之力可 顯著減少’故可使陶瓷基板對插座裝置的裝拆容易。 該插座裝置可進一步具備,連接於各該—方之把持構 件且從該插座基板朝該配線基板突出之複數支第2銷進 而,該配線基板可進一步具備,分別供該第2銷嵌合之複 數孔,其分別具有當作該第5導電性部而作用之導電性内 面0 該插座裝置進一步含有框架,其位於該配線基板與樹 脂基板間,且配置於該插座基板及可動基板周圍,以阻止 該插座基板的移動及以可移動的方式支持該可動基板。藉 此’可使插座基板及可動基板對配線基板的裝配容易。曰 該框架及可動基板之-#,在對應於矩形之一對對向 邊處具有—對槽部,以可移動的方式將該可動基板之緣部 支持於該框架,該框架及可動基板之另一方,在對應於矩 形之:對對向邊處具有凸部’以可移動的方式收容於該槽 部。藉此,可不必使用滾珠或輥般之構件,而能以可移動 的方式支持可動基板。 該陶究基板與插座裝置,藉由貫穿該陶究基板且螺合 於該插座裝置之複數個螺絲構件結合。藉此,可使陶瓷基 板對插座裝置及配線基板穩定化。 “ 2氣連接裝置,可進一步含有配置於該配線基板之與 插座衣置側相反相J之補強構件,該補㈣件藉纟貫穿該補 1242646 壯及配線基板且螺合於該插座裝置之複數個螺絲構件 而組,於該配線基板及插座裝置。藉此,可維持配線基板、 插座衣置、陶瓷基板及樹脂基板之高平行度。 電氣連接裝置’可進一步含有:配置於該配線基板之 ^插f裝置側相反側之複數個電子零件,各f子零件分別 與該第5導電性部形成電氣連接;以及位於該電子零 圍之補強構件。 。亥補強構件具備··位於該電子零件周圍之框部、及從 =部朝假想之圓半徑方向延伸之複數個臂部;該框部, 複數個螺絲構件組裝於該配線基板及插座裝置,且 ,臂部,係藉由其他複數個螺絲構件安裝於該配線基板。 猎此不僅可補強配線基板,必可有效利用配線基板之上 a乳連接裝置’可進一步含有配置於該配線基板之複 :μ < “ ’且各連接器分別具備與該第5導電性部形成 電氣連接之複數個連接部。 ❿ 【實施方式】 。、圖1圖12,電氣連接裝置1 〇係以形成於半導體 晶圓之未切割之積體電路或切割成晶片狀之積體電路當作 被檢查體,該積體電路 电岭具備包源用、接地用及信號用之複 數個電極。 電氣連接裝置1 〇 12 ;探針(probe)基板 平板狀的插座裝置1 6 包含:安裝於檢查裝置之配線基板 14 ’具備後述之複數個接觸件32 ; 以可裝拆的方式將探針基板14安 10 1242646 裝於配線基板丨2下側;配置於配線基板12上側之補強 件18。 配線基板12係設置成圓形的多層配線基板,其具有複 數個導電性部20,並且具有多層與該等導電性部形= 電氣連接之複數配線22。積體電路的電極與導電性部Μ、 以及導電性部20與配線22分別至少以成對的形態、較佳 以對的开H應。該配線基板丨2能使用 氧來製成。 · @ % 各導電性部20係設計成,藉由從配 至少延伸至配線基板12的厚度二 ”、、之導% f生筒狀構件所形成之所謂導電性貫穿孔。 :配線基板12的上面中央,繼電器及電阻器等複數兩 令:24係配置於俯視大致呈矩形的區域。各電子零: ,係對應於電源用或信號用電極,藉由 接合材料連接於連接用島部(未圖示)導電性 氣連接。 線22形成電 複數= 線心與導電…形成電I::透過嘴 铋針基板14,係於大致矩形 矩形的樹脂基板3〇,沛脸、·』文基板28下面形成 複數個接觸件32盘*別對應於各積體電路的電極之 板30下面。電子般之電子零件34安裝於樹脂基 々件3 4下端之高度位晉在 端(針頭)為上方。 係較接觸件32下 1242646 導電=Γ8’於其兩面具傷複數個導電性部36及38, 至少以成對的1分㈣由導電性配線4〇及筒狀構件42, 導電性部36::、較佳以一對一的形態形成電氣連接。 =及38分別設於筒狀構件42的一端及另_端。 肉狀構件4 2,雖呈,库古a普 際上传分為卜π 9 °又方向貝牙陶瓷基板28,惟實 -二2 構件,一筒狀構件42的上側構件-另 件42的下側構件藉由配線4。形成電氣連接。、 但,配線40可不設於陶兗基板”, 筒狀構件仏在此情形,配線^當作補強^ 之 在陶瓷基板28上面,複數去雜 伸的狀態。……. 置成往上方延 之銷妝 ,,、有·凸緣部46、及從凸緣部46延伸 胳 主體部48,並且,藉由焊料般之導電性接合材料 將上側的導雷Μ立β 、由 才14 ’ϋ"6連接於凸緣部46以形成電氣連接。 且、^的結果’可使銷44對導電性部36之連接作業容 —u X ’相較於未具備凸緣部的情形 :、 對導電性部36之連接面積 44 於導電性部36。 、义大故可使銷44堅固地連接 /樹脂基板30’係使用聚醯亞胺般之絕緣性樹脂而直接 :成於陶嶋28之一面。樹脂基板3〇,在其兩面具備 荽作連接用墊而作用之^复童+〆 讣用之祓數個導電性部5〇及52,導電性 部5〇及52分別藉由導電性配線54,以至少成對的形態、 較佳以一對一的形態形成電氣連接。 電源用或接地用配線56 ,係露出於樹脂基板30下面, 並且連接於電容器般之電子零件34。連接於配線56之導 12 1242646 電性部 5 2 > 一 部52相^11來#作電源用或接地用墊部。其他導電性 係用來當作信號用墊部。 各接觸件、 安 係§又成板狀的接觸件(probe),其包含: 58:下::二的導電性部52之安裝# 58、從安裳部 5 部60、及從臂部60的前端部朝與安裝部
58相反側的方向延伸之針頭部62。 P ^ r q „ 八備··矩形的板狀區域58a、及從板領狀域 7方延伸而到達臂部60之延長部58b。 臂部6°具備:沿上下方向隔著間隔之第1及第2臂部 山:及_、及分別與該等第1及第2臂部60a及60b的前 P及基立而部連結之第1及第2連結部60c及60d。臂部60 而p係支持於安裝部58的延長部58b,並且於前端部 支持針頭部6 2。 症針頭部62具備:連接於臂部6〇的前端側下端之板狀 底座部62a、設於底座部62a下端之突起狀的針頭6託。 各接觸件24,係在從樹脂基板30往下方延伸的狀態 下,於安裝部58的板狀區域58a藉由焊料般之導電性接合 _ 材料連接於導電性部52。 接觸件24,就算具有如上述般複雜的構造,亦可利用 安錢般之電鑄法容易且低成本地製造。 插座裝置1 6具備··位於配線基板1 2側之插座基板6 4、 相對於插座基板6 4在水平面内可朝單方向移動之可動基 极66、以及配置於插座基板64及可動基板eg周圍之框架 68 ’全體具有大致呈矩形板的形狀。 13 1242646
㈣度展置]6並且包含:彈性 y. . ^ ^ ^ L 的 坪『生m 70,使朝可動基板㈣ 凸夕力方向之一側施加的彈壓力作用於可動基板66,· 一對 7/72 ’用以減可動基板66,俾抵抗板彈簣般的彈性體 的力,而可朝另-側解除;支持轴74,以不能相對移動 方式女裝於凸輪72 ;及操作構件76,安裝於支持軸74 、各端部(使凸輪72以既定角度旋轉)。 、"插座基板64及可動基板β6,係以可收容各陶瓷基板 =銷44的方式,而共同形成在陶兗基板28側之面開口的 複數個凹部78。 凹邛78分別對應於配線基板丨2的筒狀導電性部2〇。 在凹邛78之中,位於插座基板64的部位係有底之有底孔, 而位在可動基板66的部位係與有底孔連通之貫穿孔。 在各凹部78配置一對把持構件8〇、82,俾以可解除 、方式把持卩过著可動基板β 6的移動而收容於凹部7 8之銷 44。各對一方之把持構件80係以不能相對移動的方式安裝 於插座基板64,而各對另一方之把持構件82係以不能相 對移動的方式安裝於可動基板66。 在插座基板64,進一部將複數支銷84以從把持構件8〇 起朝插座基板64上方突出的狀態配置。各銷84係與把持 構件8 0形成電氣連接’且插入配線基板1 2的筒狀導電性 部20。藉此,可阻止插座基板相對於配線基板丨2的移 動。 可動基板66,係於矩形對向的緣部具有朝其移動方向 延伸之一對槽部86 ;框架68在對應於矩形對向邊的部位 14 l242646 具有以可移動的方式收容於槽部86之凸部88。惟,亦可 使槽部86形成於框架68,使凸部形成於可動基板66。 不論依上述任一例,皆可於下述位置移動,亦即供收 容銷44而開口之凹部78的形成位置、以及藉由把持構件 8〇、82挾持所收容之銷44的位置。插座基板6“系裝载於 可動基板66。如此,當使用槽冑86及凸部88來支持可動 基板66時,則可不必使用滾珠或輥般的零件,而能以可 移動的方式將可動基板6 6支持於框架6 8。 支持軸74,係以與可動基板66的移動 水平方向延伸的方式,能旋轉地支持於框架 方向交又而朝 68。
、凸輪72,係沿支持車由74$長邊方向隔著間隔而安裝 於支持軸74 ’俾於含可動基板66的移動方向之垂直面内 以:无定角度旋轉。凸輪72❸卜周面具有:曲率半徑較大 的第1凸輪面、及曲率半徑較小的第2凸輪面。
操作構件76係安裝於支持軸74的端部,俾能使支持 軸74於第i凸輪面抵接可動基板66側面的位置、以 2凸輪面抵接可動基板66側面的位置旋轉。 鎖固歲合的狀態下谈合於凹*"δ的,清形,由於能以明 較小的力讀陶£基板28對插座裝置1 6進行裝拆,故 瓷基板28對插座裝置16的裝拆極為容易。 又,插座裝置】6,由於藉由框架68來阻止插座基板 的移動,並以可移動的方式支持可動基板66,故插座裝 16及可動基板66對配線基板12的組裝極為容易。 15 1242646 補強構件18具備:位於電子零件24周圍之大致矩形 的框部90、及從框部90朝虛擬圓的半徑方向延伸之複數 個臂部92。藉此,不僅可補強配線基板12,亦可有效利用 配線基板1 2的上侧區域。 補強構件18 ’係藉由貫f補強構件18及配線基板12 且螺合於框架68的複數個螺絲構件94,以在框部9〇组束 於配線基板12及插座裝置16,並且,藉由貫穿補強構们8 且螺合於配線基板12的複數個螺絲構件96,以在臂部Μ 組裝於配線基板12。 、探針基板14,係藉由貫穿陶究基板28且螺合於框架68 的複數個螺絲構件98而組裝於插座裝置丨6。 / —配線基板12、探針基板14及插座裝置16之相對定位, 係藉由從配線基板12起貫穿框架68而延伸且插入陶究基 板28的複數支定位銷1 〇〇來進行。 θ檢查時,電氣連接裝置1Q,係將接觸件24的針頭⑽ 緊壓於積體電路的電極。此時’懸樑狀之接觸# 24藉由 作用於此的過驅動(over drive),而在臂部6〇a、咖被撓 曲。藉此’可吸收針頭62b的高度位置偏差,而可將所有 的接觸件24確實地接觸於積體電路的電極。 在電氣連接裝置10,當從圖12(A)所示的狀態,藉由 :作構件76使&輪72旋轉’以使第i凸輪面抵接於可動 :板66的側面’可動基板66則抵抗彈性體的力量而被 緊壓。藉此,如圖12⑻所示,把持構件80、82把持陶竟 土板28之銷44 ’俾使探針基板丨4安裝於插座裝置^及 16 1242646 配線基板12。 相對於此,當從目12⑻所示的狀態,藉由操作構件Μ 使&輪72旋轉,以使第2凸輪面抵接於可動基板66的側 面,可動基板66則利用彈性體7〇的力量而被推回。藉此, 如圖12(A)所示’把持構件8〇、82解除對銷Μ的二持。 在此狀恶下,進打探針基板14對插座裝置16的裝拆。 依電氣連接裝置1〇,如上述般,可將藉由把持構件、 82對陶究基板28之銷44的把持予以解除,而能使陶究基 板28與樹脂基板30 一起從插座基板64及配線基板a分 離’將陶瓷基板28之銷44插入插座裝置16之凹部78以 使該等鎖44把持於把持構件8〇、82,藉此,能使陶究基 板28與樹脂基板3G —起結合於插座裝置16及配線基板 12° 因此’預先將陶竟基板28的導電性部36、38之排列 圖案及連接圖案共通化,以製作具有對應於積體電路種類 的圖案之樹脂基板30,藉此,可使峨板以標準化。 、二‘準化之陶瓷基板28 ,藉由其大量生產而能降低成 本,使對應於積體電路種類的樹脂基板3〇形成於在庫之 陶莞基板28,藉此,可縮短電氣連接裝置1()之生產工時。 田使用陶竟基板28與樹脂基板3G作為探針基板】4 時’由於可使形成於陶究基板28之配線數量減少,且在 極端情形可以不必將配線形成於陶莞基板28,因此,陶變 基板的製造變得容易且成本低。 依甩氣連接裝置1 0 ’由於補強構件1 8,係藉由貫 17 1242646 ¥強構件1 8及配線基板且螺合於插座裝置1 6的複數 ~固=絲構件96而組裝於配線基板12及插座裝置16,並且, 2 =基板28與插座裝置1 6,係藉由貫穿陶瓷基板28且螺 :於插座裝置16的複數個螺絲構件98而結合,因此,可 、隹持配線基板丨2、插座裝置16、陶兗基板28及樹脂基板 3 0之南平行度。 准亦可不必具備補強構件18。在此情形,可藉由複 數個螺絲構件來結合配線基板12與框架68。 本么明,未限於上述實施利,在未脫離其要旨的原則 下可作各種變更。 【圖式簡單說明】 圖 1係表示本發明之電氣連接裝置之一實施例之俯視 圖。 圖 2係表示圖丨所示之電氣連接裝置之前視圖。 圖 3係表示圖丨所示之電氣連接裝置之仰視圖。 圖 4係從下方觀察圖 1所示之電氣連接裝置之分解立 體圖。 圖 5係從上方觀察圖 1所示之電氣連接裝置之分解立 體圖。 圖 6係表示將圖1所 示之笔氣連接裝置局部放大之縱 截面圖,省略配線基板的上部。 圖7係將探針基板局部放大表示之縱截面圖。 圖8係表示樹脂基板下面的一部份之立體圖。 圖9係表示接觸元件之一實施例,(A)係前視圖,(b) 18 1242646 係右側視圖。 園i υ彳糸表示插座 ^ Θ她例之立體圖。 圖11係表示對框架之可動基板的支 圖12係用來說明插座基板的作用、,“心之截面圖. 表示解除銷的把持狀態’⑻係表示鋼、::狀:,⑽ 【主要元件符號說明】 、心 1〇·電氣連接裝置 1 2 :配線基板
1 8 :補強構件 24 ·電子零件 26 :連接器 92 :臂部 96、98 :螺絲構件 10 〇 :定位銷
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Claims (1)
1242646 十、申請專利範圍: 1、 一種電氣連接裝置,係具有: 陶竟基板’在一面設有複數個第1導電性部,在另一 面=與該複數個帛1導電性部形成電氣連接的複數個第 2導包性部,並設有與該複數個帛2導電性部形成電 接且從該另一面突出之複數支銷; 树月曰基板,係配置於該陶瓷基板之一面的絕緣性樹脂 基板’其在該陶瓷基板側之面設有與該第1導電性部接觸 之複數個f 3導電性部,且在該㈣基板側相反側之面設 有與—個帛3導電性部形成電氣連接的複數個第 電性部; 複數個接觸件,以與被檢查體的電極接觸的方式安裝 於該第4導電性部; 插座裝置,係配置於該陶究基板另一面的板狀插座裝 置,其設有:供收容各銷且開口於該陶£基板側之面之複 數個凹部;及複數對把持構件,分別配置於該凹部,且以 能解除的方式來把持對應之凹部所收容之該鎖;及 配線基板,係配置於該插座裝置另—面,設有與一方 之該把持構件形成電氣連接的複數個第5導電性部。 2、 如申請專利範圍第!項之電氣連接裝置,其中各該 銷具2導電性部之凸緣部、以及以收容於 該凹部的方式從該凸緣部延伸之銷狀主體部。 3、 如申請專利範圍第1或2項之電氣連接裝置,其中 該第1及帛2導電性部,係藉由形成於該陶竞基板的配線 20 1242646 或導電性的貫穿孔(其兩端當作該 成電氣連接。 及弟2 ¥電性部)形 4、 如申請專利範圍第i丨2項 該樹脂基板進一步具傷之孔連接破置,其中 及…電性部形成電氣連:之複數配線,俾將該第3 5、 如申請專利範園第丨或2項 各該接觸件係以懸樑狀的方 接放置,其中 亥第4導電性部。 如申印專利範圍第5項之電氣連接 接觸件係設成板狀接觸件,其包含: 、〃中各該 方hi:。:以k 5亥弟4導電性部起朝該陶瓷基板的厚戶 方向延伸的狀態安裝於該第4導電性部; ”予度 ^臂部,從該安裝部之—端部起朝與該厚度方向交又的 方向延伸;及 丨』又又的 針頭部,從該臂部之前端側起朝與 方向延伸。 女衷邻相反側的 7、 如申請專利範圍第6項之電氣連接裝置,1中 =備:於該厚度方向隔著間隔之第i及第2臂:、以:分 別與各该弟1及第2臂之前端部及基端部連結 2連結部; 矛i及弟 又,該基端部係被該安裝部支持,且該前端部係 該針頭部。 8、 如申請專利範圍第1或2項之電氣連接裝置,其中 該插座裝置具備: 位於该配線基板側之插座基板; 21 1242646 可動基板,位於該陶究基板側,且可相對於該插座基 板朝與該厚度方向交叉之一方向移動; 彈性體,用以對該可動基板朝1 土败朝其移動方向之一方側施 加彈壓力; 而將可動基板以可解除 凸輪,抵抗該彈性體之彈壓力 的方式推壓於另一方側;及 操作構件,用以使該凸輪以既定角度旋轉 形成於該凹部,各對一 各對另一方之把持構件 該插座基板及可動基板係共同 方之把持構件安裝於該插座基板, 安裝於該可動基板。 卜如申請專利範圍第8項之電氣連接裝置,其中該插 座裝置進-步具備,連接於各該—方之把持構件且從該插 座基板朝該配線基板突出之複數支第2銷; 該配線基板進一步具備,分別供該第2銷嵌合之複數 孔’其分別具有當作該第5導電性部而作周之導電性内面。 ^如申請專利範圍第8項之電氣連接裝置,其中該 座裝置進一步含有框架’其位於該配線基板與樹脂基板 =,且配置於該插座基板及可動基板周圍,以阻止該插座 土板的移動及以可移動的方式支持該可動基板。 11、如申請專利範圍第10項之電氣連接裝置,… :架及可動基板之一方’在對應於矩形之一對對向邊處: :一對槽冑’藉此以可移動的方式將該可動基板之緣部I 持於該框架,該《及可動基板之另—方,在對應於矩形 之對對向邊處具有凸部,以可移動的方式收容於該槽 22 1242646 部。 …如甲清專利範圍第“戈2項之電氣 中該陶瓷基板與插座#罟 y丄^ # /、 該插座裝置之複數 進一+人有二=乾圍弟1或2項之電氣連接裝置,其 強構件,該補強構件:!!:之與插座裝置側相反側之補 合於該插座裝置之複數個構件及配線基板且螺 插座裝置。❹個螺絲構件而組裝於該配線基板及 進1 牛專利_第1或2項之電氣連接裝置,其 配置於該配線基板之與插座裝置側相反側之 硬“子零件,各電子零件分別與該第5導電性部 電氣連接;以及位於該電子零件周圍之補強構件。^ 15、如申請專利範圍帛14項 補強構件具借:位於該電子 二連U置,其中該 朝假想之圓半徑方向延伸之複數丁個^^ 部’係藉由複數個螺絲構件组裝於 插座裝置,且該臂部,係蕤ά甘从〜 土败反 該配線基板。 …、他硬數個螺絲構件安裳於 二如申請專利範圍第…項之電氣連接裝置,並 哭八=有配置於該配線基板之複數個連接器,且各連接 ;備與該第5導電性部形成電氣連接之複數個連接 23
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2004/006076 WO2005106504A1 (ja) | 2004-04-27 | 2004-04-27 | 電気的接続装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200535422A TW200535422A (en) | 2005-11-01 |
TWI242646B true TWI242646B (en) | 2005-11-01 |
Family
ID=35241798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW093123886A TWI242646B (en) | 2004-04-27 | 2004-08-10 | Electric connecting device |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7255575B2 (zh) |
EP (1) | EP1742073A1 (zh) |
JP (1) | JP4545742B2 (zh) |
CN (1) | CN100472215C (zh) |
TW (1) | TWI242646B (zh) |
WO (1) | WO2005106504A1 (zh) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006114885A1 (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | 電気的接続装置 |
US7471094B2 (en) * | 2005-06-24 | 2008-12-30 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for adjusting a multi-substrate probe structure |
US7368930B2 (en) * | 2006-08-04 | 2008-05-06 | Formfactor, Inc. | Adjustment mechanism |
JP2008134170A (ja) | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
JP5190195B2 (ja) | 2006-11-29 | 2013-04-24 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP2008145238A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Micronics Japan Co Ltd | 電気接続器及びこれを用いた電気的接続装置 |
EP2128630A4 (en) * | 2007-03-14 | 2014-05-14 | Nhk Spring Co Ltd | PROBE CARD |
CN101583880B (zh) * | 2007-03-20 | 2011-05-18 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 电连接装置 |
US7965091B2 (en) * | 2007-04-30 | 2011-06-21 | Electro Scientific Industries, Inc. | Test plate for electronic handler |
JP5553480B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2014-07-16 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP5288248B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2013-09-11 | 軍生 木本 | 電気信号接続装置 |
JP5408488B2 (ja) * | 2009-08-20 | 2014-02-05 | 株式会社島津製作所 | 基板検査装置 |
CN102062793B (zh) * | 2009-11-13 | 2013-04-17 | 京元电子股份有限公司 | 探针卡与其中的结构强化的测试插座 |
KR101149759B1 (ko) * | 2011-03-14 | 2012-06-01 | 리노공업주식회사 | 반도체 디바이스의 검사장치 |
JP5863168B2 (ja) * | 2011-11-10 | 2016-02-16 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカード及びその製造方法 |
JP7075725B2 (ja) * | 2017-05-30 | 2022-05-26 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
KR102139945B1 (ko) * | 2019-01-23 | 2020-08-03 | 주식회사 이노글로벌 | 테스트 소켓 및 이의 제조방법 |
CN113675660B (zh) * | 2021-08-03 | 2024-03-08 | 东莞市康瑞电子有限公司 | 一种扣合式电连接组件及其连接方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4343524A (en) * | 1980-06-30 | 1982-08-10 | Amp Incorporated | Zero insertion force connector |
JPH01319961A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-26 | Hitachi Ltd | 半導体素子検査装置 |
JP2576233Y2 (ja) * | 1991-08-05 | 1998-07-09 | 株式会社アドバンテスト | Ic試験装置のテストヘッドと試料との接続機構 |
JPH05114632A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | 電気的特性評価用ボード |
JPH0650990A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Nec Corp | プローブカード |
JPH06140484A (ja) | 1992-10-28 | 1994-05-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | プローブカード |
US5502397A (en) * | 1992-11-12 | 1996-03-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | Integrated circuit testing apparatus and method |
US5713744A (en) * | 1994-09-28 | 1998-02-03 | The Whitaker Corporation | Integrated circuit socket for ball grid array and land grid array lead styles |
KR20030096425A (ko) * | 1994-11-15 | 2003-12-31 | 폼팩터, 인크. | 인터포저 |
US5791914A (en) * | 1995-11-21 | 1998-08-11 | Loranger International Corporation | Electrical socket with floating guide plate |
US6084421A (en) * | 1997-04-15 | 2000-07-04 | Delaware Capital Formation, Inc. | Test socket |
JPH11160356A (ja) | 1997-11-25 | 1999-06-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウェハ一括型測定検査用プローブカードおよびセラミック多層配線基板ならびにそれらの製造方法 |
KR100314135B1 (ko) * | 1999-03-08 | 2001-11-16 | 윤종용 | Bga 패키지의 전기적 검사를 위한 소켓 및 이를 이용한검사방법 |
JP2000340924A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-08 | Nhk Spring Co Ltd | 半導体チップ搭載用基板の検査用プローブユニット |
US6394820B1 (en) * | 1999-10-14 | 2002-05-28 | Ironwood Electronics, Inc. | Packaged device adapter assembly and mounting apparatus |
US6583636B2 (en) * | 2000-05-12 | 2003-06-24 | Delaware Capitol Formation | BGA on-board tester |
JP3587301B2 (ja) * | 2001-06-20 | 2004-11-10 | 株式会社エンプラス | 電気部品用ソケット |
AU2003220023A1 (en) * | 2002-03-05 | 2003-09-22 | Rika Denshi America, Inc. | Apparatus for interfacing electronic packages and test equipment |
-
2004
- 2004-04-27 WO PCT/JP2004/006076 patent/WO2005106504A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2004-04-27 JP JP2006512684A patent/JP4545742B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-27 CN CNB2004800420286A patent/CN100472215C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-27 EP EP04729726A patent/EP1742073A1/en not_active Withdrawn
- 2004-08-10 TW TW093123886A patent/TWI242646B/zh not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-10-20 US US11/584,137 patent/US7255575B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1922495A (zh) | 2007-02-28 |
US20070099446A1 (en) | 2007-05-03 |
TW200535422A (en) | 2005-11-01 |
US7255575B2 (en) | 2007-08-14 |
WO2005106504A1 (ja) | 2005-11-10 |
JP4545742B2 (ja) | 2010-09-15 |
JPWO2005106504A1 (ja) | 2008-03-21 |
CN100472215C (zh) | 2009-03-25 |
EP1742073A1 (en) | 2007-01-10 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MK4A | Expiration of patent term of an invention patent |