TWI229651B - Flexible substrate storage equipment and flexible substrate storing method - Google Patents

Flexible substrate storage equipment and flexible substrate storing method Download PDF

Info

Publication number
TWI229651B
TWI229651B TW093104300A TW93104300A TWI229651B TW I229651 B TWI229651 B TW I229651B TW 093104300 A TW093104300 A TW 093104300A TW 93104300 A TW93104300 A TW 93104300A TW I229651 B TWI229651 B TW I229651B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate
holding
aforementioned
flexible substrate
container
Prior art date
Application number
TW093104300A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200426089A (en
Inventor
Kimihiko Yamada
Yoshiki Nakatani
Tetsuya Aita
Original Assignee
Sharp Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Kk filed Critical Sharp Kk
Publication of TW200426089A publication Critical patent/TW200426089A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI229651B publication Critical patent/TWI229651B/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67383Closed carriers characterised by substrate supports
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/02Internal fittings
    • B65D25/10Devices to locate articles in containers
    • B65D25/107Grooves, ribs, or the like, situated on opposed walls and between which the articles are located

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

1229651 玖、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於使用於收容使用作為液晶顯示用、電致發 光顯不用、電漿顯示用、螢光顯示管用、濾色器用、太陽 電池用等之具有可撓性之薄板狀之各種基板及各種薄片等 之基板(例如玻璃基板、塑膠基板、金屬箔等)、或使用此等 基板製造之完成面板等之可撓性基板收容具及可撓性基板 收容方法。 【先前技術】 液晶顯示裝置係應用於各種0A(辦公室自動化)機器終端 機及液晶電視等之目前最普及之平面薄型顯示裝置。液晶 顯示裝置中,一般使用玻璃基板,玻璃基板製造商及液晶 面板製造商相互間為了收容·搬送玻璃基板(含完成面板), 廣泛使用樹脂發泡體構成之玻璃基板用收容容器。 例如,日本國公開特許公報「特開平7_132986號公報(公 開曰1995年5月23曰公開)」中曾經揭示由有底容器本體與 蓋體所組成,在容器本體之相對向之一對側板形成保持 部,用於以縱姿勢或橫姿勢且不互相接觸地平行保持玻璃 基板之玻璃基板收容容器。 具體而言,如圖15(a)及圖i5(b)所示,在液晶顯示器產業 中,特別廣被使用之0.7毫米厚或丨」毫米厚等玻璃基板1〇4 係被收容·保管於基板收容容器1〇1。在此基板收容容器1〇1 中,為了以縱姿勢且不互相接觸地平行保持上述玻璃基板 104,在内側之一對面設置保持部1〇3、1〇3。而,1片玻璃 O:\91\91350.DOC • 6 - 1229651 基板104可藉插人於相對之2個保持部i()3、⑻間,而被保 持·收容於基板收容容器1 〇丨内。 在此如圖16所不,上述保持部103與基板收容容器1〇1 之内側側面構成之角度之保持角度0a通常為9〇。。 又,例如,日本國公開特許公報「特開平ι〇_ΐ2〇〇74號公 報(公開日1998年5月12日公開)」中,如圖17所示,記載著 在容器中橫向收容多數片尺寸相異之LCD面板時,至少在 -方側壁形成向下傾斜之保持部。又,同圖所示之Lc〇面 板雖呈現彎曲狀態,但此係其本身重量所引起。又,同圖 所示之LCD面板僅架在保持部,咖面板之端部並未接觸 於容器之側面壁。 另一方面,例如,日本國公開特許公報「特開平丨〇_322〇56 號公報(公開曰1998年12月4曰公開)」+,揭示著可配合所 保持之基板之大小而將基板用箱體寬度構成可伸縮之 之容器。 k 【發明内容】 保持塑膠基 可撓性基板 本發明之目的在於提供可簡便且確實收容、 板專具有可撓性之基板之可撓性基板收容具及 收容方法。 、為達成上述目的,本發明之可撓性基板收容具係、包 成收容本體之外形之相對向之至少一對對向構件,上、,〔一 對對向構件係將其間隔保持—定而設置成可利用挾持^ 可撓性之多數基板而將其彎曲收容。 八有 又,可撓性基板係被以構成收容本體之外 Y仏之相對向之
O:\91\91350.DOC 1229651 至少一對對向構件,挾持具有可挽性之多數基板而使其彎 曲之方法所收容。 &依據f述之發明,具有可撓性之多數基板係以彎曲之狀 “被收谷因此,可藉增大基板之彎曲剛性降低基板所具 有之柔軟性,而呈現所謂堅挺狀態。其結果,基板本身容 易自己豎立而可穩定地收容於可撓性基板收容具内。 ^、、σ果,可提供可簡便且確實收容、保持塑膠基板等具 有可撓性之基板之可撓性基板收容具及可撓性基板收容方 法。 _本么明之更進一步之其他目的、特徵及優點可由以下所 示之記載獲得充分之瞭解,且本發明之利點可由參照附圖 之下列說明獲得更明確之瞭解。 【實施方式】 [實施形態1] 兹依據圖丨〜圖5,說明本發明之一實施形態如下。 本灵施形悲之可撓性基板收容容器1〇如圖2所示,由作為 有底之可撓性基板收容具之容器本體丨與蓋部2所組成,作 為相對向之至少-對對向構件之側面板&、h係以將此等 側面板3a、3a間隔保持一定之方式被支持設置於他方之側 面板3b、3b。 在上述容器本體1中,如圖3所示’可以縱姿勢插入收容 具有可撓性之多數基板4。例如,在液晶顯示器生產線等, 在此種容器本體1中,收容著十片至數十片程度之作為可撓 性基板之薄型玻璃基板。又,在本發明中,可挽性基板未
O:\91\91350.DOC 1229651 必限於薄型玻璃基板,只要屬於具有塑膠基板等可撓性之 基板即可。例如,本實施形態之基板4係由樹脂材料或樹脂 與無機物之複合材料構成之塑膠基板,其尺寸為36〇 mm>< 465 mm、厚〇·2 mm。又,也可使用在此塑膠基板附加氮化 矽膜之基板4。又,尺寸及厚度在本發明中並無限定。 在此’在本實施形態之收容本體1中,如圖1(a)'圖1(b)、 圖1(c)、圖1(d)所示,利用上述一對側面板3a、3&挾持基板 4而使其彎曲。又,所謂挾持,其概念異於保持。挾持係由 2個相對之方向挾著保持之意。又,保持則僅係支持之程度 之概念。 即,在本實施形態中,係強制地使基板4彎曲而加以收 谷’作為達成此目的之構成,將一對側面板3a、3a之間隔 之收容本體寬Wa設定為短於上述基板4之基板長^^§。又, 此基板長Ws係指被挾持之基板4之挾持方向長度。又,收 容本體寬Wa也係指在收容本體1之基板4之挾持方向寬度。 如此,使基板4彎曲之理由係由於基板4薄時,柔軟性大 而彎曲剛性小,故以垂直平面狀態將基板4收容於收容本體 1時,基板4不能維持平坦形狀、及會發生難以穩定地自己 豎立(或不能自己豎立)等之問題之故。 在本實施形態中,利用使基板4彎曲而加以收容,可增大 彎曲剛性’使基板4本身容易自己豎立,故可穩定地收容於 收容本體1内。 詳言之,基板4之剖面形狀呈彎曲狀時,比長方形更能增 大剖面二次力矩I。在此,剖面二次力矩j係材料力學等所使 O:\91\91350.DOC -9- 1229651 用之ϊ,與力學的條件及材料無關,僅由物體本身之剖面 形狀加以決定。 其結果,表示物體之彎曲難度之指標之彎曲剛性(=縱彈 性係數Ex剖面二次力矩I)會增大,故基板4難以彎曲。即, 可降低基板4所具有之柔軟性,而呈現所謂堅挺狀態。因 此,基板4本身容易自己豎立而可穩定地收容於收容本體工 内。 又,在本實施形態中,利用側面板3a、3以失持基板4,強 制地使基板4彎曲。因此,不含利用本身重量使基板4彎曲。 又,在本實施形態中,在收容本體1之側面板仏、3a,如 同圖1(a)、圖1(b)、圖i(c)、圖1(d)所示,以縱姿勢收容上 述具有可撓性之多數基板4時,為使此等基板4· ··互相 不重疊而加以平行保持,形成有具有多數基板保持面6 ·· · 之保持部5。 而,在本實施形態中,形成於上述側面板3a、3a之保持 部5之基板保持面6係如圖4所示,將沿著彎曲之基板4而與 側面板3a、3a構成之角度之保持角度0 &設定於90。以外。 也就是說,保持部5之基板保持面6之保持角度0以系以異於 對側面板3a、3a成直角之方式形成可保持基板4之角度。 如上所述’使平坦板彎曲時,可增大彎曲剛性,故基於 彎曲之基板4比不彎曲之基板4更容易自己豎立之理論的觀 點,將保持角度0 a設定於9〇。以外,即將保持角度Θ a設定 於 〇。< 0a<89。或 91。< 0a<i8〇。。 但’此基板4係由玻璃或塑膠所構成,且此基板4係使用
O:\91\91350.DOC -10- 1229651 於液晶顯示器生產線。因此,基板4太過彎曲時,不但會損 傷基板4,而且排斥力也會變大。因此,在本實施形態中, 依據後述實施例之結果,保持角度0 a以設定為20。〜75。為 宜。 又’為使基板4彎曲成使保持角度0 &成為20。〜75。,基板 長Ws與收容本體寬Wa之關係以保持210/360 < Wa/Ws < 358/360為宜。 藉此保持角度0 a或基板長Ws與收容本體寬Wa之關係, 可使基板4不受損傷且容易維持彎曲,並在基板*與保持部5 之接觸處,減低施加於雙方之負荷。 例如’作為基板4,設定基板長Wsg 36〇 mm、收容本體 寬Wa為340 mm、鄰接之2個保持部5、5之溝間隔Wh為2 mm、 保持部5之保持長Wb為8 mm、基板保持面6之保持角度0 a 為60。’而將2片360 mmx465 mm之塑膠基板收容於相鄰之 基板保持面6、6之結果,任何一片基板4、4均可以良好之 穩定性自己豎立在收容本體1内,彼此不相接觸地被收容。 其次’在上述2片塑膠基板構成之基板4上,形成一般使 用作為非晶質矽TFT(Thin Film Transist〇r ;薄膜電晶體》夜 晶顯不器之閘極絕緣膜用及保護膜用之氮化矽膜。又,氮 化石夕膜係利用電漿CVD法在成膜溫度2〇〇°c下形成。此方法 所形成之氮化矽膜之膜厚為35〇 nm,膜應力為+270 Mpa(拉 伸應力)。 手握著形成有上述氮化矽膜之塑膠基板構成之基板4之 一個短邊(360 mm)之角,使長邊方向(465 mm)成為垂直地
O:\91\91350.DOC -11 - 1229651 掛起之狀態時,基板4可使膜面凹曲25 mm之程度。 而,在收容本體1之收容本體寬Wa為340 nim、鄰接之2 個保持部5、5之溝間隔Wh為2 mm、保持部5之保持長Wb為 8 mm、及保持部5之基板保持面6之保持角度0 &為6〇。之收 容本體1中,以膜面彎曲成凸狀之狀態收容2片附有上述氮 化石夕膜之塑膠基板之基板4時,任何一片基板4均可以良好 之穩定性自己豎立在收容本體1内,彼此不相接觸地被收 谷。且在基板4收谷於收容本體1内以後,也未發生氮化石夕 膜剥離等問題。 如上所述,基板4容易自立且增加穩定性之結果,可在收 容本體1内,防止基板4曲折、基板4不自立、基板*由保持 部5脫落、及相鄰之基板4、4彼此接觸而受到污損等不利現 象。 因此,此構造之收容本體1可說是適合於收容具有可撓性 之塑膠基板、及附有氮化矽膜之塑膠基板。 又,在本實施形態中,雖以對收容本體丨立設於縱方向之 方式收容基板4,但未必限定於此,例如,如圖$所示,也 可構成以橫方向收容基板4之收容本體丨。如此也可以向橫 方向彎曲之狀態穩定地收容基板4。 如此,本實施形態之收容本體丨係將構成收容本體丨之外 :之相對向之至少一對側面板3a、3a,以使其間隔保持一 定而設置成可挾持具有可撓性之多數基板4...而將其彎 曲收容之狀態。 h 又 本實施形態之可撓性基板收容方法係 以構成收容本
O:\91\91350.DOC -12- 1229651 體1之外形之相對向之至少一對側面板3a、3a挾持具有可撓 性之多數基板4 ···而將其彎曲收容。 依據此方法,具有可撓性之多數基板4· ··可以彎曲狀 態被收容。因此,可藉增大基板4· ··之彎曲剛性降低基 板4所具有之柔軟性,而呈現所謂堅挺狀態。其結果,基板 4本身容易自己豎立而可穩定地收容於收容本體丨内。 此結果,可提供可簡便且確實收容、保持塑膠基板等具 有可撓性之基板4之收容本體丨及可撓性基板收容方法。 又,本實施形態之收容本體丨係將在一對側面板3a、“之 基板4收容狀態之間隔之收容本體寬界&設定於比所夹持之 基板4之挾持方向長度之基板長Ws短。 又,本實施形態之可撓性基板收容方法係將在一對側面 板3a、3a之基板4收容狀態之間隔之收容本體寬冒&設定於比 所夾持之基板4之挾持方向長度之基板長Ws短。 因此,收容基板4時,基板4必然地會彎曲。此結果,可 提供以容易且簡易之構造使所收容之基板4彎曲之收容本 體1及可撓性基板收容方法。 又,在本實施形態之收容本體丨中,在各侧面板3a、3&形 成有排列保持多數基板4...用之保持部5,故可以排列 整理之狀態收容多數基板。 又,在本實施形態之收容本體,保持部5係以異於對 側面板3a、3a成直角之方式形成可保持基板4之狀態。因 此,將一對側面板3a、3a與保持部5之基板保持面6形成之 角度設定於90。以外日夺,可使彎曲之基板4沿著保持部5。此 O:\91\91350.DOC -13- 1229651 結果,更容易維持基板4之彎曲狀態,並在基板4與保持部5 之接觸處,減低施加於雙方之負荷。且可抑制在接觸面之 雙方之摩擦等產生之塵屑。 又,在本實施形態之收容本體丨中,由於基板4係立設地 被收容,故在收容平坦狀之基板4時,可藉彎曲增大基板4 之剛性。因此,可穩定地使基板4自立,尤其在將基板4 ·· · 收谷於收容本體1中搬運時相當有用。 又,在本實施形態之收容本體丨中,由於一對側面板“、 3a為平板,故可將收容本體丨形成作為可撓性基板收容容 器。 此結果,可提供容易搬運之可撓性基板收容容器。 [實施形態2] 茲依據圖6及圖7,說明本發明之另一實施形態如下。又, 為便於說明起見,對於具有與前述實施形態丨之圖式所示構 件相同機能之構件附以同一符號而省略其說明。 作為本實施形態之可撓性基板收容具之基板收容用箱 2_當於實施形態i之收容本體υ如圖6⑷所#,係構成橫 方向收容基板4,作為一對對向構件之連接棒23a、係構 成在基板4出入時可擴大變更其間隔之狀態。又,其他構成 基本上與實施形態1相同。 即,上述基板收容用箱2〇係在底板27&、2几立設固定$支 連接棒23a、23a,在其上安裝頂板咖、^,而形成箱外 形。因此’在本實施形態中’將相對向之至少一對連接棒 23a、23a,以使此等連接棒23^ 23a之間隔保持一定方^
O:\91\91350.DOC -14- 1229651 設置成被底板27a、27b及頂板28a、28b支持之狀態。 在本實施形態中,上述底板27a、27b及頂板28a、28b均 呈現可伸縮之構造。因此,一對對向構件之連接棒23a、23a 係構成在基板4出入時可擴大變更其間隔之狀態。 具體而言,在未收容基板4時之底板27a、27b及頂板28a、 28b縮入狀態下,基板收容用箱2〇之箱内部寬為Wc,另一 方面,收容基板4時之底板27a、27b及頂板28a、28b伸出狀 態下,基板收容用箱20之箱内部寬為wd。因此,當然,箱 内部寬為Wc <箱内部寬為wd。又,箱内部寬wc及箱内部 寬Wd均為基板4之挾持方向之寬。 又,在本實施形態中,在呈現箱内部寬Wc時,可利用此 連接棒23a、23a將基板4挾持成彎曲狀態,因此,基板長 Ws<箱内部寬Wc。 又,在本實施形態中,在箱外形構件之連接棒23a、23a 之相對之一面形成保持由可撓性基板構成之基板4用之保 持部5,並在該保持部5等間隔地排列設置多數個基板保持 面 6 · · · 〇 又,上述底板27a、27b及頂板28a、28b如圖6(a)及如圖6(b) 所不,係具有雌雄關係而滑動自如,在形成於底板27b及頂 板28b之凹部,可使形成於底板27a及頂板28a之凸部插入自 如。又,底板27a、27b彼此及頂板28a、2肋彼此例如可分 別被未圖示之彈簧,分別將底板27a、27b彼此及頂板Up 28b彼此拉向縮小之方向。但即使未使用彈簧,也可構成可 自由拉出底板27a、27b彼此及頂板28a、28b彼此之構造,
O:\91\91350.DOC -15- 1229651 在底板27a、27b彼此及頂板28a、28b彼此縮入時,例如插 入未圖示之鎖定銷而加以鎖定之構造。 上述保持部5之基板保持面6與前述實施形態1同樣地如 圖7所示,將沿著彎曲之基板4而與構成連接棒23a、23a之 角度之保持角度Θ a設定於90。以外。也就是說,保持部5之 基板保持面6之保持角度Θ a係以異於對連接棒23a、23a成 直角之方式形成可保持基板4之角度。 具體上,將保持角度θα設定於〇。< 0a<89。或91。< 0a < 1 80 °。又,此保持角度0 α也與實施形態1同樣地,依據 後述貫施例之結果,保持角度(9 a以設定為20。〜75。為宜。 又’同時與實施形態1同樣地,為使基板4彎曲成使此保持 角度0 a成為20°〜75。,基板長Ws與箱内部寬Wc之關係以保 持 210/360<Wc/Ws< 358/360為宜。 藉此,可使基板4更容易維持彎曲形狀,並在基板4與保 持部5之接觸處,減低施加於雙方之負荷。 另一方面,在本實施形態之保持部5之基板保持面6如同 圖所示,更形成作為各基板用屈曲部之屈曲部7。此屈曲部 7之屈曲角度0b為異於180。之角度。因此,可在基板保持 面6設置屈曲部分。 此結果’在保持部5之基板保持面6存在著固定端側保持 面6a及自由端側保持面6b。又,此屈曲部7之屈曲角度0七 最好可使上述自由端側保持面6b大致平行於基板4之挾持 方向。 此等固定端側保持面6a及自由端側保持面6b之機能之差 O:\91\91350.DOC -16- 1229651 兴’可由上述基板收容用箱20之收容動作之以下說明獲得 瞭解。 首先,欲將基板4收容於基板收容用箱20時,如圖6(a)所 示’拉出底板27a、27b及頂板28a、28b。 此時,箱内部寬為Wd,呈現大於基板長Ws之狀態。因此, 將基板4收容於基板收容用箱20時,將平坦狀之基板4之挾 持方向之兩端載置於基板保持面6之入口側。此時,相對向 之基板保持面6、6之各自由端側保持面6b大致平行於基板4 之挾持方向,故平坦狀之基板4可在維持其平坦性之狀態 下’使其背面接觸於各自由端側保持面6b,藉此保持於基 板保持面6、6之各自由端侧保持面6b。 此結果,平坦狀之基板4可利用滑動容易地插入至基板收 谷用箱20之裏方。 其次,在此狀態,縮入底板27a、27b及頂板28a、28b。 又’此縮入動作可利用未圖示之彈簣自動地縮入。因此, 也可利用未圖示之鎖定銷事先鎖定,以便在插入後,使其 不會立即縮入,而在全部基板4都插入後,再使其縮入。 而,如圖6(b)所示,在底板27a、27b及頂板28a、28b完全 縮入時,基板4被一對連接棒23a、23a挾持,其結果,可將 基板4插入基板保持面6之固定端側保持面6a側。此時之箱 内部寬Wc成為小於基板長Ws之狀態,其結果,可在基板4 之背面接觸於基板保持面6之裏側之固定端侧保持面6a之 狀態保持基板4。 此時,基板4被連接棒23 a、23 a挾持而呈彎曲狀態,故可 O:\91\91350.DOC -17- 1229651 沿著其彎曲而決定保持角度0 a。又,在取出基板4時,再 度回到圖6(a)之狀態。 在上述基板收容用箱20中,例如基板4出入時之箱内部寬 Wd為3 70 mm,基板保持模態之箱内部寬1為34〇 _,保 持部5、5之溝間隔Wh為9 mm,保持角度0 a為60。,屈曲角 度0 b為210 ’自由端側保持面6b長度為20 mm,固定端側 保持面6a長度為10 mm,且如圖6(a)及圖6(b)所示,收容2 片與實施形態1相同之塑膠基板之結果,任何一片基板 4 ···均可以良好之穩定性被保持在基板收容用箱2〇内, 彼此不相接觸地被收容。 因此,此構造之基板收容用箱20適合於收容具有可撓性 之塑膠基板。 又’在本實施形態中,在上述對向之一對連接棒23&、 中之兩方保持部5、5之基板保持面6、6雖形成有屈曲部7、 7,但未必限定於此,也可在上述對向之一對連接棒a、 23a中之至少一方保持部5之基板保持面6形成屈曲部7。如 此,與完全無一對連接棒23a、23a之保持部5、5之基板保 持面6之情形相比,基板4出入時之插入、取出更為容易。 又,在本實施形態中,雖以對基板收容用箱2〇立設於橫 方向之方式收容基板4,但未必限定於此,例如,也可構成 以縱方向立設收容基板4之基板收容用箱2〇。如此也可以立 設於縱方向而彎曲之狀態穩定地收容基板4,並在基板^出 入時,容易拉出底板27a、27b及頂板28a、28b而加以收容。 如此’在本實施形態之基板收容用箱2〇中,由於一對連
O:\91\91350.DOC -18- 1229651 接知23a 23a在基板4出入時,可使其間隔之箱内部寬Wc 變更為箱内部寬Wd,故在基板4出入時,可使彎曲之基板4 成平坦狀出入。 此結果,可以通常之平坦狀之基板4之狀態插入而非使基 板4彎曲後再插入,故基板4之出入較為容易。 又,在本實施形態之基板收容用箱2〇中,由於在一對連 接棒23a、23a中至少一方之連接棒23a之保持部5形成屈曲 部7,故可使保持部5之自由端側平行於基板4之插入方向。 此結果,在基板4之出入時,在擴大一對連接棒23a、23a 之箱内部寬Wc時,可確實使彎曲之基板4成平坦狀出入。 因此,可使基板4容易出入。 [實施形態3] 茲依據圖8及圖9,說明本發明之另一實施形態如下。又, 為便於說明起見,對於具有與前述實施形態丨及實施形態2 之圖式所示構件相同機能之構件附以同一符號而省略其說 明。 本實施形態之可撓性基板收容具係對前述實施形態j之 收容本體1加以改良者。 即’作為本實施形態之可撓性基板收容具之容器本體3 〇 如圖8(a)、圖8(b)、圖8(c)及圖9所示,除了在作為容器本體 3 0之裏底板之底面8附加作為彎曲狀之插入溝之彎曲溝9以 外,與前述實施形態1之收容本體1相同。 具體上,在本實施形態之收容本體30,於底面8形成多數 彎曲溝9 · · ·,此等彎曲溝9 · · ·係在互相對向之保持 O:\91\91350.DOC -19- 1229651 5、5間以每1基板保持面6各1條之比率配置,其形狀係以 妥善地沿著彎曲狀之塑膠基板構成之基板4之形狀加以決 定。 之基板4 ’ -共保持其3邊。因此,可以更穩定之狀態將基 板4收容於收容本體3〇内。 而’可將基板4 ...分別插入此底面8之彎曲溝9 ...。 將基板4收容於此種收容本體3〇内時,可藉侧面板“、“ 之保持部5、5之基板保持面6、6保持著基板4之相對向之2 邊,再利用彎曲溝9保持著基板4之另一邊。即,對弯曲狀 、例如,除前述實施形態!之條件外,將彎曲溝9之深度設 為3 mm ’而將2片36。mmx465随之塑膠基板構成之基板4 收容於對向之保持部5、5之各基板保持面6之結果,任何一 片土板4均可以良好之穩定性自立在收容本體%内,彼 此不相接觸地被收容。 如此,在本實施形態之收交士 K收谷本體30中,在底面8形成導引 基板4之彎曲之彎曲溝9· ··。因此,收容基板辦,將基 板4...之插入方向裏側之邊插入彎曲溝9...時,也 可對基板4· ··之插入方a言 向裏側具有保持機能,而更穩定 地收容基板4 · · ·。 [實施形態4] 茲依據圖10及圖11,褚昍士 D 兄明本發明之另一實施形態如下。 又,為便於說明起見,對於呈 於具有與珂述實施形態1至實施形 悲3之圖式所示構件相同機 其說明 钺犯之構件附以同一符號而省略
O:\91\91350.DOC -20- 1229651 本實施形態之可撓性基板收容具係對前述實施形態i之 收容本體1加以改良者,此情形近似於前述實施形態3。 即,作為本實施形態之可撓性基板收容具之容器本體4〇 如圖10(a)、圖10(b)、圖l〇(c)及圖丨丨所示,除了在容器本體 40之底面8附加多數個彎曲狀之突起41· ··,以取代前述 貫施形悲3之彎曲溝9 ···以外,與前述實施形態丨之收容 本體1相同。 具體上,在本實施形態之收容本體4〇,於底面8形成多數 突起41· ··,此等突起41· ··係配置成彎曲狀,並以 妥善地沿著基板4之彎曲狀決定其形狀。 此等突起41· ··係例如係在對向之保持部5、5間形成5 個,但未必限定於此,也可為其他多數。 又,此等突起41· · ·如圖U所示,可插入孔42· · · 中。因此,可施行此突起41· ··之卸下,並可藉選擇形 成於底面8之孔42· ··之場所、數量而選擇突起41· · · 之場所、數量。又,在底面8之全面設置多數此孔42· · · 時,可使突起41 · · ·插入任意之孔42 · · ·中,故可依 照彎曲決定其排列,決定突起41 · ••之位置。 將基板4收容於此種收容本體4〇内時,可藉側面板“、“ 之保持部5、5之基板保持面6、6保持著基板4之相對向之2 邊,再利用多數個配置成彎曲形狀之突起41· ••保持著 基板4之另一邊。即,對彎曲狀之基板4,一共 因此,可以更穩定之狀態將基板4收容於收容本體4〇内。 例如,除鈾述貫施形態1之條件外,將突起4 1 ···古 O:\91\91350.DOC -21 - 1229651 度设為3 mm,而將2片360 mmx465 mm之塑膠基板構成之基 板4收容於對向之保持部5、5之各基板保持面6、6之結果, 任何一片基板4、4均可以良好之穩定性自立在收容本體3〇 内’彼此不相接觸地被收容。 如此,在本實施形態之收容本體4〇中,在底面8形成導引 基板4之彎曲之多數個突起41 · · ·。因此,收容基板4時, 將基板4· · ·之插入方向裏側之邊插入突起“· · ·時, 使基板4· ··之插入方向裏側之邊頂接於突起4ι· ••之 而 側面,也對基板4· ··之插入方向裏側具有保持機能 更穩定地收容基板4 · . ·。 又,本發明並不僅限定於上述各實施形態,在申請專利 範圍之項所示之範圍内可施行種種變更,將分別揭示於不 同貫施形態之技術的手段適當組合所得之實施形態也包含 於本發明之技術的範圍。又,在本實施形態中,可撓性基 板收容具也可由收容本體與基板所構成。 [實施例] 在本實施例中,說明有關求出保持角度0 a之最適值之實 驗0 實驗係對基板4施加軸方向之壓縮力而改變基板寬卜橫 邊360 mm),以測定當時之縱邊之角度。 使用之基板為以下2種。 [基板之種類] •塑膠基板1片 •玻璃基板1片
O:\91\91350.DOC -22- 1229651 [基板尺寸] •塑膠基板0.2 mm厚 •玻璃基板0.7 mm厚 又,尺寸在任何基板中均相同,為360 mm橫X465 mm縱。 實驗•測定方法如圖12(a)、圖12(b)、圖12(c)所示,如以 下所述。 1_以縱姿勢將塑膠基板豎立在水平之台上。即,1個橫邊 (360 mm)處於接觸於台面之狀態。 2 ·將力施加至基板之2個縱邊(465 mm)。其結果,其板之 2個橫邊(360 mm)彎曲。 3 ·雖著力的增加’彎曲程度變大,由上方所見之橫邊形 狀為經「直線」—「孤」,最後成為r U字形」。 4·即使橫邊之形狀有變化,但「弧」長經常為36〇 mm。 另一方面,「弦」長(=連接縱邊與橫邊之直線距離)小於 360 mm 〇 5·改變「弦」長(360 mm—94 mm),測定當時之縱邊角度 (實施形態中所述之保持角度0 a)。 6 ·其次’也對玻璃基板同樣施行1〜5之處理。但因玻璃基 板表乎無可撓性’故「弦」長只有360 mm— 358 mm之變化。 即’欲改變至355 mm時,玻璃基板就會破裂。 施行上述之實驗·測定之結果,在塑膠基板可獲得如圖 13所示之結果,在玻璃基板可獲得如圖14所示之結果。 由以上可知:保持角度0 a以設定為20。〜75。為宜。 又’為使基板4彎曲成使此保持角度θ a成為20。〜75。,基
O:\91\91350.DOC -23- I229651 板長Ws與收容本體寬Wa之關係以保持210/360 < Wa/Ws < 358/360為宜。因此,可使基板4穩定地自立。 如上所述,本發明之可撓性基板收容具係將一對對向構 件在基板之收容狀態之間隔設定於比所挾持之基板之挾持 方向長度為短。 又,本發明之可撓性基板收容方法係將一對對向構件在 基板之收容狀態之間隔設定於比前述所挾持之基板之挟持 方向長度為短。 故由於一對對向構件在基板之收容狀態之間隔比所挟持 之基板之挾持方向長度為短,在收容基板時,必然 會彎曲。 此九果,可提供以容易且簡易之構造使所收容之基板彎 曲之可撓性基板收容具及可撓性基板收容方法。 又,本發明之可撓性基板收容具係在前述各對向構件形 成排列保持前述多數基板用之保持部。 立故由於在各對向構件形成㈣保持多數基㈣之保持 Ρ因此Τ以排歹,並予以整理之狀態收容多數基板。 又,本發明之可撓性基板收容具係在前述記載之可撓性 基板收容具中,以異於對對向構件成直角之角度保持基板 之方式形成前述保持部。 故由於以異於對對向構件成直角之角度保持基板之方式 形成保持部’因此,將對向之-對對向構件與保持部形成 之角度設定於90。以外,故可使彎曲之基板沿著保持部。此 結果,更容易維持基板之f曲形狀,在基板與保持部之接
O:\91\91350.DOC -24- 1229651 觸處’減低施加於譬方夕έ + ^ 又方之負何。又,可抑制在接觸面之雔 方之摩擦等產生之塵屑。 又 又,本發明之可撓性基板收容具係將前述—對對 構成在前述基板出入時,可變更擴大其間隔。 故由於-對對向構件構成在前述基板出人時,可變 大其間隔,因此,在基板出入時, " 狀出入。 了使弓曲之基板成平坦 1 匕結果’可以通常之平坦狀之基板之狀態插人而非使A 板彎曲後再插入,故基板之出入較為容易。 土 又’本發明之可撓性基板收容具係在前述_對對向構件 中至少-方對向構件之保持部形成各基板用屈曲部。 故可使保持部之自由端側平行於基板之插人方向。此钟 果,在前述基板出入時,在擴大一對對向構件之間隔時了 :確實使彎曲之基板成平坦狀出入。因此,可獲得使基板 容易出入之效果。 又,=發明之可撓性基板收容具係在前述一對對向構 件,於前述基板之插入方向裏側設置裏底板,並在上述裏 底板形成導引上述基板之彎、曲之插入溝。 故在收容基板時,將基板之插入方向裏側之邊插入插入 溝時,也可對基板之插入方向裏侧具有保持機能,而更穆 定地收容基板。 〜 又2發明之可撓性基板收容具係在前述一對對向構 件,於W述基板之插入方向裏側設置裏底板,並在上述裏 底板形成導引上述基板之彎曲之多數個突起 O:\91\91350.DOC -25- 1229651 故在收容基板時,將基板之插入方向裏側之邊插入頂接 ^突起之側面時,也可對基板之插入方向裏側具有保持機 能’而更穩定地收容基板。 又,本發明之可撓性基板收容具係立設地收容前述基板。 故在收容平坦狀之基板時,可藉彎曲增大基板之剛性。 因此,可穩定地使基板自立,尤其在將基板收容於可撓性 基板收容具中搬運時相當有用。 a又,本發明之可撓性基板收容具係在前述可撓性基板收 各具中,將前述一對對向構件構成為平板。 π故可將可撓性基板收容具形成作為可撓性基板收容容 οπ此結果,可提供容易搬運之可撓性基板收容容器。 又,在實施方式之項中所述之具體的實施形態或實施例 畢竟係在於敘述本發明之技術内容,本發明並不應僅限定 於3亥等具體例而作狹義之解釋,在不脫離本發明之精神與 後述申請專利範圍項中所載之範圍内,可作種種變更而予 以實施。 【圖式簡單說明】 圖Ua)係表示本發明之收容本體之一實施形態中,收容於 上述收容本體之平坦狀態之基板之平面圖,圖1(b)係表示收 容於上述收容本體時之f曲狀態之平面圖,圖⑽係表示上 述收谷本體之平面圖’圖j⑷係表示側面板挾持基板之狀態 及保持部保持基板之狀態之要步放大平面圖。 圖2係表示上述收容本體及蓋部之構成之立體圖。 圖3係表示將基板插人上述收容本體之狀態之立體圖。
O:\91\91350.DOC -26- 1229651 圖4係表示設於上述收容本體之保持部之基板保持面之 傾斜角度之平面圖。 圖5係表示將基板橫向收容時之收容本體之立體圖。 圖6(a)係表示本發明之可撓性基板收容具之另一實施形 心中 對連接棒之間隔擴大之狀態之基板收容用箱之正 面圖圖6(b)係表示上述一對連接棒之間隔縮小之狀態之基 板收谷用箱之正面圖。 圖7係表示上述基板收容用箱之保持部之構造之要部正 面圖。 圖8(a)係表示本發明之收容本體之又另一實施形態中,收 合於上述收容本體之平坦狀態之基板之平面圖,圖8(b)係表 示收容於上述收容本體時之彎曲狀態之基板之平面圖,圖 8(c)係表示底面形成彎曲溝之上述收容本體之平面圖。 圖9係表示圖8(c)之A-A線箭視正面圖。 圖10(a)係表示本發明之收容本體之又另一實施形態中, 收谷於上述收容本體之平坦狀態之基板之平面圖,圖1〇(匕) 係表示收容於上述收容本體時之彎曲狀態之基板之平面 圖,圖10(c)係表示底面形成多數突起之上述收容本體之平 面圖。 圖Π係表示圖10((〇之;8_;6線箭視正面圖。 圖12(a)係表不在決定本發明之收容本體之保持部之傾斜 角度之際之實驗中,對基板不施加弱的軸方向壓縮力時之 基板之正面圖,圖12(b)係表示對上述基板施加弱的軸方向 壓縮力時之基板之正面圖,圖12((:)係表示對上述基板施加
O:\91\91350.DOC -27- 之情形之收容本體之保持部 圖0 之情形之收容本體之保持部 圖。 體之情形中,收容於上述收 面圖,圖15(b)係表示上述收 1229651 強的軸方向壓縮力時之基板之正面圖 圖13係表示在決定塑膠基板 之傾斜角用之實驗結果之特性 圖14係表示在決定玻璃基板 之傾斜角用之實驗結果之特性 圖15(a)係表示以往之收容本 谷本體之平坦狀態之基板之平 容本體之平面圖。 圖16係表示設於上述收容本體 角度之平面圖。 之保持部之基板保持 面之 圖17係表示以往之另一收容本體之正面圖 【圖式代表符號說明】 1 容器本體 2 蓋部 3a 側面板 4 基板 5 保持部 6 基板保持面 7 屈曲部 8 底面 9 彎曲溝 10 可撓性基板收容容器 20 基板收容用箱 23a 連接棒
O:\91\9I350.DOC -28- 1229651 27a 底板 28a 頂板 30 容器本體 40 容器本體 41 突起 42
Wa 收容本體寬 Wc 箱内部寬 Ws 基板長 Θ a 保持角度 Θ b 屈曲角度 O:\91\91350.DOC -29-

Claims (1)

  1. ^229651 拾、申請專利範園: L —種可撓性基板收容 外形之相對^ $4徵在於:構成收容本體之 性之多= 對向構件以藉由挾持具有可繞 定二板使其-曲而收容之方式將其間隔保持於— 2 範圍第1項之可撓性基板收容具,其中前述- 挾持方2 板在收容狀11之間隔比所挾持之基板之 狹持方向長度為短者。 如由咬成 持前述多數基板用之保持部者。 5. :專利乾圍第2項之可撓性基板收容具,其中在前述 、:構件形成排列保持前述多數基板用之保持部者。 ^申凊專利範圍第3項之可撓性基板收容具,其中前述保 寺部係為對對向構件以與直角不同之方式保持基板而形 成者。 6. 申明專利範圍第4項之可撓性基板收容具,其中前述保 持㈣為對對向構件以與直角不同之方式保持基板而形 成者。 女申明專利範圍第1項之可撓性基板收容具,其中前述一 °構件係在前述基板取放時,以其間隔擴大之方式 可變更者。 8·如申凊專利範圍第7項之可撓性基板收容具,其中在前述 對對向構件中至少一方對向構件之保持部形成各基板 用彎曲部者。 O:\91\91350.DOC Ϊ229651 •如申請專利範圍第1 j苜々π』土 弟1項之可撓性基板收容具,其中前述收 容本體係在前述一對斜A 于對向構件之前述基板之插入方 側包含裏底板; 〜 並在上述裏底板形成導引上述基板彎曲之插入溝者。 如申喷專利耗圍第2項之可捷性基板收容具,其中前述收 谷本體係在別迷-對對向構件之前述基板之插入方向享 側包含裏底板; ~ 並在上述裏底板形成導引上述基才反彎曲之插入溝者。 !·如申請專利範圍第1項之可撓性基板收容具,其中前述收 谷本體係在前述—對對向構件之前述基板之插入 側包含裏底板; & 並在上述裏底板形成多數個導引上述基板彎曲之突 者。 12.如中請專利範圍第2項之可撓性基板收容具,其中前述收 容本體係在前述-對對向構件之前述基板之插入方向裏 側包含裏底板; ~ 亚在上述裏底板形成多數個導引上述基板彎曲之突起 者。 13·如申請專利範圍第m撓性基板收容具,其中前述基 板係被立設地收容者。 14. 如申請專利範圍第2項之可撓性基板收容具,其中前述基 板係被立設地收容者。 15. 如_請專利範圍第中任—項之可撓性基板收容 具’其中前述一對對向構件係平板者。 O:\91\91350.DOC -2- 1229651 16. 17. /可說/·生基板收容方法’其特徵在於:於構成收容本 體之外形之相對向之至少一對對向構件,藉由挾持具有 了知*性之多數基板使其彎曲而收容者。 如申請專利範圍第16項之可撓性基板收容方法,其中比 前述所挾持之基板之挾持方向長度縮短前述一對對向構 件之基板在收容狀態之間隔者。 O:\91\91350.DOC
TW093104300A 2003-02-21 2004-02-20 Flexible substrate storage equipment and flexible substrate storing method TWI229651B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003045059A JP2004250084A (ja) 2003-02-21 2003-02-21 フレキシブル基板収納具及びフレキシブル基板収納方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200426089A TW200426089A (en) 2004-12-01
TWI229651B true TWI229651B (en) 2005-03-21

Family

ID=32866496

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW093104300A TWI229651B (en) 2003-02-21 2004-02-20 Flexible substrate storage equipment and flexible substrate storing method

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7431158B2 (zh)
JP (1) JP2004250084A (zh)
KR (1) KR20040075779A (zh)
CN (1) CN1266007C (zh)
TW (1) TWI229651B (zh)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7540381B2 (en) * 2004-09-23 2009-06-02 Blasco Stanley J Reusable shipping container for fragile objects
JP4584023B2 (ja) * 2005-05-17 2010-11-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
JP2006321575A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd ディスプレイパネルの製造装置および製造方法
KR100939621B1 (ko) * 2005-06-25 2010-02-02 엘지디스플레이 주식회사 카세트
JP4652177B2 (ja) * 2005-09-02 2011-03-16 株式会社デンソー 半導体装置の製造方法およびその製造方法の実施に用いられる製造装置
US7658055B1 (en) * 2006-10-01 2010-02-09 Nanosolar, Inc. Method of packaging solar modules
JP2011108715A (ja) * 2009-11-13 2011-06-02 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
US20110272420A1 (en) * 2010-05-05 2011-11-10 Applied Materials, Inc. Enclosed vertical rack for storing and transporting large substrates
US8826693B2 (en) 2010-08-30 2014-09-09 Corning Incorporated Apparatus and method for heat treating a glass substrate
US20140360552A1 (en) * 2012-07-19 2014-12-11 Brittmore Group LLC Solar Panel Field Array Support System and Apparatus and Method for Construction Use
JP5773158B2 (ja) * 2011-11-10 2015-09-02 株式会社Ihi 薄板状ワーク保管装置
US9153466B2 (en) * 2012-04-26 2015-10-06 Asm Ip Holding B.V. Wafer boat
WO2014103808A1 (ja) * 2012-12-24 2014-07-03 淀川ヒューテック株式会社 板体収容用ボックス
KR102098306B1 (ko) * 2013-02-20 2020-04-08 삼성디스플레이 주식회사 기판 수납 장치
JP6104695B2 (ja) * 2013-04-30 2017-03-29 ミライアル株式会社 非対称溝形状ウェーハカセット
US9284211B2 (en) * 2013-08-08 2016-03-15 Corning Incorporated Methods of post processing a glass sheet
US9558781B1 (en) 2014-10-16 2017-01-31 Flextronics Ap, Llc Method for selecting individual discs from tightly spaced array of optical discs
US9651360B1 (en) 2014-10-21 2017-05-16 Flextronics Ap, Llc Optical methods for determining positions of optical discs in tightly packed cylindrical arrays
EP3085641A1 (en) * 2015-04-23 2016-10-26 AGC Glass Europe Container for transporting and/or storing a plurality of glass sheets
KR102446561B1 (ko) * 2015-12-11 2022-09-23 삼성디스플레이 주식회사 커브드 기판용 카세트
KR102576521B1 (ko) * 2016-03-31 2023-09-12 삼성디스플레이 주식회사 기판의 이송장치
US10068787B2 (en) 2016-12-30 2018-09-04 Sunpower Corporation Bowing semiconductor wafers
CN106944987B (zh) * 2017-05-23 2024-02-13 合肥惠科金扬科技有限公司 显示器作业工作台
CN109677781A (zh) * 2018-12-21 2019-04-26 惠州市华星光电技术有限公司 一种曲面显示装置的缓冲组合结构及其周转包装箱
JP2023539593A (ja) * 2020-08-25 2023-09-15 エコエーティーエム, エルエルシー 使用済み電子デバイスを評価および購入するためのキオスク
CN112278601A (zh) * 2020-10-27 2021-01-29 国网山东省电力公司昌邑市供电公司 一种可调节式的电能表周装箱
JP2022159782A (ja) * 2021-04-05 2022-10-18 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器
CN115384856B (zh) * 2022-09-13 2023-12-22 河南汇达印通科技股份有限公司 放置件、装箱装置、整箱感光材料板和装箱方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2807360A (en) * 1956-01-11 1957-09-24 Int Paper Co Packing for frangible articles
DE2133843A1 (de) * 1971-07-07 1973-01-18 Siemens Ag Anordnung zum eindiffundieren von dotierstoffen in halbleiterscheiben
US5236094A (en) * 1991-05-06 1993-08-17 Condie Rex S Wiring panel rack apparatus
JP2552625B2 (ja) * 1993-11-09 1996-11-13 淀川化成株式会社 ガラス基板搬送用ボックス
JPH0853176A (ja) 1994-06-06 1996-02-27 Tenshiyou Denki Kogyo Kk 板体収納用ラック
JP3740722B2 (ja) 1995-09-22 2006-02-01 スターライト工業株式会社 基板用カセット
JPH10120074A (ja) 1996-10-16 1998-05-12 Sharp Corp パネル収納用カセット
JP3911765B2 (ja) 1997-05-22 2007-05-09 スターライト工業株式会社 基板用カセット
KR100247138B1 (ko) * 1997-11-20 2000-03-15 구본준, 론 위라하디락사 유리기판 적재용 카세트
JP4855569B2 (ja) * 2000-10-20 2012-01-18 コーニング インコーポレイテッド ガラス基板を梱包するための容器
JP3685327B2 (ja) 2002-02-20 2005-08-17 日本電気硝子株式会社 ガラス基板の収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004250084A (ja) 2004-09-09
CN1522939A (zh) 2004-08-25
CN1266007C (zh) 2006-07-26
US7431158B2 (en) 2008-10-07
US20040163988A1 (en) 2004-08-26
TW200426089A (en) 2004-12-01
KR20040075779A (ko) 2004-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI229651B (en) Flexible substrate storage equipment and flexible substrate storing method
JP4696102B2 (ja) 基板収納用カセット
US9010529B2 (en) Foldable cover
US8499934B2 (en) Package structure with a flat display unit packed therein and package structure for packing a flat display unit
TWI513398B (zh) 承載裝置及伺服器
US7782599B2 (en) Computer device with stiffened display member
US7789362B2 (en) Stand for image display device
US20110220543A1 (en) Package member for flat panel display apparatus
US20050040311A1 (en) Display apparatus
US10368620B2 (en) Protective cases for mobile devices
KR20040044706A (ko) Lcd용 글라스 적재 카세트
TW201206786A (en) Package and cushion structure
KR100482817B1 (ko) 엘시디모니터의 착탈 가능한 베이스 구조
CN208931993U (zh) 防震缓冲装置及防震箱
WO2019127742A1 (zh) 包装装置
JP7237358B2 (ja) 担架、及び担架収納体
KR100617347B1 (ko) 엘씨디 모니터의 스탠드 구조
US20240006834A1 (en) Universal mobile device mount
KR100873644B1 (ko) 엘씨디 모니터장치
CN105753308B (zh) 玻璃基板运送装置及玻璃基板取出方法
US11521523B1 (en) Curved display panels
JP6849377B2 (ja) 電子機器用包装体および仕切り体
JP4585898B2 (ja) 液晶表示装置
JPWO2008041711A1 (ja) ディスプレイ用部材搬送ケース
TW201441118A (zh) 板體收納用箱

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees