TW593488B

TW593488B - Radiation sensitive resin composition and use of the same in an interlaminar insulating film

Info

Publication number: TW593488B
Application number: TW089110893A
Authority: TW
Inventors: Isao Nishimura; Masayoshi Suzuki; Fumiko Yonezawa; Masayuki Endo
Original assignee: Jsr Corp
Priority date: 1999-06-04
Filing date: 2000-06-03
Publication date: 2004-06-21
Also published as: DE60010797D1; DE60010797T2; EP1057859A2; EP1057859B1; KR100663818B1; EP1057859A3; US6399267B1; JP2000347397A; KR20010007222A

Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 A7 B7 五、發明說明（1 ) 本發明係關於一種光照敏感性樹脂組成物，及其在層間絕緣膜內的用途。更明確的說，彼係關於一種正性光照敏感性樹脂組成物其適用於經由光平版印刷而形成層間絕緣膜，及其在層間絕緣膜內的用途，尤其是液晶展示元件、積體電路元件、磁頭元件、固體影像擷取元件或其類似者。 … 一般而言，在絕緣線路層間形成的層間絕緣膜係用於電子零件如薄膜電晶體（以下縮寫爲” T F T ” ）液晶展示元件、磁頭元件、積體電路元件及固體影像擷取元件。用以形成層間絕緣膜的光平版印刷技術，其係使用光照敏感性樹脂組成物，且特色在用以得到層間絕緣膜圖樣所須步驟數目少，且得到的層間絕緣膜的具有令人滿意的平坦性。在由光照敏感性樹脂組成物形成層間絕緣膜之步驟中，針對構成電子零件的各材料作最佳製程條件選擇與使用，以達成下列性質之平衡：解析度、溶劑抗性、對受質之黏著及貯存穩定性。當於上述製程條件之下加工及模製層間絕緣膜須要高溫，除了層間絕緣膜以外的元件將因加熱而受損，從而不能得到電子零件的目標特色性質，例如磁頭（G M R頭部）其中包含高磁性抗性膜以增加複製輸出，從而改良硬碟機的表面紀錄密度。若此G M R頭部加熱至高於2 0 0 °C的溫度，磁化方向將變得不穩定。因此，必須避免將G M R頭部加熱至高於2 0 0 °C的溫度。然而 ____-4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^--------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 A7 B7 五、發明說明（2 ) ’依據G M R-頭部之結構，爲生產G M R頭部，具有層間絕緣膜的紀錄線圈必須於高磁性抗性膜形成之後才製作。爲達，成令人滿意的層間絕緣膜功能，慣常的構成層間絕緣膜的光敏性樹脂組成物其必須加熱至高於2 0 0 °C的溫度，從而使高磁性抗性膜磁化方向不穩定。慣常的光敏性樹脂組成物包含問題如：由於硬化反應未在低於2 0. 0 t的熱處理溫度充分地進行所導致的低溶劑抗性，或在層壓中因爲硬化反應伴以除氣而於層間形成氣泡。即，尙無一種光敏性樹脂組成物其可允許用以在低溫下加工及模製層間絕緣膜，而不損害構成電子零的其它元件材料，且能提供作爲層間絕緣膜所須要的解析度、溶劑抗性、對受質之黏著及貯存穩定性。本發明目的之一在於在上述情況之下可提供一種光照敏感性樹脂組成物其可在低溫下加工及模製，且具有作爲層間絕緣膜所須要的解析度、溶劑抗性、對受質之黏著及貯存穩定性。本發明另一目的供在提供一種方法，由上述光照敏感性樹脂組成物生產層間絕緣膜。而本發明另一目的在將上述光照敏感性樹脂組成物，使用在層間絕緣膜內。本發明進一步之目的在提供一種由上述光照敏感性樹脂組成物形成的層間絕緣膜。由以下描述，本發明其它目標及優點將變得明顯的。依據本發明，首先，上述本發明目標及優點係經由一本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) IAW· ^--------訂----- # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 A7 B7 五、發明說明（3 ) 種光照敏感怯樹脂組成物而獲得，該樹脂組成中包含： (A ) —種共聚物（稱爲”共聚物（A ) ” ）其係經由共聚合下列成分而得到：（a 1 )至少一種羧酸化合物 (以下稱爲 ''化合物（a 1 )〃），其係選自不飽和羧酸與不飽和羧基酐，（a 2 )至少一種不飽和環氧基化合物 (以下稱爲Μ匕合物（a 2 ) 〃），其係選自由以下式（ 1 )代表之單體組成物： …

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C \ CH, …⑴ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ο 其中R爲氫原子或甲基基團，R1爲具有1至4個碳原子之烷基基團，且η爲1至6之整數，及由以下式（2 ) 代表之單體：

-H "(2) --------訂----- 離· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其中R2爲氫原子或甲基基團，P爲1至6之整數，且 Q爲1至6之整數，且（a 3)爲除了上述（a 1 )及（ a 2 )以外的烯烴系不飽和化合物（以下稱爲、'化合物（ a 3 ) 〃）·’及 (B ) 1，2 -醌重氮基化合物。其次’上述本發明目標及優點可經由一種產生層間絕本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（4 ) 緣膜的方法獲-得，此方法包含下列步驟·· (1 )製備層間絕緣膜之受質，其具有由上述本發明光照敏感性樹脂組成物形成的薄膜； (2 )經由預先決定的圖樣光罩將薄膜暴露照光； (3 )使用鹼顯影劑將暴露的薄膜顯影以形成薄膜圖樣；及 (4 )於低於2 0 0 C之溫度將薄膜圖樣加熱。第三’上述本發明目標及優點係經由在層間絕緣膜內使用上述本發明光照敏感性樹脂組成物而獲得。第四’上述本發明目標及優點係經由使用層間絕緣膜而獲得’該絕緣膜係由上述本發明光照敏感性樹脂組成物形成。本文之 ''照光〃意指紫外線照射、遠紫外線照射、X -輻射線、電子束、分子束、7 -輻射線、同步輻射線、質子束及類似者。本發明光照敏感性樹脂組成物將詳述於下。本發明光照敏感性樹脂組成物包含共聚物（A )及1 ，2 -醌重氮基化合物（B )。共聚物（A ) 共聚物（A )之製作可以’例如經由於聚合引發劑存在下，在溶劑之中，將化合物（a 1 )、化合物（a 2 ) 及化合物（a 3 )作自由基聚合。用於本發明的共聚物（A )含有組份單位其源自化合本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注音心事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 A7 --------- B7 五、發明說明（5 ) 物（a 1 )其_用量較佳者在5至4 〇w t %，尤其較佳者在1 0至3 5 w t %。當此組份單位用量小於5 w t %，共聚物難於溶解在驗性水溶液之中且當此組份單位用量大於4 0 w t %，共聚物在鹼性水溶液中之溶解度傾向於太大。化合物（a 1 )之說明性實施例包括羧酸如丙烯酸、甲基丙烯酸及巴豆酸；二羧酸如順丁烯二酸、反丁烯二酸、蒸餾檸檬酸、甲基反丁烯二酸及分解烏頭酸：此類二羧酸之酐；聚羧酸（即二價及多價羧酸）之單〔（甲基）丙烯醯基氧基烷基〕酯類，如單〔2 -（甲基）丙烯醯基氧基乙基〕琥珀酸酯及單〔2 -（甲基）丙烯醯基氧基乙基〕酞酸酯；及聚合物之單（甲基）丙烯酸酯其在兩端具有羧基基團及羥基基團，如ω -羧基聚己內酯單（甲基）丙烯酸酯。此類之中，丙烯酸、甲基丙烯酸及順丁烯二酸酐爲較佳的，基於考量在鹼性水溶液中的共聚合反應性溶解度及易於取得。彼可單獨使用或合倂使用。用於本發明的共聚物（A )含有組份單位其源自化合物（a2)，其用量較佳者在5至6〇wt%，尤其較佳者在1 0至5 0 w t %。當組份單位之用量小於5 w t % ，所得到的塗覆膜傾向較低的之耐熱性，且當組份單位之用量大於6 0 w t %，共聚物之貯存穩定性傾向於較低的〇化合物（a2)之代表爲分子式爲（1)或（2)。在分子式（1 )中，R爲氫原子或甲基基團，R1爲具有1 至4個碳原子之烷基基團，且11爲1至6之整數。由Rl代本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------ I I I----^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 A7 B7 五、發明說明（6 ) _的具有1至4個碳原子之烷基基團可爲線性的或分枝的〇化合物（a 2 )的說明性實施例可由分子式（1 )代 _ ’包括/3 —甲基甘油基（甲基）丙烯酸酯、沒一乙基甘、油基（甲基）丙烯酸酯、^ 一丙基甘油基（甲基）丙烯酸酯' /3 —甲基甘油基α 一丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸3 —甲基一 3，4 一環氧基丁酯、（甲基）丙烯酸3 —乙基 —3 ’ 4 一環氧基丁酯、（甲基）丙烯酸4 一甲基一 4， 5 一環氧基戊酯及（甲基）丙烯酸5 —甲基一 5，6 -環氧基己酯。在分子式（2 )中，R2爲氫原子或甲基基團，ρ爲1 至6之整數，且q爲1至6之整數。在分子式（2)中，環氧基基團可鍵結至任何位置，例如環己烷環的3 -位置或4 -位置。應瞭解分子式（2 )之化合物爲位置異構物或其混合物。由分子式（2 )代表的化合物（a 2 )的說明性實施例包括由下式（3 )至（8 )代表之化合物。 ------------··裝--------訂--- (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 593488 A7

五、發明說明（7

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0-

-H ••(8) 此類之中，/3 —甲基甘油基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸3 —甲基一 3，4 一環氧基丁酯及由上述式（ 7 )及（8 )代表之化合物爲較佳的，因爲所得到的光敏性樹脂組成物，具有尤其改良寬廣的加工邊界及溶劑抗性 _-10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 A7 _ B7 五、發明說明（8 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 。此類化合物-可由之下商品名獲得：Μ〜G Μ A及 C YMA 3 0 0 ( Daicel Kagaku公司產製），彼可單獨使用或合倂使用。用於本發明的共聚物（A )進一步含有組份單位其源自化合物（a 3 )其用量較佳者1 〇至8 〇 w t %，尤其較佳者2 0至7 0 w t %。當此組份單位用量小於1 0 w t %，共聚物之貯存穩定性（a )傾向低且當用量大於8 0 w t %，共聚物（A )難以溶解在鹼性水溶液之中。 ♦ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製化合物（a 3 )之說明性實施例包括烷基甲基丙烯酸酯如甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸第二丁酯及甲基丙烯酸第三丁酯；烷基丙烯酸酯如丙烯酸甲酯及丙烯異丙基酯；甲基丙烯酸環烷酯如甲基丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸2 —甲基環己酯、甲基丙烯酸三環〔5 · 2 · 1 · 02’ 6〕癸一 8 -酯（在此技藝領域通常稱爲 > 甲基丙烯酸二環戊酯〃），甲基丙烯酸二環戊基氧基乙酯及甲基丙烯酸異龍腦酯；環烷基丙烯酸酯如丙烯酸環己酯、丙烯酸2 -甲基環己酯、丙烯酸三環〔5 · 2 . 1 · 02’ 6〕癸—8 -酯（在此技藝領域通常稱爲 ''丙烯酸二環戊酯〃），丙烯酸二環戊基氧基乙酯及異龍腦基丙烯酸酯；芳基甲基丙烯酸酯如甲基丙烯酸苯酯及甲基丙烯酸苄酯；芳基丙烯酸酯如丙烯酸苯酯及丙烯酸苄酯；二羧基二酯類如順丁烯二酸二乙酯，反丁烯二酸二乙酯及分解烏頭酸二乙酯；羥烷基酯類如甲基丙烯酸2 -羥基乙酯及甲基丙烯酸2 —羥基丙酯；苯乙烯、α —甲基 ___-11 -______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 593488 A7 B7 五、發明說明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本乙烯、對一-甲基苯乙烯、對—甲基苯乙烯，鄰—甲基苯乙烯、對一甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、亞乙烯基氯化物、丙j:希醯胺、甲基丙稀基薩胺、乙酸乙儲酯、1 ，3 — 丁二烯、異戊間二烯、2，3 —二甲基— 1 ’ 3 — 丁二烯、苯基順丁烯二酸醯亞胺、乙二醇二丙烯酸酯 '二甘醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、新戊基二醇二丙烯酸酯、甘油二丙烯酸酯、乙.二醇二甲基丙烯酸酯、一甘醇—甲基丙儲酸酯、三甘醇二甲基丙嫌酸酯、新戊基二醇二甲基丙烯酸酯及甘油二甲基丙烯酸酯；環己基順丁烯二酸醯亞胺、苄基順丁烯二酸醯亞胺、N -琥珀醯亞胺基- 3 -順丁烯二酸醯亞胺苯甲酸酯、n -琥珀醯亞胺基一 4 -順丁烯二酸醯亞胺丁酸酯、n -琥珀醯亞胺基-6 —順丁烯二酸醯亞胺己酸酯、N -琥珀醯亞胺基一 3 -順丁烯二酸醯亞胺丙酸酯及N -（ 9 -吖啶基）順丁烯二酸醯亞胺；及雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、5 -甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、5 —乙基雙環〔2 · 2 • 1〕庚一 2 —烯、5 —羥基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一烯、5 -羧基雙環〔2 · 2 . 1〕庚—2 -烯、5 -羥甲基雙環〔2.2.1〕庚—2 —烯、5 — (2，一羥基乙基）雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、5 —甲氧基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、5 -乙氧基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、5，6 —二羥基雙環〔2 · 2 . 1〕庚一 2 -烯、5，6 —二羧基雙環2’ 一羥基乙基〔2 · 2 • 1〕庚一 2 —烯、5，6 -二（羥甲基）雙環〔2 · 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -1?- 593488 '發明說明（1〇庚 2 庚—2-—烯、5，6 (2 ’ 一〕庚〜庚〜2 〜2〜 2〜烯一烯、一烯、烯、5 ，6 —二甲一二乙氧基 5 —甲基雙羥乙基氧基雙雙環〔環〔2 )雙環環〔2 2.2 1〕庚—2 -烯、5 庚—2 —烯、5，6 2 —烯、5 —羥基一一烯、5 —羥基—5 -乙基雙環〔2 · 2 , 1〕羧基 2 . 烯、5 5 —第烯、5 、5 -羧基 5 -羥 5 -羧 -羧基 6 —二甲基一基—6 —6 — 氧第 6 丁氧基基鐵基雙環〔丁氧基羰基環己氧環己氧基羰基一二（羧基雙羰基雙雙環〔 2 . 2 )雙環基羯基 -5 -5 -乙 5 -甲一甲基乙基雙環〔2 環〔2 2 . 2 .1 ] [2 . )雙環甲基雙環[ 基雙環〔2 基雙環〔2 雙環〔2 . 環〔2 · 2 .2.1] • 2 . .1〕庚 1〕庚― 1〕庚一〕庚一 2 • 1〕庚一2 2 1〕 • 1〕庚一庚一 2 - ；(：希庚一 2 -烯酐庚—2 2 — Μ —烯、5 、5 -苯 5 6 —二（ 2 · 1〕庚一 2 —烯及5，〔2.2.1〕庚—2 —烯 --------I I IAW1 --------^ . I------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製此類之中’較佳者爲苯乙烯、第三丁基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸二環戊酯、對一甲氧基苯乙烯、2 —甲基環己基丙烯酸酯、苯基順丁烯二酸醯亞胺、1，3 — 丁二烯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、甘油二甲基丙烯酸酯，環己基順丁烯二酸醯亞胺及雙環〔2 · 2 . 1〕幫助一 2 -烯，此係基於考量共聚合反應性，分子量分佈可控制性及在鹼性水溶液之中的溶解度°彼可單 ______-13- ------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 593488 A7 B7 五、發明說明（彳1 ) 獨使用或合倂-使用。使用於製備共聚物（A )的溶劑之說明性實施例包括醇類如甲醇及乙醇；醚類如四氫呋喃；二醇醚類如乙二醇單甲基醚及乙二醇單乙醚；乙二醇烷基醚乙酸酯如甲基賽璐蘇乙酸酯、乙基賽璐蘇乙酸酯；二甘醇如三甘醇單甲基醚、三甘醇單乙醚、三甘醇乙醚、三甘醇乙醚及三甘醇乙基甲基醚；丙二醇單烷基醚類如丙醇單甲基醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙基醚及丙二醇單丁基醚；丙二醇烷基醚乙酸酯如丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯及丙二醇丁基醚乙酸酯；丙二醇烷基醚丙酸酯如丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯及丙二醇丁基醚丙酸酯；芳香族烴如甲苯及二甲苯；酮如甲基乙基酮、環己酮及4 一羥基一 4 一甲基一 2 —戊酮；及酯類如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2 —羥基丙酸乙酯、2 —羥基—2 —甲基丙酸甲酯、2 —羥基一 2 —甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3 -羥基丙酸甲酯、3 -羥基丙酸乙酯、3 —羥基丙酸丙酯、3 —羥基丙酸丁酯、2 -羥基一 3 —甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧·基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯，乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯，乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙 -------- 14- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------0. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 593488 A7 B7 五、發明說明（12 ) 酸丙酯、丁氧-基乙酸丁酯、2 —甲氧基丙酸甲酯、2 —甲氧基丙酸乙酯、2 —甲氧基丙酸丙酯、2 —甲氧基丙酸丁酯、2 —乙氧基丙酸甲酯、2 —乙氧基丙酸乙酯、2 —乙氧基丙酸丙酯、2 -乙氧基丙酸丁酯、2 - 丁氧基丙酸甲酯、2 -丁氧基丙酸乙酯、2 -丁氧基丙酸丙酯、2 -丁氧基丙酸丁酯、3 —甲氧基丙酸甲酯、3 —甲氧基丙酸乙酯、3 —甲氧基丙酸丙酯、3 —甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3 —乙氧基丙酸乙酯、3 -乙氧基丙酸丙酯、3 —乙氧基丙酸丁酯、3 —丙氧基丙酸甲酯、3 -丙氧基丙酸乙酯、3 -丙氧基丙酸丙酯、3 -丙氧基丙酸丁酯、3 -丁氧基丙酸甲酯、3 —丁氧基丙酸乙酯、3 -丁氧基丙酸丙酯及3 - 丁氧基丙酸丁酯。使用於製備共聚物（A )的聚合引發劑爲一般已知的作爲自由基聚合引發劑者，可舉例如偶氮基化合物如2， 2’ 一偶氮基雙異丁腈、2，2’ 一偶氮基二一（2，4 一二甲基戊腈）及2，2’ 一偶氮基二一（4 一甲氧基一 2，4 一二甲基戊腈；有機過氧化物如苯甲基過氧化物、月桂醯基過氧化物、第三丁基過氧叔戊酸酯及1 ， 1’ - 雙-（第三丁基過氧）環己烷；及過氧化氫。當以過氧化物作爲自由基聚合引發劑，可合倂使用還原劑作爲氧化還原引潑劑。於製備共聚物（A )之中可使用分子量修改劑以控制分子量。分子量修改劑之說明性實施例包括烴鹵化物如氯仿及碳四溴化物；硫醇如正己基硫醇、正辛基硫醇、正十 ___ - 1F；- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · I I---丨丨訂·--- I----- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（13 ) 二基硫醇，第_三一十二基硫醇及硫乙醇酸；黃原酸鹽如二甲基黃原酸鹽硫化物及二異丙基黃原酸鹽二硫化物；萜品油烯及α —甲基苯乙烯雙體。如上所述，用於本發明的共聚物（Α )具有羧基基團及/或羧基酐基團及環氧基基團及適當的在鹼性水溶液之中的溶解度，且可容易地經由加熱硬化而未使用特別的硬化劑。 ^ 內含上述共聚物（A )的光照敏感性樹脂組成物，於顯影之後可容易地形成預先決定的塗覆膜圖樣而沒有未顯影的部分及膜厚度的降低。上__ · 2 -醌重氯基化合物（B立_ 用於本發明的1，2 -醌重氮基化合物（B )有，例如1，2 -苯并醌重氮基磺酸酯、1，2 -萘并醌重氮基磺酸酯、1，2 —苯并醌重氮基磺酸醯胺或1，2 -萘并醌重氮基磺酸醯胺。1，2 -醌重氮基化合物之說明性實施例包括三羥基苯甲酮的1，2 -萘并醌重氮基磺酸酯’ 如2' 3，4 一三羥基苯甲酮一 1，2 —萘并醌疊氮化物一 4 一磺酸酯、2，3，4 —三羥基苯甲酮一 1 ，2 —萘并醌重氮基—5 —磺酸酯、2，4，6 —三羥基苯甲酮一 1 ，2 —萘并醌重氮基一 4 一磺酸酯及2，4，6 -三羥基苯甲酮一 1，2 -萘并醌重氮基一 5 —磺酸酯；四羥基苯甲酮之1 ，2 —萘并醌重氮基磺酸酯如2，2 ’ ，4， 4’ —四經基苯甲酮一1，2 —萘并S昆重氮基一 4 一擴酸 -1fi - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 A7 五、發明說明（14 酯、2，2 S比重氣基一酮一 1 ，2 4 ，4 5〜磺酸酯〜萘并醌重 3 —四羥基苯甲酮一工氣基—4 一 1，2 -萘一四羥基一 4 一磺酸酯甲酮一1 ，，4，—四重氮基一 4 一甲氧基苯 4，4 ’ — 磺酸酯、2 幷醌重氮基 4 ’ 一甲基、2，3， 2 —萘并醌羥基一 3 ’ -磺酸酯及甲酮一1 ， ’一四羥基苯甲酮一 1 ，、2，3，4，3，—四氮基—4 一磺酸酯、2，，2 -萘并醌重氮基—5 四羥基苯甲酮一1 ，2 — ，3，4，4 ’ 一四羥基 —5 -磺酸酯、2，3，苯甲酮一 1 ，2 —萘并醌 4，2’ —四羥基—4’ 重氮基一 5 —磺酸酯、2 一甲氧基苯甲酮一 1 ，2 2，3 ，4，4 ’ 一四羥 2 -萘并醌重氮基—5 - 2 -萘并羥基苯甲 3，4，一磺酸酯萘并醌重苯甲酮一 4,2，重氣基-一甲基苯，3，4 一萘并醌基一 3，磺酸酯； (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) -裝------—丨訂---- 及（聚羥苯基）烷之1，2 -萘并醌二疊氮化物磺酸酯如 2，3，4，2 ’ ，6，一五—4 —磺酸酯、三（對一羥苯基）甲烷一 1，2 -萘并醌重氮基—5 -磺酸酯、1， 1 ，1 一三（對一羥苯基）乙烷一 1，2 -萘并醌重氮基 1 一三（對一羥苯基），2 -萘并醌重氮基—5 —磺酸酯、雙（2，3 羥苯基）甲烷—1，2 -萘并醌重氮基一 4 一磺酸酯、雙 (2_，3，4 一三羥苯基）甲院一 1 ，2 —萘并i昆重氮基 —5 -磺酸酯、2，2 —雙（2，3，4 —三羥苯基）丙烷一 1，2 —萘并醌重氮基—4 —磺酸酯、2，2 -雙（ ?，3，4 —三羥苯基）丙烷—1，2 -萘并醌重氮基一 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）華經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一 4 一磺酸酯乙烷一1 ，4 一三 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（15 ) 磺酸酯、-1 ，1 ，3 —三（2，5 —二甲基—4 —羥苯基）一 3 -苯基丙烷一 1 ，2 -萘并醌重氮基一 4 一磺酸酯、i ，！_ ，3_三（2，5 一二甲基一 4 —羥苯基） —3〜苯基丙烷一 1，2 一萘并醌重氮基一 5 -磺酸酯、 4，4’ —（1—〔4一〔1一〔4 一羥苯基〕—1—甲基乙基〕苯基〕亞乙基〕雙酚一 1 ，2 -萘并酿重氮基一 4 〜擴酸酯、4，4，一〔 1 —〔 4 一〔 1 一〔 4 —經苯基〕〜1—甲基乙基〕苯基〕亞乙基〕雙酚一 1 ，2 —萘并醌重氮基一 5 -磺酸酯、雙（2，5 —二甲基—4 一羥苯基）一 2 -羥苯基甲烷—1，2 —萘并醌重氮基一 4 — 磺酸酯、雙（2，5 —二甲基一 4 一羥苯基）一 2一羥苯基甲烷一 1，2 —萘并醌重氮基一 5 -磺酸酯、3，3 ’ 3’ ，3，一四甲基一1,1，一螺二因烯（indene )— 5，6，7，5，，6，，7，一六醇—1，2 —萘并醌重氮基一 4 一磺酸酯、3，3, 3，，3，一四甲基—1 ，1’ —螺二因烯（indene) — 5 ’ 6 ’ 7 ’ 5 ’6 ，7，-六醇—1，2 —萘并醌重氮基—5 —磺酸酯’ 2 ，2,4 -三甲基一 7，2，，4，—三羥基黃院—1， 2 —萘并醌二疊氮化物一 4 一磺酸酯及2 ’ 2，4 —三甲基—7，2，，4，—三羥基黃烷一 1 ’ 2 —萘并醌重氮基—i —磺酸酯。此類1，2 -醌重氮基化合物可單獨使用或合倂二種或更多而使用。成分（B)之用量較佳者在5至1 〇〇重量份’更佳 -18 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -----------^ 裝--------訂---------^9. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（16 ) 者1 0至5 0-重量份，基於1〇〇重量分的成分（A)。當用量小於5重量份，經由暴露照光產生的酸之量將小，將使得不同在作爲顯影劑的鹼性水溶液之中’介於照光部份及未照光部份之間的溶解度變得小，且使圖樣化變得困難。進一步的，因爲其參與環氧基基團反應之酸的量很小，將不能得到充分的耐熱性及溶劑抗性。當用量大於 1 0 0重量份，在短時間暴露照光之下成分（B )將保持大量未反應的之部分，由於彼在鹼性水溶液中不溶性的效應從而使難以顯影。 <其它成分〉如須要，除上述成分（A )及（B )之外，本發明光照敏感性樹脂組成物可含有加熱敏感性酸形成化合物作爲馨成分（C)，具有至少一種乙烯系不飽和雙鍵的可聚合化合物作爲成分（D)，一種環氧樹脂作爲成分（E)，一種界面活性劑作爲成分（F )及膠黏助劑作爲成分（G ) 〇作爲成分（C )的加熱敏感性酸形成化合物可用以改良耐熱性及硬度。加熱敏感性酸形成化合物之說明性實施例包括氟化銻。其商購之產物包括S a η — A i d SI —L80、San — Aid SI — LI 10 及 S a n -Aid SI— L150( Sanshin Chemical Industry 公司產製）。成分（C )用量較佳者在2 0重量分或更低，更佳者 _____ - 1Q -_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（17 ) 在5重量分赛更低，基於1 〇〇重量分的鹼可溶解的樹脂成分（A )。當其用量大於2 0重量份，沈澱物將形成，製作圖樣化困難的。此作爲成分（D )的具有至少一種乙烯系不飽和雙鍵的可聚合化合物較佳者爲一化合物，其在分子中具有至少一個，較佳者1至3個（甲基）丙烯酸酯結構。在分子中具有一個（甲基）丙烯酸酯結構的化合物之說明性實施例包括（甲基）丙烯酸2 -羥基乙酯、二甘醇一乙醚（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸異龍腦酯、（甲基）丙烯酸3 —甲氧基丁酯及酞酸2 —（甲基）丙烯醯基氧基乙基- 2 -羥丙酯。此化合物商購之產物包括 Aronix M-10 1、M-111 及 M-114(Toagosei 公司產製）、 KAYARAD TC-1 10S 及 TC-120S(Nippon Kayaku 公司產製），及 Viscoat 158 及 2311(〇saka Organic Chemical Industry 公司產製）。在分子中具有二個（甲基）丙烯酸酯結構的化合物之說明性實施例包括乙二醇（甲基）丙烯酸酯、1，6 -己烷二醇二（甲基）丙烯酸酯、1 ，9 一壬烷二醇二（甲基 )丙烯酸酯、聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、四甘醇二（甲基·）丙烯酸酯、雙苯氧基乙醇芴二丙烯酸酯及雙苯氧基乙醇荀二丙烯酸酯。此化合物商購之產物包括A r ο η 1X Μ -210、Μ-240 及 M-6200(Toagosei 公司產製）、KAYARAD HDDA、HX-220及 R-604(NipponKayaku 公司產製）、及 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（18 )

Viscoat 260、312及 335HP(Osaka Organic Chemical Industry 公司產製）。在分子中具有三或更多個（甲基）丙烯酸酯結構的化合物之說明性實施例，包括三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、異戊四醇三（甲基）丙烯酸酯、三（（甲基）丙烯醯基氧基乙基）磷酸酯、異戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、二異戊四醇五（甲基）丙烯酸酯及二異戊四醇六（甲基）丙烯酸酯。此化合物商購之產物包括Aronix Μ-309、M-40〇、M-405、M-450、M-7100、M-8030及 M-8060(Toagosei 公司產製）KAYARAD TMPTA、DPHA、DPCA-20、DPCA-30、 DPCA-60及 DPCA-120(Nippon Kayaku 公司產製），及 Viscoat 295、300、360、GPA、3PA 及 400(〇saka Organic Chemical Industry公司產製）。此類在分子中具有至少一個（甲基）丙烯酸酯結構的化合物可單獨使用或合倂使用。成分（D )之用量較佳者在5 0重量分或更低’更佳者在3 0重量分或更低，基於1 〇〇重量分的成分（A) 〇當成分（D )在此含量內’可使得自光照敏感性樹脂組成物的薄膜圖樣改良耐熱性、強度及其類似者。當用量大於5 0重量份，鹼可.溶解的樹脂成分（A )之溶解度變得令人不滿意的且在經由塗覆後將形成粗糙膜。作爲成分（E )的環氧樹脂不限於特定的種類’若未影響彼之相容性。環氧樹脂較佳的實施例包括雙酸A環氧 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（19 ) 樹脂、酚醛淸-漆環氧樹脂、甲酚醛淸漆環氧樹脂、環脂肪方矣的環氧樹脂、甘油基酯類環氧樹脂、甘油基胺環氧樹脂 '雜環基環氧樹脂及甘油基甲基丙烯酸酯之共聚物樹脂。此類之中，尤其較佳者爲雙酚A環氧樹脂、甲酚醛淸漆環氧樹脂及甘油基酯類環氧樹脂。成分（E )之用量較佳者在3 0重量分或更低，基於 1 0 0重量分的鹼可溶解的樹脂。^ 當成分（E )在此含量內，得自光照敏感性樹脂組成物的塗覆膜可進一步的改良其強度及其類似者。當其用量大於3 0重量份，鹼可溶解的樹脂的成分（ A )之相容性將變得令人不滿意的，且不能得到充分的塗覆膜形成能力。雖然可稱該成分（A)爲環氧樹脂，成分（A)不同於成分（E )，其差異在於相較於成分（E )其鹼溶解度及較高的分子量。作爲成分（F )的界面活性劑之說明性實施例包括氟基底及矽酮基底的界面活性劑如BM-1000、BM-1 100(BMCHEMIE 公司）、Megafac F 1 42D、F 1 72、F1 73及 F183(Dainippon Ink and Chemicals 公司）、Florad FC-135、 FC-170C、FC-430及 FC-431(Sumitomo 3M &3)，SurflonS-112、 S-113、 S-131、 S-141、 S-145、 S-382、 SC-101、 SC- 102 、 SC-1 03、SC-1 04、SC-1 05 及 SC-1 06( Asahi Glass 公司 )，F Top EF301、303 及 352(of Shin Akita Kasei 公司）』！！-28PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8428、DC-57及 _z2Zz_____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱）裝--------訂----I---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 A7 ____B7__ 五、發明說明（2〇 ) DC-190(DowGorningToraySilicone 公司）；聚氧伸乙基院基醚類如聚氧伸乙基月桂基醚、聚氧伸乙基硬脂基醚及聚氧伸乙基油醯醚；聚氧伸乙基芳基醚類如聚氧伸乙基辛基苯基醚及聚氧伸乙基壬基苯基醚；非離子性界面活性劑如聚氧伸乙基二烷基酯類舉例如聚氧伸乙基二月桂酸鹽及聚氧伸乙基二硬脂酸鹽；有機矽氧烷聚合物KP341(Slnn-Etsu Chemical公司），及Polyflow No. 5 7及衫（甲基）丙烯酸基底的共聚物（Kyoeisya Chemical 公司）。所用界面活性劑以較佳者在5重量分或更低，更佳者在2重量分或更低，基於10 0重量分的共聚物（A)。當界面活性劑用量大於5重量份，容易經由塗覆形成粗糙膜。作爲成分（G )的膠黏助劑較佳者爲功能性矽烷耦合劑如矽烷耦合劑其具有反應性的取代基如羧基基團、甲基丙烯醯基基團、異氰酸酯基團或環氧基基團。成分（G) 之說明性實施例包括三甲氧基矽烷基苯甲酸、r -甲基丙少希基氧基丙基二甲氧基砂院、乙嫌基二乙酿氧基5夕丨兀’乙烯基三甲氧基矽烷、r -異氰酸酯丙基三乙氧基矽烷、r -縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷及/3 -（3，4 一環氧基環己基）乙基三甲氧基矽烷。 •膠黏助劑用量較佳者在2 0重量分或更低，更佳者在 1〇重量分或更低，基於10 0重量分的共聚物（A)。當用黏助劑量膠大於2 0重量份，將容易製作出未顯影的部分。 ____ - 93 -__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 A7 五、發明說明（21 ) 本發明光-照敏感性樹脂組成物之製備可經由均勻地混合上述共聚物（A )及1 ，2 -醌重氮基化合物（B )及 $口胃要的上述其它配料成分。本發明光照敏感性樹脂組成物J 一般係經由溶解在適當的溶劑之中的溶液形式使用。例如’以溶液形式的光照敏感性樹脂組成物，其製備可經由將以預先決定比例的共聚物（A )、1，2 -醌重氮基化合物（B )及其它配料成分混合在溶劑中。用以製備本發明光照敏感性樹脂組成物的溶劑，其係可均勻地溶解共聚物（A ) 、1，2 -醌重氮基化合物（ B)及選擇性成分（c)至（G)及不反應與此類成分。此溶劑的說明性實施例包括醇類如甲醇及乙醇；醚類如四氫呋喃；二醇醚類如乙二醇單甲基醚及乙二醇單乙醚 ;乙二醇烷基醚乙酸酯如甲基賽璐蘇乙酸酯及乙基賽璐蘇乙酸酯；二甘醇類如二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙醚及二甘醇乙醚；丙二醇單烷基醚類如丙二醇甲基醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙基醚及丙二醇丁基醚；丙二醇烷基醚乙酸酯如丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯及丙二醇丁基醚乙酸酯；丙二醇烷基醚丙酸酯如丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯及丙二醇丁基醚丙酸酯；芳香族烴如甲苯及二甲苯 ;酮如甲基乙基酮、環己酮及4 一羥基—4 一甲基—2 — 戊酮；及酯類如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2 —羥基丙酸乙酯、2 —羥基一 2 —甲基丙酸甲酯、 2 —羥基一 2 —甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸 _ -24-_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----------裝-----I--訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 A7 B7____ 五、發明說明（22 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 乙酯、羥基乙-酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3 —羥基丙酸甲酯、3 -羥基丙酸乙酯、3 — 羥基丙酸丙酯、3 -羥基丙酸丁酯、甲基2 -羥基一 3 — 甲基丁酯、甲基甲氧基乙酸酯、乙基甲氧基乙酸酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯，乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯，丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯，丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2 —甲氧基丙酸甲酯、2 —甲氧基丙酸乙酯、2 —甲氧基丙酸丙酯、2 —甲氧基丙酸丁酯、 2 —乙氧基丙酸甲酯、2 —乙氧基丙酸乙酯、2 —乙氧基丙酸丙酯、2 —乙氧基丙酸丁酯、2 — 丁氧基丙酸甲酯、 2 -丁氧基丙酸乙酯、2 — 丁氧基丙酸丙酯、2 - 丁氧基丙酸丁酯、3 —甲氧基丙酸甲酯、3 —甲氧基丙酸乙酯、 3 —甲氧基丙酸丙酯、3 -甲氧基丙酸丁酯、3 —乙氧基丙酸甲酯、3 —乙氧基丙酸乙酯、3 —乙氧基丙酸丙酯、經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 —乙氧基丙酸丁酯、3 —丙氧基丙酸甲酯、3 —丙氧基丙酸乙酯、3 -丙氧基丙酸丙酯、3 -丙氧基丙酸丁酯、 3 — 丁氧基丙酸甲酯、3 — 丁氧基丙酸乙酯、3 —丁氧基丙酸丙酯及3 -丁氧基丙酸丁酯。 •此類溶劑之中，二醇醚類、乙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇烷基醚乙酸酯、酯類及二甘醇爲較佳的，f於之觀點溶解度、與成分之反應性及形成塗覆膜之容易度。高沸點溶劑可與上述溶劑合倂使用。可使用的高沸點本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 593488 A7 B7 五、發明說明（23 ) ί谷劑之5兌明性-貫施例包括Ν —甲基甲釀胺、Ν，Ν —二甲基甲醯胺、Ν —甲基甲醯替苯胺、Ν —甲基乙醯胺、Ν， Ν —二甲基乙醯胺、Ν —甲基吡咯烷酮、二甲基亞碼，苄基乙醚、己基醚〕乙腈丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、1 一辛醇、1 一壬醇、苯甲醇、苄基乙酸酯、乙基苯甲酸酯、二乙基草酸酯、二乙基順丁烯二酸酯、Τ 一丁內酯、乙烯碳酸酯、丙烯碳酸酯及苯基賽璐蘇乙酸酯。如上述製備的組合物溶液，可於使用孔徑在約〇 · 5 m的微濾膜過濾之後使用。形成層間絕緣膜 A接著描述一種方法，以由本發明光照敏感性樹脂組成物形成本發明層間絕緣膜。生層間絕緣膜之方法產包含下列步驟： (1 )製備層間絕緣膜受質，其具有由本發明光照敏感性樹脂組合物形成的薄膜； (2 )經由預先決定的圖樣光罩將薄膜暴露照光； (3 )使用鹼顯影劑將薄膜顯影以形成薄膜圖樣；及 (4 )在低於2 0 0 t之溫度將膜圖樣加熱。上述步驟（1 )之執行可經由將本發明光照敏感性樹脂組'成物之溶液塗覆在受質表面上，即，層間絕緣膜之受質，且去除溶劑經由預烘烤以形成薄膜。此塗覆可爲噴霧塗覆、滾動塗覆、旋轉塗覆或其類似者。預烘烤條件，其係依據成分之型態及用量而不同，最 ____ -26- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 A7 B7 五、發明說明（24 ) 佳地使用溫度在70至90 °C且時間在1至1 5分鐘。本發明光照敏感性樹脂組成物具有加工臨界條件在預烘烤之溫度至局達到約1 1 0 °c。在以下步驟（2 )中，經由預先決定的圖樣光罩，將薄膜暴露於照光如紫外線照射。在下一步驟（3 )中，使用鹼顯影劑將薄膜顯影以去除不須要的部份，且形成預先決定的圖樣。顯影可爲攪渾顯影，浸塗顯影或噴淋顯影，且顯影時間一般在3 0至1 8 0秒。此顯影劑爲鹼性水溶液舉例如無機鹼金屬之水溶液如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸鈉、鈉偏矽酸鹽及氨水；一級胺類如乙胺及正丙胺；二級胺如二乙胺及二-正丙胺；第三胺類如三甲基胺、甲基二乙胺，二甲基乙胺及三乙胺；第三烷醇胺類如二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺及三乙醇胺；環第三胺類如吡咯、六氫吡啶、N -甲基六氫吡啶、N —甲基吡咯啶、1 ，8 —二吖雙環〔5 · 4 ·〇 1 — 7 —十一烷烯及1，5 —二吖雙環〔4 · 3 · 0〕— 5 —壬烯；芳香族第三胺類如吡啶、可力丁、盧吡啶及喹啉；及四級銨鹽類如四甲基銨氫氧化物及四乙基銨氫氧化物。此水溶液之製備可經由在上述鹼性水溶液中加入適當量的水溶性有機溶劑如甲醇或乙醇及/或界面活性劑’可使用作爲顯影劑。於顯影之後，將此顯影薄膜以流動的水淸洗3 0至 9 0秒以去除不須要的部份’且以加壓空氣或加壓氮氣乾燥以形成圖樣。在後續的步驟（4 )中’使用加熱器如熱 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ----訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 A7 ------------B7_____ 五、發明說明（25 ) 披或烤箱在低·於2 0 0 °C之溫度將此圖樣加熱，例如， 1 3 〇至1 9 0艽’以加熱預先決定的時間，例如，5至 6 〇分鐘在熱板上或3 0至9 0分鐘在一烤箱之中，以得到所要的層間絕緣膜之塗覆膜圖樣。在步驟（4 )之前，於步驟（3 )形成的圖樣可暴露於照光如紫外線照射。本發明光照敏感性樹脂組成物係用於形成層間絕緣膜 ’尤其是層間絕緣膜磁頭的紀錄線圈，例如大型磁力紀錄器（magnetoresistive )頭部。以下合成實施例，實施例及比較例係提供以進一步說明本發明之目的，而並非用作限制。在、實施例中，％〃係指w t % 〃除非另有說明。合成實施例1 將7重量分的2，2’ —偶氮基雙（2，4 一二甲基戊腈）及2 2 0重量分的丙二醇單甲基醚乙酸酯注入裝有冷卻管及攪拌器之燒瓶中。接著，將2 2重量分的甲基丙烯酸、3 8重量分的甲基丙烯酸二環戊酯、4 0重量分的 /3 —甲基甘油基甲基丙烯酸酯及1 · 5重量分的^ 一甲基苯乙烯雙體注入其中且溫和地攪拌，而燒瓶內部經取代以氮氣·。將所生成的溶液之溫度升高至7 0 °C且在此溫度維持5小時以得到內含共聚物（A 一 1 )之聚合物溶液。此所得到的聚合物溶液之固體含量在3 1 · 2 %且聚合物之重量平均分子量在1 8，5 0 〇且分子里分佈在1 · 8 ___ - 28 -* 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21Q x 297公爱） (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 訂---

S 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_ 五、發明說明（26 ) 重量平均分子·量之測量係就聚苯乙烯而言，使用G P C ( 凝膠滲透層析法（Toso公司的H L C - 8 0 2 0 )。合成實施例2 將7重量分的2，2’ 一偶氮基雙（2 ’ 4 一二甲基戊腈）及2 2 0重量分的丙二醇單甲基醚乙酸酯注入裝有冷卻管及攪拌器之燒瓶中。接著，將2 0重量分的苯乙烯、2 5重量分的甲基丙烯酸、2 0重量分的苯基順丁烯二酸醯亞胺、3 5重量分的Θ -甲基甘油基甲基丙烯酸酯及 1 · 5重量分的α —甲基苯乙烯雙體注入其中且溫和地攪拌，而燒瓶內部經取代以氮氣。將所生成的溶液之溫度升高至7 0 °C且在此溫度維持5小時以得到內含共聚物（A - 2 )之聚合物溶液。此所得到的聚合物溶液之固體含量在3 1 . 0 — %且聚合物之重量平均分子量在21，000且分子量分佈在2 · 1。合成實施例3 將7重量分的2，2’ 一偶氮基雙（2，4_二甲基戊腈）及1 5 0重量分的丙二醇單甲基醚乙酸酯注入裝有冷卻管及攪拌器之燒瓶中。接著，將2 0重量分的苯乙烯、2·5重量分的甲基丙烯酸、2 0重量分的苯基順丁烯二酸醯亞胺、3 5重量分的^ -甲基甘油基甲基丙烯酸酯及 1·5重量分的α-甲基苯乙烯雙體注入其中且溫和地攪拌，而燒瓶內部經取代以氮氣。將所生成的溶液之溫度升 __- 29 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 A7 _ ______ B7 五、發明說明（27 ) 高至7 0 °C且-在此溫度維持4小時以得到內含共聚物（A - 3 )之聚合物溶液。此所得到的聚合物溶液之固體含量在39 · 8%且聚合物之重量平均分子量在23，000 且分子量分佈在2 . 4。合成實施例4 將7重量分的2，2’ 一偶氮基雙（2，4 —二甲基戊腈）及2 2 0重量分的丙二醇單甲基醚乙酸酯注入裝有冷卻管及攪拌器之燒瓶中。接著，將2 0重量分的苯乙烯、3 0重量分的甲基丙烯酸、5 0重量分的/3 —甲基甘油基甲基丙烯酸酯及2·0重量分的α-甲基苯乙烯雙體注入其中且溫和地攪拌，而燒瓶內部經取代以氮氣。將所生成的溶液之溫度升高至7 0 °C且在此溫度維持5小時以得到內含共聚物（A - 4 )之聚合物溶液。此所得到的聚合物溶液之固體含量在31·0%且聚合物之重量平均分子量在19，000且分子量分佈在1 · 7。合成實施例5 將7重量分的2，2’ 一偶氮基雙（2 ’ 4 一二甲基戊腈）及2 2 0重量分的丙二醇單甲基醚乙酸酯注入裝有冷卻·管及攪拌器之燒瓶中。接著’將2 0重量分的苯乙烯、3 0重量分的甲基丙烯酸、50重量分的CYM A3 〇〇 (DaicelChemical公司）及2 ·〇重量分的“〜甲基苯乙烯雙體注入其中且溫和地攪拌，而燒瓶內部經取代以氮氣。 -30-_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---- 秦經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7___ 五、發明說明（28 ) 將所生成的溶-液之溫度升高至7 0。(：且在此溫度維持5小時以得到內含共聚物（A - 5 )之聚合物溶液。此所得到的聚合物溶液之固體含量在3 0 · 9%且聚合物之重量平均分子量在2 1，000且分子量分佈在1 · 8。比較合成實施例1 將7重量分的2，2’ 一偶氮基雙（2，4 —二甲基戊腈）及2 2 0重量分的三甘醇甲基乙醚注入裝有冷卻管及攪拌器之燒瓶中。接著，將2 3重量分的甲基丙烯酸、 4 7重量分的甲基丙烯酸二環戊酯、3 0重量分的甘油基甲基丙烯酸酯及2·0重量分的α-甲基苯乙烯雙體注入其中且溫和地攪拌，而燒瓶內部經取代以氮氣。將所生成的溶液之溫度升高至7 0 °C且在此溫度維持5小時以得到內含共聚物（A - 1 R )之聚合物溶液。此所得到的聚合物溶液之固體含量在3 2 · 8%且聚合物之重量平均分子量在24，0 0 0且分子量分佈在2 · 3。比較合成實施例2 將7重量分的2，2’ —偶氮基雙（2，4 一二甲基戊腈）及2 2 0重量分的三甘醇甲基乙醚注入裝有冷卻管及攪拌器之燒瓶中。接著，將2 5重量分的甲基丙烯酸、 3 5重量分的甲基丙烯酸二環戊酯、4 0重量分的甲基丙烯酸2-羥基乙酯及2·0重量分的α-甲基苯乙烯雙體注入其中且溫和地攪拌，而燒瓶內部經取代以氮氣。將所本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱）二31 : -----------裝------- —訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 A7 B7 五、發明說明（29 ) 生成的溶液之-溫度升高至7 0 °C且在此溫度維持5小時以得到內含共聚物（A - 2 R )之聚合物溶液。所得到的聚合物溶液之固體含量在3 2 · 8%且聚合物之重量平均分子量在25，000且分子量分佈在2 · 4。實施例1 製備光照敏感性樹脂組成物 - 將得自合成實施例1中的聚合物溶液（對應於1 〇〇重量分的共聚物（A - 1)(固體含量））、30重量分的 4，4’ —〔1—〔4 —〔1 一〔4 —羥苯基〕—1 — 甲基乙基〕苯基〕亞乙基〕雙酚一 1，2 -萘并醌重氮基一 5 -磺酸酯作爲成分（B )及5重量分的τ 一甲基丙烯基氧基丙基三甲氧基矽烷，混合在一起且溶於丙二醇單甲基醚乙酸酯使達固體含量在4 〇w t %。之後，將生成的溶液以孔徑在0 . 5 μ m的微濾膜作過濾以製備一種光照敏感性樹脂組成物溶液（S - 1 )。 (I)形成薄膜圖樣使用旋轉器將上述組合物溶液（S - 1 )塗覆在玻璃受質上，及在熱板上於8 0 °C預烘烤5分鐘以形成塗覆膜。經由預先決定的圖樣光罩，使用紫外線照射其在3 6 5 n m強度爲1 0 m W/ c m 2，將所得到的塗覆膜暴露1 5 秒。之後，於2 5 °C使用0 · 5 w t %之四甲基銨氫氧化物水溶液將暴露的膜顯影2分鐘且使用流動的純水淸洗1 _— -32 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--- 訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（3〇 ) 分鐘。在此覲操作後，不須要的部份將被移除。使用紫外線照射其在3 6 5 n m強度爲1 0 mW/cm2將上述形成圖樣暴露3 0秒，且經由在烤箱之中於1 6 0 °C 加熱硬化6 0分鐘以得到薄膜圖樣，其厚度在5 A m。另一薄膜圖樣形成經由重覆相同操作如上述之除了硬化溫度改變爲1 8 0 °C。 (」I )解析度評估得自以上（I )的薄膜圖樣中的孔圖樣（5 A m X 5 //in孔）當可解析時評估爲〇（令人滿意的）’且呈不目巨解析時評估爲X (令人不滿意的）。此結果展示於表1。 (I I I ) g宁存穩定性之評估裝--------訂— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593488 A7 B7 五、發明說明（31 ) ’其溶劑抗性·爲令人滿意的且當膨張係數大於1 〇 %，且膜厚因溶解而降低，其溶劑抗性係令人不滿意的。實施例2 使用如實施例1相同方法製備組合物溶液（S - 2 ) ’除了使用得自合成實施例2的聚合物溶液（對應於 100重量份（固體含量）的共聚物（A - 2))，以代替得自合成實施例1的聚合物溶液，且作評估。其結果展示於表1。實施例3 使用如實施例1相同方法製備組合物溶液（S - 3 ) ’除了使用得自合成實施例3的聚合物溶液（對應於 100重量份（固體含量）的共聚物（A — 3))，以代替得自合成實施例1的聚合物溶液，且作評估。其結果展不於表1。實施例4 使用如實施例1相同方法製備組合物溶液（S — 4 ) ，除了使用得自合成實施例4的聚合物溶液（對應於 100重量份（固體含量）的共聚物（A — 4))，以代替得自合成實施例1的聚合物溶液，且作評估。其結果展示於表1。 __________ - 34 -___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------輪裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

的3488 五、發明說明（32 ) 寶施例5 - 使用如貫施例1相同方法製備組合物溶液（S 一 5 ) 除了使用得自合成實施例5的聚合物溶液（對應於 1〇0重量份（固體含量）的共聚物（a__5))，以代替得自合成實施例1的聚合物溶液，且作評估。其結果展不於表1。比較例1 使用如實施例1相同方法製備組合物溶液（s 一 1 R )’除了使用得自比較合成實施例1的聚合物溶液（對應於1 00重量份（固體含量）的共聚物（A - 1 R))，以代替得自合成實施例1的聚合物溶液，且作評估。其結果展示於表1。比較例2 製備一種光照敏感性樹脂組成物溶液（S - 2 R )，經由將下列成分混合在一起：得自比較合成實施例2的聚合物溶液（對應於1 0 0重量份（固體含量）的共聚物（八—2尺））、30重量分的4，4’ —〔1—〔4一〔 1 一〔 4 一羥苯基〕一 1 一甲基乙基〕苯基〕亞乙基〕雙酚一 1 ，2 —萘并醌重氮基一 5 -磺酸酯作爲成分（B ) 、2 5重量分的六羥甲基三聚氰胺及5重量分的7 —甲基丙烯基氧基丙基三甲氧基矽烷’將其溶解在丙二醇單甲基醚乙酸酯中使固體含量達到4 0 w t % ’且將生成的溶液 ______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ----訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593488 A7 ---- B7 五、發明說明（33 ) 以孔徑在0 · - 5 // m的微濾膜作過濾。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製表1 \ 硬化解析度溶劑貯藏 \ 溫度抗性穩定性 16(TC 〇 3% 4 % \ 180°C 〇 2% Ex. 2 16(TC 〇。， 5% 4 % 180°C 〇 3% Ex. 3 16(TC 〇 4% 5 % 180°C 〇 3% Ex.4 160°C 〇 3% 5 % 180°C 〇 2% Ex. 5 16(TC 〇 4% 4% 180°C 〇 3% C. Ex. 1 160°C X 6% 28% 18(TC X 4% C.Ex.2 16(TC 〇 -75% 5% 180°C 〇 -35% Ex . :實施例C ..Ex.· 比較例如上述，依據本發明，可得到一種光照敏感性樹脂組成物其具有所須要的解析度、溶劑抗性、對受質之黏著及貯存穩定性如層間絕緣膜。由上述光照敏感性樹脂組成物可形成層間絕緣膜’ # (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --IIP·裝訂---- ♦ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -36- 593488 A7 B7 五、發明說明（34 ) 且有卓越的上-述物理性質 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---- f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -37-

Claims

593488 A8 Ci /° Di8 ' ..........-..·〜—. 、申請專利範圍附件2 第89 1 1 0893號專利申請案中文申請專利範圍修正本民國92年10月2日修正 1 . 一種光照敏感性樹脂組成物，其中包含： (A) 1 〇〇重量分之一種共聚物，其係經由共聚合下列成分而得到：（a 1 )至少一種羧酸化合物，其係選自不飽和羧酸與不飽和羧基酐，（a 2 )至少一種不飽和環氧基化合物，其係選自由以下式（1 )代表之單體組成物： R CH^C-C^〇.(CHJ-C~CH2 …⑴ 0 其中R爲氫原子或甲基基團，R1爲具有1至4個碳原子之院基基團，且η爲1至6之整數，及由以下式（2 )代表之單體： (請先閲«背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R2 CH2=：C-C-0-(CH2) 0

-Η …（2) q 其中R2爲氣原子或甲基基團，p爲1至6之整數，且 Q爲1至6之整數，且（a 3 )爲除了上述（a 1 )及（; 2 )以外的烯烴系不飽和化合物；及表紙張尺^1適用中國國家#準（〇奶）八4洗格（210\297公釐） 593488 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 0 0重量分之1，2 —醌重氮基化合物，包含5至4 0 w t %的組份單位源自羧酸 5至6 0 w t %的組份單位源自不飽和環 )，及1 0至8 0 w t %的組份單位源自烯烴系不飽和化合物（a 3 )，且 (B ) 5 至 1 其中共聚物（A ) 化合物（a 1 )，氧基化合物（a 2 1，2 — 重氮基化合物（6)係選自1，2-苯并醌重氮萘并醌重氮基磺酸酯、1，2 —苯并醌經濟部智慧財產局員工消費合作社印製基磺酸酯、1，2 重氮基磺酸醯胺及 2 . —種生產 (1 )製備層 1項之光照敏感性 (2 )經由預 (3 )使用鹼樣；及 (4 )於低於 3 .如申請專磁頭記錄線圈的層 4 .如申請專其係用於製備磁頭 5 .如申請專其係用於形成磁頭 1 2 -萘并醌重氮基磺酸醯胺層間絕緣膜之方法，其中包含下列步驟·_ 間分離膜受質，其具有自申請專利範圍第樹脂組成物形成的薄膜；先決定的圖樣光罩將此薄膜暴露照光；顯影劑將此暴露的薄膜顯影以形成薄膜圖 2 0 0 °C之溫度將薄膜圖樣加熱。利範圍第2項之方法，其中層間絕緣膜係間絕緣膜。利範圍第1項之光照敏感性樹脂組成物’ 紀錄線圈的層間絕緣膜。利範圍第1項之光照敏感性樹脂組成物’ 記錄線圈用之層間絕緣膜。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂表紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -2