TW550638B - Clustering tool and the transportation control method - Google Patents

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Kiyohit Iijima
Seiichi Kaise
Keiko Takahashi
Akira Obi
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Description

550638 五、發明説明（1 ) 發明之技術領域 本發明係有關於一種組合設備工具及運送控制方法。 先前技術 先前的組合設備工具，係將在各處理室現在被處㈣晶 片的處理剩餘時間各自算出，下—個晶片要被搬進至該處 理剩餘時間最少的處理室那樣地，而進行由裝 片的選擇。 印 但是，在裝載肢室所設立之組合設備工具，通過該裝 載鎖足室進行往各處理室的運送。在裝載鎖定室，為了進 行，載模缺㈣鎖定室之間的晶片域、或是進行裝載 鎖足室及處理室之間的晶片交接 σ 阳巧夂接，重覆符合裝載模組、 疋處理室的真空度的供應排氣。因此， 的處理剩餘時間，而進行由裝 心在處里 户驻丧灿… 田裝載埠取出晶片的選擇的話 在裝載鎖疋s的供應排氣等的處理就發 送延遲反而增加的情事。 、 =，進行接收實行時間的不同晶片運送的時候，單單 里剩餘時間’而進行由裝載痒取出晶片的選擇 活’就有了接收實行時間短的運送被 ^選擇 全體來看’處理能力低下的問題。 α事’以系 發明之揭示 本發明的目的在提供一種組合設備工具及 :送::能夠改善在裝載較室所設立之組合設備:具 為了解決上述的課題，如果根據本發明 或 運 的 統 方 的 其特徵為具 -4- 本紙張尺度適财國國家標準(CNS) Α4規格(21〇>T^7^J7 550638
a進行處理對象的過程處理的多數處理室、及在上述處 理至ί別被連接，將上述處理對象運送至上述處理室的裝 載鎖疋至、及被上述裝載鎖定室連接，將上述處理對象運 运至上述裝載鎖定室的裝載模組、及一種運送控制手段， 其係基於成^能夠_上述處理㈣運$至上述裝載鎖定室 的時機’上述裝載模組進行下-個要運送的處理對象之選 擇。 藉此，考慮在裝載鎖定室的處理時間，而變成能夠算出 將下個曰g片w旎搬進至裝載鎖定室為止的時間。因此， 有處理剩餘時間短的處理室及處理剩餘時間長的處理室的 時候，在處理剩餘時間短的處理室，因為在被此連接的裝 載鎖定室的處理較慢，運送延遲反而增加的時候，儘管處 理剩餘時間I，在t載鎖定室的處理也能夠才艮快地選擇結 束的這邊，變成能夠降低運送延遲。 此外，如果根據本發明，其特徵為具備一種運送時間算 出手段，其為上述運送控制手段，在上述處理對象被搬進 至任何一個裝載鎖定室之時，算出成為下一個能夠運送至 各裝載鎖定室的時間；以及具備一種選擇手段，其係選擇 為作為下一個運送的處理對象且成為能夠運送的時間最短 處理對象。 α I皆此’每次處理對象被搬進任何一個裝載鎖定室，能夠 選擇在裝載鎖定室成為能夠運送時間最短的處理對象，能 夠降低設有多數處理室的時候的運送延遲。 此外’如果根據本發明，其特徵為具備；進行處理對象
550638 k牙王處理的夕數處理室、及在上述處理室各別被連接， 將上述處理對象運送至±述處$里室的裝載鎖定室、及被上 =裝載鎖定室連接，將上述處理對象運送至上述裝載鎖定 室的裝載模組'及-種運送控制手段，其為基於成為能夠 將上述處理對象運送至上述裝載鎖定室的時機，上述裝载 模組進行下一個要運送的處理對象之選擇。 藉此·支成此夠一邊考慮在裝載鎖定室的處理時間，一 邊算出成為能夠將下一個晶片搬進裝載鎖定室為止的時 門因此，成為能夠搬進裝載鎖定室為止的時間雖然短， 搬進裝載鎖疋室後，在處理室再被搬進為止的時間長的時 候，搬進裝載鎖定室後，能夠選擇在處理室再被搬進為止 争間釔的這邊。此結果，對於每一個裝載鎖定室搬進等待 的情況長久繼、續，且能夠防止裝載模組成為長時間間置的 狀態，可以提昇以系統全體來看的處理能力。 再者，如果根據本發明，其特徵為上述運送控制手段具 備一種運送時間算出手段，其為上述運送控制方法，在^ 述處理對象被搬進至任何一個裝載鎖定室之時，算出成為 T一個能夠運送至各處理室的時間；及具備一種選擇手 敛，其係選擇作為下一個要運送的處理對象，成為能夠運 送的時間最短的處理對象。 藉此每/人處理對象被搬進任何一個裝載鎖定室，能夠 選擇在處理室成為能夠運送的時間最短的處理對象，能夠 降低設有多數處理室的時候的運送延遲。 此外，如果根據本發明，其特徵為在上述的裝載模組， -6 - 550638 A7
550638 A7 B7 五、發明説明（6 ) 能夠一方面以一邊的裝載臂LAI、LA2進行晶片W的搬入， 一方面以另一邊的裝載臂LAI、LA2進行處理室晶片W的搬 出，而變成能夠有效率地進行晶片W的更換。 在製程模組PS1、PS2設有裝載鎖定室LL1、LL2及處理 室PM1、PM2，裝載鎖定室LL1、LL2及處理室PM1、PM2 通過處理門PG1、PG2互相地被連接著。在裝載鎖定室 LL1、LL2各別設立晶片載置台Bll、B12、B21、B22及 裝載鎖定臂LR1、LR2 ;於晶片載置台B12、B22載置有自 裝載模組LM搬入之晶片W，及自裝載鎖定室LL1、LL2搬 出之晶片。此外，晶片載置台Β Γ 1、B 2 1載置有搬入至處 理室PM1、PM2之晶片W。此外，裝載鎖定臂LR1、LR2 在進行裝載鎖定室LL1、LL2與處理室PM1、PM2之間進行 晶片W的運送（圖1的③④⑤的運送）。 為了謀求有效率的運送，運送室TR被大氣開放的同時， 裝載埠門CG1〜CG3被維持在開放的狀態。再者，為了防止 污染，處理室PM1、PM2被維持在一定的真空度。因此， 在裝載鎖定室LL1、LL2因應與運送室TR之間的運送或與 處理室PM1、PM2之間的運送進行為了使對應各自的真空 氣度的供應排氣。以下，以進行裝載埠LP1與製程模組PS1 之間的運送為例子，說明運送實況。 首先，裝載臂LAI、LA2將被載置在裝載埠LP1的晶片W 拿出，搬進定向器OR。（①） 晶片W —旦被搬入，定向器〇 R就進行晶片W的定位。 晶片W的定位一結束，裝載臂LA1、LA2就從定向器Ο R拿 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 550638 A7 __B7 五、 發明説明1 ~厂） " — 出晶片W ’運送至裝載鎖定室LL1的前面而在此待命。然 後’結束裝載鎖定室LL1的大氣開放一旦結束，裝載鎖定 A LL1的裝載鎖定門l G 1就被打開。裝載鎖定門l G 1 —旦 被打開，裝載臂LAI、LA2將那晶片W在搬入裝載鎖定室 LL1内，載置在晶片載置台B11上。（②） 曰g片W 旦被載置在晶片載置台B11上，裝載鎖定門 LG 1就被關閉，進行裝載鎖定室lli内排氣的同時，裝載 鎖定臂LR1將晶片載置台b丨丨上的晶片運送到晶片w載置 台B12。（③） 一旦晶片W被運送到晶片載置台b 1 2，就變成能夠將晶 片W搬進處理室PM 1的狀態，處理室pm 1的處理門pg 1被打 開’裝載鎖上足臂LR1就將晶片載置台B12上的晶片W搬 進處理室PM1内。（④） 晶片W —旦被搬進處理室pm 1内，處理門pg 1就關閉，晶 片W在處理室PM1内被處理。處理室PM1内的晶片W處理 結束，一旦變成能夠將晶片W搬往裝載鎖定室LL1的狀 態’處理門PG1就打開，裝載鎖定臂LR1將處理室PM1内的 晶片W晶片運送到載置台B11。（⑤） 然後，處理門PG1被關閉，進行裝載鎖定室LL1内的大氣 開放。裝載鎖定室LL 1内的大氣開放一旦結束，隨著下一 個晶片W的搬入時機，裝載鎖定門lgi打開，一邊的裝載 臂L A1、LA2將晶片載置台B 1 1上面的晶片W搬出至裝載埠 LP1的同時（⑥），另一邊的裝載臂LAI、LA2將以定向器用 OR定位的下一個晶片W搬入載鎖定室LLlR。（②） -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) A7 B7
55063S 五、發明説明（8 ) 再者’進行晶片w的裝載鎖定臂LR1、LR2等，為了在裝 ί停止後的恢復時間等，確認於各部分沒有晶片W留下， 少·要十"片W有可能存在的各部分進行搜尋動作。然 ，，進行該搜尋動作的結果，裝載㈣臂LR1、LR2上有放 印片w的時候，變成要回收該晶片w，藉此，成為要能夠 安全地進行其後的處理。 、圖2係表不關於本發明的第丨實施形態的搬進時機的算出 方，《圖®。再者，如此的計算係藉由cpu等所構成、而 並無圖面表示的運送控制方法算出。 在眾第1種實施形態係將裝載鎖定室LL1、LL2&裝載模 組LM之間的晶片w更換時機作為基準，在晶片㈣搬進任 一間的裝載鎖定室LL1、LL2之日寺候丁？，算出成為能狗將 下一個晶片W搬進至其裝載鎖定室^、LL2為止的時間 隱。而且，該PSL 一旦被算出，裝載臂lai、la2由裝載 埠LP1〜LP3選擇了一個成為能夠搬進至裝載鎖定室lli、 LL2為止的時間最短的晶片w。該咖時間係對應製程模組 PS1、PS2内的晶片W運送張數如下算出。 再者，在以下的說明，將有關運送的時間如下定義。 c L :裝載鎖定門L G 1、L G 2的關閉時間 VAC :裝載鎖定室LL1、LL2的排氣時間 G 0 :處理室門PG1、PG2的打開時間 GC :處理室門PG1、PG2的關閉時間 PI :由裝載鎖定室LL1、LL2往處理室PM1、pM2搬入的 時間
-11 -
550638 A7 B7 五、發明説明（9 ) P〇：由處理室PM1、PM2往裝載鎖定室LL1、LL2的搬 出時間 PIO :處理室PM1、PM2與裝載鎖定室LL1、LL2之間的 晶片更換時間 PM :處理室PM1、PM2的處理時間 △ PM :處理室PM1、PM2的處理剩餘時間 VENT :供應氣體時間 APM :處理室PM1、PM2的後處理（接收以後）時間 首先，對關於在製程模組PS 1、PS2内進行1張晶片W的 運送情形加以說明。 在圖2(a)晶片W的搬入之際，到變成能夠搬進下一個的 晶片W的時間，為由裝載模組L Μ被搬入製程模組PS 1、 PS2的晶片W在處理室ΡΜ1、ΡΜ2被處理，其處理完的晶片 W被載置於晶片載置台Β 1 1、Β 2 1，而到裝載鎖定室LL1、 LL2大氣被開放的時間。 因此，此時的PSL時間變成為： PSL= CL + VAC + GO+PI + GC + PM + GO + PO +
Max(VENT，APM) · · .(1) 但是，Max ()係表示選擇大的值。再者，在式子（1)，從 晶片載置台Β 1 1、 B 2 1往晶片載置台Β 1 2、 B 2 2的晶片W 的運送時間沒有被加到的係：從晶片載置台Β 1 1、B 2 1往 晶片載置台B12、B22的運送（③），為於裝載鎖定室LL1、 LL2的排氣中被進行，因為此運送時間隱藏在裝載鎖定室 LL 1、LL2的排氣時間V A C。（以下相同） -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 550638 A7 B7 五、發明説明（10 ) 其次，對關於在製程模組PS 1、PS2内進行2張晶片w的 運送情形加以說明。此外，以下的說明在各製程模組ps 1、 PS2内，當作同時最大能夠收容晶片W2張，在處理室ρΐνπ、 ΡΜ2只能夠收容晶片w 1張，在裝載鎖定室ll 1、LL2只能 夠收容晶片W1張。 首先’在圖2(b)製程模組PS1、PS2内沒有晶片W的情 況，被搬進製程模組PS1、PS2的晶片w , 一旦被搬進處理 A PM 1、PM2 ,就能夠將下一個晶片w搬進裝載鎖定室 LL1、LL2。因此，在晶片w搬入的時候，到成為能夠將下 一個晶片W搬進的時間為：由裝載模組L M被搬進製程模組 PS1、PS2的晶片W被搬進處理室pMl、pM2，再到裝載鎖 定室LL 1、LL2大氣被開放的時間。 因此，此時的PSL時間變成為·· PSL = CL + VAC + GO + PI+GC + VENT · · (2) 其次，在圖2(c)製程模組psi ' PS2内有2張晶片w的情 形’為了由裝載模組LM將晶片w搬進製程模組PS1、PS2， 今後被搬進製程模组PS1、PS2的晶片w有必要同製程模組 PSI、PS2内處理完的晶片w交換。因此，在晶片w的搬入 之際’到變成能夠搬進下一個的晶“為止的時間，為被 正搬入處理室PM1、助内的晶片w的處理結束，由裝載 模組LM被搬入製程模組PS1、PS2的晶片w盥在處理室 PM1、顯内被處理的晶片w交換，再到裝載鎖定室山、 LL2大氣被開放的時間。在此，於製程模組⑼内， 能夠同時進行在處理室簡、PM2内的日的過程處 -13- 550638 A7 B7 五、發明説明（11 ) 理，及裝載鎖定室LL1、LL2的排氣等處理。 因此，此時的PSL時間變成為：
PSL = Max((CL+VAC)，Z\PM) + GO+PIO+GC+VENT • · · (3) 其次，在圖2(d)製程模組PS 1、PS2内有2張晶片W的情 況，進行處理室PM 1、PM2的後處理的時後，在該後處理 有必要將必要的時間加到式子（3 )。 因此，此時的PSL時間變成為： PSL = Max((CL+VAC)，APM)+GO+PO+GC+APM+GO+PI +GC+VENT ---(4) 其次，在圖2(e)製程模組PS1、PS2内有1張晶片W的情 況，PSL時間係為變成能夠由製程模組PS1、PS2將製程模 組PS1、PS2内最後的晶片W搬出為止的時間。 因此，此時的PSL時間變成為：
PSL = Max((CL+VAC)，APM)+GO+PO+GC+VENT • · · (5) 根據上述的算出方法，PSL時間一旦被算出，基於該PSL 時間，就算出成為能夠將下一個晶片W搬進各製程模組PS1、 PS2的時間。然後，在定向器〇r晶片w不存在的時候，裝 載臂LAI、LA2將成為能夠搬進的時間最短的晶片W由裝 載埠LP1〜LP3取出，將其取出的晶片W搬進定向器OR。 此外’在定向器OR晶片W存在的時候，再計算定向器 OR上的晶片W被搬進裝載鎖定室LL1、LL2後的PSL的時 間°然後，裝載臂LA 1、LA2將成為能夠搬進的時間最短 -14 - 本紙張尺度適用中國國家榡準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 550638
的晶片w由裝載埠LP1〜LP3取出，將其取出的晶片w搬進 定向器OR。 在此’再計算成為能夠搬進各製程模組pSl、ps2的時間 的時候’例如，要是當作晶片W被搬進製程模組psi的話， 在製程模組PS2已經在進行裝載鎖定室LL2的供應排氣等的 處理，僅此部份成為能夠搬進製程模組ps2的時間變快。因 此有必要補正以上述方法算出的PSL時間。運送目的地 以外的補正後的PSL時間psl ·,能以以下的式子算出。 PSL»-PSL.TR(in) · · · (6) 裝 仁疋，TR(in)表示成為能夠將算定向器〇尺上的晶片w 搬進裝載鎖定室LL1、LL2為止的時間，於製程模組psi、 PS2内有晶片w的時候，能夠如下求得。 i)在製程模組PSI、PS2内運送2張，於裝載鎖定室^。、 LL2有處理前的晶片w的時候 訂
PSL>TR(LM)的時候：PMx = PMs TR(in)=運送目的地的psl PSL<TR(LM)的時候：PMx = PMs-TR(LM) (但是，PMs<TR(LM)的時候〇) TR(in) = TR(LM) 但是，ΡΜχ表示考慮了在裝載鎖定室山、山的處理的 處理室PM1、PM2的處理剩餘時間，求運送目的地的瓜的 時候，以PMx替換（3)〜（5)式子的ΔΡΜβ再者，tr(lm) 表示由裝載埠LP1〜LP3至裝載鎖定室LL1、[^的運送時 間，例如，能夠表示從最遠的裝載埠LP3經由定向器〇尺至
550638 A7 B7 五、發明説明（13 ) 裝載鎖定室LL1、LL2的運送時間。PMs係表示給處理室 PM1、PM2更換運送晶片W，而將裝載鎖定室LL1、LL2進 行大氣開放之後的處理室PM1、PM2的處理剩餘時間，能 夠如下求得。 PMt> VENT 的時候：PMs = PMt-VENT PMt<VENT 的時候：PMs = 0 但是，PMt係在裝載鎖定室LL1、LL2被處理前的晶片W 的處理室PM 1、PM2的處理時間。 ii) 在製程模組PS1、PS2内運送2張，於裝載鎖定室LL1、 LL2有處理後的晶片W的時候 PSL>TR(LM)的時候：TR(in) =運送目的地的PSL PSL<TR(LM)的時候：TR(in) = TR(LM) PMc>TR(in)的時候：PMx = PMc-TR(in) TR(in)<PMc 的時候：ΡΜχ = 0 但是，PMc係在處理室PM1、PM2的晶片W的處理室 PM1、PM2的處理剩餘時間。 再者，在處理室PM1、PM2沒有晶片W的時候，將在處 理室PM1、PM2的處理剩餘時間ΔΡΜ當作0計算。 iii) 製程模組PS1、PS2内運送1張的時候 PSL>TR(LM)的時候：TR(in) =運送目的地的PSL PSL<TR(LM)的時候·· TR(in) = TR(LM) 藉此，不僅考慮處理室PM1、PM2的處理剩餘時間△ PM，也考慮在載鎖定室LL 1、LL2的處理剩餘時間，而能 夠決定晶片W的運送順序，變成能夠減少運送延遲。 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 550638
圖3係說明關於本發明的第丨實施形態的搬進時機之圖 面。在圖3，例如，在時間點τρι晶片w一旦被搬進裝載鎖 足室LL1，以該時間點τρι作為基準，就各自地算出成為 能夠將下一個晶片W搬進製程模組PS1、PS2的時間 PSL 1、PSL2 〇 在此，藉由該PSL1、PSL2的算出，成為能夠將下一個晶 片w搬進製程模組PS1的時間點TL1，當作變成了成為能夠 將下一個晶片W搬進製程模組PS2的時間點TL2。此時，僅 考慮在處理室PM1、PM2的處理剩餘時間△ PM , 一旦決定 下一個晶片w的運送順序，在處理室PM1的處理剩餘時間 △ PM1這邊，因為比處理室pM2的處理剩餘時間△ pM2 、被送到製私·模組PS1的晶片W就由裝載蟑LP1〜LP3被 選擇。此結果，因為能夠將晶片w搬進製程模組psi的時間 點為比TL2更慢的TL1 ,比起將晶片w搬進製程模組ps2的 時候，從定向器0R的晶片w的運送時機，只有落後TLl-TL2 〇 另一方面’將成為能夠搬進裝載鎖定室LL丨、lL2的時間 PSL1、PSL2作為基準，一旦決定下一個晶片w的運送順 序，因為PSL2這邊比PSL1短，能夠由裝載埠Ερι〜Lp3選 擇被送到製程模組PS2的晶片W，變成能夠將運送延遲只有 減少 TL1-TL2。 如此地’以將成為能夠搬進裝載鎖定室LL丨、LL2的時機 作為基準，決定下一個晶片w的運送順序的方法，能夠優 先選擇在處理室PM1、PM2的接收時間長的這一邊。因 ___ -17· 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4规格(210 X 297公袭·) 550638
此，在裝載鎖定室LLl、LL2的排氣等的處理結束，在將晶 片W立刻放入處理室PM1、PM2的狀態，能夠使晶片w在 裝載鎖定室LL1、LL2待命。此結果，接收時間長的晶片w 的處理要不斷地進行，在時間長的晶片W的過程處理進行 之間’能夠進行接收時間長短的晶片W的運送，變成能夠 減少運送延遲。 以上，說明了關於在上述的第1實施形態，以在裝載鎖定 室LL 1、LL2與裝載模組L Μ之間的晶片W更換時機作為基 準，決定晶片W的運送順序的方法。 但是，以可搬入裝載鎖定室LL 1、LL2之時機作為基準 時，在處理室ΡΜ1、ΡΜ2現在所進行的晶片接收時間長的 話，下一個在處理室PM 1、ΡΜ2被處理的晶片w就在裝載 鎖定室LL 1、LL2内待命。然後，如此的狀態一旦在全部的 製程模組PS1、PS2發生，於裝載模組LM内的晶片W的運 送在那之間被停止，變成無法進行由裝載埠LP1〜LP3的晶 片取出。如此的狀態，以系統全體來看的時候由於在處理 室的處理時間導致運送效率降低，使由裝載埠LP1〜LP3的 晶片W的取出處理不斷地進行的這一邊，能夠提昇以系統 全體來看的運送效率。 因此，以在處理室ΡΜ1、ΡΜ2與裝載鎖定室LLl、LL2之 間的晶片W更換時機作為基準，在晶片w被搬進任一間的 裝載鎖定室LLl、LL2之時，也可以算出成為能夠將下一個 晶片W搬進處理室ΡΜ1、ΡΜ2的為止時間PSS。 圖4係說明關於本發明的第2實施形態的搬進時機之圖 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐) 550638 A7
面。在圖4 ,例如在時間點TP 1，晶片w 一旦被搬進裝载 鎖足室LL1，以該時間點τρι作為基準，就算出成為能夠 將下一個晶片W搬進處理室PM1、PM2的時間PSS1、 在此’為了將下一個晶片W搬進處理室pm 1、 PM2 ,由裝載鎖定室LL1、LL2被搬進處理室PM1、 晶片W的過程處理有必要結束，且將裝載鎖定室lU、lL2 抽真空。因此，成為能夠搬進處理室pM1、pM2的下一個 晶片W為’比起圖3的PSS時間PSS1、PSS2，僅僅慢在該 處理所花費時間？]^!、PMb2。再者，圖4的TR(llm), 為裝載鎖定室LL1、LL2的更換時間。 因此’成為能夠將下一個晶片W搬進處理室pm 1的時間 點為tsi ,成為能夠將下一個晶片w搬進處理室pM2的時 間點為TS2，在處理室PM2的處理時間長的話，psSi這邊 就變成此PSS2短。因此，能夠由裝載埠Lpi〜Lp3選擇被送 到製程模組PS 1的晶片W ,且能夠優先選擇接收短的這一 邊。 該PSS時間因應製程模組PS1、PS2的運送張數，能夠如 下算出。 亦即’ PSS時間的算出，係以在處理室PM1、PM2與裝載 鎖定室LL1、LL2之間的晶片W更換時機作為基準，因此， 算出被搬進裝載鎖定室LL1、LL2的晶片W到被搬進處理室 PM1、PM2所等待的時間PMb，將該運送等待時間PMb加 到PSL時間就可以。 在此’圖2(a)的1張運送的時候、圖2(b)的2張運送在製 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(2l〇X297公寶)
裝 訂
550638 A7 B7 五、發明説明（17 ) 程模組PS 1、PS2内沒有晶片W的時候、及圖2 ( e)的2張運 送在製程模組PS 1、PS2内有1張晶片W的時候，因為被搬 進裝載鎖定室LL 1、LL2的晶片W到被搬進處理室PM 1、 PM2所等的運送等待時間PMb = 0，所以變成和（1)、（ 2)、 (5 )式子一樣。 另一方面，圖2(c)、圖2(d)的2張運送在製程模組PS1、 PS2内有2張晶片W的時候，藉由於（3)、（4)式子各自地加 算PMb，PSS時間能夠如下求得。 i)沒有在處理室PM 1、PM2的後處理的時候 PSS = Max((CL+VAC)，Z\PM) + GO + PIO + GC+VENT+PMb • · · (7) i i)有在處理室PM 1、PM2的後處理的時候 PSS = Max((CL+VAC)，Z\PM) + GO + PO + GC+APM + GO+PI +GC+VENT+PMb ---(8) 但是，PMb = PMa-Tllm Tllm = VAC + TR(llm) + VENT。在此， PMa :被搬進裝載鎖定室LL 1、LL2的晶片W的處理時間 Tllm :在裝載鎖定室LL1、LL2的處理時間。 此外，在定向器Ο R上有晶片W存在時候的再計算，除了 不用（7)、（8)式子的PMa而使用PMo之外，能夠與（6)式子 的計算方法同樣地做。但是，Ρ Μ 〇為定向器Ο R上的晶片W 的過程處理時間。 再者，在上述的實施形態，雖然針對製程模組PS 1、PS2 2台，裝載埠LP1〜LP33台，定向器〇R只有1台的情形加以 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）
裝 訂

Claims (1)

  1. 550638 六、申請專利範圍 i一種組合設備工具，其特徵為具有： 進行處理對象的過程處理的多數處理室、 、、在上述處理1：各別被連接，將上述處理對象運送至上 述處理室的裝載鎖定室、 被上述裝載鎖定室連接，將上述處理對象運送至上述 裝載鎖定室的裝載模組、 …及一種運送控制手段，其係基於可將上述處理對象運 运至上述裝載鎖定室的時機，上述裝載模組進行下一個 要運送的處理對象之選擇。 2. 根據中請專利範固第i項之組合設備工具，其中具備—種 運达時間算出手段，其為上述處理對象被搬進至任何一 個裝載鎖定室之時，算出在各裝載鎖定室下一個可運送 =時間；及具備—種選擇手段，其選擇至可運送的時間 ^為最短之處理對象以作為下—個要運送的處理對 3. 根據申請專利範圍第2項之組合設備工具，其中於上 ^換组中設有對上述處理對象的位置進行對位的對位機 4. 專利範圍第3項之組合設備工具，其中將藉由上 ,、迗工制手^又而選擇的下一個運送的處理對象，以 述對位機構對位之後，運送至上述裝載鎖 使其待侖。 万而 一種組合設備工具，其特徵為具有： 進伃處理對象的過程處理的多數處理室、 -22- 550638 、申請專利範園 、在上以成理直各別被連接，將上述處理對象運送至上 述處理室的裝載鎖定室、 j上述裝載鎖定室連接，將上述處理對象運送至上述 裝載鎖定室的裝載模組、 …及種運运控制機構，其係基於可將上述處理對象運 載鎖定室的時機，上述裝載模組進行下一個 要運运的處理對象之選擇。 6. 根據申請專利範圍第5項之組合設備工具，其中上述運送 控制方法具備·· -種運送時間算出手段，其為在上述處理對象被搬進 至任何-個裝載較室之時，算出下—個 理室的時間； 合爽 及種選擇手段，其為選擇至可運送時間為最短的處 理對象，作為下一個要運送的處理對象。 7. 根據申請專利範圍第6項之組合設備工具，其中在上述裝 載模組中設有對上述處理對象的位置進行作對位二位 機構。 8·根據申請專利範圍第7項之組合設備工具，其中將藉由上 述運送控制手段而選擇的其次之處理對象，以上^對位 $構對位之後，運送至上述裝載鎖定室的前方而=其待 9 一種運送控制方法，其為設有多數的處理室，通過裝 鎖定室將處理對象運送至上述處理室， 其特徵為基於可將上述處理對象運送至上述裝載鎖定 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公董） 550638 ABCD 六、申請專利範圍 室的時機，選擇下一個要處理之對象。 10·根據申請專利範圍第9項之運送控制方法，其中將上述已 選擇的下一個要運送之處理對象，以上述對位機構對位 之後’運送至上述裝載鎖定室的前方而使其待命。 11· 一種運送控制方法，其係設有多數的處理室，通過裝載 鎖定室將處理對象運送至上述處理室， 其特徵為基於可將上述處理對象運送至上述處理室的 時機，選擇下一個要運送的處理對象。 12.根據申請專利範圍第1 1項之運送控制方法，其中將上述 已選擇的下一個要運送處理之對象，以上述對位機構對 位之後，運送至上述裝載鎖定室的前方而使其待命。 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)
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