JP2005136021A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ウェハ冷却時間によるスループットの影響を最小限に抑えることのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板処理を行う複数の処理室と、大気圧状態で基板が搬入されると真空圧制御が行われるとともに、真空圧状態で基板が搬入されると大気圧状態に調整され、処理室で処理した後の基板を冷却処理する予備室とを、搬送室に連接し、搬送室内に設けた第1の搬送装置により、処理室と予備室との間で基板の搬送処理を行うとともに、搬送室の外部に設けた第2の搬送装置により、複数の基板が格納された複数のカセットと搬送室との間で基板の搬送処理を行う基板処理装置において、予備室内に基板を載置する複数の基板載置部を備え、該基板載置部に対して基板が搬入用及び搬出用の区別なく一定時間間隔で収納されるように第1の搬送装置及び第2の搬送装置を制御するコントローラを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 基板処理を行う複数の処理室と、大気圧状態で基板が搬入されると真空圧制御が行われるとともに、真空圧状態で基板が搬入されると大気圧状態に調整され、処理室で処理した後の基板を冷却処理する予備室とを、搬送室に連接し、搬送室内に設けた第1の搬送装置により、処理室と予備室との間で基板の搬送処理を行うとともに、搬送室の外部に設けた第2の搬送装置により、複数の基板が格納された複数のカセットと搬送室との間で基板の搬送処理を行う基板処理装置において、予備室内に基板を載置する複数の基板載置部を備え、該基板載置部に対して基板が搬入用及び搬出用の区別なく一定時間間隔で収納されるように第1の搬送装置及び第2の搬送装置を制御するコントローラを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、基板搬送シーケンスに従って基板の搬送処理を行う基板処理装置に関するものである。
図7は従来の基板処理装置を枚葉装置に例をとって示す平面図である。
図7に示される基板処理装置は、複数の処理室1〜3と、これら複数の処理室にゲートバルブC1〜C3を介して連通し2アーム真空搬送装置(第1の搬送装置)4aを備える第1の搬送室4と、第1の搬送室4とそれぞれゲートバルブB1,B2を介して連結され、大気圧及び真空圧の制御が可能な第1及び第2ロードロック室(予備室)5,6と、ロードロック室5,6にそれぞれゲートバルブA1,A2を介して連結され2アーム大気搬送装置(第2の搬送装置)7a及びアライメントユニット7bを備える第2の搬送室7と、第2の搬送室7に臨むように設けられるロードポート8とを備える。また、図示しないが2アーム真空搬送装置4a、2アーム大気搬送装置7a、ゲートバルブA1,A2,B1,B2等を所定のシーケンスに従って動作制御するコントローラを備えている。
図7に示される基板処理装置は、複数の処理室1〜3と、これら複数の処理室にゲートバルブC1〜C3を介して連通し2アーム真空搬送装置(第1の搬送装置)4aを備える第1の搬送室4と、第1の搬送室4とそれぞれゲートバルブB1,B2を介して連結され、大気圧及び真空圧の制御が可能な第1及び第2ロードロック室(予備室)5,6と、ロードロック室5,6にそれぞれゲートバルブA1,A2を介して連結され2アーム大気搬送装置(第2の搬送装置)7a及びアライメントユニット7bを備える第2の搬送室7と、第2の搬送室7に臨むように設けられるロードポート8とを備える。また、図示しないが2アーム真空搬送装置4a、2アーム大気搬送装置7a、ゲートバルブA1,A2,B1,B2等を所定のシーケンスに従って動作制御するコントローラを備えている。
上記構成において、処理室1〜3は、ウェハの成膜処理を実施する室であり、ゲートバルブC1〜C3を開後、2アーム真空搬送装置4aによりアクセスされる。2アーム真空搬送装置4aは、処理室1〜3へウェハを搬入し、又は処理室1〜3からウェハを搬出するものであり、2アームの搬送機構で処理室でのスワップ搬送を可能とする。即ち、例えばウェハを保持したまま処理室1(又は2)からウェハを取り出した後、ウェハを処理室3へ投入可能である。
ロードロック室5,6は上下の2段でウェハを保持可能である。これらはゲートバルブA1(又はA2)、B1(又はB2)で区切られており、室単位で大気圧及び真空圧の制御が実施可能である。各ロードロック室5,6は大気圧制御を実施した後に、ゲートバルブA1(又はA2)開後、2アーム大気搬送装置7aからアクセスされる。真空圧制御を実施した後に、ゲートバルブB1(又はB2)開後、2アーム真空搬送装置4aからアクセスされる。ロード及びアンロード兼用であり、且つ成膜後のウェハ冷却用のクーリングで使用される。
ロードポート8は、複数のウェハを保持できるユニットであり、2アーム大気搬送装置7aによりアクセスされる。2アーム大気搬送装置7aはロードポート8からウェハの取り出し、ウェハの投入、アライメントユニット7bへのウェハの投入、取り出し、ロードロック室5,6へのウェハの投入、取り出しを実施する装置であり、2アームの搬送機構でロードロック室5,6でのスワップ搬送を可能とする。即ち、ウェハを保持したままロードロック室5,6からウェハを取り出した後、ウェハをロードロック室5,6へ投入可能である。
アライメントユニット7bは、オリフラ合わせを実施するユニットであり、大気搬送装置でアクセスされる。
以上の構成における従来の基板処理装置では、処理室を大気に開放しないで基板(以下ウェハという)の搬入搬出を行うためのロードロック室において、圧力制御処理の回数を軽減するため、例えばロードロック室の基板載置部において上段を搬入用、下段を搬出用と固定的に設定して使用している。
(1)この場合、ウェハの搬送シーケンスは次のように行われる。
(a)ロードポート8からロードロック室5への搬入
1)2アーム大気搬送装置7aにてロードポート8からアライメントユニット7bへの搬入
2)アライメントユニット7bにおけるオリフラ合わせ処理
3)2アーム大気搬送装置7aによりアライメントユニット7bからウェハを搬出
4)ロードロック室5,6への搬入(ゲートバルブA(A1,A2)を開き搬入、ゲートバルブAを閉じる)
(a)ロードポート8からロードロック室5への搬入
1)2アーム大気搬送装置7aにてロードポート8からアライメントユニット7bへの搬入
2)アライメントユニット7bにおけるオリフラ合わせ処理
3)2アーム大気搬送装置7aによりアライメントユニット7bからウェハを搬出
4)ロードロック室5,6への搬入(ゲートバルブA(A1,A2)を開き搬入、ゲートバルブAを閉じる)
4)における搬入処理のための時間は入替え動作時間を前提とした時間でシーケンスを組んでいる。即ち、ゲートバルブAを開けた後、ロードロック室5,6から搬出と搬入を行い、ゲートバルブを閉めるまでの時間とし、この一連の動作をスワップ搬送と呼ぶ。
そして、上記1)〜4)の時間をEFEM_INと定義する。また、スワップ搬送前までの時間1)〜3)をEFEM_Aと定義し、4)のスワップ搬送時間をEFEM_Sと定義する。
4)の工程を実施する前には、予め使用するロードロック室5又は6を大気圧にする大気圧制御を実施する必要がある。
この制御に必要な時間をLEAKと定義する。また、4)の実行中は大気圧状態を保持する必要があり、この時間をLEAK_Hと定義する(図8参照)。
この制御に必要な時間をLEAKと定義する。また、4)の実行中は大気圧状態を保持する必要があり、この時間をLEAK_Hと定義する(図8参照)。
(b)ロードロック室の真空圧制御
ロードロック室の雰囲気を真空圧にするための処理時間をEVACと定義する。
ロードロック室の雰囲気を真空圧にするための処理時間をEVACと定義する。
(c)ロードロック室から処理室への真空搬送
5)2アーム真空搬送装置にてロードロック室から搬出する(ゲートバルブBを開、搬出、ゲートバルブBを閉)
6)2アーム真空搬送装置にて処理室への搬入(ゲートバルブCを開、搬入、ゲートバルブCを閉)
5)2アーム真空搬送装置にてロードロック室から搬出する(ゲートバルブBを開、搬出、ゲートバルブBを閉)
6)2アーム真空搬送装置にて処理室への搬入(ゲートバルブCを開、搬入、ゲートバルブCを閉)
6)の搬入処理の時間も大気搬送と同様に、スワップ搬送を前提とした時間とする。そして、スワップ搬送前の5)の時間をMF_Aと定義し、6)のスワップ搬送時間をMF_Sと定義し、これら双方5)及び6)の時間をMF_INと定義する。また、上記(b)において真空圧制御を行うが、5)の実行中においては真空圧状態を保持する必要があり、この時間をEVAC_HAと定義する(図9参照)。
(d)処理室でのプロセス処理
成膜処理を実施する時間をPROCと定義する。
成膜処理を実施する時間をPROCと定義する。
(e)処理室からロードロック室への真空搬送
7)2アーム真空搬送装置にて処理室からの搬出(ゲートバルブCを開、搬出、ゲートバルブCを閉)。この搬出時間は、(c)−6)の搬入で定義したスワップ搬送時間となる。この時間をMF_OUTと定義する。この時間は(c)−6)で定義したMF_Sとスワップ搬送後の時間で分けて考える。
8)2アーム真空搬送装置にて、ロードロック室へ搬入(ゲートバルブBを開、搬入、ゲートバルブBを閉)。このスワップ搬送後の動作時間をMF_Bと定義する。
7)2アーム真空搬送装置にて処理室からの搬出(ゲートバルブCを開、搬出、ゲートバルブCを閉)。この搬出時間は、(c)−6)の搬入で定義したスワップ搬送時間となる。この時間をMF_OUTと定義する。この時間は(c)−6)で定義したMF_Sとスワップ搬送後の時間で分けて考える。
8)2アーム真空搬送装置にて、ロードロック室へ搬入(ゲートバルブBを開、搬入、ゲートバルブBを閉)。このスワップ搬送後の動作時間をMF_Bと定義する。
なお、8)を実施する前に予め使用するロードロック室に対して真空圧制御を実施する必要があり、実行中は真空圧状態を保持する必要があり、この時間をEVAC_HBと定義する(図10参照)。
(f)ロードロック室でのクーリング
ロードロック室にて滞留させてウェハを冷却する。この時間をCOOLと定義する。
ロードロック室にて滞留させてウェハを冷却する。この時間をCOOLと定義する。
(g)ロードロック室からロードポートへの搬出
9)2アーム大気搬送装置にてロードポートから搬出(ゲートバルブAを開、搬出、ゲートバルブAを閉)この搬出時間は(a)−4)の搬入出定義したスワップ搬送時間となる。
10)ロードポートへの搬入(元の位置に戻す)
9)2アーム大気搬送装置にてロードポートから搬出(ゲートバルブAを開、搬出、ゲートバルブAを閉)この搬出時間は(a)−4)の搬入出定義したスワップ搬送時間となる。
10)ロードポートへの搬入(元の位置に戻す)
これらの時間をEFEM_OUTと定義する。この時間は(a)−4)で定義したEFEM_Sとスワップ搬送後の時間で分けて考える。スワップ搬送後の動作時間10)をEFEM_Bと定義する。9)のスワップ搬送を実施する前に予め、使用するロードロック室に対して大気圧制御の実施をする必要がある。また実行中は大気圧状態を保持する必要がある。これらの時間は(a)で定義したLEAKとLEAK_Hと同じになる(図11参照)。
以上に述べた(a)〜(g)までのシーケンスを図12に示す。
(2)搬送シーケンスにおける条件
ロードポート上にある複数毎のウェハを処理室1,2,3と振り分けて効率的に運転を行うために、スワップ搬送の実施を行っている。スワップ搬送をするために、下記待ち時間を設けて同期をとる。
11)真空スワップ搬送同期待ち時間:プロセス終了後にPM内で滞留させる。
12)大気スワップ搬送同期待ち時間:クーリング時間を延長してロードロック室内で滞留させる。
ロードポート上にある複数毎のウェハを処理室1,2,3と振り分けて効率的に運転を行うために、スワップ搬送の実施を行っている。スワップ搬送をするために、下記待ち時間を設けて同期をとる。
11)真空スワップ搬送同期待ち時間:プロセス終了後にPM内で滞留させる。
12)大気スワップ搬送同期待ち時間:クーリング時間を延長してロードロック室内で滞留させる。
以下のように、これらの同期待ち時間を加味した時間を定義する。
PROC_SCDL:プロセス時間(PROC)+真空スワップ搬送同期待ち時間
COOL_SCDL:クーリング時間(COOL)+大気スワップ搬送同期待ち時間
PROC_SCDL:プロセス時間(PROC)+真空スワップ搬送同期待ち時間
COOL_SCDL:クーリング時間(COOL)+大気スワップ搬送同期待ち時間
また、任意のウェハ処理が開始されてから次のウェハ処理が開始されるまでの時間をBATCHと定義する。
(a)真空スワップ搬送条件
PM(真空スワップの間隔)数が3であるので、3枚後(1と4,2と5,…)が真空スワップ搬送することになる。
このための条件式は、以下の様になる。
3・BATCH=PROC_SCDL+MF_S
この式を変形して、
PROC_SCDL=3・BATCH−MF_S …(式1)
PM(真空スワップの間隔)数が3であるので、3枚後(1と4,2と5,…)が真空スワップ搬送することになる。
このための条件式は、以下の様になる。
3・BATCH=PROC_SCDL+MF_S
この式を変形して、
PROC_SCDL=3・BATCH−MF_S …(式1)
(b)大気スワップ搬送条件
5枚後(1と6,2と7,…)を大気スワップ搬送としていた。
このための条件式は、以下の様になる。
5・BATCH=EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S+PROC_SCDL+MF_S+MF_B+COOL_SCDL
(式1)より整理すると
COOL_SCDL=2・BATCH−(EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S+MF_B) …(式2)
5枚後(1と6,2と7,…)を大気スワップ搬送としていた。
このための条件式は、以下の様になる。
5・BATCH=EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S+PROC_SCDL+MF_S+MF_B+COOL_SCDL
(式1)より整理すると
COOL_SCDL=2・BATCH−(EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S+MF_B) …(式2)
(c)ロードロック室の真空圧制御と大気圧制御が重ならない条件
ロードロック室での真空圧制御中及び真空圧搬送中に大気圧制御を実施することはできない。また、その逆もできない。大気搬送スワップを5枚後ごとに行うため、ロードロック室「1」,「2」での搬入と搬出の関係は図13のようになる。
また、圧力制御のシーケンスは図14に示すシーケンスの繰り返しとなる。
n枚目の搬出、n+3枚目の搬入のロードロック室が同一となり、ロードロック室単位では2・BATCH周期でこの圧力制御が実施される。
ロードロック室での真空圧制御中及び真空圧搬送中に大気圧制御を実施することはできない。また、その逆もできない。大気搬送スワップを5枚後ごとに行うため、ロードロック室「1」,「2」での搬入と搬出の関係は図13のようになる。
また、圧力制御のシーケンスは図14に示すシーケンスの繰り返しとなる。
n枚目の搬出、n+3枚目の搬入のロードロック室が同一となり、ロードロック室単位では2・BATCH周期でこの圧力制御が実施される。
この動作のための条件式は以下の様になる。
2・BATCH≧LEAK+EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S+MF_B …(条件式1)
2・BATCH≧LEAK+EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S+MF_B …(条件式1)
(d)2アーム大気搬送装置の動作条件
2アーム大気搬送装置の動作に着目すると、BATCH時間間隔でロードポートからの搬入、スワップ搬送、搬出動作を繰り返すことになる
この動作のための条件式は、以下の様になる。
BATCH≧EFEM_A+EFEM_S+EFEM_B …(条件式2)
2アーム大気搬送装置の動作に着目すると、BATCH時間間隔でロードポートからの搬入、スワップ搬送、搬出動作を繰り返すことになる
この動作のための条件式は、以下の様になる。
BATCH≧EFEM_A+EFEM_S+EFEM_B …(条件式2)
(e)2アーム真空搬送装置の動作条件
2アーム真空搬送装置の動作に着目すると、BATCH時間間隔で処理室からの搬出、スワップ搬送、搬入動作を繰り返すことになる。
この動作のための条件式は、以下のようになる。
BATCH≧MF_A+MF_S+MF_B …(条件式3)
2アーム真空搬送装置の動作に着目すると、BATCH時間間隔で処理室からの搬出、スワップ搬送、搬入動作を繰り返すことになる。
この動作のための条件式は、以下のようになる。
BATCH≧MF_A+MF_S+MF_B …(条件式3)
上記(a)〜(e)で求めた(式1),(式2)及び(条件式1)〜(条件式3)を満足するBATCH,PROC_SCDL,COOL_SCDLの値で制御をさせれば、動作的な干渉が起こらないシーケンスが組める。
(3)具体的な値の例
シーケンス時間の算出方法を具体的な値の例を用いて示す。各動作時間は、図15に示されるものとする。
(ステップ1)
(条件式1)〜(条件式3)を満足する最小の値(動作が干渉しない最小のBATCH値)をBATCH0として求める。
BATCH0≧47.5(=(20+15+10+15+20+15)/2)
…(条件式1´)
BATCH0≧60(=35+15+10) …(条件式2´)
BATCH0≧50(=15+20+15) …(条件式3´)
これらよりBATCH0は60。
シーケンス時間の算出方法を具体的な値の例を用いて示す。各動作時間は、図15に示されるものとする。
(ステップ1)
(条件式1)〜(条件式3)を満足する最小の値(動作が干渉しない最小のBATCH値)をBATCH0として求める。
BATCH0≧47.5(=(20+15+10+15+20+15)/2)
…(条件式1´)
BATCH0≧60(=35+15+10) …(条件式2´)
BATCH0≧50(=15+20+15) …(条件式3´)
これらよりBATCH0は60。
(ステップ2)
(式1)に上記で求めたBATCH0を代入して仮の値をPROC_SCDL0として求める。
PROC_SCDL0=3×60−20=160 …(式1´)
同様に、(式2)に代入して仮の値をCOOL_SCDL0として求める。
COOL_SCDL0=2×60−(35+10+15+20+15)=45
…(式2´)
(式1)に上記で求めたBATCH0を代入して仮の値をPROC_SCDL0として求める。
PROC_SCDL0=3×60−20=160 …(式1´)
同様に、(式2)に代入して仮の値をCOOL_SCDL0として求める。
COOL_SCDL0=2×60−(35+10+15+20+15)=45
…(式2´)
(ステップ3)
求められた仮値の組[BATCH0,PROC_SCDL0,COOL_SCDL0]に対して、実際の成膜処理、ウェハ冷却時間以上になるように調整して、実際のシーケンスで使用する値の組[BATCH,PROC_SCDL,COOL_SCDL]を求める。
求められた仮値の組[BATCH0,PROC_SCDL0,COOL_SCDL0]に対して、実際の成膜処理、ウェハ冷却時間以上になるように調整して、実際のシーケンスで使用する値の組[BATCH,PROC_SCDL,COOL_SCDL]を求める。
BATCH=BATCH0+n
PROC_SCDL=PROC_SCDL0+3・n≧PROC(成膜処理時間)
COOL_SCDL=COOL_SCDL0+2・n≧COOL(ウェハの冷却時間)(n≧0)
PROC_SCDL=PROC_SCDL0+3・n≧PROC(成膜処理時間)
COOL_SCDL=COOL_SCDL0+2・n≧COOL(ウェハの冷却時間)(n≧0)
成膜処理時間(PROC)が150秒、ウェハ冷却時間(COOL)が85秒であるので、成膜処理時間については、160+3・n≧150においてnは0で良いが、ウェハの冷却時間については、45+2・n≧85においてnは20となる。
従って、BATCH=80,PROC_SCDL=220(70秒の待ち)、
COOL_SCDL=85となる。
以上のシーケンスタイムチャートを図16〜図20に示す。
従って、BATCH=80,PROC_SCDL=220(70秒の待ち)、
COOL_SCDL=85となる。
以上のシーケンスタイムチャートを図16〜図20に示す。
従来技術では、上述のようにウェハ冷却時間を長く必要とする場合、ウェハの投入時間間隔が多大な影響を受けて、スループットが悪くなるという問題があった。
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、ウェハ冷却時間によるスループットの影響を最小限に抑えることのできる基板処理装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するため、基板処理を行う複数の処理室と、大気圧状態で基板が搬入されると真空圧制御が行われるとともに、真空圧状態で基板が搬入されると大気圧状態に調整され、前記処理室で処理した後の基板を冷却処理する予備室(ロードロック室)とを搬送室(第1の搬送室)に連接し、前記搬送室内に設けた第1の搬送装置(2アーム真空搬送装置)により、前記処理室と前記予備室との間で基板の搬送処理を行うとともに、前記搬送室の外部(第2の搬送室)に設けた第2の搬送装置(大気搬送装置)により、複数の基板が格納された複数のカセットと前記予備室(ロードロック室)との間で基板の搬送処理を行う基板処理装置において、前記予備室内に基板を載置する複数の基板載置部を備えるとともに、該基板載置部に対して基板が搬入用及び搬出用の区別なく一定時間間隔で収納されるように前記第1の搬送装置及び第2の搬送装置を制御するコントローラを備えることを特徴とする。
以上に詳述したように本発明によれば、ウェハの冷却時間で影響されるウェハの搬入時間間隔を最小限とすることができ、ひいてはスループットを向上することができる基板処理装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
本実施の形態による基板処理装置の構造は図7に示した枚葉装置と同じであり、ここでの説明を省略する。
以下に本発明の実施の形態の動作について説明する。
本発明の実施の形態では、ロードロック室の上下段(基板載置部)で搬入用、搬出用で固定せずに有効に活用し、大気スワップの対象を7枚後(1と8,2と9,…)とするシーケンスを組む。
本発明の実施の形態では、ロードロック室の上下段(基板載置部)で搬入用、搬出用で固定せずに有効に活用し、大気スワップの対象を7枚後(1と8,2と9,…)とするシーケンスを組む。
(1)ロードロック室のシーケンス
まず、搬入するロードロック室5,6と上下段を決定する。ここで、図1において、第1ロードロック室5を「1」で表し、第2ロードロック室6を「2」で表している。そして、4種類(1上、1下、2上、2下)のうち、第1ロードロック室「1」と第2ロードロック室「2」は交互に使用し4シーケンスを定める(5シーケンス以降はその後の繰り返し)。搬出するロードロック室と上下段は7枚後(3枚後と同じ)の搬入と合わせる。ここで、図1は搬入シーケンスを例えば(1上−2上−1下−2下)とした場合のシーケンスを示している。
まず、搬入するロードロック室5,6と上下段を決定する。ここで、図1において、第1ロードロック室5を「1」で表し、第2ロードロック室6を「2」で表している。そして、4種類(1上、1下、2上、2下)のうち、第1ロードロック室「1」と第2ロードロック室「2」は交互に使用し4シーケンスを定める(5シーケンス以降はその後の繰り返し)。搬出するロードロック室と上下段は7枚後(3枚後と同じ)の搬入と合わせる。ここで、図1は搬入シーケンスを例えば(1上−2上−1下−2下)とした場合のシーケンスを示している。
(2)大気スワップ条件
7枚後を大気スワップとした場合の条件式は、以下の様に変更される。
7・BATCH=EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S
+PROC_SCDL+MF_S+MF_B+COOL_SCDL
式(1)を用いて整理すると、
COOL_SCDL=4・BATCH−(EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S+MF_B) …(式2A)
7枚後を大気スワップとした場合の条件式は、以下の様に変更される。
7・BATCH=EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S
+PROC_SCDL+MF_S+MF_B+COOL_SCDL
式(1)を用いて整理すると、
COOL_SCDL=4・BATCH−(EFEM_S+EVAC+MF_A+MF_S+MF_B) …(式2A)
搬送シーケンスにおける他の条件は全て従来技術で示したものと同じになる。
(3)具体的な例
各動作時間を従来技術で使用した動作時間(図15参照)を用いて算出する。
(ステップ1)
BATCH0=60(従来技術と同様)
(ステップ2)
PROC_SCDL0=160(従来技術と同様)
COOL_SCDL=4×60−(35+10+15+20+15)=165
…(式2A)
各動作時間を従来技術で使用した動作時間(図15参照)を用いて算出する。
(ステップ1)
BATCH0=60(従来技術と同様)
(ステップ2)
PROC_SCDL0=160(従来技術と同様)
COOL_SCDL=4×60−(35+10+15+20+15)=165
…(式2A)
(ステップ3)
成膜処理時間(PROC)が150秒、ウェハ冷却時間(COOL)85秒であるので、
成膜処理時間については、160+3・n≧150においてnは0で、
ウェハを冷却時間についても、165+4・n≧85においてnは0でよくなる。
従って、BATCH=60、PROC_SCDL=160(10秒の待ち)
COOL_SCDL=165(s)となり冷却時間が長くとれることとなる。
この場合のシーケンスタイムチャートを図2〜図6に示す。
成膜処理時間(PROC)が150秒、ウェハ冷却時間(COOL)85秒であるので、
成膜処理時間については、160+3・n≧150においてnは0で、
ウェハを冷却時間についても、165+4・n≧85においてnは0でよくなる。
従って、BATCH=60、PROC_SCDL=160(10秒の待ち)
COOL_SCDL=165(s)となり冷却時間が長くとれることとなる。
この場合のシーケンスタイムチャートを図2〜図6に示す。
このように、本発明によれば、従来技術に比べてウェハ冷却時間により、ウェハ投入間隔に影響がでることを軽減でき、例えば上述した実施の形態では、冷却時間を165秒までとっても投入間隔に影響がなく、冷却時間を十分にとれると共にスループットの低下を防止することができる基板処理装置が得られる。
1,2,3 処理室、B1,B2,C1,C2,C3 ゲートバルブ、4 第1の搬送室、4a 2アーム真空搬送装置、5,6 ロードロック室、7 第2の搬送室、7a 2アーム大気搬送装置、7b アライメントユニット、8 ロードポート。
Claims (1)
- 基板処理を行う複数の処理室と、大気圧状態で基板が搬入されると真空圧制御が行われるとともに、真空圧状態で基板が搬入されると大気圧状態に調整され、前記処理室で処理した後の基板を冷却処理する予備室とを搬送室に連接し、前記搬送室内に設けた第1の搬送装置により、前記処理室と前記予備室との間で基板の搬送処理を行うとともに、前記搬送室の外部に設けた第2の搬送装置により、複数の基板が格納された複数のカセットと前記予備室との間で基板の搬送処理を行う基板処理装置において、
前記予備室内に基板を載置する複数の基板載置部を備えるとともに、該基板載置部に対して基板が搬入用及び搬出用の区別なく一定時間間隔で収納されるように前記第1の搬送装置及び第2の搬送装置を制御するコントローラを備えることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003368359A JP2005136021A (ja) | 2003-10-29 | 2003-10-29 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003368359A JP2005136021A (ja) | 2003-10-29 | 2003-10-29 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005136021A true JP2005136021A (ja) | 2005-05-26 |
Family
ID=34646042
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003368359A Withdrawn JP2005136021A (ja) | 2003-10-29 | 2003-10-29 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005136021A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015058471A1 (zh) * | 2013-10-23 | 2015-04-30 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置 |
US9595460B2 (en) | 2013-04-10 | 2017-03-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus, recording medium and method of manufacturing semiconductor device |
-
2003
- 2003-10-29 JP JP2003368359A patent/JP2005136021A/ja not_active Withdrawn
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WO2015058471A1 (zh) * | 2013-10-23 | 2015-04-30 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置 |
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