TW402773B - Multielectrode electrostatic chuck with fuses - Google Patents

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經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 402773 A7 B7 五、發明説明（/ ) 本發明偽針對一種多霣棰结構腥，特別是一種用來夾 持基醱之靜霣夾頭。 於製程室中，在基暖的製程期間，靜霣夾頭换被使用 來夾持如矽晶圔之基髏。一般的靜電夾頭包括有一绝绪電 極，該绝续霣極偽相對於該基釀予以僱壓一霣壓值。在基 匾製程期間，製程氣膿導入該製程室中，及#特定的製程

I 中，一充霣之霣漿膿偽由該製程氣蜃所形成。該霣壓及該 霣漿龌在该霣極及該基髏中引入相異之解電霣荷.使其産 生一相吸之靜轚引力，以靜霄夾持該基體於該夾頭。 一般而言，該@霣夾頭包括有一被一薄聚合绝鐮層所 覆蓋之金屬霣極。該薄聚合物雇強化在該基賸及該霣棰之 Λ 間的靜電吸引力至最大極限。然而，當夾持在該夾頭之基 體損壊或破碎，而形成具有間銳邊线之破M,該等基臛破 片刺破該聚合物塗膜而暴露該夾頭之霣棰，待別是當該聚 合物為柔軟的且在高製程溫度中具有低剌破抑制能力。在 該绝绪體~中，甚至單一針孔造成霣棰之暴露會引起在該霣 極與該電漿體之間形成一弧形结構，而必需替換掉整籲夾 • 頭。在漫蝕性的製程環境中.聚合物绝绪釀也具有一有限 之壽命，像是使用含氣氣醱及霣薄«之製程。在這些製程 4 中，在該電極之上的該暴露绝緣鼸會被浸蝕性製程氣鼸所 浸蝕，而暴露該電極於該製程琢境中，産生該夾頭之故障 。在基膿之製程期間r該靜電夾頭之故障會産生整値基體τ 之相當大的成本損失。 傳统的解決方法偽增加該霣槿上之绝纗S之穿刺或浸 -04 - 本，汶尺度通用中囚S家標率（CNS ) Α4见格（2丨0X297公釐） ----^---裝--7--;--訂------\/ 線 1/ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本貿) 403773 A7 B7 五、發明説明（2) 一 蝕阻抗，包括使用硬陶瓷或合成绝鐮龌，以提供增加對由 該基齷破Η刺破之阻抗。例如，美固第4,480,240號專利 案，係掲露一種藉由熱熔噴鍍Α103、Ti〇2、BaTiO或其混 合材質於一電極之上製成之陶瓷層，及在該陶瓷介電材料 之微孔上漫透了聚合物。層*狀之陶瓷及聚合物结構也可 以被使用來增加該夾頭之穿刺抗力。然而，在此等结構中 ，尚有許多结構上的問題。該陶姿塗覆層使用上的一值問 題係在於，該陶瓷層之容積霉阻像數通常在增加溫度時會 降低至1 0 11 Ω cm ,而會使在离溫時産生來自該夾頭之轚 棰之不可接受之霣流滲露。另一值問題是，該合成物質之 不同層經常互相分層處理，待別是當該等層之熱膨脹傷數 不能匹配時。在一問題是，箱要複合製程方法去形成陶瓷 或合成绝续醱结構。 傳统靜霣夾頭及相两条统之另一問題偽由於不能連缠 操作該夾頭，或在該夾頭於製成琛塊中突發故障之前不能 偵澍及預澍該夾頭之故障；而迪成整値基體之損失。傳統 一般的作法，像在該夾頭故障前終止該基醴裂程，或是藉 由檢拥在該夾頭之绝续髖之洞，來茚止故障。例如日本第 ' JP 06244146-A號專利案掲g—種使用在該夾頭霣搔之電 壓路翠之電流檢測器，及當該檢測器偵潮到超遇給定位準 之電流時，用來停止該基體之製程之一控制器。然而，當 該基匾製成在完成前被終止時，其難以完成該都份已處理 基鳢之製程。另一解決方法，僑於日本第JP 2246 136號專 利茱所描述，其使用一缺陷檢拥器，該缺除檢拥器偽利用 -05 - 本<乂iHl通用中囚囤家標準（CNS >八4現格（210Χ297公釐） 卜il·—:___1、裝|_Μ——；——訂-----少線 (請先W讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 經濟部中央橾準局負工消费合作社印製 遍 Ϊ73 A7 ___ B7___ 五、發明説明（s3 ) * 』 一离霣s去偵測在該夾頭之霣極之绝錁«中之針孔。然而 ，此方法不能被用來偵澜或預防在該基匾之製程期間，該 夾頭之故障。因此，習知得夾頭条统不能提供一傾在装程 中對抗故障之夾頭，或允許在製程琢境中，該夾頭確實故 障之前，偵瀏或預测一夾頭之故障。 因此，需要$—夾頭可以對抗由基《破Η穿剌所發生 I * 之故障，或對抗在浸胜製程環境中由於浸蝕所産生之故障 。對於夾頭而言也箱要能忍受穿剌，侔允許該夾頭夾持一 基體，甚至在該绝緣層具有多鏑剌孔。同樣也霹要在較早 步驟中，去檢澜或預拥該夾頭之故障，使得在該基醭之製 程其間，該夾頭發生突發故障前，可以替換該夾頭。而進 —步痛要使用習知製造設備之低成本製造。 本發明涤針對一種在製程琛境中用來夾持一基鼸之故 障抑制靜霣夾頭9該夾頭之一種型式包括有多數值為绝緣 層所覆蓋之靜霣夾頭。當霣壓加諸於該等霣極時，該等霣 極可以靜霣夾持一基膿。一霣源匯流排具有多數®输出端 傳導霣Κ给該等電極。提供多數艟熔絲，每一熔絲至少串 接一霣棰至該霣濂匯流排之一输出端。當該绝線腰刺破及 暴露該笋霣棰至誇裂程琛境中，而弓彳起流經該等熔絲之霣 流時，孩等熔絲能使該等罨極與該等輸出端轚$分離。較 佳地，該夾頭之《極係為平面，及該電源匯流排具有與該 - 等電極同極性之输出嬙。 在另一结構中，在非霣漿製程中使用來夾持基體，該 靜霣夾頭包含有被绝錁匾披覆之第一及第二群《極，該等 -06 - 本1’人厶尺,1適用中四國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） I---_---r 1 -Γ 裝--：--.--訂------線 --1 (請先W讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央梯率局貝工消费合作社印製 402173 A7 B7 五、發明説明（夕） 霣極之尺寸及结構你作為雙@性電棰•及當將霣S加於該 等電極時，可以靜S夾持一基匾。一第一S葱匯流排具有 一用以提供«壓至該第—群電阻器之第一组输出端，及一 第二電源匯流排具有一用以提供電壓至該第二群電阻器之 第二组输出端。提供多數傾熔絲，每一熔絲《氣串接至少 一霣極至一電源匯流排之一输出端。當該绝纗腥刺破及暴 露該等罨極舆製程環境中，而引起霣流流經該熔絲時，該 等熔絲可以使該等霣棰與轶等輸出端子《氣分離。 在本發明之另一特擻中，該夾頭之《棰包括有（i)在 該绝续醭周邊之周邊電棰，（ii)在於g绝终臁中央部位之 中央霣極。一第一電瀝匯流揉具有一用來傳導霣K至該等 4 周邊霣極之第一組输出端，及該第二霣源匯流排具有一用 來傅導霣壓至該等中央霣極之第二組输出端。熔絲霣氣串 接該等電極至該等霣葱匯流排之输出端，及其當該绝绦髅 剌破及暴霉該等霣棰舆製程環境中，而引起霣流流經該熔 絲時，該等熔絲可以使該等霣極與該等輪出纗子霄氣分離 。此型態允許當任一周邊電捶暴霱在該霣漿環境時，可以 提早替換該夾頭，該周邊霣棰對於保持在該夾頭底下之傳 输流體之洩漏特別重要。 4 本發明也提供一種靜霣夾頭条统，其允許作早期檢測 及選擇計數該靜霣夾頭之《極故障。此糸統使用一霣流檢 測器來偵测流經該熔絲之《流，該霄流偽發生在當在一霣 搔上的絶緣駸穿刺及允許在基鼸之靜電霣荷放電作為一霣 流流經該霣極及相鄰熔絲。該霣流檢澜器在該熔絲《氣分 -07 - 本通用中囡國家標準（CNS ) A4現格（210X 297公釐） ---Ί J' 裝--^--.--訂------、，；/ 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局Λ工消费合作社印¾ 402773 at B7 五、發明説明（5) —， ~ 離該霣極與該霄源匯流抹粬出端之前，Μ制該霣流放霣。 該糸统最好包括一用以計算通過該等熔絲之霣流放霣次數 之計數器，以提供故障霣極之數目之量測，侔允許在該夾 頭突發故障前，替換該夾頭。 本發明更提供用以形成該故障抑制靜霣夾頭之方法。 , 其一方法包括有步驟（a)S擇一第一绝鎳層，（b)在該第 1 一绝錁層之上形成霣棰、電源匯流排及熔絲，及（C)在該 罨極、霣瀝匯流排及熔絲之上形成一第二绝续層。在另一 種方法中，該靜轚夾頭可以使用一合成層來製造，包括有 (i) 一第一绝緣層，（ii) 一電阻層，及（诅）一導霣層。該 合成層傺蝕刻該導霣層形成該等霣極及該等霣源匯流排， 及牲刻該霣阻層形成該等電阻。毎一霣阻作為一熔絲使用 ,且霄器連接至少一®極至一霣源匯流排。一第二绝纗層 傜形成在該被蝕刻之合成層之上，用以裂造該夾頭。 本發明之構造、待微及優黏，將藉由以下之詳细説明 、随附之申請專利範团及與本發明之實施例配合説明之圖 式，而獲較佳之瞭解，其中： 第1·你本發明之靜霣夾頭之部份截面側視示意_; 第僳本發明之靜霣夾頭之裂程室顯示操作之部份 断面側視示意圔；f 第3圈偽本發明之雙極性靜霣夾頭之製程室顦示操作 之&份斷面側視示意圔； ^ _ 第4圖傺第1圖之靜霣夾頭之另一實施例之撗斷面側 視示意圓； -08 - 本，適川中因囡家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） l·— — — I -r t- i 裝 I -,——.——訂-----'i線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本，\00 _ 402773 A7 B7 經濟部中央榡準局只工消费合作杜印製 五、發明説明（石） 第5鷓偽第1匾之靜霣夾頭之另一實施例之撗斷面侧 視示意圈； 第6圖偽第1圔之靜霣夾頭之另一《施例之撗斷面側 視示意圖； 第7園换第1圖之靜電夾頭之另一實施例之橫斷面鲴 視示意圖： ,; 1 · 第8 a _8 f圔偽本發明之靜霣夾頭之一實施例之製 造連缠步驟之斷面倒視示意圈； 第9 a圔係使用第8 a — 8 f圃所示之製程製造之靜 電夾頭老一電極、霣源匯流搛及熔絲組合之頂視示意圏； 第9b圖偽第9a圏中插入方塊9b之放大示意釀， •4 其詳偽顯示該霣極、電源匯流揉及熔絲组合； 第1〇園换一具有二半圈群m極之雙棰性靜霄夾頭之 頂視示意画；及 第1ι_偽另一具有二半圓群《極之雙極性靜霣夾頭 之頂視示意圔。 本發明偽使用p多霣極结構《，像是霣容，霣池，及 靜霣夾頭。雖然本發期對靜霣夾頭於製程環境中虑來夾持 基臛之内容，配合式作了詳细的説明，而在沒有脱離本 ^ 發明之範圍前提下，本發明之其它許多型式，對於熟習此 項技g之-人士而言.是顯而易知的。 如第1圔所示，本發明之靜電夾頭20包括有多數傾被 一層绝编鳢30披覆之單極性或雙極性霄棰25a、25b。而如 -09 - 本·’通別中因S家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） — l·——-1裝— 一r——.——訂-----,線 (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 402m A7 _ B7_ 五、發明説明（厂） 下文中描述，當將《壓施加於該等霣掻25a、25b時，該等 霣極25a、25b可以靜《地夾持住一基體35。一霄灝匯流排 40包括有多數值輪出端45a、45b,用來傳導霣K至該等霣 棰25a、25b。熔絲50a、50b電氣連接該等霄極25a、25b至 該霣葱匯流排40之输出端45a、45b。毎一熔絲50a連接至 少一 β串連至输出端45a之霣棰25a ,以及當披覆在®極 上的绝緣體30剌破並讓霣極暴露在製程琿境，而造成霣流 由該電棰25a流向該熔絲50a時，該熔絲50a可以讓該霣 極25a舆該輸出端45a成電氣猷路。 如第2圖所示，該靜霣夾頭20被固定在一製程室65之 一支撐體60上，該裂程室65形成一包圍琛場，用來處理該 基匾35。該製程室65 —般包括有一用來導入製程氣匾至該 製程室之製程氣醱薄[70及一用來從該製程室65抹出氣賸副 産品之抑制揉氣裝置75。在第2圓所示之該裂程室65之較 佳實施例，傈睡用於該基龌35之霣漿裂程；然而，在沒有 脱離本發明之範圍下，本發明可以缠甭於其他的製程室及 製程處理。 該靜電夾頭2 0—般包括有一具有通過其間之穿孔85之 基層80,該基層80是用來支撐該電棰25及該绝錁髅30。一 a 轚連接器90電氣連接該霣源匯流排40至一霄壓供應器。孩 — MS連接器90包括有（i )一延伸通過該基層80之穿孔85之電 導線以及（ϋ )-在該基層80與該支撐體60之間·的介面 上電氣皤合一電壓供應端105 之轚接黏100。一第一霣 應供應器110提供一電®至該《壓供應端105 ,用以作動 -10 - 本’_.<〇_；<·尺..1適用中囚國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ：-------裝--Ί--.--訂------ 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 402775 A7 B7 五、發明説明（β") 該夾頭20。該第一霣壓供慝器110 —般包含有一霣路，該 ®路包括有一經由一1ΟΜΩ電阻連接至一高電壓讀取器 之高霣壓直流霣源，該高霣壓直流霣源大約在1 0 0 0至 3 0 0 0 VOLTS。在該霣路中的一 1ΜΩ ®阻限制流通該 S路之霣流，以及一 500 PF霣容提供作為一交流濾波翠 o f • 在該製程室65中，一第二《壓供應器115被連接至該 支播體60。該支撐腰60的至少一部份典型地具有導電性， 且具有作為一製程霣棰或陰掻之功能，用以形成該製程室 65之霣漿。該第二®壓供鼴器115在該製程室65中，偽提 供作為該支撐塍60相對於該霣接地表面120鯈壓使用，用 以形成一電場，該電場産生一霣滎及/或使霣漿活動.而 該霣漿偽由該製程室65中的製程氣餹所形成。一绝续凸结 125被£置於該支撐釀60及該接地表面120之間，用以使 該支撐醱60與該接地表面120霣氣隔離。該第二霣颸供慝 器115大《上包括有一與一隔離霣容串聪之射頻阻抗，該 射頻阻抗使該製程室65之咀抗匹配於該線霣壓之阻抗。 為了作動該夾頭20,該製程室65被排空，並錐持在低 « 大菜壓力。一基體35||放置在該夾頭20上，及該夾頭20之 一 電捶25箱由該第一電壓供慝器110;相對於該基鼸35被鴒踵 。其後，該製程氣體藉由一氣體入口 70導入該製程室65中 ，以及藉由作動該第二電壓供應器115或藉由使用.如電威 線圈（画中未示）之備用霣漿産生器形成電漿。施加於該 霣極25之靜霣霣蒱在該霣極25累積，及該裂程室65中的霣 -11 - 本&尺,1通汛中因国家標隼（CNS ) Μ規格（210X297公釐} U------裝----.--訂-----r 線 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中失標车局月工消费合作社印装 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 402773 A7 B7 五、發明説明（9) 漿提供具有相反棰性且累積於該基鳢35之充霣《荷。該累 積相反棰性靜霣霣荷産生一相吸之靜霣力，使得該基體35 靜電地保持於該夾頭20。 為了諝整夾持在該夾頭20之基匾35的溫度，一熱傳導 流腰源140僳能被使用供應熱傳流體至該绝錁髏30之凹槽 145。夾持在該夾頭20之基釀35披覆及密封窣凹槽145 , 侔防止熱傳導流鳢溢出。在該凹槽145中的熱傳導流腰可 以被使用於加熱或冷卻該基體35,侔以謂整該基鼸35之溫 度，並且使該基醱35在製程中維持一定溫β該凹檐145 — 般傷形成交叉通道的周形，而該等通道傺延伸穿過該绝錁 鼸30〇 Λ 本發明之多霣極夾頭20在位於該霣棰25之上的绝《體 30被浸蝕或穿孔時可以避免故障發生。當一具有尖銳邊錁 之破Η穿刺披覆在該霣極25a上之绝錄釀3Q時，該基體35 之靜電電荷流經該暴霉的霣棰25a及通遇連接該霣極之熔 絲50a。祷經該熔絲50a之轚流産生靜霄放霣，使得該熔 絲50a在相當短的時間内自動地斷路，造成該霣極25a舆 該轚源匯流排40霣氣斷路。然而，»由該绝絲鼸30而仍然 被絶縐之存留霣極25b及《極25(^提供該等霣極大的接觸 面積，鏺續操作及靜電夾持該基暖35於該夾頭20上/因此 ，每一熔絲50a及電極25a組合作為一具有小接觴面積之 播立操作小靜電夾使用，以及由該霣葱匯流排40之一獮立 電源輪出端45a得到它的霣源供應。如此，本發明之靜霣 夾頭20具有持缅夾持住該基匾35及抗拒甚至當披覆在該霣 -12 - 本，九汷尺.1適;Π中因围家標準（CNS ) A4说格（210X297公釐） .----r---τ Ί 裝--：--.——訂-----i 線 I, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貝工消费合作杜印装 A7 ______B7_ 五、發明説明（ -·-* — 棰25之绝结匾30被穿破或漫蝕等突變故陣之重要優點。 本發明之靜《夾頭20之雙棰性型式将配合第3圃說明 如下。在雙極性型式中，該夾頭20包括有一披覆在一第一 群霣棰146及一第二群電極148之绝揉體30,該第一群霣 極146及該第二群《極148偽作成符合雙極性霣極之大小 及结構。當霣壓施加於該第一群®掻146及該第二群霣棰 148時，其可以靜霣地夾持該基體35。一具有一第一组輪 出端45a之第一霣源匯流排40a提供電壓給該第一群電極 146。一具有第二組输出端45b之第二霉源匯流排45b提 供霣壓給該第二群電極148。提供多數植熔絲50a及50b ，毎一熔絲50a、5Qb分別霄氣連接於至少一霣捶25a、25b 串連至該等電源匯流排40a、40b之输出端45a、45b之間。 當該绝緣體30穿破及該等霣極25a、25b暴S於該裂程琛境 ,引起霣流流經該熔絲50時，該等熔絲50a、50b可以使該 等霣極25a、25b舆該等輪出纗45a、45b霣氣斯路。 在雙®性型式中，該第一《壓供應器110提供不同的 霣壓給該第一霣源匯流排40a及該第二電源匯流搛40b。 在較佳的结構中，該第一《壓供應器110包括有二直流霣 ' 葱供應器，用來提供一負霣K给該第一群霣極146及提供 —正霣壓給該第二群《棰148 ,俥令該第一群轚極146輿 該第二群電極148互相雄持在一霄位差。·由於該第一群霣 極146與該第二群蜃揮_148之相反電位，而導·致該第一群 霄極146與該第二群電掻148具有相反掻性的靜霣霣荷， 以及夾持在該夾頭20之該基膿35具有相反極性之靜霣霣荷 -13 - 本/人仏尺度通用中园囤家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------1裝——；——』——訂-----J線I; (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局負工消费合作社印31 402773 A7 _ 〜_B7 五、發明説明（//) • -·， ，而不用在該裂程室65使用霣漿，邸可使該基《35靜«夾 持在該夾頭20上。雙棰性霣棰结構對於非《漿製程而言是 有利的，因為它不薄要充電電漿去作為對該基强35«|壓之 電荷載子。 該夾頭20之另一種型式將在下文中描述，而此夾頭20 允許製造上方便：增加可靠度.及在該等産生最大靜 I · «夾持力。該型式如第4圈所示，該霣源匯流拂40包括有 一舆該等電極25隔開之平面導電層，其提供《壓用以操作 該等霣極25。每一熔絲50電氣串接至少一縝霣極25至該電 ; 源匯流排40。該等熔絲50最好包括有一位於一穿孔155之 電阻披覆層150 ,該穿孔155延伸於該霣極25與該平面導 霣層之間，該霄阻披覆層150包括有如導霣或霣阻材質之 薄披覆層，侔作為一電阻元件。疽樣的型式在製迪上有許 多優黏，因為孩等電阻熔絲元件可以藉由配置該霣阻披覆 層150於該等穿孔155上而輕易地》迪完成，及該等穿孔 155傜形成於覆羞在該平面導«層上之绝》疆30中。 在第5圃所示之型式中，該《源匯流揉40之输出嫌45 實質上是與該等霣極25共平面。因為該等霣極25為共平面 ,所以該等霣極25之靜霣接觭面形成一單一平板。該等 输出端45被設置在與該S棰平面共平面之位寒·.及其位於 該等霄掻25之間且與該等霣極25相隔開。逭樣的安排允許 - 該等熔絲50可以設置在該等電^極25之間，藉此降低該等霣 極25與該绝緣體30之结厚度，並且提高該夾顥20之靜霣吸 引力至最大。 -14 - 才乂’、&尺,1適用中园囤家標準（CNS ) A4说格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注^^項再填寫本頁) -裝- 訂 A7 402773 B7 五、發明説明（，之） - - - -在第6顯所示之结構中，該霣建接器90,該霣思匯流 排40,及該等熔絲50形成一單一结構。一導霣平面包括有 U )—作為《接貼100之暴露部份，以及（ii )一位於與該 暴霉電接點100相對倒邊之绝錁部份，該裊露電接點100 偽作為該霣灝匯流抹40。該等熔絲50被埋入舆該暴露霣接 黏100相對之绝绨部份及電氣連接於該霣灝匯流排40之输

I 1 出嫌45。該具有隔離熔絲50及霣源匯流排40之導霣平面形 成一單一结構，使得該熔絲燒壊時，可以容易地替換。 在第7画所示之结構中，該夾頭20包括有（i)多數籲 位於該绝綠體30周圔之周邊霣極160 .以及（ii)多數僮位 於該绝緣髏30中心部位之中心《極165 ^ —第一電源匯流 排40a具有一提供霄壓給該等周邊^極“!）之第一組输出 端45a ,以及一第二霄源匯流排4Qb具有一提供踅暖給該 等中心霣極165之第二组输出端45b。該等熔絲50a、50b 分別霣氣連接於該等《極160、165,並串接至該奪霣瀝匯 流捵40a、40b之输出娥45a、45b,如圏所示。當任一傾周 邊霣極暴露於該製程琢境時，該等熔絲50a可以使該等周 邊霣極160與該霣源匾流排40a霣氣斷路。逭樣的型式允 許分別監視及供應電壓給該等周邊霣極160及該4等中心霣 極165。當熱傳導流體被使用來諝整夾持在該爽頭20之基 匾35之溫度峙，該等周邊霣極160就顯得特別的重要，因 -1 為該等周邊霣極160密封在該夾頭2Q之周邊，防止了熱傳 導流醴之溢出。當該等周邊極160故障時，被保持在該基 篇30下方之熱傳導液鳢溢出，而産生過熱及使該基膿30之 -15 - 本尺度適;η中囡國家標準（CNS ) A4洗格（210X297公釐> -------.-W^.J.,,4 装-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標率局負工消费合作社印¾ 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 40277ο Α7 Β7_ 五、發明説明（α3) _ 周邊産生故障。此夾頭结構允許施加离《κ至該等周邊霣 極160 ,侔在該夾頭之周邊提供增大的靜霣夾持力，或者 一傾或多鶴周邊霄槿160暴露於該霣漿環境時，可以置換 該夾頭。 本發明之8—持供提供一種用來早期偵澜以及選 擇計算霣棰故障數目之条统。在逭糸统中，一霣流檢測器 175霣氣串接至該電源匯流排40,如第1圓所示，其用以 偵測通過該等熔絲50之霣流。當一绝绨鼉30穿孔及暴露一 霣棰25a於該製程琛境時，由於霣流流經該霣極25a及通 過相鄰的熔絲50a ,在該基體35中之靜轚電荷會放霣。該 霣流檢澜器175偵澍該熔絲50a在使該電極25a舆霣瀝匯 流排40之输出端45a霣氣斷路前之霣流。一傾適當的霣流 檢測器175包括有一串接於該«瀝匯流排40之安培計。透 過該轚流檢澜器175監視霣流劇增提供孩等暴露於製程室 之霣極25數ft及該等未連接之霣極25數鼉之指樣。如此， 該霣流檢測器175能被用來提供一健或多數鶴霣極25故障 之早期預警.侔允許在製造流程期間發生突發故障之前， 替換該夾頭。傳统的霣流檢測器如安培計，在此可以被使 用。1 2 —電子計數榉180被連接至該霣流檢澜器175 ,用以 計算通過該《流檢測器175-之霄流突增數目，俥以提供条

C 露在該製程環境之電棰25數目及-未Λ接«搔25數目之預估- 。該計數器180可以是為習知具有計算流經該電流檢澜器 175放霣之《流數目之計數器。一計數器一般包括有一暫 -16 - ^------- 1 裝-------訂----II ' ^ 線 (請先Μ讀背面之注$項再填寫本頁) ________I___<__ 1 -_____ 2 ^&心1適;fl中园國家標隼（CNS ) Α4说格（2丨0X29?公釐） 經濟部中央標準局工消费合作社印装

40277S A7 _____ 五、發明説明（/^) 存器，該暫存器計算由一類比至數位轉換器所産生的脈衡 及産生一位置黷數。或者.一類比至數位轉換器185被使 用串接於該計數器180之前，用來將類比霣流输出轉換成 數位電流输出。一典型的類比至數位轉換器185包括有一 轚子霣路，該霣子霣路接收一Μ澜數董類比電壓及産生一 成比例於該類比输入之二進位碼數字。該類比至數位轉換 I * 器185在正確反覆的時間匾間内提供該類比輪入之二進位 ~ 输出指樺。傳统的11子計數器及類比至數位轉換器在此可 以被使用。 在;第7圃所示之夾頭型式中，β別的霣流檢澜器175a 、175b及任遘的值別的罨計數器180a、180b分別地被用來 偵測該夾頭20之周邊霣極160及中心霣棰165。使用二悔 霣流檢潮器蓮許值別偵拥該周邊電極160及該中心霄極165 之故障。如此 > 該霣流檢澍器175a能被使用來提供一籲或 多值周邊霄棰25之故障的早期預警，並且允許在裂造流程 _ 中該夾頭20發生故障之前，替換掉該夾頭20。 該夾頭20之不同特擻及元件，以及裂造該夾頭20之解 說方法現將被描述。然而，其他的製造方法可以被使用來 製造該夾頭20,以及本發明将不會被在此所掲Sfe解說方 法所限制。 - 在該夾頭20中用來支撐該霣搔25與該绝续鐮30之基層 80—般依據相鼴之基膿35之外型及大小成形及裂成相同尺 寸，俾加大熱傳输至最大.以及提供一寬夾持表面。例如 ，如果該基»34為碟型，則一正臑柱外型基層80是最隹地 -17 - 遇/Π中囚S家標準（CNS ) A4说格（210X 297公釐) U---^---Γ1 Λ . ·‘ττ-裝--r--.--訂------ j ·線丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局負工消费合作杜印策 ^U277B A7 _______B7_ 五、發明説明（ 1 · ο該基層80—般僳為鋁製成及為具有约1 00至225 直徑之囫柱體，及其厚度約為1 . 5 〇至2 ca。該平板 的頂面及底面以傳統的研磨技術研磨，直到該平板的表面 粗糙度小於1 «Β ,使得該基層80可以均勻地接觸該支撐 賸80及該基疆35,侔允許在基醱35舆該支撐醍60之間有效 的熱傳導。該基層80也具有穿孔，該穿孔的尺寸足夠大的 讓該«連接器90插入其間並具有一最小間除，而一適當間 除最好是小於約5™。 - 該绝緣體30可以是一健單一傾腥的绝续體30片材，而 其尺寸足夠大的覆蓋及包圍所有該夾頭20之霣棰/5 (如園 所示），或每一電極25可以分別被該绝緣體30之部份所覆 蓋。該绝錁轚30之霣阻偽數必須是（i)足夠小的允許快速 靜《霄荷累稹及消失，俥提供一快速樓應時間，及（ii)足 夠离的防止施加於該等霣棰25之霣£滲漏，而該等電棰滲 _ «壓可以破壊形成在該基腥35上的元件。該绝錄體30— 般具有一霄阻偽數範園在1 018Ω oTS 1 0 2 0 Ω cm ,及其 介霣常數至少約為3,且最好至少約為4。該绝錁體30之 適當厚度視該绝续體之霣阻俱數及介霣常數而定。例如當 該绝揉釀30之介電常數為3 ,該绝綠體的厚度一般為大約 4 1 0 u m至大約5 0 0 W m ,及一般最好為從大約1 0 0 - -w m至大約3 0 0 w m適合的絶緣體30材霣具有一般至 少大.約3 . 9 volts/aicron .( 1 0 0 volts/nfl> 之介電崩 潰強度，且一般最好至少约3 9 volts/micron ( 1 0 0 0 volts/«fl )。 在最佳的結構中，該绝续體30包括有一兩 -18 - 度通用中园囚家標準（CNS ) A4说格（210X 297公釐) lnn!IIJi]—^ —裝— —, I I T—――訂— — —— I- I '線— I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 402773 A7 £7_ 五、發明説明（/f ) • .一 -.1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 層薄Η结構，其包括有（i) 一位於該等霣極25之下之第一 绝绨靥30a ,及（ii)一位於該等轚極25之上之第二絶緣層 30b ,如第8a - 8f圔所示。毎一绝续層30a、30b最好 具有實質上均等厚度，其範圔大約50«π至大約100 U鴇 〇 經濟部中央標隼局見工消费合作社印装 ί該绝绨膿.30宜包括有一霣绝绪聚合材質，像是聚醛 亞胺（polyinide )，多睡（poltketon )，多 91 踊（ polytherketone ),多（polysulf on〉，聚破酸酷（ polycarbonate ),聚苯乙稀（polystyrene),尼龍（ nylon ),聚氣乙嫌（polyvinylchloride ),聚丙嫌（ polyproplene),多雄酿（polytherketons ),乙嫌樹 脂（polythersulf one),聚對一酸乙二酯（polythylene terephthalate ),氣乙嫌丙烯聚合物（fluoroethylene p.ropylene copolyaers),雄維素（cellulose),三插 酸纖維（triacetates ),矽（silicone ),及橡膠（ rubber)。該绝緣臛最宜包含具有离介電崩潰強度之聚醯 亞胺，其範園從5 0 0 0至1 0 0 0 0 volts/ifl ,而允許 使用薄绝緣醱30層，箱此將靜霣吸引力最大化。再者，聚 * 酵亞胺在靜霄夾制壓3力之下，足以彈回而輕撖變形，俥當 一 熱傳導流醱被導入於介於該基暖ί30及該具彈力之聚睡亞胺 之間的撤小間除時，可以提供加強的熱傳導。聚醯亞按介

V 電層一般是藉由將一聚酵亞胺塗膜旋轉披覆及接合在一電 極25上而形成。 或者，該绝緣膿3D偽可以包含一陶瓷材質，包括（i) -19 - 本'.-:':、又；1迺用中囚囤家標準（€~5)八4規格（2丨0'犬297公釐）

40277S A7 B7__ 五、發明说明（/,) 氣化物•像是 AI2O3, BeO, SiOs, TazOs· Zr〇2, CaO , MgO· Ti〇2, BaTiOa , (ii)氰化物，像是 AIN. TiH, BN, SisNi, (m)硼化物，像是 ZrBz. TiBz, VBs· W2B3，LaB 占 ，（iv)砂化物，像是MoSi2,及（v〉金銷石（diiond)。該 陶瓷绝錁體一般供藉由濺射法、熱熔喷鍍法、氣相沉稹法 、或藉由溶液塗層法，將一薄陶瓷塗層對應,波覆在該霣棰 » * 表面。或者，該陶瓷绝錁層可以藉由将該等霣棰25埋入一 陶瓷塊燒结而成。 該绝緣體30最好可以抵抗超過50t；之溫度，且最好 超遇100*0,俥使該夾頭20可以在高溫製程使用。再者 ，該绝緣體宜具有高熱導宰，侔使製程期間，該在該基饈 35所産生的熱可以έ由該夾頭20消散，一合適的熱導率至 少大約為0 . 1 0 Watts/·/- Κ。該绝绪齷在此也散佈有 高熱導率粉末埔充物霣.像是金銷石，氣化鋁，硼化輅， 氣化硼，及硝酸鋁，該等缜充物質之平均粒子尺寸愾小於 10//·-,俾增加熱導率及浸蝕阻抗。該填充物相對於該 绝鐮臞30之容積率最好偽由大约10%至80%,及一般 葆由大約2 0%至5 0%。此外，一防護塗覆層（中未 示）可以被加於該绝緣醸30之上^用以在該夾頭20被使用 在浸蝕製程環境時，保護該绝结靂30免於受到化學浸蝕。 該等電極25偽由導霄材質製成，例如像是金靨，像是 銅.鎳，鉻，鋁，及其合金。該等罨棰25之厚度一般偽d 大约1/ζ·至100//B ,及最好是由1«·至50/ζ· 。毎一霄極25最好包括有一接觸面積，且該接觸面積約為 -20 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） — ! 裝— I — I 訂——I I I I —線 - _ - · 輙 (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印装 ^ A 7 402773_b7_ 五、發明説明（/3) — 該基«35之面積的1 〇·<·至1 Ο·1倍。對於一具有直埋2 00至3 0 0·· (6至8inches)之基腥35而言，毎一電 棰25最好包括有一至少2 0·· 2之接觸面積，且最好從大 約50至大約100m2。 披JS在該霣極25之匾域的形狀及尺寸换依據該基匾35 之外形及尺寸而改變。例如，如第9a園所示，如果該基 鼸是碟形，則該霣極25被安排成碟形结構，用以将位於該 基體35下方之霣極25之结面積最大化。該等霣棰25覆蓋结 面稹宜為大約50〇2至大約500c·2 ,且最好是80 c·2 至大约 300〇«2。 對於雙極性霣棰结構而言，毎一群霣極146、148之接 觸面積實質上是相等且共平面，使得該等霣極146、148在 該基體35上産生相同的靜霣夾持力。毎一群霣棰之接觸面 積一般傈由大約50至250c·2 ,且最好是由100至 2 0 0c·2。該第一及第二群霣極146、148能覆蓋成一半 圔形面稹，如第1 0鼷所示。另外，該第一群霣極1«可 以包括有由該等«極所组成之至少一值内瓌，而該第二群 «捶148可以包括由該等《極所组成之至少一箱外環，如 ' . 第1 1圔所示。霣氣隔雄間除190被用來使該第一群霣極 146 _該第二群轚棰148相互隔雄。在一種較隹的结構中 ，該電氣隔離間隙190被製成的大小及結嫌可以作為用來 存放熱傳導流《之EI槽，俥用來調整該夾頭2Q上的基體35 之溫度。該等凹槽可以藉由切割穿遇該绝续B 30而形成在 該隔離間除190中且躺置在該隔離間除190之上，或者該 -21 - 本紙伕尺度逋用中國國家標準（CNS )^4^· ( 210X297公釐) ----*---Ί—丨，裝--：---：--訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局員工消费合作社印装 A7 _B7_ 五、發明説明（/f ) 绝续體30可以後退進入該隔離間除190中，以形成設置在 該等霣極之間的凹榷如第2圔所示。此结構允許使用介於 該等霣棰之間的隔離間除190來保持熱傅導流匾，而不需 要額外的凹槽去切割穿透該等霣極，藉此將該等霣棰25之 有效的面稹及靜霣力最大化。 霣連接器90(被使用來霣氣連接該霣葱匯流排40至該第 1 · 一《壓供慝器110 ,或«氣連接該第一及第二霣源匯流排 40a、40b至該第一霄壓供慝器110。對於雙捶性《棰而言 ，值別的電連接器90被使用來值別電氣連接該第一群霣搔 146至該第一電源匯流排4Ca ,及《氣連接該第二群霣極 148至該第二電源匯流排40b。對於單棰型及雙極性霣極 * 而言，該等電連接器90大豔上是相同的，且将只描述一次 而避免重覆。該霣連接器90包括有（i) 一延伸通過該基層 80之穿孔85之霣導線95,及（ii)一霣接黏100。該«導線 95之長度一般你由大約10明至大约50«·,及該«導線 9 5之宽度由大約2m至大約10 0»„該霣接點100最 好傺具有一暴露面積之磔形，該暴露面積的大小是作成直 接地接觸及霣氣β合一霣壓輪出纗105 ,該面積最好由大 约 至 400··2。 +2 當霣流流經該《極25及相達接熔絲50時，.毎一德絲50 是自動蓮作且能使至少一霣棰25舆該霣源匯流排之一输出 . 端霣氣斷路。該等熔絲50偽為' 電流戚應元件，當電流流經 該等熔絲50時，該熔絲50能使該霣極25由一输出端45自動 霣氣斷路。當一绝绪體304^«$暴露一霣極25至該製程環 本纸張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -------Ί J.-1裝------：--訂-----'或 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 402773 A7 B7 五、發明説明（h?) 境時，在該基疆35中的靜霣霣荷放霣而如同一霣流流經該 霣極25及相連接之熔絲50,而導致該熔絲閬路，例如熔絲 熔化或燒掉。毎一熔絲一般包括有一具有由一绝緣釀包園 之遞滅交叉面積之導鑤。該熔絲50之安培額定是指該熔絲 可以讓電流流遇而不會燒壤，熔化，或超過特定溫度上升 限制。該熔絲50之中斷額定像定義一熔絲可以安全中斷之 ，

I 最大短路霉流。霄流的瞬間上升而引起短路霄流，通常小

於四分之一遇期。當流經該熔絲50之電流至少約3 0 0 A ，最好是大約500WA ,最佳是約1·Α時，毎一熔絲50 宜能使該霄極25與該输出嫌45電氣斷_路。該熔絲最好被裝 配成在至少500wA時開路，且在相當短的時間内使該 轚極25由該霣源匯流排分離。該熔絲宜應被配置成在小於 大約1 0 0 is且最好在小於1 0 «s時燒斷。 在較佳的结構中，毎一熔絲50包括有一霣阻器或霣阻 元件，其霣阻值至少約為100Ω,且最好由大約100 至300Ω,及最佳是约為3 0 0Ω。該《阻包括有一薄 導線或一層霣阻材質，其連接一電棰25至該霣源匯流排40 之一输出端45。可以理解地，該霣阻可以是導《材質或轚

阻材質製成，因為導鼸的《阻是由公式R = pX Q1/A )所給定的，其中P為毎單位長度之電阻值，長度， A是元件面積< 因此，如果材質是相當長且其面積足夠小 ^ _ ，則甚至高導霣材.也可以作為一霣阻钯用。例如，該霣阻 可以包括一如銅或鋁之導電材質.其形成一籲非常薄的導 線或薄Μ連接該霣®25至一输出端45。或者，該電阻可以 -23 - 本紙伕尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） --------J~ ~^.:--1裝--_--^--訂------>..^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) «濟部中央標準局貝工消费合作社印装 A7 B7 402773 五、發明説明（公/) 由習知的霣阻性材質製成，此等材質包括有磺、錁、亞磷 、鉻、錫、及此等材質之混合物。該霣阻最好是以鏍亞磷 、錁絡、路、或錫等高霣流SS應材質裂成。 該熔絲50之形狀及尺寸，邸該熔絲之長度、寬度、直 徑或摩度供視該熔絲之材質及流經該熔絲之霣流安培數而 ,： 定。該熔絲50鼉好在其最熔化或燒鎩之處形成一連缠的間 I · 隙。該間眯必霱足夠大的使該霣源匯流排20之输出端45與 該故障霣棰25隔離，以防止消弧及«流由該输出端45向該 電極25放電。例如，對於一由如錁亞碟、鎳鉻、鉻、或錫 等電阻性材質製之霣阻器熔絲50之適當厚度而言，僳由大 約50A至大約1 000A ,而最好是由大約100A至 大約2 0 0 0 A β在一較佳结構中，該熔絲包括有一霄阻 材質之薄導線迪接一®極25至一《源匯流排40之上的一输 出纗45。當流經該霣阻性導線之霣流之安培額定值超遇如 前所述該熔絲可以傳導而不會被會燒壊或熔化之最大霣流 時，該薄導線會燒壊或熔化。進而言之，對於具有大約2 00至1 ΟΟΟΑ之厚度之熔絲而言，較佳的寬度是由大 約Ο. 1至大約Ira,而最佳厚度偽由Ο. 1之Ο. 3μι (0 . 0½ 5至Ο . Ο 1 2 inch),及其較佳長度偽由0 .1至5.卿，而最佳厚度像由0. 5至2. 5 ra (0. 0 2至0 . 1 inch)。該霣阻性熔絲元件50傺被埋入於包圍、 箸該‘極20之絶綠醱30中，或其可以渫建構作為一隔離絶 綠熔絲組件如下文将描述者。 該«潁匯流排40可以If 一埋入於該绝绪醱3 0之導線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐) J.-------Ί J .J裝--：---：--訂-----r 線--^ , I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印装 經濟部中央揉率局属工消费合作社印«. 402773 A7 _____B7 _ 五、發明説明（泛） • * ·> _ 或導體層，且輿該等霣棰25相隔離。該霣源匯流抹40具有 輸出端45或接面，其提供電壓給該等霣棰25。該霣源匯流 排4〇之输出端45可以被配置在該等霣棰25之下，如第4圖 所示，或設置與該等霣極25共平面且在該等霣捶25之間， 如第5國所示。或者，該等粬出端45及該霣源匯流排40可 以設置在不同的結構腥中，或由該g頭20中移出如第6、 7國所示。 = 製造該夾頭之霣極25、霣葱匯流排40及熔絲50之方法 現將描述。該夾頭宜製成一包括有一绝緣體30之稹靥板， 而該電極2ξ、該電源匯流排40及該熔絲50偽埋在該绝续臞 30之中。其一製迪方法，配合第8a-8f圔所描述，一 合成物層偽由下列步驟所形成，（i)遘擇一第一绝续層30 a · (U)設置一霣阻層200於該第一绝缘層30a之上，由 其中形成該熔絲50,及（迅〉在該«阻器層200之上形成一 導霣層205 ,以形成該等霣棰25及霣源匾流排40。該绝鐮 11 30a可以包括商業利用之聚合物塗膜，像是由徳拉威州 威靈顿市之DuPont de Hesours公司裂造之·ΚΑΡΤ0Ν*之 聚酵亞胺膜，由日本Kanegafuchi化學工業公司製造之· APIQUE0·,由日本Ube 3：業股份有限公司製造之”0Ρίΐ·ΕΧ 〃.由日本ΝΙΤΤ0電子工嚷股份有限公司製造之〃 NIT0MID 〃，或是由日本Mitsubishi塑謬工業股份有限公司製造之 〃 SUPERIOR flLM 〃。 該霄阻層200宜藉由在該第一绝续層210上》射一 導霣或電阻材質薄靥而形$第8 a·所示.而此等導 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ΊΊ-.------41'-:裝-----.I--訂-----''線 I J---V (請先閲讀背面之注意事項再填寫本莧) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印«. 40277S A7 _____B7_ 五、發明説明（f3) 霣或霣组材霣最好是鍊亞磷，钂絡銷，路，或錫。該霣阻 層的厚度最好是由大約5m (50A )至大约1 000 η· ( 1 0 0 0 0 Α 一第一圓樣保護層215你形成在該 霣阻器層200之上，該保護層215偽被作成該《極25及該 S源匯流排40结構，如第8b圔所示。該保護層可以包括 有戚光耐蝕膜材質，像是由德拉威州威S頓市之DuPont de Neiours公司製迪之"RISTON '習知的照相平版法 ，在此一併供參考像是由加利福尼亞州格子出販社出販， 史坦立.沃弗及理査.N.托伯所箸作之〃 Silicon Ppocas» ing Pop t h a U L S 1 K p a j W ο I um n l:Pi»pce 囂 s 〃之第1 2、1 3及1 4章所描述者，係可以 被用於使該保護層215輿該等霣極25及該霣源匯流搛40對 蠹成像。而後，霣_法被使用在該等保護塗覆部份之間設 置一導霣層205，侔以形成該等霣極25,霣葱匯流排40, 及該霣連接器90。該導霣層205供被設置成2//·至1 0 0«之厚度，而最好是大約5/ζ·。該、霣層205也可 以在該絶线層之上濺射一鋦箔層，並其間具有一氣化鉻结 合層。真空鍍膜法僳利於允許一薄霣極靥之設置，其厚度 傜小於大約500 η·,且最好小於2 5 0 η·。在設置該導 霣層205之後，殘餘的越光耐蝕膜利用習知的酸或氧化霣 漿剝離處理予以由該结合層剝雄.以得到如第團之結 構。 - 而後，一第二圈樣保護層220形成在該霣阻器層200 之上，如第8d 圈所示.g圃樣保護ff偽建溝成相對於 -26 - (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) -裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局負工消费合作社印«. 402Ϊ73 A7 B7 五、發明説明（沒） 所霈之熔絲50構造。該霣阻層200葆以習知的拽刻方法來 蝕刻，以形成霣阻熔絲5 0連接該等霣極25至該霣源匯流揉 40,如第8e圔所示。習知的濕或乾的化學蝕刻方法可以 使用來蝕刻該®阻層200。一合適的濕化學蝕刻包含將該 合成物塗膜沒蝕入像是氰化鐵、遇硫酸纳、酸或齡之蝕刻 劑中，,直到該塗膜被刻蝕為止。適當的乾姓刻處理可由前 ί · 述之Silicon Processing之第1 6章所描述，在此一併供 作參考。此後，殘餘的戚光耐蝕膜被由該積層Η剝離，以 及一第二绝緣層30b而後形成於該被蝕刻的導霄及霣阻層 之上，用以電氣绝錁該被蝕刻的合成物膜，如第8f_所 示。該第二绝续層3Qb可以附著在該被触刻的傳島及霣戚 器層之上，使得該等被蝕刻層可以被埋入該绝綠醱30之中 ，俥以形成該夾頭20。 該靜電夾頭20之霣連接器90—般傜由該積層片藉由棋 壓、衡壓或壓迫該霣連接器90而形成作為該等《棰25之轚 臛延伸。該霣連接器90最好被切斷，使得該霣導線95及软 霣接黏100被配置在一凹槽145中。在切斷該β連接器90 之後.在該霣接黏之上的绝续體30被移開，侔以暴露下方 * 形成笋霣接黏100之導i層205。該電導線35及該霣接黏 - 被插穿遇玆基層80之穿孔.使碼該霣接黏100被配置 在該基層80之下方如第2_所示。該夾頭積層片结構而後 可以使用習知之如聚睡亞胺等壓力或溫度敏戚黏箸薄附著 在該夾頭20之基層80上。完成的夾頭20之頂視圃示於第9 a及9 b蘭中。 -27 - 本紙乐尺度通用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X 297公釐）

Jinn-nInII HI (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 402773 at B7 五、發明説明（2〇 — ， * 不用製造該合成物積層Μ層，也可以改用一種商業利 用之包含有第一绝雄層30之合成物多層塗膜，其中該第一 绝纗層30之上包括有（i)一霣阻層200 ,及（U)—導《層 205。一適當的多層塗膜包含有一種由亞歴桑纳州雪頓郡 之Roffer公司所製迪的〃 R/FLEX 1000w塗膜，其包含有一 125«·厚之聚醯亞胺绝绨層30a, — 〇. 1, 之霣

I 阻器層200,及一25“·之導電鋦層205 0該霣阻層200 偽被牲刻或加工形成該霣阻性熔絲50.及該鋦層被蝕刻或 加工形成該等電棰25、該完整的罨連接器90及該電源匯流 排40如前所述。而後，7*第二绝綠層3Qb係附著在該被蝕 刻之積層片结構之上，俥以形成該夾頭20。 具有本發明之結構之靜電夾頭20具有許多的優«。第 一，該夾頭可以免於在該等霣棰25之上的绝续龌30之出現 授蝕或穿孔時故障。由靜霣放霣經該暴露的霣揮25流遇該 熔絲50之霣流，使得該熔絲50在相當短的時間内舆該暴露 之霣棰25霣氣斷路。如此允許該等剩餘之绝綠霣掻25繼缠 操作並且靜霣夾持該基《35。因此，本方式之每一熔絲50 及«棰25之組合可以當作一獼立操作之撤型夾頭。如此， 本發明之靜«夾頭20即使酋該覆蓋在該霣棰25之上的绝錁 體3 0發生穿孔或浸蝕時都可以避免突潑性之故障。 本發明之另一特擻係提供一種用於早期偵測及籩擇性 計數該霄極25故障之數目其利用«氣串接至該霄源匯流 排之一電流檢测器175及選擇計數器180 ,用以檢测流經 該熔絲50之霣流。通過該霣流檢测器175之霣流漘浪之監 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） J.""In-— IT—t J· /裝-- (請先閲讀背面之注$項再填寫本莧) .tr

•IT A7 402773 B7 五、發明説明d) 視提供該霣極25暴露於製程琢塊之數目或未連接之霣棰25 之數目之一指檬。如此，該電流檢潮器175及該計數器18 0可以被使用來提供對一值或多侮«極25故陣之早期警告 ,俥在製程期間，該夾頭發生突發性故障前，置換該夾頭 Ο - 雖然本發明已由參考的待定較佳實施例相當詳細地描 述，然而對於熟習此項技S之人士而言，許多其它的實施 例侏為顯而易知的。因此，附屬申諳專利範圔之精神及範 面將不會被在此所包含之較佳實施例所限制。 J—-----裝—·：---：-1 訂------.i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 經濟部中央揲準扃貝工消免合作社印*.

本纸張尺度適用中困國家揉準（CNS)A4規格（210x297公釐） ^02773 A7 B7 經濟部中央樣率局員工消费合作社印製 五、發明説明（f/) [元件標«對照表] 20 夾頭， 110 第一霣壓供應器 25、 25a、 25b、 25c 霣棰， 115 第二霣壓供應器 30 绝续醱， 120 接地表面 35 基體， 140 熱傳導流膿源 40 霣興瞑流排， 1 145 凹槽 45、 45a、 45b 輪出鏞， 146 第一群霣棰 50、 50a、 50b 熔絲， 148 第二群《極 60 支播艟， 175 霣流檢瀏器 65 製程室， 180 計數器 70 氣鳢源， 185 類比至數位轉換器 75 排氣装置， 190 隔難聞除 80 基層， 200 霣阻層 85 穿孔， 205 導霣層 90 霣速接器， 210 第一绝鴣層 95 霣導線， 215 第一樣保護層 100 霣接黏， 220 第二園樣保護層 105 霣壓供應纗 屬 -30 - m nn HI HJ n - J t§ t (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本纸乐尺度適用中國國家標準（〇>^)八4規格（2丨0><297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部t央橾準局貝工消费合作社印製 A8 B8 C8 D8 π、申請專利範圍 1·一種靜《夾頭，供在一裂程環境中夾持一基鼸，該夾頭 包含有： (a) 多數鑛被绝嫌腥覆蓋之霣極，當霣壓施加於該等霣 棰時，該夾頭提供靜霣夾持一基鼷； (b) —霄葱匯流排，具有多數届输出端，用以傅導霣壓 至該等霣極；及 (Ο多數個熔絲，其中毎一熔絲（i)«氣串接至少一霣 S至上逑霣葱匯流抹之一输出端（ii)包含一足夠低 之安培額定值，使得當該绝续體穿孔並旦暴霉該霣 棰，而引起由製程璨境之電流放||時，該霣極由該 输出端電氣分離。 2. 如申讅專利範醣第1項所述之靜霣夾其中該等熔絲 包含有至少一催下列待性： ⑴當至少大約500 ·Α之《流放霣流經該熔絲時，該等 熔絲使該霣極舆霣葱匯流排之輪出端霣氣分離； 0當流經該熔絲之«流放«,該等熔絲會在小於10 »S 内燒斷； ®該等熔絲包含有一具有電阻值至少100Ω之霣阻值 参 屬 ⑷該熔絲包括有一鹤或多傾包括有碩、鎳、亞磷、亞 磷、錁鉻、絡、或錫；或 -.. ®該等熔絲包含有.一介於該霣極舆該霣！匾流排之間的 一電阻塗覆層。 3. 如申請專利範園第1項1述：^靜霣夾頭，其中該等霣極 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) -裝- 訂 A8 B8 C8 D8 經濟部中央樑率局属工消费合作社印*. '申請專利範圍 ，霣源匯流排，及孩等熔絲，你被埋在該绝錁鳢中。 4. 如申諳専利範圔第1項所述之靜《夾頭.其中α)該等 «棰包括有第一及第二群轚極.及（u)該*顙匾涛抹包 括有第一及第二«灞匯流排，該第一霣葱匯流排包括 有一用來提供霣壓給該第一群《極之第一组輪出嫌，及 該第二霣葱匯流抹包括有一用來提供霣壓给該第二群霣 棰之第二组输出端。 5. 如申讅專利範園第1項所述之靜霣夾頭，其中該等該霣 瀕匯流排之输出埔包括有至少一β下列之待性： ⑴該等输出纗賁質上偽與該等霄極同棰·· &該等輪出端你設置在該等霣極之間且相隔開：或 ③該等输出端偽埋入該绝錁醍中。 6. 如申請專利範園第1項所述之靜霄夾頭，其中該等霣極 包括有（i) 一傾或多籲位於該绝錁匾周邊之馬邊霣槿， (11) 一鏞或多值位於該绝鐮»中央部位之中央霣棰，以 及 該霣源匯流排包括有第一及第二«源匯流排，孩第 一霣濂匯流排具有一用來傅導《壓至該等厢邊霣棰之第 一組输杻蠼子，及該第二霣葱匯流排具有一用來傳導霣 K至該等中央電極务第二组輪舍轉矛@ 3 7. 如申請專利範圍第1項所述之靜《夾頭，其更包括有至. 少=霣源檢瀏器，用以偵拥由該製届環境放霣及經過該 熔絲之霉流。 8. 如申請專利範圍第7項所述之靜《夾頭，其更包括有計 -32 - 本紙浪尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝_ 訂 I冰 40277 r\ A8 B8 C8 D8 經濟部中央樣率局属工消费合作社甲装 申請專利範圍 數器，用以計算霣流放霣經該熔絲之次數。 9. —種根據申請專利範圍第1項所述之靜霣夾頭之霣棰故 障檢澜方法，該方法包括有步*: (a) 在一充«製程琛境中，靜《夾持一基腥於該夾頭上 ;及 ♦ (b) 偵拥霣流放霣，該霣流放亨侮由覆蓋在一霣極之绝 I · 鐮體之穿孔及該霣極暴S在該充霣製程環境所産生 "" 〇 10. —種根據申請專利範匾第1項所述之靜《夾頭成形方 法，包括有步》: ⑴在一第一绝结層上形成一雇或多艏《極、霣葱匯流 排^熔絲；及 0在上述霣極、《葱匯流排及熔絲之上成形一第二绝 鐮層。 π.如申請専利範園第ίο項所述之方法，其中在步κω 中該等熔絲你藉由胜刻一施加於該第一绝錁層之上的 ―霣阻層所形成。 、^ 12. 如申鯖專利範園第1 〇項所述之靜霱爽顆，其中在步 »⑴中，該等霣棰4及該等電源匯流排傈藉由設宣一霣 導腰在該等熔絲上及蝕刻該導體所胗成。 13. —種根據申請專利範圍第1項所述之靜霣夾頭成形方 法，包L括有步驟： ^ ⑴形成一合成物層，包括有（i) 一第一绝绨層· （ii) 一霣阻層，及（ffi )—傅導層； -33 - 本紙浪尺度適用中國S家揲準（CMS ) A4規格（210X297公釐） —4.-IL»---»11 .•裝---1—I—Γ-—訂— —-11.. 球--)1—J. — — . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 40277 η Α8 Β8 C8 D8 '申請專利範圍 0蝕刻該合成物層，以形成（i)由該導霣層形成之該 等霣棰及該霣源匯流排，及（U)來自該霣祖層之該 等熔絲，其霣氣連接至少一fi«棰至一霣葱匯流排 :及 «在該被姓刻之合成物層上形成一第二绝绨層。 14. 一種根據申謫專利範園第1項所述之靜*夾頭成形方 法，包括有步》: ⑴在一第一绝錄層之上成形一罨阻層及導霣層； 0蝕刻該導罨層，以形成多數侮電極及一霣源匯流排 G在步班0之前或之後，蝕刻該霄阻層，侔以形成連 接該等霄極至該等霜源匯流排之熔絲；及 Λ ⑷在該被蝕刻之導髏層及電阻層之上形成一第二绝续 In ·--- ml awn 1 In J^n ^---1 ' 〆n^i I (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 經濟部中央樑率局貝工消费合作社印*. 15. —種根據申請専利範面第1項所述之靜霣夾頭之霣棰 故障檢澜方法，該方法包括有步费[:_ ⑴在一充m製程環境中，靜霄夾持一基髏於該夾頭上 :及 0偵拥m流放電，該霣流放霣傺由覆綦在一霣棰之绝 綠匾之穿孔及該電極暴露在該充電製程環境所産生 34 - 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐）