經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _____B7 五、發明説明（1 ) 技術領域 本發明係關於將電氣i號脈衝轉梅爲光脈衝，可以高 速地傳送之光脈衝傳送系統及光脈衝傳送方法。再者，本 發明係關於在發送側，於將電氣信號脈衝轉換爲光脈衝之 際適用而有益之波形轉換方法，調製光之際適用之有益的 光強度調製裝置，以及在接收側，檢測被售送而革之光脈 衝之際適用之有益的光脈衝檢測方法。 背景技術’ 例如，在以半導體積體電路（I C )爲始之各種之半 導體裝置試驗用之半導體裝置試驗裝置（一般稱爲I C測 試機），很多連接爲了試驗半導體裝置而搬運，依據試驗 結果分類試驗完之半導體裝置之半導體裝置搬運處理裝置 (一般稱爲處理機、。連接半導體裝置搬運處理裝置（以 下稱爲處理機）形式之半導體裝置試驗裝置對被試驗半導 體裝置（一般稱爲DCT)施加規定之形式之試驗信號用 之測試頭，由半導體裝置試驗裝置之本體分離，而被配置 於處理機之測試部。此測試頭與試驗裝置本體間經由電纜 線般之電氣信號傳送路徑而被連接，通過此電氣信號傳送 路徑由試驗裝置本體側對測試頭側供給規定之形式之試驗 信號，通過裝置於此測試頭之接頭，對被試驗半導體裝置 施加試驗信號。又，由被試驗半導體裝置來之響應信號由 側試頭通過上述電氣信號傳送路徑而傳送於試驗裝置本體 側，而測定半導體裝置之電氣特性。 ----...—----裝------訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（2 ) 近年來，半導體積體電路（以下稱爲I C )姑高速化 ，又，由構裝導出之端子數也增加之故，如上述之半導體 裝置試驗裝置之通過電纜線之類之電氣信號傳送路徑以傳„ 送電氣信號，產生如下夕缺點。 (1 )在電纜線之類之電線中，於傳送電氣信號之頻 率數有界限，又，信號頻率變高時，有信鹋波_形劣化之虞 。因此，信號之傳送速度被限制，高速之I C試驗有困難 〇 (2 )隨著I C之端子數之增加而增加電纜線之數目 時，以現在之電纜線之粗細，試驗裝置本體H測試頭間_^ 電纜線束變耜而且重之故，成爲非常難於處理。 爲了解決上述問題點，在最近，信號之傳送速度或頻 率數特性較上述之電氣傳送方式優異，而且作爲傳送媒體 可以使用細且輕之光纖之類之光傳送路徑之光傳送方式開 始被採用。接著，關於一般之光傳送系統說明之。 調製光產生2値之數位信號（光脈衝）之情形，由於 調製技術之簡單在幾乎所有之情形，採用經由資訊信號（ 調製信號）以改變光之強度之光強度調製方式。通常在發 送側具備可以高速之光之強度調製之雷射二極體作爲發光 元件，在接收側具備響應速度快之光二極體，而且作爲傳 送媒體，具有使用光纖之構成，將由發送側之雷射二極體 輸出之光脈衝通過光纖傳送於接收側，將經由光二極體傳 送而至之光脈衝轉換成電氣信號。. 圖2 3爲始用先前之光傳送路徑以光傳送系統之一例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -5- nvf —^in flB^l—1 I* nn , nn^i flm In .....!J: 、ve (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 之槪略之電路構成圖。此光傳送系統經由光脈衝發送裝置 10 1與光脈衝接收裝置1 0 2，以及結合這些發送裝置 1 〇 1與接收裝置1 0 2間之光纖之類之光傳送路徑 1 〇 9而構成。 光脈衝發送裝置101具備將應傳送於接收裝置側之 電氣脈衝信號輸出之主電路1 0 3，以及_此主電路 1 〇 3之輸出端子1 0 3 A輸入端子被連接之驅動電路 1 0 4，以及連接在此驅動電路1 〇 4之輸出端子與共通 導體間之半導體雷射之類之發光元件1 〇 5，發光元件 1 0 5經由由驅動電路1 0 4給予之電氣脈衝信號而發光 產生光脈衝，此光脈衝通過光接頭1 0 9 A被送往光傳送 路徑1 0 9，而被傳送於光脈衝接收裝置1 0 2。 光脈衝接收裝置1 0 2具備光二極體之類之受光元件 1 0 6，以及在此受光元件1 〇 6輸入端子被連接之檢測 電路1 0 7，以及在此檢測電路1 〇 7之輸出端子其輸入 端子被連接之主電路1 0 8，通過光傳送路徑1 0 9被傳 送之光脈衝通過光接頭1 0 9 B被輸入受光元件1 0 6。 受光元件1 0 6將接受之光脈衝轉換成電氣脈衝信號送往 檢測電路1 0 7，檢測電路（一般經由電流-電壓轉換放 大器而構成）107取出被供給之電氣脈衝信號而給予主 電路1 0 8。主電路1 0 8依據被輸入之電氣脈衝信號而 實行各種之處理。 一般，雖使用雷射二極體作爲發光元件1 0 5，但是 雷射二極體如被詳知者，有因溫度變化發光量變動之缺點 • — ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） J In IK nn -ml 0 In l ·.· il··: r I (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A 7 _ B7_ 五、發明説明（4 ) 。圖2 4顯示雷射二極體之注入電流乾輸出光功率特性。 圖24所示之曲線A爲溫度T1(° C)之情形之注入電 流對輸出光功率特性，曲線B爲溫度T2(° C)(T1 < T 2 )之情形之注入電流對輸出光功率特性。 由圖2 4可以明白地，至發光狀態之電流値I。^:與 I 〇N2因周圍之溫度而變動。此結果，於驅動電路1 0 4 中，經由具有同一尖峰値之驅動電流I d以驅動發光元件 1 0 5時，發光元件1 0 5如圖2 4所示者，在溫度爲 Tl (° C)之情形，輸出0P1之光脈衝，在溫度爲 T 2 ( ° C )之情形，輸出光脈衝Ο P ?。 由圖2 4可以容易理解地，先前周圍溫度變化時，由 發光元件1 0 5輸出之光脈衝之光功率變化。因此，在光 脈衝接收裝置1 0 2接收光脈衝〇P 1與光脈衝0P 2之 情形，如圖2 5所示者，因應接收信號之尖峰値之大小， 在穿過檢測光脈衝之接收之臨界値電壓E C之光脈衝波形 之時機產生偏差△ t 1 ，△ t 2。即，溫度變動成爲不穩 定性，被傳送於接收裝置1 0 2產生不良。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 不《定件之發生成爲不良之實用fU，可以舉出例如適 用於半導體裝置試驗裝置之情形。如上數者，半導體裝置 試驗裝置爲裝置接頭之測試頭有別於試驗裝置本體另外構 成。測試頭包含對被試驗半導體裝置施加規定之形式之試 驗信號等之驅動器，以及接收被試驗半導體裝置之響應輸 出信號，進行邏輯電平判定之比較器，而且進行與半導體 裝置之介面動作。又，在這些試驗裝置本體與測試頭之間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐）~7~. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___ _ B7_ 五、發明説明（5 .) 設有多數之信號傳送路徑。 在使用光纖之類之路徑作爲這信號傳遌路徑 .· ，可以傳送高速信號（光脈衝）而構^_之」青_形，光傳送路 徑1 0 9需要爲多通道。如此經由多通道之光傳送路徑以 構築收發多通道之光信號之系統之情形，因溫度變動而被 傳送之脈衝產生不穩定性，再者，在各通道產生不穩定量 之偏差之情形，通過各通道之傳送路徑而被傳送之光信號 之相互間產生時機誤差，起因於此時機誤差之產生會產生 半導體裝置（ I C )之試驗無法正常實施之不良情形。使 用於上述之光傳送系統之光強度調製奘置一例示於_ 2 6。此光強度調製裝置具備輸入數位輸入信號（電氣脈 號）之信號電壓與臨界値電壓，比較這些電壓之輸入 側比較器2 0 0，以及因應此輸入側比較器2 0 0之比較 結果，使ON/OFF之電流開關電路201，以及依據 因此電流開關電路2 0 1之Ο N / 0 F F而產生之電流波 形而被驅動之半導體雷射2 0 2。電流開關電路2 0 1含 射極被共通連接之一對之電晶體TR 1、TR 2，以及基 極被共通連接之一對之電晶體2 0 3、2 0 5。一對之電 晶體TR1、TR2之集極分別被連接於半導體雷射 2 0 2之對應端子，被共通連接之射極被連接於電晶體 2 0 3之集極。 於上述構成之光強度調製裝置中，構成電流開關電路 201之射極共通連接之一對之電晶體TR1、TR2之 中之圖中，右側之電晶體TR 2爲ON之時’預先經由電 Ι1Λ. ^^1 n .<n nn n^i · hrI m 1· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X：297公釐） -8- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ____B7_____ 五、發明説明（6 ) 晶體2 0 3而控制之電流被注入半導體雷射2 0 2 ’對應 此注入電流之大小之電平之光輸出由半導體雷射2 0 2獲 得。又，驅動半導體雷射2 0 2所必要之直流镡壓電流係 經由集極被連接於半導體雷射2 0 2之電流注入端子之電 晶體2 0 4所控制。 經由使用上述光強度調製裝置以產生2値之光信諕， 即光脈衝，可以實現高速傳送光脈衝之光傳送系統。但是 ，例如於上述半導體裝置試驗裝置中，在試驗裝置本體與 測試頭間之光信號傳送路徑，混合存在多數之頻率之脈衝 ，之外，在光調製之際，要求非常高之時機精度。因此， 在上樹枝光傳送系統適用於半導體裝置試驗裝置之情形， 恐有產生下述問題之虞。 (1 )光強度一般雷平不安定（低頻成份之搖擺大） 之故，如圖2 7之下側所示者，於接收側以固定之識別電 平以識別2値之光信號之情形，資料（0、1 )或時機產 生如圖示之誤差。又，圖2 之上側之波形顯示應送往發 送側之電氣脈衝儇_號。 (2 )半導體雷射之類之發光元件之上昇時間（發光 延遲時間）因元件之溫度而變化，而且一般因元件而不同 之故，因溫度變化或因各元件間在發光延遲時間產生如圖 2 8所示之差。此發光延遲時間之差成爲上述之時機誤差 之要因。 上述（1 )之問題之解決方法，被提案者有：使發光 元件之溫度保持一定地進行溫度控制，或監視光強度使發 ^^1 —^n m ^^^1 In · m i^i· i nn nn nn 0¾-s (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印黎 A7 ____B7 五、發明説明（7 ) 光元件之輸出保持一定電平（使光強度安定化）地控制之 ，哪一種之方法都因傳送模組貴之故，在如半導體裝置試 驗裝置之類之多數之傳送線爲必要之裝置中，即使可以實 現但有價格之問題。再者，光強度之安定化在傳送高速光 脈衝之情形，眚現有面難。 又，解決上述（2 )之問題之方法，被提案者有：並 非以發光元件之發光與消光來顯示2値之光信號，如圖 2 9所示者，爲使發光元件經常驅動爲發某種電平之光（ 偏位光）之狀態，由此偏位光之光強度之變化，顯示2値 之光信號之方法。此情形，發光元件經常發光之故，因溫 度變化之影響或各元件間之發光延遲時間之差不易產生。 但是，2値資料〔1〕與〔0〕間之光強度之差變小之故 ，S/N降低。之外，2値信號之兩資料〔1〕與〔0〕 接受光強度之變動之影響之故，上述（1 )之問題之解決 更形重要。 又，例如於需要ATM (非同步傳送模式）交換機之 多數的傳送線之技術領域中所使用之多通道傳送模組中， ’如圖3 0所示者，採用於接收側只取出光信號之適當的 交流成份（A C結合），使識別電平爲0 V以識別此2値 信號之方法。又，圖3 0之上側之波形顯示發送側之應傳 送電氣脈衝信號。 依據此方法時，確實可以比較簡單地減少時機或資料 之誤差。但是，2値資料〔1〕與〔0〕之比例偏於一方 之資料値時，識別電平偏向偏移資料値之側，結果時機之 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -----------私衣------1T (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 誤差產生。又，有當然無法識別常時間被固定之D C資料 ，之外，其中之一之資料無法常時間連續地檢測之缺點。 換言之，在使上述識別電平爲Ο V之A C結合方法中 ，在資料値於一定之狀態（例如無信號之狀態）被放置之 情形，因其間之雜訊誤爲低準未知搖擺而檢測爲2値信號 之一方之資料。因此，爲了防止此之故，有必須經常使2 値信號之資料變化之缺點。因此，例如於半導體裝置試驗 裝置中，在試驗裝置本體與測試頭間傳送信號之情形，多 數之頻率之信'號混合存在，2値信號之資料値顯著偏於一 方之値（0或1 )之事例中，即，直流成份存在，而且重 視時機精度之'事例中無法利用。 再者，如圖3 1所示者，分別檢測2値之電氣信號之 上升以及下降邊緣，連著對應各邊緣之檢測脈衝信號產生 極性之反轉脈衝信號，即在上升邊緣之檢測時連著正極性 之脈衝信號產生極性之反轉負脈衝信號，成爲相互極性之 反轉脈衝對，在下降邊緣之檢測時連著負極性之脈衝信號 產生極性之反轉正脈衝信號，成爲相互極性之反轉脈衝對 ，依據這些極性反轉脈衝對驅動半導體雷射，同樣地產生 極性反轉之光脈衝對，傳送於接收側之方法也被提案著。 依據此方法時，被傳送之光脈衝對爲止適應傳送之2 値之電氣信號之上昇以及下降之各別之時機之光信號之故 ，在接收側接收指示此時機之光信號以識別上昇以及下降 之時機，可以再現原來之2値之電氣信號。因此，例如於 半導體裝置試驗裝置中，如在試驗裝置本體與測試頭間傳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I m 11’ ϋ -—-I-I I -- i^i . m 1^1 n m m 1^1 ^1J 令 、ve (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 經濟部中央標準局負工消費合作社印繁 A7 ___B7 五、發明説明（9 ) 送信號之情形者，多數之頻率，之信號混合存在，2値信號 之資料値即使明顯偏於一方之値（0或1 )之事例中也可 以適用。 即，在接收側接收極性互相反轉之光脈衝對作爲關於 上昇以及下降之時機信號之故，識別電平偏於資料値之偏 移側而產生時機之誤差、資料之誤差產生:等事不會發生。 又，關於長時間被固定之D C資料値也可以正確地識別。 如此，檢測2値之電氣信號之上昇以及下降，對應各 邊緣之檢測產生極性反轉脈衝對，以驅動半導體雷射之先 前之驅動電路之一例示於圖3 2。 此驅動電路具備：應傳送於一方之輸入端子之2値之 電氣信號被輸入之或（OR )電路3 0 0，以及使上述應 傳送之2値之電氣信號極性反轉之第1之反轉電路（反相 器）301 ，以及使由此反轉電路301之輸出信號只延 遲規定時間分別供給上述OR電路3 0 0之另一方之輸入 端子以及與（AND )電路3 0 3之一方之輸入端子之第 1之延遲電路3 0 2，以及使由此延遲電路3 0 2輸出之 信號極性反轉之第2之反轉電路（反相器）3 0 4，以及 使由此反轉電路3 0 4之輸出信號只延遲規定時間而供給 上述AND電路3 0 3之另一方之輸入端子之第2之延遲 電路305。又，OR電路300與AND電路303之 輸出信號分別極性被反轉而被供給半導體雷射3 1 2。 依據上述之驅動電路時，如圖3 3所示者，可以容易 了解由被輸入之2値之電氣信號之上昇以及下降邊緣（a 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） m - _ _ -1-·.1 t^n —11. .. - - -- - - - - · 1^1 i In i i 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -12- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7__ 五、發明説明（1〇 ) )〜（c )產生正邏輯之脈衝波形（d )與負邏輯之脈衝 波形（e )，這些脈衝波形被相加產生極性互相反轉之極 性反轉脈衝對（f )。半導體雷射3 1 2依據此極性反轉 脈衝對（f )而被驅動，產生如圖3 1之下段所示之極性 反轉光脈衝對。 但是，在相加由被輸入之2値之電氣信號之上昇以及 下降邊緣（a )〜（c )產生之正邏輯之脈衝波形（d ) 與負邏輯之脈衝波形（e )以產生極性反轉脈衝對（f ) 之情形，此極’性反轉脈衝對之極性反轉部成爲正邏輯之脈 衝波形（d )與負邏輯之脈衝波形（e )之2個之脈衝波 形之連接處。因此，在上述先前之驅動電路中，被要求高 精度之極性反轉脈衞對之極性反轉部由成爲不連續邊緣之 情形，時機精度有劣化之虞。 發明之公開揭露 此發明之第1之目地在於提供克服上述先前技術之問 題點之光傳送系統以及光傳送方法。 此發明之第2之目地在提供時機精度高而且週期不定 之直流成份存在之信號也可以高精度高速地光傳送之光傳 送系統以及光傳送方法。 此發明之第3之目地在提供適用上述光傳送系統或光 傳送方法之半導體裝置試驗裝置。 此發明之第4之目地在提供溫度即使變動在接收側被 傳送之信號不會產生不穩定性之光脈衝信號傳送方法。 --11 1^1 1 ri n lt> n ml . In ^ϋ» I \eJ (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印繁 A7 __B7_____ 五、發明説明（11 ) 此發明之第5之目地在提供適用上述光脈衝信號傳送 方法之光脈衝檢測方法。 此發明之第6之目地在提供極性互相反轉之極性反轉 脈衝對之極性反轉部不成爲不連續邊緣之傳送波形轉換方 法。 此發明之第7之目地在提供極性互相反轉之極性反轉 脈衝對之極性反轉部不成爲不連續邊緣，而且時機精度之 高的光強度調製裝置。 此發明之第8之目地在提供使用上述光強度調製裝置 之光傳送系統以及半導體裝置試驗裝置。 依據此發明之第1之面時，提供在發送側，具備分別 檢測應傳送信號波形之上昇邊緣以及下降邊緣之第1以及 第2之邊緣檢測裝置，以及經由上述第1之邊緣檢測裝置 以上昇邊緣檢測時機爲分界，產生由極性互相反轉之極性 反轉脈衝對形成之第1之傳送用脈衝信號之第1之傳送用 脈衝產生裝置，以及經由上述第2之邊緣檢測裝置以下降 邊緣檢測時機爲分界產生由極性互相反轉之極性反轉脈衝 對形成之第2之傳送用脈衝信號之第2之傳送用脈衝產生 裝置，以及依據上述第1之傳送脈衝信號產生第1之光強 度調製信號之第1之光強度調製裝置，以及依據上述第2 之傳送用脈衝信號產生第2之光強度調製信號之第2之光 強度調製裝置，在接收側具備：接收上述第1之光強度調 製信號，獲得只取出該交流成份之第1之接收信號之第1 之A C結合接收裝置，以及接收上述第2之光強度調製信 I— I- -i n 1 .— — - -- — -1 · 1^1 m I m I (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ______B7 _ 五、發明説明（12 ) 號’獲得只取出該交流成份之第2之接收信號之第2之 A C結合接收裝置，以及由上述第丨之接收信號識別上升 時機之第1識別裝置，以及由上述第2之接收債號識別下 降時機之第2識別裝置，以及依據上述被識別之上升時機 以及下降時機，再現關於上述應傳送信號之波形之上升邊 緣以及下降邊緣之信號再生裝置之光傳送系統。 上述第1之識別裝置將上述第1之接收信號之極性反 轉之時機作爲上昇時機而識別之，上述第2之識別裝置將 上述第2之接收信號之極性反轉之時機作爲下降時機而識 別之。 又，上述第1之識別裝置依據成爲上昇時機識別之基 準之上昇識別基準電平，與給予上昇時機之識別動作開始 時機之上昇識別開始電平，上述第1之接收信號之上昇只 在由穿過上述上昇識別開始電平之時間點起一定之時間被 設爲動作狀態，在此動作狀態中，上述第1之接收信號將 穿過上述上昇識別基準電平之時間點識別爲上昇時機，上 述第2之識別裝置依據成爲下降時機識別之基準之下降識 別基準電平，與給予下降時機之識別動作開始時機之下降 識別開始電平，上述第2之接收信號之下降只在由穿過上 述上昇識別開始電平之時間點起一定之時間被設爲動作狀 態，在此動作狀態中，上述第2之接收信號將穿過上述下 降識別基準電平之時間點識別爲下降時機。 上述信號再生裝置係經由將以上述第1之識別裝置而 被識別之上昇時機設爲設定信號，以上述第2之識別裝置 ' 1 ^^1 m^i nn i m 1^1 , —^n nn I ml 1^1、一.eJ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _______ B7__ 五、發明説明（13 ) 而被識別之下降時機作爲重置信號之非同步S R觸發電路 而構成。 依據此發明之第2之面時，提供在發送側具備分別檢 測應傳送信號波形之上昇邊緣以及下降邊緣之第1以及第 2之邊緣檢測裝置，以及經由上述第1之邊緣檢測裝置以 上昇邊緣檢測時機爲分界，產生由極性互相反轉之極性反 轉脈衝對形成之第1之傳送用脈衝信號之第1之傳送用脈 衝產生裝置，以及經由上述第2之邊緣檢測裝置以下降邊 緣檢測時機爲分界產生由極性互相反轉之極性反轉脈衝對 形成之第2之傳送用脈衝信號之第2之傳送用脈衝產生裝 置，以及依據上述第1以及第2之傳送脈衝信號產生光強 度調製信號之光強度調製裝置，在接收側具備：接收上述 光強度調製信號，獲得只取出該交流成份之接收信號之A C結合接收裝置，以及由上述接收信號依據上述極性反轉 之關係，區別與上述第1以及第2之傳送用脈衝信號有關 之信號以識別上昇時機以及下降時機之識別裝置，以及依 據上述上昇時機以及下降時機，再現與上述應傳送信號之 波形有關之上昇邊緣以及下降邊緣之信號再生裝置之光傳 送系統。 上述識別裝置爲由：將由上述接收信號之中與上述第 1之傳送用脈衝信號有關之信號之極性由正極性反轉爲負 極性之時機作爲上昇時機而識別之第1之識別電路，以及 將上述接收信號之中與上述第2之傳送用脈衝信號有關之 信號之極性由負極性反轉爲正極性之時機作爲下降時機而 HI ^i··· nn n^— nn I tin ϋϋ $ Te (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（14 ) 識別之第2之識別電路所構成。 又，依據成爲時機識別之基準之識別基準電平，以及 給予上昇時機之識別動作開始時機之上昇識別開始電平以 及給予下降時機之識別動作開始時機之下降識別開始電平 ，識別上昇時機之際，在上述接收信號之上昇穿過上述上 昇識別開始電平之時間點，上述第1之識別裝置只有一定 之時間被設爲動作狀態之同時，上述第2之識別裝置被設 爲不能動作狀態，第1之識別裝置在動作狀態中，上述接 收信號將穿過上述識別基準電平之時間點作爲上昇時機而 識別之，識別下降時機之際，上述接收信號之.下降在穿過 上述下降識別開始電平之時間點，上述第2之識別裝置只 在一定之時間被設爲動作狀態之同時，上述第1之識別裝 置被設爲不能動作狀態，第2之識別裝置在動作狀態中， 上述接收信號將穿過上述識別基準電平之時間點作爲下降 時機而識別之。 上述信號再生裝置係經由將以上述識別裝置而被識別 之上昇時機、下降時機分別作爲設定信號、重置信號之非 同步S R觸發電路而構成。 依據此發明之第3之面時，提供具備申請專利範圍第 1項至第8項之其中之一所記載之光傳送系統，發送2値 信號之試驗裝置本體與接收上述2値信號之測試頭經由光 纖而被連接，在上述試驗裝置本體與上述測試頭之間進行 使用上述光傳送系統之光傳送之半導體裝置試驗裝置。 依據此發明之第4之面時，提供具有檢測應傳送之信 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） mm J 1^1^1 ^^nr— Lm I ........ _ ^^^1 If fm ^ r (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 A7 ___B7 _五、發明説明（15 ) 號波形之上昇邊緣以及下降邊緣，以這些邊緣之檢測時機 爲分界，將顯示上昇時機與下.降時機之時機信號送往光傳 送線上之發送工程，以及接收被送往上述光傳送線上之時 機信號，依據此接收信號之上昇時機以及下降時機，再現 與上述應傳送信號波形有關之上昇邊緣以及下降邊緣之接 收工程之光傳送方法。 依據此發明之第5之面時，提供具有將應傳送之信號 波形之上昇邊緣以及下降邊緣分別檢測之第1之工程，以 及產生以上述上昇邊緣檢測時機爲分界，由極性互相反轉 之極性反轉脈衝對形成之第1之傳送用脈衝信號之同時， 產生以上述下降邊緣檢測時機爲分界，由產生極性互相反 轉之極性反轉脈衝對形成之第2之傳送用脈衝信號之第2 之工程，以及依據上述第1之傳送用脈衝信號產生第1之 光強度調製信號之同時，將這些調製信號各別送往光傳送 線上之第3之工程，以及分別接收上述第1以及第2之光 強度調製信號，獲得只取出這些之交流成份之第1以及第 2之接收信號之第4之工程，以及由上述第1之接收信號 識別上昇時機之同時，由上述第2之接收信號識別下降時 機，依據此識別之上昇時機以及下降時機，再現關於上述 應傳送信號波形之上昇邊緣以及下降邊緣之第5之工程。 上述第5之工程之上昇時機以及下降時機之識別係經 由以上述第1之接收信號之極性反轉時機爲上昇時機，以 上述第2之接收信號之極性反轉時機爲下降時機而識別以 進行。 m I m I —r- —i— tm n· .ly^—ϋ 1^1 I 受 、vs (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 A7 _______B7 五、發明説明（16 ) 又，在識別上昇時機之情形，依據成爲上昇時機識別 之基準之上昇識別基準，以及給予上昇時機之識別動作開 始時機之上昇識別開始電平，上述第1之接收信號之上昇 在穿過上述上昇識別開始電平之時間點起一定時間內，將 上述第1之接收信號穿過上述上昇識別基準電平之時間點 作爲上昇時機而識別之，在識別下降時機之情形，依據成 爲下降時機識別之基準之下降識別基準電平，以及給予下 降時機之識別動作開始時機之下降識別開始電平，上述第 2之接收信號之下降穿過上述下降識別開始電平之時間點 起一定時間內，將上述第2之接收信號穿過上述下降識別 基準電平之時間點作爲下降時機而識別之。 依據此發明之第6之面時，提供具有將應傳送之信號 波形之上昇邊緣以及下降邊緣分別檢測之第1之工程，以 及產生以上述上昇邊緣檢測時機爲分界，由極性互相反轉 之極性反轉脈衝對形成之第1之傳送用脈衝信號之同時， 產生以上述下降邊緣檢測時機爲分界，由產生極性互相反 轉之極性反轉脈衝對形成之第2之傳送用脈衝信號之第2 之工程，以及依據上述第1以及第2之傳送用脈衝信號產 生光強度調製信號，將此調製信號送往光傳送線上之第3 之工程，以及接收上述光強度調製信號，獲得只取出這些 之交流成份之接收信號之第4之工程，以及由上述接收信 號，依據上述極性反轉之關係，區別與上述第1以及第2 之傳送用脈衝信號有關之信號之同時，識別上昇時機以及 下降時機，依據此識別之上昇時機以及下降時機，再現與 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ：297公釐） II - - - I、.1'1<--1 II ί 1 —1— ·ϋ ，τ (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -19- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___ B7_____ 五、發明説明（17 ) 上述應傳送信號波形有關之上昇邊緣以及下降邊緣之第5 之工程。 上述第5之工程之上昇時機以及下降時機之識別係以 上述接收信號之中，與上述第1之傳送用脈衝信號有關之 信號之極性由正極性反轉爲負極性之時機爲上昇時機，以 上述接收信號之中，與上述第2之傳送用脈衝信號有關之 信號之極性由負極性反轉爲正極性之時機爲下降時機而識 別之。 又，依據成爲時機識別之基準之識別基準電平，以及 給予上昇時機之識別動作開始時機之上昇識別開始電平以 及下降時機之識別動作開始時機之下降識別開始電平，在 識別上昇時機之情形，上述接收信號之上昇穿過上述上昇 識別開始電平之時間點起只在一定時間內，進行上昇時機 之識別，同時，不進行下降時機之識別，在此時間內將上 述接收信號穿過上述識別基準電平之時間點作爲上昇時機 而識別之，在識別下降時機之情形，上述接收信號之下降 穿過上述下降識別開始電平之時間點起只在一定時間進行 下降時機之識別，同時，不進行下降時機之識別，在此時 間內，將上述接收信號穿過上述識別基準電平之時間點作 爲下降時機而識別之。 依據此發明之第7之面時，提供於發送側之發光元件 給予電氣脈衝，經由此電氣脈衝使發光元件發出光脈衝， 將此光脈衝通過光學傳送路徑而傳送於接收側，經由設在 接收側之受光元件轉換爲電氣脈衝，將此電氣脈衝作爲接 I n I !n n I . 丁 5-6 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 經濟部中央標準局員工消費合作社印^ A7 _____B7____ 五、發明説明（18 ) 收信號而取得之光脈衝傳送方法，其特徵爲：在上述發送 側，將給予上述發光元件之電氣脈衝設爲以直流偏壓電流 爲中心、正負對稱變化之正負對稱波形信號，使光傳送路 徑上之光之平均値維持一定値。 於上述第7之面中，將接收側接收之正負對稱波形信 號之檢測點規定爲穿過上述偏壓電流値之零交點。 依據此發明之第8之面時，提供於發送側之發光元件 給予電氣脈衝，經由此電氣脈衝使發光元件發出光脈衝， 將此光脈衝通‘過光學傳送路徑而傳送於接收側，經由設在 接收側之受光元件轉換爲電氣脈衝，將此電氣脈衝作爲接 收信號而取得之光脈衝傳送方法，其特徵爲：在上述發送 側，將給予上述發光元件之電氣脈衝設爲於上緣側以及後 緣側之雙方，以直流偏壓電流値爲中心、正負對稱變化之 正負對稱波形信號，即使傳送脈衝寬度長之脈衝，使上述 光傳送路徑上之光之平均値維持一定値。 於上述第8之面中，將接收側之接收檢測點經由在上 數前緣側以及後緣側產生之正負對稱波形信號之哪一方之 零交點而規定之。 又，在接收側設有產生對應上述直流偏壓電流値之直 流電壓之平滑化電路，供給此平滑化電路產生之直流電壓 作爲具有磁滯特性之電壓比較器之基準電壓，以此基準電 壓爲中心，將超過上述磁滯特性之磁滯寬度之電位變化作 爲接收信號而檢測，由上述電壓比較器輸出。 依據此發明之第9之面時，提供一種將數位輸入信號 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^^1 if In in · I - - nn ml n 、T (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •21 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___B7__ 五、發明説明（19 ) 以此輸入信號之上昇或下降之時機爲分界，轉換爲由極性 互相反轉之極性反轉脈衝對形成之傳送波形之傳送波形轉 換方法，其特徵爲：由上述數位輸入信號分別形成以此輸 入信號波形相等之第1之波形，以及由上述第1之波形具 有一定時間份之延遲，振幅爲上述第1之波形之2倍，波 形對於上述數位輸入信號有負邏輯之關係之第2之波形， 以及較上述第2之波形具有一定時間份之延遲，與上述第 1之傳送波形其波形相等之第3之波形，經由使上述第1 至第3之波形'重合以產生上述極性互相反轉之極性反轉脈 衝對。 依據此發明之第1 0之面時，提供一種具有發光裝置 ，以及因應數位輸入信號以驅動上述發光裝置之驅動裝置 之光強度調製裝置，上述驅動裝置具有形成與上述數位輸 入信號波形相等之第1之電流波形之第1之電流開關裝置 ，以及形成對於上述第1之波形具有一定時間份之延遲， 振幅爲上述第1之波形之2倍，波形對於上述數位輸入信 號有負邏輯之關係之第2之電流波形之第2之電流開關裝 置，以及形成對於上述第2之波形具有一定時間份之延遲 ，與上述第1之電流波形其波形相等之第3之電流波形之 第3之電流開關裝置，以使上述第1至第3之電流波形相 加之電流波形以驅動上述發光元件。 上述第1至第3之各各之電流開關裝置，具備於基極 上述數位輸入信號之反轉輸入被連接之第1之電晶體，以 及在基極上述數位輸入信號之輸入被連接之第2之電晶體 m ϋ*ϋ —m . mt *^1— ^^^1 ii 一 -* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 _ B7 五、發明説明（20 ) ， ，這些第1以及第2之電晶體之射極共通連接於電流源， .構成上述蔡1以及第3之電流開關裝置之第1之電晶體之 集極，以及構成上述第2之電流開關裝置之第2之電晶體 之集極被共通地連接於電源供給線，形成第1之輸出，構 成上述第1以及第3之電流開關裝置之第2之電晶體之集 極，以及構成上述第2之電流開關裝置之第1之電晶體之 集極被共通地連接，形成第2之輸出，上述第2之電流開 關裝置其電流源供給其他之電流開關裝置之電流源之2倍 之電流而構成之。 又，上述第2之電流開關裝置爲在第1之電晶體之集 極之輸入線設有第1之延遲電路，在第2之電晶體之集極 之輸入線設有第2之延遲電路，上述第3之電流開關裝置 爲在第1之電晶體之集極之輸入線串聯設有上述第1之延 遲電路以及第3之延遲電路，在第2之電晶體之集極之輸 入線串聯設有上述第2之延遲電路以及第4之延遲電路。 又，上述第1以及第3之電流開關裝置之電流源分別 具有電流調整用電阻，第1以及第3之電流開關裝置之電 流源之電流調整用電阻之電阻値相等，第2之電流開關裝 置之電流源之電流調整用電阻之電阻値設定爲其他之電流 開關裝置之電流源之電流調整用電阻之電阻値之2分之1 〇 依據此發明之第1 1之面時，提供在發送側具備申請 專利範圍第2 3項至第2 6項之其中一項記載之光強度調 製裝置，在接收側具備經由上述光強度調製裝置接收被光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） I---—11 —l· - - -- n' l! — I I · - - - -- I— - -II I In (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（21 ) 強度調製之信號，獲得只取出其之交流成份之接收信號.之 A C結合裝置，以及由上述接收信號，依據上述極性反轉 之關係，再現傳送前之數位'輸入信號之上昇時機以及下降 時機之信號再生裝置之光傳送系統。 依據此發明之第1 2之面時，提供試驗裝置本體與測 試頭以光纖連接，在上述試驗裝置本體側:具備申請專利範 圍第2 3項至第2 6項之其中一項記載之光強度調製裝置 ，在上述測試頭側，具備經由上述光強度調製裝置接收被 光強度調製之信號，獲得只取出其之交流成份之接收信號 之A C結合裝置，以及由上述接收信號，依據上述極性反 轉之關係，再現傳送前之數位輸入信號之上昇時機以及下 降時機之信號再生裝置之半導體裝置試驗裝置。 依據本發明之第1 3之面時，提供試驗裝置本體與測 試頭以光纖連接，在上述側試頭側具備申請專利範圍第 2 3項至第2 6項之其中一項記載之光強度調製裝置，在 上述試驗裝置本體側，具備經由上述光強度調製裝置接收 被光強度調製之信號，獲得只取出其之交流成份之接收信 號之A C結合裝置，以及由上述接收信號，依據上述極性 反轉之關係，再現傳送前之數位輸入信號之上昇時機以及 下降時機之信號再生裝置之半導體裝置試驗裝置。 在此發明中，提案即使在無信號時，對發光元件給予 一定、而且具有較給予發光元件之發光開始點之臨界値還 大之値之偏壓電流，使發光元件以一定之發光量發光。附 加與此同時欲送出之脈衝之極性爲相反極性之脈衝，產生 , m ί - -- ^ϋ» —m HI In «IJRn^i n^i an m Ξ-J·· 、v0 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 24- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（22 ) 以偏壓電流爲中心’正負對稱振動之正負對稱波形信號， 經由此正負對稱波形信號以驅動發光元件之光脈衝傳送方 法。 再者，在此發明中，也提案於接收側，將對應由發送 側送至之偏壓電流之電壓，作爲信號之檢測臨界値而利用 之光脈衝檢測方法。 因此，經由採用依據此發明之光脈衝傳送方法以及光 脈衝檢測方法，在發送側因溫度變動發光元件之注入電流 對輸出光功率特性即時變動，在發光元件流動之偏壓電流 變動，此偏壓電流之變動作爲光之直流成份而被傳送於接 收側。 在接收側被傳送而至之光之直流成份作爲偏壓電壓而 再生，再者，以此偏壓電壓爲基準電壓，給予具有磁滯特 性之電壓比較器，經由電壓比較器檢測正負振動之正負對 稱波形信號之上昇以及下降之變化點而構成之故，即使偏 壓電壓變動，正負對稱波形信號之檢測點在時間方向不會 移動。 其結果，依據此發明時，在發送側於發光元件被給予 溫度變化，發光元件之注入電流對輸出光功率特性即時變 動，在接收側檢測之脈衝之檢測點不會變動。即，可以阻 止不穩定性之產生。因此，使用多通道而傳送資料之裝置 ，可以適用此發明，各通道間在信號不會產生時機誤差， 可以獲得以正確時機接收發送資料之優點。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） m ^^^1 *1 mu mV mB Bvftn t— mi ^ 0¾ 、T (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _ _B7_____五、發明説明（23 ) 圖面之簡單說明 圖1顯示此發明之第1之實施例之光信號傳送系統之 槪略構成方塊圖。 圖2顯示圖1所示電路之動作說明圖。 圖3顯示圖1所示光信號傳送系統之具體的電路構成 之一例之方塊圖。 圖4顯示適用此發明之第1之實施例之光信號傳送系 統之半導體裝置試驗裝置之槪略構成方塊圖。 圖5 ( a_)〜（d )顯示顯示上昇時機以及下降時機 之極性互相反轉之脈衝對之數例之波形圖。 圖6顯示此發明之第2之實施例之光信號傳送系統之 槪略構成方塊圖。 圖7爲說明圖6所示之光信號傳送系統之電路動作用 之波形圖。 圖8顯示圖6所示光信號傳送系統之具體的電路構成 之一例之方塊圖。 圖9顯示適用此發明之第2之實施例之光信號傳送系 統之半導體裝置試驗裝置之槪略構成方塊圖》 圖1 0顯示此發明之第3之實施例之光脈衝傳送裝置 之一具體例之電路圖。 圖1 1爲說明圖1 0之光脈衝傳送裝置之動作用之時 機圖。 圖1 2顯示此發明之第3之實施例之光脈衝檢測電路 之一具體例之電路圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS.) A4規格（210Χ：297公釐） H· —^1. - ! -- - - I I 1 > 1^1 1^1 -- -I HI 、τ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -26- A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 五 、發明説明（24) 1 1 圖 1 3 爲說明圖1 2 之 光 脈 衝檢 測 電 路 之 動 作 用 之 時 1 1 I .機 圖 〇 1 1 1 圖 1 4 顯示此發明 之 第 3 之 實 施 例 之 光 脈 衝 傳 送 裝 置 1 I 讀 1 1 之 其 他 之 具 體例之電路1 圓 〇 先 閱 1 | 讀 1 圖 1 5 爲說明圖1 4 之 光 脈 衝 傳 送 裝 置 之 動 作 用 之 波 背 面 1 I 之 •f 形 圖 〇 注 意 1 1 圖 1 6 顯示此發明 之 第 3 之 實 施 例 之 光 脈 衝 傳 送 裝 置 項 再 1 填 . 之 另 —* 其 它 之具體例之電路圖 〇 寫 本 装 圖 1 7 爲·說明圖1 4 之 光 脈 衝 傳 送 裝 置 之 動 作 用 之 時 頁 1 1 機 圖 0 1 1 圖 1 8 顯示此發明 之 第 4 之 實 施 例 之 光 強 度 調 製 裝 置 1 I 之 一 具 體 例 之電路圖。 訂 I 圖 1 9 顯示使用圖 1 8 之 光 強 度 S田 製 裝 置 之 光 傳 送 系 1 1 1 統 之 —* 例 之 方塊圖〜 1 1 圖 2 0 爲說明圖1 9 之 光 傳 送 系 統 之 動 作 用 之 波 形 圖 1 1 圖 2 1 爲說明圖1 8 之 光 強 度 調 製 裝 置 之 動 作 用 之 時 1 1 I 機 圖 〇 I 1 I 圖 2 2 顯示此發明 之 第 4 之 實 施 例 之 光 強 度 調 製 裝 置 1 1 之 其 它 之. 具 體例之電路圖 0 1 圖 2 3 顯示先前之 光 脈 衝 傳 送 系 統 之 一 例 之 槪 略 構 成 1 1 之 方 塊 圖 〇 1 I 圖 2 4 爲說明圖2 3 所 示 之 發 光 元 件 之 注 入 電 流 對 輸 1 1 I 出光功 率 特性之一例用; 之特性E 由線圖 ) 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -27- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 _·* ——- -.. —— ---------- - - _____ — -- 五、發明説明（25 ) 圖2 5爲說明圖2 3所示之先前之光脈衝傳送系統中 被傳送之脈衝之波形用之波形圖。 圖2 6顯示先前之光傳送系統使用之光強度調製裝置 之一例之電路圖。 圖2 7爲說明以固定識別電平識別2値信號之情形之 資料以及時機之誤差用之時機圖。 . 圖2 8顯示發光元件之發光延遲時間與光強度之關係 特性圖。 圖2 9爲說明由偏位光來之光強度調製用之波形圖。 圖3 0爲說明經由A C結合方式之2値信號之識別動 作用之時機圖。 圖3 1爲以因應2値之電氣信號之上昇以及下降邊緣 之極性反轉脈衝對，說明光傳送此信號之方法用之時機圖 〇 圖3 2顯示在先前之光傳送系統使用之光強度調製裝 置之其它之例之方塊圖。 圖3 3爲說明圖3 2所示之光強度調製裝置之動作用 之時機圖。 主要元件對照表 11a ，21a ，21b，31a 上昇邊緣檢測電路 1 1 b « 3 1 b 下降邊緣檢測電路 12a，12b*22a，22b，32a，32b 傳送用脈衝產生器 ^^1 m f nn ^ii^— I t ·11 m K nn 1J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 〇〇 B7 五、發明説明（26 ) 丄，i3b，33 偏壓固定LD驅動電路 14a，14b，24，34 AC結合接收電路 15a，15b，25a，25b 識別電路 16’36 非同步SR觸發電路 2 3 光強度調製電路 2 6 光纖 15〇a，15〇b，151a，151b，350a， 35〇b，351a，351b 比較器 丄 ^ ^ a ，1 5 2 b， 2 5 3 a ，3 5 2 b 延 々圉 遲 調 整 電 路 1 5 3 a ，1 5 3 b ， 1 5 4 a ，1 5 4 b ，3 5 3 a 3 5 5 a ，3 5 3 b〜 3 5 5 b 延 遲 • 時間 常 數 調 整 電 路 4〇l，402，4〇3 電流開關電路 405 半導體雷射 407a〜4〇7b 延遲電路 經濟部中央標準局員工消費合作社印黎 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施發明用之最好之形態 以下，關於此發明之實施例，參考所附圖面詳細說明 之。 圖1顯示依據此發明之光信號傳送系統之第1之實施 例之構成之槪略方塊圖。此光信號傳送系統係經由發送側 裝置T與接收側裝置R以及連接這些兩裝置丁與尺間之光 纖6而構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ____B7_______五、發明説明（27 ) 發送側裝置T具備上昇邊緣檢測電路1以及傳送用脈 衝產生電路2及光強度調製電路3，接收側裝置R具備 A C結合接收電路4與識別電路5。 此光信號傳送系統中被傳送之信號並非2値之資料， 而是指示2値信號之波形之上昇之邊緣，即，傳送信號之 上昇之振幅値（電平）超過預先決定之振ji畐値（電平）之 時間點之時機信號。又，在圖1所示之實施例中，爲了說 明簡單化之故，雖只顯示上昇邊緣被傳送之構成，但實際 上，如圖中以‘點線所示者，包含傳送2値信號之波形之下 降之邊緣之同樣的電路構成，成爲分別傳送波形之上昇邊 緣以及下降邊緣之2系統之電路構成。 圖2爲說明圖1所示之種種之電路之動作用之時機圖 ，顯示其中一例之檢測、傳送波形之上昇之邊緣（上昇邊 緣之振幅値超過5 0 %之時間點之時機）之情形之波形。 以下，參考圖2具體說明各電路之動作。 上昇邊緣檢測電路1通常經由邏輯電路等而構成，爲 檢測傳送波形（指稱欲傳送之信號之波形）之上昇之邊緣 (時機）產生上昇信號（a )者。 傳送用脈衝產生電路2依據由上昇邊緣檢測電路1輸 出之上昇信號（a )之上昇之時機，連接於對應之正極性 之脈衝信號產生極性之反轉之負極性之脈衝信號，以上昇 之時機爲分界，產生互相極性之反轉之脈衝對，將此作爲 傳送用脈衝信號（b)而輸出。 此傳送用脈衝信號（b )有必要使用其形狀或脈衝寬 --II n^— ^^^1 -1--- —^n I I n m^— 、一.OJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -30- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（28 ) 較原來之傳送信號之波形之最小之脈衝間隔十分短者。換 言之，經由此傳送用脈衝信號（b)之脈衝寬，原來之傳 送信號之波形之最小脈衝間隔被限制。又，此傳送用脈衝 信號（b )接受產生之際之延遲，如圖點線所侍者，即使 成爲延遲知脈衝（e)，此延遲經常一定時且爲既知之値 時，在接收側可以沒有問題地作爲時機信號使用。 光強度調製電路3依據由傳送用脈衝產生電路2所產 生之傳送用脈衝信號（b )而被驅動，由先前即被使用著 ，在偏位光使用進行光強度調製之調製方法，以驅動發光 元件（未圖示出），在傳送用脈衝信號波形之上昇邊緣之 振幅値超過預先決定之値之時機，將互相極性之反轉之光 脈衝對輸出爲光強度信號（c )。此光強度信號（c )通 過光纖6被傳送於接收側裝置R。 A C結合接收電路4爲將接收之光強度信號（c )經 由先前被使用之A C結合之方法而檢測之電路，圖2之最 下段所示之接收信號（d )之類之信號被檢測出。此處， 接收之光強度信號（c )爲以上昇邊緣爲分界，依據極性 互相反轉之傳送用脈衝信號（b)而被調製之光脈衝信號 之故，經常兩極性之脈衝存在，因此，被檢測之接收信號 (d )不會含很多偏於單方之極性之脈衝。 識別電路5爲由在A C結合接收電路4檢測出之接收 信號（d )識別上昇邊緣（超過預先決定之振幅値之時機 )。在此上昇時機之識別中，依據成爲時機識別之基準之 識別電平L1(參考圖2)以及給予被充分設定爲很低之 HI m 1- ti. ί - --·—HI ^^^1 . nn nn l·· 、\$ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 A7 _______^___B7______ 五、發明説明（29 ) 電平，預先可以分離雜訊與信號之程度之識別動作開始之 時機之識別開始電平L2(參考圖2)，進行如下之識別 動作。在接收信號（d )之上昇邊緣穿過識別開始電平 L 2之時間點A，瞬間地使識別電路5動作，識別在一定 之延遲時間內穿過識別電平L 1之時間點B而產生時機脈 衝。即，由上昇邊緣穿過識別開始電平L 2之時間點A起 ’只在相當於脈衝寬程度之時間保持識別電路5之動作狀 態，決定接收信號（d )穿過識別電平L 1之時間點B爲 識別時機，產生時機脈衝。依據此識別動作時，在脈衝不 存在時，識別電路5不動作之故，不會因雜訊誤認爲低電 平之搖動而識別爲脈衝。 又，由接收信號（d,)識別下降邊緣之動作也明白可 以同樣地實行之故，此處省略其之說明。 在如上述之構成之光信號傳送系統中，將由上昇側之 識別電路產生之時機脈衝（上昇時機）例如作爲非同步 R S (設定一重置）觸發電路之設定信號而使用時，上昇 邊緣可以再現，再者，將由下降測之識別電路同樣產生之 時機脈衝（下降時機）作爲重置信號而使用時，可以再現 下降邊緣。因此，經由這些被再現之邊緣可以再現原先之 2値之傳送信號波形。 如以上者，在第1之實施例中，各別分開處理欲傳送 之信號波形之上昇。下降時機，依據各別之時機，以各時 機爲分界轉換爲由極性互相反轉之脈衝對形成之傳送脈衝 信號，依據此傳送脈衝信號，將偏位光強度調製，使極性 ^^1 ^^1 -- ill -m In HI « m HI ϋ^— 5 、-° (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -32- 經濟部中央標隼局員工消費合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（3〇 ) 反轉裝脈衝對作爲光強度信號傳送於接收側裝置，在接收 側裝置中，將被傳送之光強度信號A C結合接收之，只在 脈衝存在之情形使識別電路動作，檢測上昇。下降之識別 時機，由獲得之上昇。下降之時機信號，電氣地再現原先 之傳送信號波形而構成之。 因此，例如如在半導體裝置試驗裝置之試驗裝置本體 與測試頭之間被傳送之信號者，多數之頻率混合存在，被 傳送之2値資料値即使爲顯著偏於一方之値（0或1 )之 信號，信號波形之上昇。下降時機分別傳送下，高速而且 精度高之光傳送爲可能。 接著，關於實現上述之光信號傳送系統之具體電路構 成說明之。但是，以下說明之電路構成爲實現本傳送系統 之電路構成之一例，非限定本發明之構成者。 圖3顯示圖1所示之光信號系統之具體電路構成之一 例之方塊圖。在發送側裝置T設有由上昇邊緣檢測電路 1 1 a、傳送用脈衝產生電路12a、偏壓固定LD驅動 電路1 3 a所形成之第1之發送電路（上昇邊緣發送電路 )，以及由下降邊緣檢測電路1 1 b、傳送用脈衝產生電 路1 2b、偏壓固定LD驅動電路1 3b所形成之第2之 發送電路U下降邊緣發送電路），在接收側裝置R設有接 收由第1之發送電路通過光纖而被送出之光信號之A C結 合接收電路1 4 a、由此AC結合接收電路1 4 a輸出之 接收信號之A C成分以檢測上昇之時機之識別電路1 5 a 形成之第1之接收電路（上昇邊緣接收電路），以及由接 ί ^^^1 in^ n^f nn m · ^^^1 ml ^^^1 HI m \ 一 ^ 、va (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -33- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7___ 五、發明説明（31 ) 收此第2之發送電路通過光纖而被送出之光信號之A C結 合接收電路1 4 b、由此A C結合接收電路1. 4 b輸出之 接收信號之A C成分檢測下降之時機之識別電路1 5 成之第2之接收電路（下降邊緣接收電路）’以及使識別 電路1 5 a之輸出爲設定信號’使識別電路1 5 b之輸出 爲重置信號之非同步尺3觸發電路1 6 ° 上昇以及下降邊緣檢測電路1 1 a以及1 1 b、傳送 用脈衝產生電路1 2 a以及1 2 b、AC結合接收電路 1 4 a以及14 b具有與如上述圖1所示之對應電路相同 之電路構成，而且進行同樣之動作之故’此處省略其之說 明。 接收側之偏壓固定LD驅動電路1 3 a以及1 3 b爲 驅動發光元件之雷射二極體（未圖示出）之電路’以傳送 用脈衝產生電路1 2 a以及1 2 b產生之上昇以及下降之 時機爲分界，將極性互相反轉之脈衝對作爲驅動信號以驅 動雷射二極體，產生光強度調製信號。使用此偏壓固定 L D驅動電路1 3 a以及1 3 b產生光強度調製信號之際 ，預先將偏壓電流施加於雷射二極體，使雷射二極體經常 發光（偏位光），將因應驅動信號之調製施加於雷設二極 體之驅動電流之先前以來之手法被使用著。 識別電路1 5 a由時機識別用之比較器1 5 0 a 、判 別是否使此比較器1 5 0 a動作用之比較器1 5 1 a、延 遲調整電路1 5 2 a、延遲。時間常數調整電路1 5 3 a 以及1 5 4 a所構成。同樣地，識別電路1 5 b由時機識 H· ^^^1 m* nn ml m I n^i n m m» 3. 、-” (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（32 ) 別用之比較器1 5 0 b、判別是否使此比較器1 5 0 b動 作用之比較器151b、延遲調整電路152b、延遲。 時間常數調整電路1 5 3 b以及1 5 4b所構成。這些識 別電路1 5 a以及1 5 b皆具有相同電路構成之故，以下 只關於識別電路1 5 a之構成說明，省略識別電路15 b 之說明。 於識別電路1 5 a中，AC結合接收電路1 4 a之輸 出被分岔，其之一方供給於比較器1 5 1 a之一方之輸入 端子，另一方通過延遲整電路1 5 2 a供給比較器 1 5 0 a之一方之輸入端子》在比較器1 5 l a之另一方 之輸入端子識別開始基準電壓被輸入，經由比較此識別開 始基準電壓與由A C結合接收電路1 4 a來之輸入電壓， 決定是否使比較器1 5 0 a動作。此比較器1 5 1 a之輸 出通過延遲。時間常數調整電路1 5 3 a被輸入比較器 150a之啓動（Enab 1 e)信號輸入端子，成爲可 以控制比較器1 5 0 a之動作。 比較器1 5 0 a之另一方之輸入端子被接地，經由比 較接地電路與由AC結合接收電路1 4 a通過延遲調整電 路1 5 2 a而被供給之輸入電.壓，判別上昇之時機。此比 較器1 5 0 a之輸出通過延遲。時間常數調整電路 1 5 4 a被輸入非同步RS觸發電路1 6之S (設定）端 子。又，此處雖省略說明，但在非同步R S觸發電路1 6 之R (重置）端子，識別電路15b之比較器150b之 輸出通過延遲。時間常數調整電路1 5 4 b而被輸入。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 經濟部中央標準局β：工消費合作社印裂 A7 ____B7____ 五、發明説明（33 ) 接著，關於圖3所示之電路構成之光信號傳送系統之 動作說明之。在上昇以及下降邊緣檢測電路1 1 a以及 1 1 b 2値之數位信號波形（傳送信號波形）被輸入時， 上昇邊緣檢測電路1 1 a檢測被輸入之傳送信號波形之上 昇邊緣，下降邊緣檢測電路11b檢測被輸入之傳送信號 波形之下降邊緣。 ： 在上昇邊緣檢測電路11 a被檢測出之傳送信號波形 之上昇邊緣被供給於傳送用脈衝產生電路1 2 a，此傳送 用脈衝產生電路1 2 a以被輸入之上昇邊緣之時機爲分界 ，產生互相極性之反轉之脈衝對。同樣地，傳送用脈衝產 生電路1 2 b以被輸入之下降邊緣之時機爲分界，產生互 相極性.之反轉之脈衝對。 偏壓固定LD驅動電路1 3 a爲將由傳送用脈衝產生 電路1. 2 a供給之極性反轉脈衝對作爲驅動信號以驅動雷 射二極體。經由如此，因應驅動信號之調製被施加於雷射 二極體之驅動電流，由雷射二極體產生光強度調製信號。 同樣地，偏壓固定L D驅動電路1 3 b將由傳送用脈衝產 生電路1 2 b供給之極性反轉脈衝對作爲驅動信號以驅動 雷射二極體，由雷射二極體產生光強度調製信號。 經由對應偏壓固定LD驅動電路1 3 a以及1 3 b之 雷射二極體之驅動而產生之光強度調製信號，分別通過光 纖被送往發送側裝置，在對應之A C結合接收電路1 4 a 以及1 4 b分別接收之。 接收光強度調製信號時，各A C結合接收電路1 4 a ml mt HI e m t n· i nn (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -36- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（34) 以及1 4 b只將接收之光強度調製信號之交流成份轉換成 電氣信號。經由如此，產生原來之極性反轉脈衝對，此作 爲接收信號被輸出。這些由AC結合接收電路1 4 a以及 1 4 b輸出之接收信號被輸入識別電路1 5 a以及1 5 b 〇 被輸入識別電路1 5 a之接收信號首先被輸入比較器 1 5 1 a。比較器1 5 1 a經由比較被輸入之接收信號之 電壓與識別開始基準電壓，檢測脈衝被輸入，輸出脈衝狀 之信號。此脈衝狀之輸出在延遲。時間常數調整電路 1 5 3 a被加工爲充分之脈衝寬之信號，被輸入比較器 1 5 0 a之啓動信號輸入端子。啓動信號被輸入時，比較 器1 5 0. a開始動作，識別極性反轉脈衝對（接收信號） 之中心部份，即，極性反轉時機，輸出顯示此被識別之時 機之脈衝狀之信號（時機信號）。 又，識別電路1 5 a爲了使極性反轉脈衝對（接收信 號）到達比較器1 5 0 a之一方之輸入端子還快地使比較 器1 5 1 a動作，經由延遲調整電路1 5 2 a與延持。時 間常數調整電路1 5 3 a而調整這些往比較器1 5 0 a以 及1 5 1 a之極性反轉脈衝對（接收信號）之輸入路徑之 延遲時間。 由比較器1 5 0 a輸出之時機信號在延遲。時間.常數 調整電路1 5 4 a被加工爲充分之脈衝寬之信號後，被輸 入非同步RS觸發電路16之S(設定）端子》 與上述相同地，在識別電路1 5 b接收信號被輸入時 m amv ϋ·^— 1^1^1 .1 nn flu^ m· In ftnn (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •37- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印黎 A7 B7 五、發明説明（35 ) ，此接收信號被輸入比較器151b。比較器151b經 由比較被輸入之接收信號之電壓與識別開始基準電壓，檢 測脈衝被輸入，輸出脈衝狀之信號。此脈衝狀之輸出在延 遲。時間常數調整電路1 5 3 b被加工爲充分之脈衝寬之 信號，被輸入比較器1 5 0 b之啓動信號輸入端子。啓動 信號被輸入時，比較器1 5 0 b開始動作，識別極性反轉 脈衝對（接收信號）之中心部份，即，極性反轉時機，輸 出顯示此被識別之時機之脈衝狀之信號（時機信號）。 又，識別_電路1 5 b爲了使極性反轉脈衝對（接收信 號）到達比較器1 5 0 b之一方之輸入端子還快地使比較 器1 5 1 b動作，經由延遲調整電路1 5 2 b與延遲。時 間常數調整電路1 5 3 b而調整這些往比較器1 5 0 b以 及1 5 1 b之極性反轉脈衝對（接收信號）之輸入路徑之 延遲時間。 由比較器1 5 0 b輸出之時機信號在延遲。時間常數 調整電路1 5 4 b被加工爲充分之脈衝寬之信號後，被輸 入非同步RS觸發電路16之R (重置）端子。· 如此，由識別電路1 5 a以及1 5 b設定信號以及重 置信號被輸入非同步R S觸發電路1 6時，此非同步R S 觸發電路16經由設定信號之輸入上昇爲邏輯〔1〕，經 由此，再現原先之傳送信號波形之上昇邊緣，經由重置信 號之輸入下降爲邏輯〔0〕，經由此，再現爲原先之傳送 信號波形之下降邊緣。在此電路中，在上昇時機傳送用與 下降時機傳送用之2個之傳送。處理路徑之間產生之不必 —I ^il^i mu nn nfl^ nn ^^^^1 tnn mV flm· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2〗0X297公釐） -38- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（36 ) 要之時間差，經由延遲。時間常數調整電路1 5 4 a以及 1 54b而補償，經由如此，以非同步RS觸發電路1 6 再現之傳送信號波形與傳送前相同，爲極性以及時機之2 値信號。· ( 以上說明之光信號傳送系統之電路構成也可以適用半 導體裝置試驗裝置。接著，關於適用上述電路構成之光信 號傳送系統之半導體裝置試驗裝置，參考圖4以及圖5具 體說明之。 如圖4所示者，在試驗裝置本體設有由上昇以及下降 邊緣檢測電路1 1 a以及1 1 b (未圖示出）、傳送用脈 衝產生電路1 2 a以及1 2b、偏壓固定LD驅動電路 1 3 a以及1 3 b構成之發送部，在測試頭側設有由AC 結合接收電路1 4 a以及1 4 b、識別電路1 5 a以及 1 5b、非同步RS觸發電路1 6所構成之接收部，使用 光纖連接這些發送部與接收部之間。 依據此構成時，在半導體裝置試驗裝置之試驗裝置本 體與測試頭之間被傳送之，多數之頻率混合存在，而且被 傳送之2値資料顯著偏於一方之値（0或1 )之信號，在 發送部中，被轉換爲：由顯示只有其之信號波形之上昇邊 緣以及下降邊緣穿過預先決定之振幅値（電平）之時機之 極性反轉脈衝對形成之傳送脈衝信號而被傳送，在接收部 由識別之上昇以及下降時機電氣地再現爲原先之傳送信號 波形之故，不會產生極性以及時機之誤差，可以進行信號 再生。 m —HI— HI—— —I- 111 .il m Kn · n nn n ^ 穿 、T (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -39- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _______ B7_ 五、發明説明（37 ) 又，在半導體裝置試驗裝置中，於試驗裝置本體產生 之2値信號被區分爲上昇邊緣以及下降邊緣之故，在圖4 中，如未圖示者，由試驗裝置本體側可以省略上昇以及下 降邊緣檢測電路1 1 a以及1 1 b，可以謀求低成本化。 於以上說明之第.1之實施例之光信號傳送系統中，顯 示傳送信號波形之上昇邊緣以及下降邊緣穿過預先決定之 振幅値（電平）之時機之極性反轉脈衝對並不限定於上述 而且圖示者。例如，可以使用上昇時機用之脈衝對與下降 時機用之脈衝'對其之極性爲如圖5 ( a )〜（d )所示關 係者。又，圖5 ( a )與上述第1之實施例使用之極性反 轉脈衝對爲相同。 於上述之第1之實施例之光信號傳送系統中，設有分 別處理欲傳送之波形之上昇以及下降時機，傳送顯示個別 之時機之極性反轉對之2個之傳送路徑，將個別之顯示上 昇時機以及下降時機之極性反轉脈衝對，做成可以區別爲 如圖5 ( b )以及（c )所示之互相極性有反轉關係之脈 衝對時，可以使發送側與接收側之間之傳送路徑成爲1個 〇 以下，關於使發送側與接收測之間之傳送路徑爲1個 之此發明之第2之實施例之光信號傳送系統，參考圖6至 圖8說明之。 ' 圖6爲顯示此發明之第2之實施例之使傳送路徑爲1 個之光信號傳送系統之槪略構成之方塊圖。本實施例之光 信號傳送系統，在發送側裝置T具備上昇以及下降邊緣檢 n ϋ nn tm ..^ϋ ^^^1 —ft n in HI 受-e (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -40- 經濟、邓中央標準局員工消費合作社印繁 A7 _B7 五、發明説明（38 ) 測電路2 1 a以及2 1 b，以及傳送用脈衝產生電路 22 a以及22b，以及光強度調製電路23，在接收側 裝置R具備A C結合接收電路2 4，以及識別電路2 5 a 以及2 5 b而且，發送側裝置T與接收側裝置R經由1個 之光纖2 6而連接。 上述構成之光信號傳送系統除了傳送用脈衝產生電路 2 2 a以及2 2 b之極性反轉脈衝對之產生動作，以及識 別電路2 5 a以及2 5 b之上昇以及下降時機之檢測動作 不同之外，與上述之第1實施例之系統基本上動作相同。 圖7係爲了說明圖6所示之光信號傳送系統之動作用 之波形圖。接著，參考此圖7具體說明各電路之動作。 傳送用脈衝產生電路2 2 a以及2 2 b以在上昇以及 下降邊緣檢測電路2 1 a以及2 1 b檢測出之上昇信號（ a )以及下降信號（b )之時機爲分界，產生由極性互相 反轉之脈衝對形成之傳送用脈衝信號（c)以及（d)。 在此實施例中，在傳送用脈衝產生電路2 2 a產生之傳送 用脈衝信號（c )與在傳送用脈衝產生電路2 2 b產生之 傳送用脈衝信號（d )成爲極性反轉之關係，成爲可以區 別哪一個顯示上昇時機，哪一個顯示下降時機。 這些傳送用脈衝信號其之形狀或脈衝寬度與原先之傳 送信號波形爲獨立之關係，而且固定，脈衝寬度較原先之 傳送信號波形之最小脈衝間隔短很多，而且對於原先之傳 送信號波形之最小脈衝寬度不互相重疊。換言之，各傳送 用脈衝信號之寬度限制可以傳送之信號波形之最小脈衝間 n - - - . - - 1— ,·ί I - -11- tt I m m n I 11 ^^1 ^、\=口 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -41 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _______B7___ 五、發明説明（39 ) 隔以及最小脈衝寬度。 光強度調製電路2 3以及A C結合接收電路2 4爲與 上述圖1所示者相同之構成，在此實施例中，光強度調製 電路2 3以由傳送用脈衝產生電路2 2 a以及2 2 b來之 各傳送用脈衝信號爲輸入，依據這些輸入而輸出極性反轉 光脈衝對（光強度信號（e))，另一方:面，A C結合接 收電路4接收被傳送而來之光強度信號而輸出接收信號（ f )。 識別電路’ 2 5 a猶在結合接收電路4而被檢測出之接 收信號（f )以識別上昇時機，識別電略2 5 b由接收信 號（f )識別下降時機。在這些識別電路2 5 a以及 2 5 b依據成爲時機識別之基準之識別電平L 1，以及雜 訊與信號可以分離之程度之振幅設定爲十分低之上昇識別 開始電平L 2以及下降識別開始電平L 3，進行如下之識 別動作。 在識別上昇時機之情形，於接收信號（f )之上昇邊 緣穿過識別開始電平L 2之時間點A，使識別電路2 5 a 瞬間地動做，同時，使識別電路2 5 b瞬間地不能動作， 經由識別電路2 5 a識別在一定之延遲時間內接收信號（ f )之波形穿過識別電平L 1之時間點B，在此時間點B 產生時機脈衝。 在識別下降時機之情形，在接收信號（f )之下降邊 緣穿過識別開始電平L 3之時間點C，使識別電路2 5 b 瞬間地動做，同時，使識別電路2 5 a瞬間地不能動作， tm- - i .1^1 ^^^1 mu ^^^1 In ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -42- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4〇 ) 經由識別電路2 5 b識別在一定之延遲時間內接收信號（ f )之波形穿過識別電平L 1之時間點D，在此時間點D 產生時機脈衝。 依據上述識別動作時，·由接收信號（f )之上昇邊緣 穿過識別開始電平L 2之時間點A起一定時間內，識別電 路2 5 b爲不能動作之狀態之故，經由識別電路2 5 a識 別接收信號（f )之波形穿過識別電平L 1之時間點B後 ，不會有識別電路2 5 b再誤識別接收信號（f )之波形 穿過識別電平L 3之時間點C ‘。 同樣地，由接收信號（f )之下降邊緣穿過識別開始 電平L 3之時間點C起一定時間內，識別電路2 5 a爲不 能動作之狀態之故，經由識別電路2 5 b識別接收信號（ f )之波形穿過識別電平L 3之時間點D後，不會有識別 電路2 5 a再誤識別接收信號（f )之波形穿過識別電平 L 1之時間點A ’。 又，接收信號（f )之中之無脈衝（交流成份）之間 ，各識別電路2 5 a以及2 5 b皆非動作狀態之故，不會 因雜訊而誤爲低電平之搖動而識別爲脈衝。 於上述之構成之光信號傳送系統中，將由識別電路 2 5 a產生之時機脈衝（上昇時機）例如作爲非同步r s 觸發電路之設定信號使用時，可以再現上昇邊緣，再者， 同樣地由下降側之識別電路2 5 b獲得之時機脈衝（下降 時機）作爲非同步RS觸發電路之重置信號使用時，可以 再現下降邊緣，經由如此可以再現原先之2値之傳送信號 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -43- -丨装------訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ____B7__ 五、發明説明（41 ) 波形。 接著，關於實現上述第2之實施例之光信號傳送系統 之具體的電路構成說明之。但是，以下說明之電路構成爲 實現本傳送系統之電路構成之一例，並非限定本發明之構 成者。 圖8顯示圖6所示之光信號傳送系統之具體之電路構 成之一例之方塊圖。在此具體例中，再發送側設有檢測傳 送信號波形之上昇邊緣以及下降邊緣之上昇以及下降邊緣 檢測電路3 l a以及3 1 b、這些邊緣檢測電路3 1 a以 及3 1 b之輸出信號被輸入之傳送用脈衝產生電路3 2 a 以及3 2 b、作爲這些傳送用脈衝產生電路3 2 a以及 3 2 b之兩輸出信號之驅動信號之偏壓固定L D驅動電路 3 3。 在接收側設有A C結合接收電路3 4、以識別電路 3 5 a之輸出信號爲設定信號，以識別電路3 5 b之輸出 信號爲重置信號之非同步R S觸發電路3 6，成爲這些發 送側以及接收側間經由光纖而被連接之構成。 上昇以及下降邊緣檢測電路3 1 a以及3 1 b、傳送 用脈衝產生電路3 2 a以及3 2b、AC結合接收電路 3 4具有與上述圖6所示者有相同之電路構成，而且進行 同樣之動作之故，此處省略其之說明。偏壓固定L D驅動 電路3 3爲驅動發光元件之雷射二極體（未圖示出）之電 路，產生傳送用脈衝產生電路3 2 a以及3 2 b ’以上昇 以及下降時機爲分界，以極性互相反轉之脈衝對爲驅動信 I ^^^1 »^K I ... I— i 1^1 - - I ^^^1 n In In (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇><297公釐） -44- 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 A7 ___B7 五、發明説明（42 ) 號以驅'動雷射二極體，產生光強度調製信號。經由此偏壓 .固定LD驅動電路3 3以產生光強度調製信號之際，預先 將偏壓電流施加於雷設二極體，保持雷射二極體爲經常發 光之狀態，將因應驅動信號之調致電流加於雷設二極體之 驅動電流之先前之手法被使用著。 識別電路3 5 a由時機識別用之比較器3 5 0 a、判 別此比較器350a是否動作用之比較器351a、延遲 調整電路35 2 a、延遲。時間常數調整電路353a、 354a、3'55a所構成。同樣地，識別電路35b由 時機識別用之比較器3 5 0 b、判別此比較器3 5 0 b是 否動作用之比較器3 51b、延遲調整電路352b、延 遲。時間常數調整電路353 b、354b、355b所 構成。 在識別電路3 5 a中，AC結合接收電路3 4之輸出 被一分爲2，其之一方被供給於比較器3 5 1 a之一方之 輸入端子，另一方通過延遲調整電路3 5 2 a被供給於比 較器3 5 0 a之一方之輸入端子。在比較器3 5 1 a之另 一方之輸入端子上昇識別開始基準電壓被輸入，經由比較 此識別基準電壓與A C結合接收電路3 4來之輸入電壓， 比較器3 5 1 a判別是否使比較器3 5 0 a 動作。 比較器3 5 1 a之輸出信號通過延遲》時間常數調整 電路3 5 3 a被輸入比較器1 5 0 a之啓動信號輸入端子 ，同時通過延遲。時間常數調整電路3 5 4 a被輸入比較 器3 5 1 b之禁止信號輸入端子’成爲可以控制比較器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~~~_45_ ^^1 ^^1 ^^1 ^^1' In m an —^ϋ 淨 、τ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 ______B7_ 五、發明説明（43 ) 3 5 0 a以及3 5 1 b之動作。 比較器3 5 0 a之另一方之輸入端子被接地，經由比 較接地電位與由A C結合接收電路3 4來之<輸入信號電壓 ，比較器3 5 0 a判別上昇時機。此比較器3 5 0 a之輸 出信號通過延遲。時間常數調整電路3 5 5 a被輸入非同 步RS觸發電路36之S(設定）端子。 在識別電路3 5 b中，相同地AC結合接收電路3 4 之輸出被一分爲2，其之一方被供給於比較器3 5 1 b之 輸入端子，另一方通過延遲調整電路3 5 2 b而被供給於 比較器3.5 Ob之一方之輸入端子。在比較器3 5 1 b之 另一方之輸入端子下降識別開始基準電壓被輸入，經由比 較此識別開始基準電壓與由A C結合接收電路3 4來之輸 入電壓，比較器3 5 1 b判別是否使比較器3 5 0 b動作 〇 比較器3 5 1 b之輸出信號通過延遲。時間常數調整 電路3 5 3 b被輸入比較器1 5 0 b之啓動信號輸入端子 ，同時通過延遲。時間常數調整電路3 5 4 b被輸入比較 器3 5 1 a之禁止信號輸入端子，成爲可以控制比較器 350b以及351a之動作。 比較器3 5 0 b之另一方之輸入端子被接地，經由比 較接地電位與由A C結合接收電路3 4來之輸入信號電壓 ，比較器3 5 0 b判別下降時機。此比較器3 5 0 b之輸 出信號通過延遲。時間常數調整電路3 5 5 b被輸入非同 步RS觸發電路36之R(重置）端子。 —II 1^^— —ΙΛ - - -- - - - .... -I - I n In I n^i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -46 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（44 ) 接著，關於此第2之實施例之光信號傳送系統之動作 說明之。在上生以及下降邊緣檢測電路3 1 a以及3 1 b 輸入2値之數位信號波形（.傳送信號波形）時，上昇邊緣 檢測電路3 1 a檢測出被輸入之傳送信號波形之上生邊緣 ，下降邊緣檢測電路31b檢測出被輸入之傳送信號波形 之下降邊緣。 在上生邊緣檢測電路3 1 a被檢測出之傳送信號波形 之上生邊緣被供給於傳送用脈衝產生電路3 2 a，此傳送 用脈衝產生電路3 2 a以被供給之上昇邊緣之時機爲分界 ，產生極性互相反轉之極性反轉脈衝對。同樣地，在傳送 用脈衝產生電路3 2 b中，以被供給之下降邊緣之時機爲 分界，產生極性互相反轉之極性反轉脈衝對。 偏壓固定L D驅動電路3 3以在傳送用脈衝產生電路 3 2 a以及3 2 b產生之極性反轉脈衝對爲驅動信號，以 驅動雷射二極體，使產生由極性反轉光脈衝對形成之光強 度調製信號。此光強度調製信號經由光纖被傳送於接收側 ’在A C結合接收電路3 4被接收。 接收光強度調製信號後，A C結合接收電路3 4將接 收之光強度調製信號之只有交流成份部份轉換成電氣信號 。經由這樣，原先之極性反轉脈衝對被產生，此被作爲接 收信號而輸出。由此A C結合接收電路3 4而被輸出之接 收信號被一分爲二，其中之一被輸入識別電路3 5 a，另 —方被輸入識別電路3 5 b。 被輸入識別電路3 5 a之接收信號，首先被輸入比較 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 -47- 經濟部中央標準局負工消費合作社印黎 A7 £7____ 五、發明説明（45 ) 器3 5 1 a。比較器3 5 1 a經由比較被輸入之接收信號 之電壓與上昇識別開始基準電壓，檢測出脈衝被輸入，以 輸出脈衝狀之信號。此脈衝狀之輸出信號被一分爲二，其 中之一在延遲。時間常數調整電路3 5 3 a ，另一方在延 遲。時間常數調整電路3 5 4 a分別被加工成充分脈衝寬 之信號，分別被輸入比較器3 5 0 a之啓:動信號輸入端子 以及比較器3 5 1 b之禁止信號輸入端子。 啓動信號被輸入後，比較器3 5 0 a開始動作，識別 極性反轉脈衝'對（接收信號）之中心部分，即，極性反轉 之時機，輸出顯示此被識別之時機之脈衝狀之信號（時機 信號）。另一方面，比較器3 5 lb在禁止信號被輸入後 ，於一定時間內成爲無法動作，此無法動作之間，用以防 止比較器3 5 Ob之誤動作。 又，識別電路3 5 a在極性反轉脈衝對（接收信號） 到達比較器3 5 0 a之其中之一之輸入端子之前，使比較 器3 5 1 a動作地’經由延遲調整電路3 5 2 a與延持。 時間常數調整電路3 5 3 a以調整對這些比較器3 5 0 a 以及3 5 1 a之極性反轉脈衝對（接收信號）之輸入路徑 之延遲時間，另外，在上述極性反轉脈衝對以後之信號到 達之前，使比較器3 5 1 b無法動作地，經由延遲。時間 常數調整電路3 5 4 a以調整路徑之延遲時間。 由比較器3 5 0 a被輸出之時機信號在延遲。時間常 數調整電路3 5 5 a被加工成充分脈衝寬之信號後，被輸 入非同步RS觸發電路36之S(設定）端子。 本紙張尺度適用中國國家標準（.CNS) A4^ ( 2丨0X297公瘦)~ ---m nn i n^i i— n ml _ In In m i— 、v>* (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7________ 五、發明説明（46 ) 與上述相同地，在識別電路3 5 b被輸入接收信號後 ，此接收信號被輸入比較器3 5 1 b。比較器3 5 1 b經 由比較被輸入之接收信號之電壓與上昇識別開始基準電壓 ，檢測出脈衝被輸入，以輸出脈衝狀之信號。此脈衝狀之 輸出信號被一分爲二，其中之一在延遲。時間常數調整電 路353b，另一方在延遲。時間常數調整電路354b 分別被加工成充分脈衝寬之信號，分別被輸入比較器 3 5 0 b之啓動信號輸入端子以及比較器3 5 1 a之禁止 信號輸入端子'。 啓動信號被輸入後，比較器3 5 0 b開始動作，識別 極性反轉脈衝對（接收信號）之中心部分，即，極性反轉 之時機，輸出顯示此被識別之時機之脈衝狀之信號（時機 信號）。另一方面，比較器3 5 la在禁止信號被輸入後 ，於一定時間內成爲無法動作，此無法動作之間，用以防 止比較器3 5 0 a之誤動作。 又，識別電路3 5 b在極性反轉脈衝對（接收信號） 到達比較器3 5 0 b之其中之一之輸入端子之前，使比較 器3 5 1 b動作地，經由延遲調整電路3 5 2 b與延持。 時間常數調整電路3 5 3 b以調整對這些比較器3 5 0 b 以及3 5 1 b之極性反轉脈衝對（接收信號）之輸入路徑 之延遲時間，另外，在上述極性反轉脈衝對以後之信號到 達之前，使比較器3 5 1 a無法動作地，經由延遲。時間 常數調整電路3 5 4 b以調整路徑之延遲時間❻ 由比較器3 5 0 b被輸出之時機信號在延遲。時間常 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -49- i^i m. ·'·1 ? »1-- · m m n n n nn ^ r. 淨 、ve (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（47 ) 數調整電路3 5 5 b被加工成充分脈衝寬之信號後，被輸 入非同步R S觸發電路3 6之R (重置）端子。 如上述地由識別電路3 5 a以及3 5 b，設定信號以 -及重置信號被輸入非同步R S觸發電路3 6後，此非同步 RS觸發電路3 6經由設定信號之輸入，上昇爲邏輯〔1 〕，經由如此，再現原來之傳送信號波形之上昇邊緣，經 由重置信號之輸入下降爲邏輯〔0〕，經由如此，再現原 來之傳送信號波形之下降邊緣。在此電路中，經由延遲。 時間常數調整電路3 5 5 a以及3 5 5 b補償在上昇時機 傳送用與下降時機傳送用之2個之傳送。處理路徑之間產 生之不要之時間差，經由這樣，在非同步R S觸發電路 3 6被再現之傳送信號波形成爲與傳送前相同之極性以及 時機之2値信號。 又，在上述第2實施例之系統適用於高速之2値信號 之傳送之情形，對於各比較器以及其它之電路元件，較電 氣傳送方式之情形使用之比較器以及其它之電路元件，或 被使用在上倏地1實施例之比較器以及其它之電路元件， 被要求更高速之動作性能。 上述說明之第2實施例之光信號傳送系統之電路構成 也可以適用於半導體裝置試驗裝置。接著，佐以圖9具體 說明適用上述電路構成之光信號傳送系統之半導體裝置試 驗裝置。. 如圖9所示般地，在試驗裝置本體側設有由上昇以及 下降邊緣檢測電路3 la以及3 lb (未圖示出）、傳送 mf -- - m nn > m n 1^1 ^nm m (锖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -50- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（48 ) 用脈衝產生電路32a以及32b、偏壓固定LD驅動電 路3 3所構成之發送部，在測試頭側設有由A C結合接收 電路34、識別電路35a以及35b、非同歩RS觸發 電路3 6所構成之接收部，使用光纖連接這些發送部與接 收部之間。 依據此構成，在半導體裝置試驗裝置之試驗裝置本體 與測試頭之間被傳送之多數之頻率混合存在，而且被傳送 之2値資料明顯偏於其中之一方之値之信號，於發送部， 被轉換成：由顯示其之信號波形之只有上昇邊緣以及下降 邊緣穿過預先決定之振幅値（電平）之時機之極性反轉脈 衝對所形成之傳送脈衝信號，而被輸出，在接收部由被識 別之上昇以及下降時機將原來之傳送信號波形電氣地再現 之故，不會產生極性以及時機之誤，可以進行信號再生。 又，在半導體裝置試驗裝置中，於試驗裝置本體產生 之2値信號被分成上昇邊緣以及下降邊緣之故，如在圖9 未圖示出般地，由試驗裝置本體側可以省掉上昇以及下降 邊緣檢測電路3 1 a以及3 1 b，可以謀求低成本化。 接著，佐以圖面說明本發明之第3實施例》 圖1 0顯示實施依據本發明之光信號傳送方法之光脈 衝發送裝置1 0 1之一具體例。在此例中，也使用雷射二 極體之類的發光元件LD，定電流電路110A、 1 1 0B、11 0C被連接於此發光元件LD。定電流電 路1 1 0A與1 10B分別經由電流開關1 1 1A與 1 1 1 B而連接於發光元件LD，定電流電路1 1 〇 C直 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X2S»7公釐） -51 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 - A 7 _____B7_ 五、發明説明（49 ) 接連接於發光元件L D。因此，在發光元件L D經常被注 入流經定電路電路1 1 0 C之電流I c。 電流開關1 1 1 A與1 1 1 B作爲控制電壓地Η邏輯 (邏輯高電平）被給予時，被控制爲開（ON) ，：L邏輯 (邏輯低電平）被給予時，被控制爲關（Ο F F )。電流 開關1 1 1 A之控制端子被直接連接於輸入端子IN。電 流開關111B之控制端子經由由反相器112與延遲元 件11 3所構成之串聯電路而被連接於輸入端子。 於上述構’成中，在輸入端子I N被給予圖1 1A所示 之正極性之脈衝P。延遲元件1 1 3之延遲時間T d與脈 衝P之脈衝寬Pw，在此處由於說明方便，設Pw=Td 以說明之。 . 脈衝P被輸入於輸入端子，電流開關11 1A如圖 1 1 B所示般地，立即被控制爲◦ N狀態。脈衝P經由反 相器1 1 2，極性被反轉，再者於延遲元件1 1 3被延遲 而供給於電流開關1 1 1 B之故，電流開關1 1 1 B被控 制成經常ON之狀態，只在被輸入之脈衝P之上生之時機 脈衝寬T d之時間，被控制成◦ F F之狀態。 因此，被注入發光元件LD之電流，如圖11D所示 般地，無信號時，流經定電流電路1 10B與1 10C之 電流lb與Ic之和Ib+Ic被當成偏壓電流注入，脈 衝P被輸入輸入端子I N之期間，流經全部之定電流電路 110A 〜110C 之電流 la、lb、Ic 之和 Ia + I b + I c被注入，在脈衝P下降後之時機，電流開關 I n I I I I I _ . ^ I I I I n n. 丁 、vse {讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -52- 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 A7 __^__B7__ 五、發明説明（50 ) 1 1 1A與1 1 1 B皆被控制爲OFF之狀態之故，在此 時機，只有流經定電流電路1 1 0 C之電流I c被注入。 被輸入電流開關1 1 1 B之脈^衝經過脈衝寬T d時， 電流開關1 1 1 B回復成Ο N狀態。因此，被注入發光元 件LD之電流再回復成Ib+Ic之狀態。 因此，在圖1 0所示之具體例中，被注入發光元件 LD之偏壓電流成爲I b+ I c，以此偏壓電流I b + I c爲中心正負擺動之電流Ia + Ib+I c以及I c被 注入發光元件L D。發光元件L D之發光強度成爲與圖 1 1 D所示電流波形爲相同之波形。電流I c設爲較如圖 1 1 D所示地，發光元件L D開始發光之臨界値電流 I ο η還大。 圖1 2顯示在接收裝置1 0 2設有檢測電路1 0 7之 一具體例。在此例中，顯示以：將由受光元件P D被輸出 之受光電流信號轉換成電壓信號之電流-電壓轉換電路 1 0 7 Α，以及平滑化電路1 〇 7 Β，以及具有磁滯之電 壓比較器1 0 7 C以構成檢測電路1 0 7之情形。 電流-電壓轉換電路1 0 7 Α可以經由運算放大器A 與反饋電阻器R以構成。平滑化電路1 0 7 B可以經由具 有較被傳笼之脈衝P之脈衝寬Pw充分大之時間常數之時 間常數電路以構成。對應由發送側被送至之偏壓値之基準 電壓經由此平滑化電路1 0 7 B而施加於電壓比較器 1 0 7 C之非反轉輸入端子。又，電流一電壓轉換電路 1 0 7 A之輸出信號原原本本地輸入電壓比較器1 0 7 c (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、!! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -53- A7 _____B7 _____ 五、發明説明（51 ) 之反轉輸入端子》 經由如此之構成，在平滑化電路1 0 7 B經常被施加 對應由發送側被傳送來之偏壓電流Ib+Ic之基準電壓 。因此，電壓比較器1 0 7 C以被施加在非反轉輸入端子 2¾準電壓爲基準，依據被施加在反轉輸入端子之電壓較 基準電壓高或低，在輸出端子1 0 7 D輸出Η邏輯或L邏 輯之其中一方。又，電壓比較器107C在2個之輸入端 子之間，具有磁滞特性之故，兩方之輸入端子之電壓即使 皆爲基準電壓，過去非反轉輸入端子經由反轉輸入端子由 偏於負側狀態返回同一之基準電壓之情形，輸出端子 1 〇 7 D被保持於L邏輯，在由偏於正側狀態返回同一之 基準電壓之情形，被保持於Η邏輯。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ---：--.----參 II (#先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此處，將圖1 2所示之接收裝置設爲圖1 3 Α所示之 受光電流I p被接收者，電流一電壓轉換電流1 〇 7A輸 出圖1 3 B所示之偏壓電壓Vb與脈衝波形VP。平滑化電 路1 0 7 B於脈衝波形V p即使被輸入，也使此脈衝波形 Vp平滑，繼續將與偏壓電壓VB —致之基準電壓供應電壓 比較器1 0 7 C之非反轉輸入端子。因此，脈衝波形Vp被 輸入電壓比較器1 0 7 C之反轉輸入端子，其電壓超過正 側之磁滯寬度時，電壓比較器1 0 7 C之輸出端子 1 0 7D如圖1 3 C所示般地，輸出Η邏輯。 反轉輸入端子之脈衝波形Vp穿過偏壓電壓Vb，較負 側之磁滯寬度還偏於負側時，電壓比較器1 0 7 C之輸出 端子1 0 7 D成爲L邏輯。因此，電壓比較器1 〇 7 C之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -54- 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 A7 ____B7 _____ 五、發明説明（52 ) 輸出端子107D輸出如圖13所示之脈衝Ρν»此脈衝 Ρν於受光電流信號I ρ之偏壓電流I b+ I c即使變動， 其之上昇之時機經由電壓比較器1 0 7 C之反轉輸入端子 之脈衝波形VP是否超過正側之磁滯寬度而被決定之故，偏 壓電流I b+ I c之値（與偏壓電壓VB相同）即使變動， 脈衝波形VP之上昇之時機維持不動。此結果，於發送側因 溫度變化發光元件L D之注入電流對於輸出光功率特性即 使變動，被傳送之脈衝信號之檢測時機不會變化。因此， 可以發送接收'沒有不穩定性之信號。又，於由電流一電壓 轉換電路1 Ο 7A輸出之脈衝波形Vp之波形中.，由正偏向 負（或由負向正）之零交點成爲最高速穿過偏壓電壓VB之 部份。因此，作爲時機之檢測點，可以考慮爲對於時間軸 方向成爲變動最少之位置者。此結果，現實上對應於此零 交點，即，電壓比較器1 〇 7 C將輸出脈衝波形VP之後 緣位置T ◦以信號之檢測點而利用。 圖1 4顯示傳送光脈衝裝置之其它之具體例。在此例 中顯示：除了與圖1 0之例相同地，以偏壓値爲中心使偏 於正與負之光脈衝發光之機能外，使具有將被輸入之脈衝 之脈衝寬與一定之脈衝寬之光脈衝一致之機能（一般稱爲 脈衝發生器）之電路構成之情形。 被輸入輸入端子I N之電氣脈衝P被直接供給於“非 或” （NOR)門114之其中一方之輸入端子，同時， 經由由反相器1 1 2以及延遲元件1 1 3形成之串聯電路 被供給於另一方之輸入端子。再者，經由由反相器1 1 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^ 1»— ί n In >i^i t ^^1 ^^1 a^n 1^1 mi 1^1 "、言 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 A7 _____ B7____ 五、發明説明（53 ) 與延持元件1 1 3形成之串聯電路，將電氣脈衝P供給於 “與非”門1 1 5之其中一方之輸入端子，將在反相器 1 1 6與延遲元件1 1 7被延遲之信號供給於"與非”門 1 1 5之另一方之輸入端子。將“非或”門1 1 4之輸出 信號當成控制信號施加於電流開關1 1 1 A，將“與非” 門1 1 5之輸出信號作爲電流開關1 1 1: B之控制信號而 供給。 此處，設被輸入輸入端子I N之脈衝P之脈衝寬Pw 較延遲元件Γ13與117之延遲時間Td還長，即Pw >Td，在以下佐以圖1 5說明其之動作。 圖15A顯示被輸入輸入端子IN之脈衝P。圖 1 5 B顯示經由反相器1 1 2與延遲元件1 1 3被供給於 “非或”卩3 1 1 4與“與非”門1 1 5之各其中之一方之 輸入端子之脈衝PB之波形。圖15D所示之脈衝PD被輸 入“非或”門11 4之輸出，此脈衝PD在上昇爲Η邏輯 之期間，電流開關1 1 1 Α被控制成Ο Ν狀態。電流開關 1 1 1 A被控制爲Ο N狀態之時間，被規定爲相等於延遲 元件1 1 3之延遲時間Td。 圖1 5 C顯示經由反相器1 1 6與延遲元件1 1 7被 供給於“與非”門115之另一方之輸入端子之脈衝Pc之 波形。圖1 5 B所示之脈衝pB與圖1 5 C所示之脈衝Pc 被供給於此“與非”門1 1 5之故，在其輸出圖1 5 E所 示之脈衝P e被輸出。即，“與非”門1 1 5經常輸出Η邏 輯’電流開關1 1 1 Β被經常控制爲Ο Ν狀態。脈衝Ρ Ε以 ---.--,----)k.---：---IT (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -56- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___B7_____ 五、發明説明（54 ) 下降爲L邏輯之極性之脈衝信號被輸出之故，電流開關 111B只在脈衝Pe下降爲L邏輯其間被控制爲OFF之 狀態。 此結果，流經發光元仵LD之電流I如圖1 5 F所示
般地，以I b+I c爲中心，電流開關1 1 1A在OFF 之狀態，I a + I b+I c流過，電流開關1 1 1A與 111B皆爲OFF狀態下，Ic流過。 因此，與圖1 0所示具體例相同地，每於脈衝P被輸 入時，發光元件LD以平均電流I b+ I c爲中心正方向 與負方向對稱擺動之波形流過，不使平均電流値變動地驅 動發光元件之故，在此圖1 4所示之具體例中，可以容易 理解也可以獲得以圖1 0至圖1 3說明者相同之作用效果 〇 又，在此具體例中，即使輸入之脈衝P之脈衝寬PW 爲較延遲元件113以及117之延遲時間Td還長之脈 衝寬，發光元件L D發光之光脈衝之脈衝波形經由延遲元 件之延遲時間T d決定，被限制爲一定之脈衝寬。因此， 即使被輸入之脈衝P之脈衝長，限制輸出光脈衝爲一定ί直 之故，可以獲得於接收側，得以避免因脈衝寬很長之脈衝 被傳送到，平滑化電路1 0 7Β (參考圖1 2 )輸出之基 準電壓變動之類的不良之優點。 再者，在圖1 4所示之具體例中，設成檢測應傳送之 脈衝Ρ之後緣側，使產生光脈衝之構成之故，與利用信號 之上昇之初期波形部份之情形比較，在安定狀態使發光元 n^—. H^J .- - 11 i ^1^1- 'ml >^—^1 nn 1^1、一s心 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -57- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 __^___B7 五、發明説明（55 ) 件L D發光之故’也可以獲得可以正確規定使發光元件 LD發光之時機（圖15F之波形）之優點。 圖1 6顯示光脈衝發送裝置1 〇 1之另外其它之具體 例。在此例中，顯示欲將脈衝之脈衝寘傳送於接收側之情 形。即顯示：於欲傳送之脈衝P之上昇時機與下降時機之 雙方，使產生擺動於正側與負側之正負對稱信號，控制發 光元件發光之構成之情形。 爲了這樣，電流開關1 1 1 A之控制電路在此例中， 經由2個之“與”門1 1 8、1 1 9與“非或”門1 2 0 以構成，在“與”門118輸入被輸入之脈衝P(圖 1 7A)以及通過反相器1 12與延遲元件1 1 3之脈衝 P (圖1 7 B )，在另一方之“與”門1 1 9供給通過反 相器1 1 2與延持元件1 1 3之脈衝Pb (圖1 7B )以及 通過反相器1 1 6與延遲元件1 1 7之脈衝Pc (圖1 7C )，使各“與”門1 1 8與1 1 9之輸出經由“非或”門 120輸出。此結果，在非或”門120之輸出獲得圖 17D所示之負極性之脈衝PD。 此負極性之脈衝PD發生於輸入脈衝P之上昇之時機與 下降之時機之雙方，被輸入電流開關1 1 1 A。此結果， 電流開關11 1 A於輸入脈衝P之上昇與下降之雙方之時 機中，相等於延遲時間T d之期間之間，被控制成0 F F 狀態。 在此例中，以2個之“非或”門1 2 1、1 2 2以及 1個之“或”門1 2 3 構成電流開關1 1 1 B之控制電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-58- 經濟、邓中央標準局員工消費合作社印黎 A7 _____B7_ 五、發明説明（56 ) 路，在其中一方之“非或”門121輸入輸入脈衝P(圖 1 7A)與通過反相器1 1 2以及延遲元件1 1 3之脈衝 PB (圖17B) ’在另一方之“非或”門12?供給通過 反相器112與延持元件113之脈衝PB(圖17B)， 以及經由反相器116與延遲元件117而取得之脈衝Pc (圖17C)，將各“非或”門121與122之輸出經 由“或”門1 2 3始之輸出，在“或”門1 2 J之輸出可 以獲得圖1 7 E所示之正極性之脈衝PE。 電流開關111A與111B經由脈衝PD與PE被 控制成ON、OFF，在發光元件LD被注入圖1 7E所 示之電流I，射出對應此電流I之値之光脈衝。 圖1 7 G顯示接收經由圖1 2所示之接收裝置、經由 圖1 7 F所示之電流I而被驅動之光脈衝之情形之電流-電壓轉換電路1 0 7 A之電壓輸出信號。此被接收之電壓 輸出信號之各零交點間之時間與發送側之輸入脈衝P之脈 衝寬Pw—致，在電壓比較器1 〇 7 C之輸出端子 1 07D，於此例中，圖1 7H所示之負極性之脈衝pH被 輸出，可以接收具有與發送側之輸入脈衝P之脈衝寬Pw 相同脈衝寬P w之脈衝Ρ η。
此接收脈衝ΡΗ之脈衝寬Pw也與參考圖1〇至圖 1 3說明過之情形相同，以平均電流I b + I c爲中心之 正負對稱波形（圖1 7 F )被傳送之故，光傳送路徑上之 光之平均値，不會對應信號之有無而變動。因此，與圖 1 0至圖1 3說明過者相同地，設於電壓比較器1 0 7 C 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I ^1 I I I— In· t^n I —^ϋ I \^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -59 - 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 A7 __B7_______ 五、發明説明（57 ) 之前段之平滑化電路1 0 7 B之平滑輸出電壓不會因應信 號之發送接收而變動，被維持爲一定値。又，因溫度變動 等發光元件L D之注入電流對輸出光功率特性（參考圖 2 4 )即使變動，以此平滑輸出電壓爲中心，電壓比較器 1 0 7 C之磁滯寬追從之故，接收信號PH之脈衝寬與發 光元件L D之特性變動無關地，與發送側之輸入脈衝P之 脈衝寬Pw正確一致。 接著，參考圖面說明本發明之第4實施例。 首先，參考圖1 9說明使用本發明之第4實施例之光 強度調製裝置之光傳送系統之槪略構成。此光傳送系統具 有：在發送側裝置T具備光強度調製裝置4 6 0，在接收 側裝置R具備AC結合接收裝置4 6 1、識別電路4 6 2 ，發送側裝置T與接收側裝置R經由光纖4 6 3而被連接 之構成。在此光傳送系統中，被傳送者非2値信號之資料 ，而是2値信號之波形之上昇或下降之邊緣，即指示傳送 信號之上昇或下降之振幅値（電平）超越預先決定之振幅 値（電平）之時間點之時機信號。 圖2 0爲說明圖1 9之光傳送系統之動作用之時機圖 ，顯示其中之一例之信號波形之上昇邊緣（上昇邊緣之振 幅値超過50%之時間點之時機）。以下參考圖20具體 說明各電路之動作。 光強度調製裝置4 6 0以2値之數位輸入信號（a ) 之上昇時譏爲分界，產生極性互相反轉之極性反轉脈衝對 (b )。此極性反轉脈衝對（b )使用脈衝之形狀或脈衝 ^^^1 nn ΐϋ— I mV flm ϋ HHBP (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60- A7 B7 五、發明説明（58 ) 寬較原來之傳送信號波形之最小脈衝間隔十分短者即可。 換言之，經由此極性反轉脈衝對（b )之脈衝寬，原來之 傳送信號波形之最小脈衝間隔被限制著。 又，此極性反轉脈衝對（b )接受產生之際所生之延 遲，即使成爲如圖2 0之點線所示之延遲脈衝（e )時， 此延遲只要是經常一定爲既知之値時，在接收側可以做爲 時機信號沒有問題的使用。 極性反轉脈衝對（b )被產生時，光強度調製電路 4 6 0依據此'極性反轉脈衝對（b)，使用以往被使用之 在偏位光進行光強度調製之調製方法以驅動發光元件（未 圖示出），在傳送用脈衝信號波形之上昇邊緣之振幅値超 過預先決定之値之時機，將互相極性反轉之光脈衝對輸出 爲光強度信號（c)。此光強度信號（c)經由光纖 4 6 3被傳送於接收側裝置R。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印聚 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) AC結合接收電路461爲經由以往被使用之AC結 合之方法以檢測接收之光強度信號（c )之電路，如圖 2 0之最下段所示之接收信號（d )之類的信號被檢測出 。在此處，被接收之光強度信號（c )爲依據以上昇邊緣 爲分界，極性互相反轉之極性反轉脈衝對（b )而被調製 之光脈衝信號之故，經常存在兩極性之脈衝，因此，被檢 測出之接收信號（d )不會有含很多偏於單方之極性之脈 衝。 構成信號再生處理裝置之識別電路4 6 2由在A C結 合接收電路4 6 1被檢測出之接收信號（d )，識別上昇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -61 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 A7 _____B7 五、發明説明（59 ) 邊緣（超過預先被決定之振幅値之時機）。在此上昇時機 之識別中，依據成爲時機識別基準之識別電平L 1，以及 被預先設定成十分低之電平，可以將雜訊與信號分離程度 之給予識別動作開始之時機之識別開始電平L 2 (參考圖 2 0 )，進行如下之識別動作。 在接收信號（d )之上昇邊緣穿過識:別開始電平L 2 之時間點，瞬間地使識別電路4 6 2動作，在一定之延遲 時間內，識別出穿過識別電平L 1之時間點以產生時機脈 衝。即，由上'昇邊緣穿過識別開始電平L 2之時間點起， 只在相當於脈衝寬程度之時間保持識別電路4 6 2之動作 狀態，將接收信號（d )穿過識別電平L 1之時間點決定 爲識別時機，產生時機脈衝。依據各各之時機脈衝進行信 號再生處理。依據此識別動作，在脈衝不存在時，識別電 路4 6 2不動作之故，不會誤將因雜訊所致之低電平之擺 動識別成脈衝。 於信號再生處理中，將由識別電路4 6 2產生之時機 脈衝（例如，上昇時機）例如作爲非同步R S (設定一重 置）觸發電路之設定信號使用時，可以再現上昇邊緣。 又，在圖1 9所示之構成中，光強度調製裝置4 6 0 依據傳送信號之上昇以及下降之雙方之時機，雖然分別形 成極性反轉脈衝對（這些極性反轉脈衝對，其極性成爲互 相反轉），但在高速進行光傳送之情形，如以下所記載般 地，希望設成將傳送信號之上昇邊緣以及下降邊緣分別傳 送之2系統之傳送系統。 ---I - f - n SI In In n^i n n^i 一OJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） -62- A7 ___ B7_ _ 五、.發明説明（6〇 ) 即，各別設有將傳送信號之上昇邊緣以及下降邊緣分 別檢測出之檢測電路（以識別電路等構成），於每個這些 檢測電路設有光強度調製裝置，各別傳送上昇時機以及下 降時機。此種情形，接收側也成爲上昇時間接收系統以及 下降時機接收系統之2系統之電路構成，在各各之傳送系 統產生關於上昇以及下降邊緣之時機脈衝，進行信號再生 處理。 於信號再生處理中，將在各識別電路產生之時機脈衝 分別當成非同'步R S觸發電路之設定以及重置信號使用時 ，可以再現上昇邊緣以及下降邊緣。經由這樣，可以再現 原來之2値之傳送信號波形。 接著，詳細說明光強度調製裝置4 6 0之具體的電路 構成以及動作。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 ---.--'----^—I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1 8顯示本發明之第3實施例之光強度調製裝置之 第1之具體例之電路圖，圖2 1顯示說明其之動作用之時 機圖。此光強度調製裝置由：具備電流開關電路4 0 1〜 4 0 3之驅動電路，以及連接於此驅動電路之輸出端子 404a、404b之半導體雷射405所構成。 電流開關電路40 1由電晶體41 1 a〜41 1 c與 電流調整用之電阻412所構成。電晶體41 la其之集 極被連接於輸出端子4 0 4 a之線（此處將被連接於此輸 出端子404a之線，稱爲Vcc線），其之基極被連接 於數位信號輸入端子4 0 6 a，其之射極被共通連接於電 晶體4 1 1 b之射極以及電晶體4 1 1 c之集極》電晶體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 63 _ 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（61 ) 41 lb其之集極被連接於輸出端子404b，其之基極 被連接於數位信號輸入端子406b。電晶體41 1 c其 之射極經由電阻4 1 2被連接於接地線，經由如此，構成 定電流源。 電流開關電路402由電晶體42 1 a〜42 1 c以 及電流調整用之電阻4 2 2所構成。電晶體4 2 1 a其之 基極經由延遲電路4 0 7 a被連接於數位信號輸入端子 406a ，其之集極被連接於輸出端子404b，其之射 極被共通地連接於電晶體4 2 1 b之射極以及電晶體 4 2 1 c之集極。電晶體4 2 1 b其之集極被連接於輸出 端子404a之線（Vcc線），其之基極經由延遲電路 4 0 7 b被連接於數位信號輸入端子4 0 6 b，電晶體 4 2 1 c其之射極經由電阻4 2 2被連接於接地線，經由 如此構成定電流源。電阻4 2 2之電阻値成爲電流開關電 路40 1之電阻4 1 2之電阻値之1/2。 電流開關電路40 3由電晶體43 1 a〜43 1 c與 電流調整用電阻4 3 2所構成。電晶體4 3 1 a其之集極 被連接於輸出端子404a之線（Vcc線），其之基極 經由延遲電路4 0 7 a以及4 0 7 c被連接於數爲信號輸 入端子4 0 6 a，其之射極被共通連接於電晶體4 3 1 b 之射極以及電晶體4 3 1 c之集極。電晶體4 3 1 b其之 集極被連接於輸出端子4 0 4 b，其之基極經由延遲電路 4 0 7 b以及4 0 7 d而被連接於數位信號輸入端子 4 0 6 b，電晶體4 3 1 c其之射極經由電阻4 3 2被連 m tm ί ^^1^1 nmmw nn i · m nn ^^^1 ^^^1 受 、νβ (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 64 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _____B7_____五、發明説明（62) 接於接地線，經由如此構成定電流源。電阻4 3 2之電阻 値被設定爲與電流開關電路4 0 1之電阻4 1 2之電阻値 相同。 各電流開關電路40 1〜40 3之電晶體4 1 1 c、 42 1 c、43 1 c之基極被共通地連接於電晶體408 之基極，同時，被連接於端子410a。電晶體408其 之集極與基極被共通地連接著，其之射極經由電阻4 4 0 被連接於接地線。經由如此，因應被供給於端子4 1 0 a 之電流，可以對半導體雷射4 0 5供給電流用之輸出端子 4 0 4 b供給規定之電流。 又具備：射極經由電阻4 4 1被連接於接地線，積極 被連接於端子4 1 0 b，集極被連接於輸出端子4 0 4 b 之電晶體4 1 0。經由如此，因應被供給於端子4 1 0 b 之電流，可以對半導體雷射4 0 5供給規定之偏壓電流。 在如上述構成之光強度調製裝置中，於數位信號輸入端子 4 0 6 a、4 0 6 b被輸入有互相邏輯相反關係之差動數 位信號。此處，在被輸入之差動數位信號產生如圖2 1 ( a )所示之信號之變化時機時，因應此，第1段之電流開 關電路401切換，如圖21(b)所示之電流變化產生 於半導體雷射4 0 5。 電流開關電路4 0 1 —經切換，接著，經由延遲電路 407a以及407b (或電流開關電路40 1以及電流 開關電路402本身之響應速度之差），由電流開關電路 4 0 1之動作只延遲一定時間，第2段之電流開關電路 --I ·ί^^— *vn I I m^i —^n i 1 I 11 、^t (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -65- 經濟部中央椁準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（63 ) 4 0 2 —經切換，如圖4 2 1 ( c )所示之電流變化被加 於半導體雷射4 0 5。此處，電流開關電路4 0 1以及 4 0 2成爲邏輯反轉之構成，這些之電流調整用之電阻 4 1 2以及4 2 2，其中電阻4 2 2之電阻値成爲電阻 4 1 2之電阻値之1/2之値之故，經由電流開關電路 4 0 2之電流變化成爲經由電流開關電路4 0 1之電流變 化之2倍。 電流開關電路4 0 2 —經切換時，接著，經由延遲電 路4 0 7 c以及4 0 7 d (或電流開關電路4〇 2以及電 流開關電路403本身之響應速度之差），由電流開關電 路4 0 2之動作只延遲一定時間，第3段之電流開關電路 4 0 3 —經切換，如圖2 1 ( d )所示之電流變化被更加 於半導體雷射4 0 5。此處，電流開關電路4 0 1以及 4 0 3邏輯相等，這些之電流調整用之電阻4 1 2以及 4 3 2之電阻値成爲相等之故，經由電流開關電路4 0 3 之電流變化與經由電流開關電路4 0 1之電流變化相等。 經由上述之電流開關電路4 0 1〜4 0 3之切換，在 半導體雷射405產生如圖21(e)所示之電流變化。 其結果，半導體雷射405成爲以圖21(e)所示之電 流波形，即，極性反轉脈衝對而被驅動，可以將上述之上 昇時機以及下降時機分別以極性互相反轉之極性反轉光脈 衝對而光傳送之。 在以上說明之光強度調製裝置中，經由把電流開關電 路4 0 2之電流源之電阻4 2 2之電阻値設定成其它開關 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -In ί I I in - - - 1 nn I In an— n^i m^i--eJ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（64 ) 電路之電流源之電阻42 1、423之電阻値之1/2， 經由電流開關電路4 0 2而被供給2倍之電流以構成之， 但本發明並不限定於此構成，例如，也可以將電流開關電 路4 0 2之電流源被連接之線連接於其它之開關電路之可 以供給2倍之電流之線。 又，如圖2 2所示般地，也可以在數位信號輸入端子 側設有上述之圖2 6所示之輸入側比較器，因應數位輸入 信號產生有互相邏輯反轉關係之差動數位信號以構成之。 再者，在此例之光強度調製裝置中，在發光手段（發 光元件）可以使用種種之半導體雷射，又，只要可以光傳 送，也可以使用其它之發光手段（光源）。 又，使用上述之光強度調製裝置之光傳送系統例如可 以適用於半導體裝置試驗裝置。例如，在半導體裝置試驗 裝置之試驗裝置本體側設有由傳送波形轉換電路與光強度 調製電路等形成之發送部，在測試頭側設有由A C結合接 收電路、識別電路、非同步R S觸發電路等構成之接收部 ，使用光纖連接這些發送部與接收部。 依據此構成，於半導體裝置試驗裝置之試驗裝置本體 與測試頭之間，即使被傳送者爲多數之頻率存在，而且被 傳送之2値資料之値顯著偏於單方（〇或1 )之信號，被 轉換成由顯示其之信號波形之上昇》下降時機而極性互相 反轉之脈衝對所形成之傳送脈衝信號而被傳送，由接收支 上昇。下降時機可以電氣的再現原來之傳送信號波形之故 ，不會產生極性以及時機之誤，可以進行信號再生。經由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） -67- im HI Hi —^n —1 ί I nn In m —l·—* 穿 、ve (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（65) 如此，也可以正確地識別長時間被固定之D C資料。 上述之半導體裝置試驗裝置雖係以試驗裝置本體側作 爲發送側，以測試頭側作爲接收部而構成之’但也可以採 取相反構成（以試驗裝置本體側爲接收部’以測試頭側爲 發送部之構成）。 由以上之說明可以明白地，依據本考明，不會有如以 往般地，識別電平偏於2値信號之資料値之其中一方’產 生時機之誤之缺點，又，也可以正確識別長時間被固定之 D C資料之故，於時機精度高，而且頻率不定，直流成分 存在之信號，也可以高精度地光傳送之。 因此，具有於半導體裝置試驗裝置之試驗裝置本體與 測試頭之間，即使被傳送者爲多數之頻率存在，2値資料 顯著偏於單方之値（〇或1 )之信號，也可以正確高精度 地光傳送之顯著優點。 之外，在資料之極性於一定之狀態（無信號之狀態） 被放置之情形，不會因之間之雜訊所致之低電平之擺動誤 爲資料而檢測出之故，具有可以提供信賴性高之光傳送系 統以及方法之優點。 又，在適用使以上之效果奏效之光傳送系統或方法之 半導體裝置試驗裝置，可以獲得傳送速度或頻率特性更提 昇，信賴性高而且輕便之優點。 再者，依據本發明，提供傳送於光傳送路徑之光脈衝 波形係由偏壓値向正極性與負極性各等量擺動，平均時相 等於偏壓値之正負對稱波形傳送之傳送方法之故，即使信 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -68 ^^1 ^^^1 ^^^1 nn .^kn m tm λ ^^^1 mf ml \ ’ 牙 、vs (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印笨 A7 ____B7_ 五、發明説明（66 ) 號之傳送密度改變，傳送路徑上之直流成分也不會變動。 因此，不會發生因含於被傳送之信號之直流成分變動而引 起之不穩定性。 又，在傳送脈衝波形附加直流成分，在接收側經由此 直流成分，在平滑化電路1 0 7 B使產生基準電壓之故， 假使由於發光元件L D之注入電流對發光光功率特性變動 ，發光元件L D輸出之平均發光量變動，平滑化電路 1 0 7 B產生之基準電壓變動，電壓比較器1 0 7 C以基 準電壓爲中心'使追從磁滯寬而變動之故，磁滞寬維持爲一 定値時，在接收側被檢測出之脈衝之檢測點爲不動，得以 抑制不穩定性之發生。 之外，在將脈衝之接收之檢測點界定爲正負對稱波形 之零交點之情形，在接收信號中爲最高速穿過偏壓之故， 經由在此零交點檢測接收脈衝之構成，可以獲得可以進行 最正確之接收點之檢測之優點。 再者，又依據本發明，在產生極性互相反轉脈衝對之 際，如以往般地，極性反轉部份中，不會有兩脈衝波形之 邊緣不連續之情形之故，可以高時機精度地進行信號之光 傳送。 因此，在使用使以上之效果奏效之光強度調製裝置之 光傳送系統或半導體裝置試驗裝置，可以獲得可以使信號 之傳送速度高速，又，頻率特性更提昇，而且輕便信賴性 高等之優點。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -69-