TW384438B - Control apparatus and control method - Google Patents

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經满部中央標準局员工消费合竹社印笨 A7 B7 五、發明説明（1 ) , 本發明係關於一個用於對如工具组設備之半導艚裝置 製造設備作程序控制的控制裝置及其所用之一種控制方法 0 通常’ 一個用來完成如半導體晶圓W所需之一個CVD( 化學氣相沈積）程序或一個濺餿程序、一個蝕刻程序、及 一個熱氧化程序之各種程序的程序室，在其上游設置有一 個有可含容多個（如25片）晶片W之多個卡匣的卡匣室；這 些晶片由卡匣室經一個傳輸室傳送至該程序室。 一傳輪室通常連接到多個（如3個）程序室，使得這些 晶片由卡匣室經傳輸室傳送到這些程序室，以便接受各種 處理程序》 在這樣的一個系統中’舉例來說由於會被在這些程序 期間產生的反慮物之沈積所污染，程序室有時必須更換或 清洗；在維護或清洗的那段時間中，該程序室的操作必須 停止；如果三個程序室中的一個必須維護或清洗，最好考 慮到製造的效率，唯有需要維護或清洗的程序室操作才會 停止來進行維護或清洗，而其它程序室繼續運作。 然而，在大部份的情況下，傳輸室、卡匣室和這些程 序室的操作受到程序控制器-之控制，各室的操作因此等控 制而彼此密切關聯；因此，控制這些單元以停止唯一指定 頭一個如上述之程序室是非常困難的；更明確地說，當唯 一指定的一個程序室之操作希望被停止時，不僅用於控制 所指定之該一程序室的程式，也包含用於控制所有程序室 的程式和用於控制卡匣室及傳輪室的程式都需要改變。 本紙張尺度適用中國固家標準（CNS > M规格（210X297公釐） (成先Μ讀背面之注f項再填寫本頁) 訂 .4. A7 B7 ' . 五、發明説明（2 ) — 本發明的一個目的是提供一個不停止該程序而可維護 /清洗這些程序單元的控制裝置。 本發明的另一個目的是提供一個可容易改變程序常式 的控制裝置。 依據本發明，提供一個控制裝置，其包含依各參數操 作之多個程序單元、用以儲存與這些程序單元之處理有關 的參數之一儲存部份、用以設定針對這些程序單元之預定 參數之一設定部份'及一管理部份，此管理部份係用以回 復一個由這些程序單元之一所發出的要求而發送這些儲存 在儲存部份並對應到這些程序單元之一的參數、傳送經由 該設定部份所設定的參數之一到該等程序單元中之一對應 者、及改窝儲存在儲存部份内的這些參數為由該設定部份 所設定的參數。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 .(請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 依本發明的控制裝置係被組構來事先儲存分別對應於 這些程序單元的參數，且回覆一個來自這些程序單元之一 的要求，送回對應於該要求的程序單元之該參數；再者， 當該程序單元被改變時，如果該參數在該程序單元改變後 被設定，則該控制裝置送出該參數到該程序單元，且同時 改窝先前儲存在檔案中的參數為該被設定參數，並因此可 不伴止該程序而改變該程序單元。 依照本發明，有提供一控制裝置其包含多個回應參數 而操作三程序單元、用以儲存對應於這些程序單元的參數 之一第一儲存部份、用以儲存這些程序單元共同的參數之 一第二儲存部份、用以設定針對此等程序單元之參數的一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 ， 五、發明説明（3 ) ' 個設定部份、及一個管理部份，該管理部份係用以回應一 個由這些程序單元之一發出的要求布發送一個儲存在第一 和第二儲存部份兩者之一内並對應於這些程序單元之一的 參數、傳送由該設定部份所設定的參數之一到該程序單元 、並改寫儲存在那些儲存部份之一中的參數為由該設定部 份所設定的參數。 依據上述之構成，一個對那些程序單元是共同的共用 參數被儲存，且因此相關參數不必在停止該程序單元時被 改寫，且用於儲存這些參數的記憶鳢區可減少》 本發明提供一個控制方法，其包含下列步驟：依多個 參數操作多個程序單元；準備一儲存部份用於儲存與那些 程序單元之處理操作相關的參數；為那些程序單元設定預 定之參數；及回應一個由這些程序單元之一發出的要求而 發送一被儲存參數或對應士這些程序單元之一的多個參數 ，傳送由該設定部份所設定的諸參數之一到一個諸程序單 元中之一對應者，並改寫那些儲存在該儲存部份中的參數 為由該設定部份所設定的參數。 經满部中央標率局員工消费合作社印^ (11-先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 本發明的額外目的和優點將會在以下的敘述中提出， 且一部份將從此等敘述中即可顯而易見，或者由本發明的 實例中體會到；本發明的諸目的和優點可經由上文中特別 指出的那些工具和组合予以實現及獲得。 被併入且構成本說明的一部份之那些附圖，續·示本發 明目前的較佳實施例，且連同上述的概括說明及下文提供 的諸較佳實施例的詳細說明，用以解釋本發明的原理。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -6 - A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) · 第1圖是依本發明之一個實施例的一半導體晶圃處理 設備的一幅平面圖； 第2圈是一幅方塊圈，顯示用於控制第1圖中所示該半 導晶圓處理設備的一控制裝置的構成； 第3圈顯示在第2圈中所示之程序單元和一參數管理部 份及儲存在一參數檔中的參數間的關聯； 第4圈顢示一個對應於第2圖中所示所有程序單元的一 » 個局部參數襠的例孕； 第5圈顯示一個對應於第2圖中所示那些程序單元之一 的一個局部參數擋的例子； 第6A和6B圖顯示在本發明的該實施例中的資料傳送 格式； 第7圖是解釋依本發明之實施例的那些程序單元之一 的啟動/停止操作的一幅示意圖； 第8圖是解释依本發明之實施例的一個處理路線改變 操作之一幅流程圈； 第9A和9B圖顯示在那些程序單元之一的程序被停止 時的參數改寫操作，其中對應於該停止程序單元的參數被 改窝； 第10A和10B圖顯示在全部程序單元的程序被停止時 的參數改寫操作’其中對應於所有程序單元的那些參數被 改窝； 第11圖顯示一個依本發明之實施例的一幅顯示内容（ 用日文）之例子； 本紙張尺度適用中國國家森準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） (請先聞讀背面之注ί項一Φΐί寫本頁)

KM 裝· 訂 經漓部中央標率局員工消費合作社印掣 A7 ______B7_ * 五、發明説明（5 ) 第12圈顯示依本發明之實施例的顢示内容之另一個例 子’其中從第11圖中所示之以曰文«示轉換為以英文顯示 〇 本發明之實施例將會在以下參考那些圈面做說明。 依第lffl中所示的實施例，一半導饉蟲圃處理設備包 含用以為半導體晶圓w完成如CVD(化學氣相沈積）程序或 一濺鍍程序、一蝕刻程序和一熱氧化程序之各種程序的多 個（在本例中有3個）程序單元（程序室）1、2及3，具有可容 納多個（如25片）晶圆W之卡匣C1及C2的卡匣單元（卡匣室 )4和5,及用以將那些晶圓從該卡匣單元傳送到那些程序 單元之一傳送室（傳送單元）6。那些在該設備内的腔室被 以可依需要開/閉之閘閥G互相連接；該傳送室内設有藉 以將那些晶圓W被傳送於那些單元間之一可彆曲及旋轉操 作之多接頭型傳送臂7。當X卡匣C1及C2被放進卡匣單元4 . 和5時，卡匣C1及C2被旋轉90。，以將供那些晶圓w從卡 匣被取出的其出口轉動到該傳送單元6的中心，導致該傳 送臂7可容易地由那些卡匣中取出那些晶圓w。 第2圈是一幅方塊圈，顧示用於控制具有上述第丨圖中 所示結構之半導體晶圓處理設備的一控制裝置之構成。 機器控制器（MC)11-16作為從屬控制裝置，分別控制 程序單元1、2和3、卡匣單元4和5、及傳送單元6;所有的 機器控制器（MC)11-16被一當成主要控制裝置之一姻主控 制器（EC)17所完全控制；該主控制器（EC)17包括一參數管 理單元（PRM)18、用以連接該主控制器（ec)17和一觸控勞 本紙張尺度適用+國固家標準（CNS ) A4跡（210X297公釐) (婧先《讀背面之注f項再填寫本頁) ·-〇 裝. 訂 經满部中央標準局貝工消費合作社印聚 A7 ΒΊ_ ' ' 五、發明説明（6 ) 幕19的一個人機介面（MMI)、及一個參數擋21 ;機器控制 器11-16對應到依參數操作的諸程序車元β 第3圈顯示程序單元26(即該等機器控制器11-16)、該 參數管理單元（PRM)18及储存在參數襠21内之參數間之關 係。 該參數擋21包括多個局部參數擋22、多個整饉參數楮 23、多個編輯參數檔24、及多個參數控制擋25 ;每一個這 些播案有兩種型式的參數檔：一來源參數檑、及一個經編 譯那些參數為一文字格式所形成之參數褚；經由把成文字 格式的參數檔加到該來源參數檔，本發明使該編輯操作變 得容易。 局部參數檔22儲存分別對應於程序單元26(即程序單 元11-16)的參數；在收到來自程序單元26的要求後，那些 儲存在這些局部參數擋^的參數透過該參數管理單元 (PRM)18分別傳送且映射在對應的程序單元26之_中。 那些整《參數檔23儲存對程序單元11·16是共同的共 同參數；這些儲存在該整《參數檔23中的共用參數透過該 參數管理單元（PRM)18傳送並映射在一整體記憶饉區27中 :這些映射在該整艘記憶艟适27中的參數由該參數管理單 元（PRM)18及程序單元26予以讀/寫。 那些編輯參數襠24儲存可被編輯之參數，因此，僅參 考該編輯參數檔24即可判定該參數是否可被編輯。 那些參數控制檔25儲存那些表示上述參數位置的參數 〇 本紙張尺度Aw中關家樣率（CNS >从胁（2丨0X297公羞） —~~-- -9- {請先S讀背面之注f項再填寫本頁) —裝· 訂 五、發明説明（7 ) A7 B7 經濟部中央梯隼局貝工消费合作社印聚 第4圈顯示一個對應於所有程序單元之局部參數檔22 的例子》 從這個檔案第一列的左端起，“u”表示一個命令， “Γ表示一個列號碼，“〇”表示程序單元數目的最小值 ,“3”表示那些程序單元數目的最大值，“3”表示那些 程序單元數目的内定最大值，且“3”表示那些程序單元 數目的目前值。 第5圖顯示對應於那些程序單元之一的局部參數襠的 另一例子〇 從這個檔案第一列的左端起，“u”表示一個命令， “Γ表示一個列號碼，“〇，，表示當該程序單元被伴止時 的值（程序單元數目的最小值），“1”表示當該程序單元 操作時的值（該操作程序單元數目的最大值），“丨”表示 該程序單元停止/操作的内定最大值（在本例中，該值設 定為“Γ表示該單元在操作中），且“1”表示該程序單 元停止/操作的目前值（在本例中，該值投定為“丨”表示 該單元在操作中 第6A圈顧示由那些參數播經該參數管理單元（pRM) a 傳送到那些程序單元26之資料的資料格式；依照此資料格 式，一個型態的資料首先被傳送，接著如上所述之該目前 值、該最大值、及最小值被依序傳送》第68圈顯示第5圈 中所示該檔案的傳送資料》 •第7圈概要顯示該控制裝置在程序單元26(機器控制器 11-16)之一操作/停止時的操作；如第7圈中所示，當那 請· 先 Μ 項 h裝 訂 本紙张尺度ϋ用中國闽家標準（CNS ) A4规格（2〗0X29?公釐） -10- Λ7 Λ7 經濟部中*標率局貝工消费合作社印簟 五、發明説明（8 ) 些程序單元26之一開始操作時，该〆程序單元26要求該參 數管理單元18發出一個對應於該赛岸單元的參數(詳第7圈 ，a);為回應此要求，該參數管理單元（prm)18由該參數 擋21讀取該對應參數（詳第7圈，b)a傳送該參數到要求該 參數的該一程序單元26(詳第7圈，C);如此，該一程序單 元26即依該讀取參數操作。 另一方面，當那些程序單元26之一必須停止時，使用 者透過觸控螢幕輸入一個指令來停土欲被伴止的該程序單 元26(詳第7圈，d);此指令透過该人機介面（MMI)2〇輸入 到該參數管理單元18(詳第7圖，e);為回應該停止指令’ 該參數管理單元（PRM)18改寫儲存在該參數擋21中對應於 欲被停止的該程序單元26的參數（詳第7圈，〇 ;同時，該 參數管理單it(PRM)18傳送對應於該停止指令的參數到該 欲停止的程序單元26(詳第圖，g);在收到該停止指令後 ’該程序單元停止該操作；在此期間中，其它程序單元26 藉由排除該伴止程序單元的處理路線繼續執行該程序β 該程序單元的上述停止操作，即該處理路線改變操作 ’將參考第8圈作更詳細的說明、 假設一程序被一處理路線所執行，其中該程序被由卡 匣單元4、程序單元1、程序單元2、程序軍元3、到卡匣單 元5依序執行；在此例中若只有程序單元3必須被停止，且 該程序必須由另一處理路線繼續執行，而此另一處理路線 中之該程序係從卡匣單元4、程序單元丨、程序單元2到卡 匣單元5依序執行，則使程序單元3停止之該停止指令，即 (谁先Μ讀背面之注f項再填寫本I) •-^装· 訂 -11 - Λ7

Wl___；_ 五、發明説明（9 ) · 該處理路線改變指令，便經由人機介面20(ST1)輸入到參 數管理單元18;為回應此指令，參數管理單元18改寫一儲 存在參數檔21中的參數；更具體地說，參數管理單元18依 該處理路線改變指令改寫參數檔21，以形成將程序由卡匣 單元4、程序單元ί、程序單元2到卡匣單元5來執行的處理 路線（ST2);在此期間，參數管理單元18傳送該被改寫之 參數到需要該參數的程序單元26(ST3);以此方式來傳送 該參數，該對應程>單元的參數被改寫（ST4)，且在該程 序單元中的處理形式被改變；其後，該程序被該已改變的 處理路線繼續，即不包括程序單元3(ST6)的該路線；因此 ，當程序單元3的清潔或維護必須執行時，它可以在不停 止其它程序單元的情形下被執行。 改寫與如上述欲被停止之程序單元對應的參數的改寫 操作顯示在第9A和9B圖中。第9A圖顯示一在操作中之單 元的參數檔，而第9B圖顯示一被停止之單元的參數檔； 如在這些圈中顯示者，在操作中第一列之右端的目前值被 設定為“Γ ，而當該操作被停止時，目前值轉變為“0” 〇 經濟部中央橾率扃負工消费合作社印製 ‘(請先Μ讀背面之注意事項再填寫本ί

除了對應於該欲被停止之單元的參數外，與其相關的 參數亦必須被改寫；更詳細地說，當程序單元之一被停止 時，在對應於所有程序單元之該檔案中的參數及在對應於 ,傳送單元之該檔案中的參數亦須被改寫；對應於所有程序 單元之檔案被以如在第10A及10B圖中所示的方式改寫。 對應於在操作中之所有程序單元的檔案被組成如在第10A 本紙張尺度逋用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 經濟部中夹橾準局貝工消费合作社印製 Λ7 B7__' 五、發明説明（10 ) * 圖中所示者；當那些程序單元之一被停止且其它兩個程序 單元在操作中時，即有在第1〇8圖中所示的檔案被組成； 如此等圖所示，當3個程序單元1、2及3在操作中時，在第 一列右端的目前值被設為“3” ，且當那些程序單元之一 被停止時，該目前值被改寫成“2” 。對應於傳送單元及 類似者的那些檔案亦被以上述類似之方式改寫。 為於一擋案的表數被改寫時促進上述相關檔案的改寫 ) 操作，收集了彼此ft聯的參數之一檔案被預先準備；當一 參數被改寫之際，關聯於該被改寫參數的那些參數可經由 參數此檔而易於改寫；再者，若可被用來當成所有程序單 元共用的共用值之一參數係儲存在整體參數檔23中，與之 關聯的那些參數即不必改寫；再者，經由儲存那些參數在 整體參數檔23中，一用來儲存那些參數的記憶艎區的大小 即可以減少。 依本實施例的控制裝置，當一程序單元被停止時，除 欲被停止之程序單元以外的那些程序單元不必被停止；換 言之，那些程序單元之一可在其它程序單元在操作時被停 止；因此，當所有的三個程序單元1、2及3必須維護時， 經由以下列方式執行該維護，即可在不停止整個系统之情 況下執行該系統之維護：首先，程序單元1,在程序單元2 和3操作時被停止以供進行維護，接著程序單元2在程序單 元1和3操作時被停止以供施行維護，以及程序單元3在程 序單元1和2操作時被停止以供進行維護。 在上述實施例中，關聯於欲被停止之程序單元的參數 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .-ο-裝.

，1T -13- 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 Λ7 B7__'_ 五、發明説明（11 ) ' 被改變。不用說，其它那些未被停止之程序的參數亦可被 改變：即，關於一顯示器語言之參被。第11和12圈顯示那 些顯示器的例子，其中關於一顯示器語言的參數被改變； 當顯示在第11圈中之該顯示器中的語言之項目由曰文改變 為英文時，在對應於該語言之該參數檔中的參數被改窝， 以轉變用日文之顯示為如在第12圖中所示以英文顯示者。 依上述本發明之控制裝置可被應用於其它的半導艘設 備製造裝置，如一清潔軌、及一液晶顯示器（LCD)製造裝 置。 如上所詳述者，依本發明，當欲被處理之那些物件， 如半導體晶圓，被多個程序單元依序處理，且那些程序單 元中之特定一個被排除在該處理路線外時，該處理路線僅 藉由改變儲存於該參數檔中的參數，而在不停止整個處理 系統之情形下被改變為一個新的處理路線。 再者，依本發明的控制裝置被設置以一用於儲存對那 些程序單元是共同的共用參數的儲存單元，因此，那些相 關參數不須在改變該處理路線時被改寫，且用於儲存那些 參數的記憶體區大小即可減少。 對那些熟於此技者*額外的優點和修正將會容易地產 生；因此，在本發明較寬廣的層面上並不欲限制於本文所 示及描述之特定細節及各代表性實施例；所以，各種的修 正可在不背離如由後附申請專利範圍及其等效物定義之一 般性發明概念的精神或範圍之前提下做成》 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (讀先閩讀背面之注f項再填寫本頁) -裝. 訂 -14- 五、發明説明（12 ) 1，2，3…程序室 4，5...卡匣室6.. .傳送室 7.. .傳送臂 11-16…機器控制器 17…主控制器 18··.參數管理單元 19.. .觸控螢幕20.. .人機介面21.. .參數檔 Λ7 B7 元件標號對照 22.. .局部參數檔 23.. .整《參數襠 24.. .編輯參數檔 25.. .參數控制襠 26.. .程序單元 « 27.. .整饉記憶區 Cl，C2."卡匣 G...閘閥 W…晶片 {誇先閲讀背面之注項再填寫本頁) 訂 經濟部中央揉準局員工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） • 15-

Claims (1)

1. 671〇68 4 9 經濟部中*樑丰局i消费合作社印装 Α8 Β8 C8 D8六、申請專利範圍 I 一種控制裝置，包含有： 多個依一些參數操作之程序單元； 用以儲存舆該等程序單元之處理相關的多個參數 的一储存部份； 用以為該等程序單元設定一些預定參數之一設定 部份；以及 一管理部份，用以回應由該等程序單元之一所發 出之要求而將被1昧存在該儲存部份中且對應於該等程 序單元之該一者的該等參數之一發送至該等程序單元 之該一程序單元，傳送由該設定部份設定之該等參數 之一到該等程序單元中之一對應者，及把姥存在該錄 存部份之該等參數改寫為由該設定部份所設定之該參 數。 2. 依申請專利範圍第1項之控制裝置，其中該儲存部份具 有一記億艘裝置’該記憶艘裝置至少包含储存對應於、 該等程序單元之該等參數的多個局部參數擋、儲存共 用於該等程序單元之多個參數的多個整體參數檔、儲 存可被編輯之多個參數的多個編輯參數檔、以及餚存 指出該等餚存在其它擋案中之參數之位置的參數之多 個參數控制檔。 3. 依申請專利範圍第2項之控制裝置，其中該等擋案各具 有一來源參數檔及其中之該等參數被以一文字格式編 譯之一參數襠。 4. 依申請專利範圍第2項之控制裝置，其中該局部參數檔 (請先閱讀背由之注^^項脣f本3Γ> 装· 订 本纸張尺度遄用中國國家揲丰（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） -16 - 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 Λ濟部中央梯準扃甬工消费合作社印簟 ,包含一列號碼、該等程序單元之數目之一最小值、該 等程序單元的數目之一最大值、該等程序單元的數目 之一内定值、及該等程序單元的數目之一目前值。 5. 依申請專利範圍第2項之控制裝置，其卞該等程序單元 包括用於完成一化學氣相沈積或一濺鍍程序、一蝕刻 程卑、及，熱.氧化程序的多嗰程序單元，及具有能含 容多個欲被處理物件之多個卡匣的多個卡匣單元，及 一用於傳送该專彻件^傳送車元· 6. 依申請專利範圍第1項之控制裝置―，其中該設定部份包 抟一用於輸入該等參數到該等程序單元之觸控螢幕。 7. 依申請專利範圍第i項之控制裝置，丨其果包含一擔任該 設定部份和該管理部份間之介面的人機介面。 8. 依申請專利範圍第7項之控制裝置，其中該設定部份包 括一觸控螢幕，且該人機介面具有一可改變的語言參 數及改變用來由該.觸控螢幕.期、示各項目.的一種語言β 9. 依申請專利範团第7項之控制襄-置，其中該人譏介面包 括一用於改變第一種語言到第二種語言之參數，其中 各項目由觸控瑩幕所顯示》 ίο.—種控制裝置，包含： 許多個回應參數而操作的程序單元； 用於儲存分別對應於該等程序單元的參數之一第 一储存部份； 用於儲存共用於該等程序單元的參數之一第二儲 存部份； (請先《讀背面之注$項再赛寫本<) C 装· 訂 -17- 六、申請專利範園 肖於為該等程序單元設定該參數之—設定部份. 以及 ’ 一管理部份，用於回應由該等程序單元之一程序 單元所發出之要求而將一被錄存在第一及第二储存部 份之-内且對應於該等程序單元之一的一個參數發送 至該等程序單元之該-程序單元，傳送由該設定單元 所設定之該等參數之該一參數到該程序單元及把該 等儲存在該等供r存部份之一中的參數改寫為由該設定 部份設定的該¥數。 u.—種控制方法，包含下列步驟： 依多個參數操作多個程序單元； 準備一儲存部份用於儲存關聯於該等程序單元之 處理的多個參數； 為該等程序單元設定多個預定參數；以及 回應一由該等程序單元t之一個程序單元發出的 要求將一對應到該等程序單元之該一程序單元的錄存 參數發送到該等程序單元之該一程序單元，傳送由該 設定部份所設定之該等參數之一到該等程序單元中之 一對應者，及把儲存在該儲存部份中的該等參數改窝 為由該設定部份所設定之該參數。 12.依申請專利範圍第11項之控制方法，其中該儲存部份 準備步驟包括一至少準備儲存對應於該等程序單元之 該等參數的多個局部參數檔、储存共用於該等程序單 元之多個參數的多個整體參數檔、儲存可被編輯之多 本紙張尺度遑用中國«家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 8884 ABCD 鍾濟部t夬樣率扃負工消费合作社印製 A、申請專利範国 個參數的多個編輯參數襠、及儲存指出儲存在其它檔 案中之該等參數之位置的多個參數之多個參數控制檔 的步驟。 13.依申請專利範圍第u項之控制方法，其中該操作步驟 包括一使該等程序單元分別完成一薄膜形成程序、一 姓刻程序、及一熱氧化程序的步麻，一含容欲被處理 之多锢物件在具有可容納該等物件之多個卡匣之多個 卡匣單元中的步龙，及一傳送該等物件由該等卡匣單 元到該等輊序皁元之步驟。 14·依申請專利範团第η項之控制方法，其更包含顯示欲 被執行之程序及改變顢示語言的步驟。 15.—種控制方法，包含下列步驟： 回應多個參數操作的個程序單元； 在一第一儲存部份中儲存分別對應於該等程序單 元的多個參數； 在一第二館存部份中錄存共用於該等程序單元的 多個參數； 分別為該等程序單元設定該等參數；以及 回應一由該等程序單元申的一個程序單元發出之 要求發送一被儲存在該第一和第二儲存部份之一内且 對應於該等程序單元之該一程序單元的參數傳送由 跋設定部份所設定的該等參數之一到該拜序軍元，及 改窝館存在該第-和第二館存部份之一内的該等參數 為由該設定部份所設定之該等參數。 (请先閱讀背由之注$項再4·.寫本霣) Γ 装 订 .1 I .H · ( CNS ) Α4«Μ«· ( 210X297^7 -19-